JP3627028B2 - 力/トルクセンサ校正方法及び装置 - Google Patents

力/トルクセンサ校正方法及び装置 Download PDF

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【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、力/トルクセンサ(ロードセル)の校正方法及び装置に係り、特に図4に示すような、基礎構体1に取り付けられて宇宙環境中で用いられる作業用ロボットマニピュレータ用力/トルクセンサの地上での校正に適する、力/トルクセンサ校正方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
宇宙用マニピュレータ用力/トルクセンサは、例えば図5に示すように、軸部40を中心にして軸方向に隙間8をおいて並列配置された同一形状の2個の環状体11,12と、環状体11,12の内周面と前記軸部40の間に放射状に4個所に配置されて両者を結合する弾性片7’,7”と、各弾性片7’,7”の軸線にほぼ直交する方向の面に貼られたひずみゲージ9と、各弾性片7’,7”の軸線にほぼ平行する方向の面に貼られたひずみゲージ10と、を含んで構成されている。環状体11,12の軸方向端面は軸線に直交する平面をなしており、この端面がマニピュレータへの取付け面となっている。
【0003】
この力/トルクセンサが使用される宇宙用マニピュレータの例を図4に示す。図示の宇宙用マニピュレータは、基礎構体1に一端を固定され他端に中心軸(Z軸)を中心として回転させる筒状部を備えたアクチュエータ2aと、アクチュエータ2aの前記筒状部外周面に一端を固定され他端に中心軸(Y軸)を中心として回転する筒状部を備えたアクチュエータ2bと、アクチュエータ2bの前記筒状部外周面に一端を固定されたブーム3aと、ブーム3aの他端に固定されてY軸に直交する直線を中心として関節状に回転するアクチュエータ2cと、アクチュエータ2cに一端を結合されたブーム3bと、ブーム3bに外周面を結合させた筒状のアクチュエータ2dと、アクチュエータ2dの軸方向端部に力/トルクセンサ4を介して結合されたチャック5と、を含んで構成されている。図4は、チャック5がワーク6を把持した状態を示している。
【0004】
力/トルクセンサ4は、環状体11を駆動側(アクチュエータ2d側)に、環状体12を作業側(チャック5側)に締結し、その間に働く三軸方向軸力Fx,Fy,Fz,曲げ力Mx,My,Mzの6成分を、弾性片7’,7”に貼ったひずみゲージ9,10の出力から読み取る方法を取っている。従来のこの力/トルクセンサの地上での校正には、図6に示すように、力/トルクセンサ4の一端を台16に締結し、他端を治具13に、治具締結用ねじ14で締結し、おもり15’,15”によって、それぞれの方向の軸力F,曲げ力Mを加えていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
宇宙空間のような無重力状態(微重力状態を含む)においては、作業用マニピュレータが動作していない場合には、力/トルクセンサ4には力がかからない。したがって、力/トルクセンサ4に力がかかっていない状態、つまり負荷0を検出することが重要になり、負荷0での力/トルクセンサの校正を行っておく必要がある。
【0006】
この従来の校正装置により地上で力/トルクセンサの校正を行う場合の問題点は、まず軸力Fについては、治具13とセンサ4の一部(以下、治具13等という)の重量が必ずかかるため、負荷0近傍の校正が不可能であること、又、曲げ力(トルク)Mについては、曲げ力Mのみを独立して与えることができず、必ず軸力Fと重畳して与えられてしまい、曲げ力(トルク)Mのみの成分の校正が不可能であることであった。
【0007】
図6に示す従来の方法を図7を参照して説明する。図7は、力/トルクセンサ4に加わる重力方向の軸力Fを横軸に、図上時計周り方向のトルクMを縦軸に、それぞれとって示す図で、力/トルクセンサ4に加わる荷重状態を表している。図6に示されるように、取付け台16に固定された図5に示す形状の力/トルクセンサ4には、治具13(おもり台13’,13”を含む)が装着され、おもり台13’,13”におもりが乗せられていない場合でも、治具13の重量が力/トルクセンサ4に加わっている。また、力/トルクセンサ4の重量のほぼ1/2も歪ゲージに負荷されている。治具13の重量と力/トルクセンサ4の重量の1/2の合計をw0とする。図7の点aが、このおもり台13’,13”におもりが乗せられていない状態での力/トルクセンサ4の負荷状態を示している。すなわち、トルクMは零で、軸力Fがw0である。この状態からおもり台13’におもりを乗せ、その量を順次増やしていくと、力/トルクセンサ4に加わる軸力とトルクは、特性線30aに沿って、両者ともにおもりの量に応じて次第に増加していく。点aの状態から、おもり台13”におもりを乗せ、その量を順次増やしていくと、力/トルクセンサ4に加わる軸力とトルクは、特性線30cに沿って変化し、軸力Fは先の場合と同様に増加していくが、トルクは逆方向のトルク(−M)が次第に増加する。
【0008】
点aの状態から、おもり台13’,13”それぞれに同量wのおもりをのせると、点bの状態となる。点bの状態からさらに、おもり台13’におもりを追加していくと、荷重状態は特性線30bに沿って変化し、軸力FとトルクMはともに増加していく。逆に、点bの状態からおもり台13’のおもりを取り去っていくと、荷重状態は点bから点cに向かって特性線30bに沿って変化する。おもり台13’のおもりが無くなった状態が点cの状態である。点cの状態から、さらに、おもり台13’から取り去ったおもりをおもり台13”に追加していくと、荷重状態は、点cから点eに向かって特性線30cに沿って変化する。おもり台13’に乗っていたおもりの全量wがおもり台13”に移された状態が点eの状態である。すなわち、おもり台13’からすこしずつおもりをおもり台13”に移すと、荷重状態は特性線30dに沿って、点bから点eに向かって変化する。逆に、点bの状態からおもり台13”のおもりをすこしずつおもり台13’に移すと、荷重状態は特性線30dに沿って、点bから点dに向かって変化するのである。
【0009】
したがって、おもり台13’のおもり15’あるいはおもり台13”のおもり15”を増減することにより力/トルクセンサ4に曲げ力(トルク)Mを負荷できるが、この場合、図7の特性線30a〜30cに示すごとく、それにつれて軸力Fも変動する。特性線30dの場合は軸力Fは一定ではあるが、0にはできない。
【0010】
図7から明らかなように、従来の装置では、治具の自重があるかぎり、特性線が存在するのは図の点aよりも右側の領域であり、このため、軸力Fを0にすることはできないし、軸力Fを0にしたままトルクMのみの独立した校正を行うことも当然ながらできない。
【0011】
本発明は、宇宙等の無重力環境で用いられる力/トルクセンサの0点近傍における校正を地上で可能にすることを課題とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を達成する本発明の第1の手段は、軸力と曲げ力のいずれか一方もしくは双方を検出する力/トルクセンサを取付け台に固定し、該力/トルクセンサに装着した治具を介して既知の荷重をおもりにより負荷して校正を行う力/トルクセンサ校正装置において、前記力/トルクセンサは、一対の環状体が軸部を中心にして軸方向に間隔をおいて配置され各環状体と前記軸部との間に放射状にセンサ本体を配設して形成され、前記治具は、前記環状体と同心に締結される円板と、該円板の中心を挟んで対称に、かつ据付状態で軸線が水平になるように前記円板の側面に突出させて固着された一対の荷重負荷軸とを有し、該荷重負荷軸の荷重作用点を前記力/トルクセンサの中心に対して対称の位置に設けて形成され、前記力/トルクセンサの軸力と曲げ力のいずれか一方もしくは双方の負荷0状態を作り出す荷重を、重力の方向と逆の方向にてこもしくは滑車を用いて前記荷重負荷軸の荷重作用点に加える補正荷重負荷手段を設けてなり、重力の影響を排除した状態での前記力トルクセンサの校正を可能にしたことを特徴とする。
【0013】
上記の課題を達成する本発明の第2の手段は、上記第1の手段において、前記力/トルクセンサが、軸力として直交3軸成分、曲げ力を直交三軸成分の合計6軸成分を独立して検出する6軸センサであり、前記取付け台が、力/トルクセンサを固定したとき、前記直交3軸のうちの1軸が重力の方向と一致する取付け面と、他の1軸が重力の方向と一致する取付け面の少なくとも二つの取付け面を有してなることを特徴とする。
【0014】
上記の課題を達成する本発明の第3の手段は、上記第1または第2の手段において、補正荷重負荷手段が、取付け台に固定された力/トルクセンサの中心を挟んで互いに対称の位置に配置され下部を前記治具の力/トルクセンサの中心を挟んで互いに対称となる位置に係合させた一対の吊り材と、一端に前記一対の吊り材のうちの一つを吊り下げ、他端に前記おもりをのせるおもり台を吊り下げ、中央部の支点で天秤状に支持された第1のてこと、一端に前記一対の吊り材のうちの他の一つを吊り下げ、他端に前記おもりをのせる他のおもり台を吊り下げ、中央部の支点で天秤状に支持された第2のてこと、前記第1、第2のてこを前記支点で支持する一対の支点座と、を含んで構成されていることを特徴とする。
【0015】
上記の課題を達成する本発明の第4の手段は、軸力と曲げ力のいずれか一方もしくは双方を検出する力/トルクセンサを取付け台に固定し、該力/トルクセンサに装着した治具を介して既知の荷重をおもりにより負荷して校正を行う力/トルクセンサの校正方法において、前記力/トルクセンサを、一対の環状体が軸部を中心にして軸方向に間隔をおいて配置され各環状体と前記軸部との間に放射状にセンサ本体を配設して形成し、前記治具を、前記環状体と同心に締結される部材と、該部材の中心を挟んで対称に、かつ据付状態で軸線が水平になるように前記部材に突出させて固着された一対の荷重負荷軸とを有し、該荷重負荷軸の荷重作用点を前記力/トルクセンサの中心に対して対称の位置に設けて形成し、前記力/トルクセンサの軸力と曲げ力のいずれか一方もしくは双方の負荷0状態を作り出す荷重を、重力の方向と逆の方向にてこもしくは滑車を用いて前記荷重負荷軸の荷重作用点に加える手順を含んでなり、重力の影響を排除した状態での前記力トルクセンサの校正を可能にしたことを特徴とする。
【0016】
上記の課題を達成する本発明の第5の手段は、前記力/トルクセンサの軸力と曲げ力のいずれか一方もしくは双方の負荷0状態を作り出した後、軸力の直交3軸成分、及び曲げ力の直交3軸成分を各独立に負荷して校正を行うことを特徴とする。
【0017】
無重力状態で作業を行う作業用マニピュレータに用いられる力/トルクセンサの校正を、通常の重力状態である地上で、上記第4、第5の手段を適用して行うことにより、上記の課題を達成することができる。
【0018】
治具及び力/トルクセンサ(以下、治具等という)の重量の影響による力/トルクセンサの0点のずれを防ぐためには、その重量と等価な補正のための負荷をてこもしくは滑車により重力の方向と反対方向に加えることにより達成する。また、6軸成分を完全に独立して校正するためには、各軸成分ともにそれぞれ補正のための負荷を加えた状態でセンサとしてのゼロ点が得られる状態にしておくことにより、各成分とも正方向、負方向自由に与えることが可能になり、これにより、各軸方向とも重畳しない独立した校正が可能となる。
【0019】
治具の重量をキャンセルするために例えばてこを利用して重力と反対方向の負荷をかける。例えば図1に示す治具13等の重量は、第1のてこ17’,第2のてこ17”を介して、それぞれ治具13等の重量の1/2に相当するおもり18’,18”を重力の方向と反対方向に治具13に負荷することによって力/トルクセンサに加わらないようにできる。この方法によってゼロ点近傍の校正を可能とすると同時に、6軸各方向の校正を各々独立して行なえる。図1に示す如く、治具13等の重量に相当するおもり18’,18”の存在により、この軸力F=0の状態のままで、おもり18’を増し、その分おもり18”を減らす、あるいはその反対によって、図3の特性線31の如く、軸力F=0でトルクMのみを変化させて校正できる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下本発明の第1の実施例を図1により説明する。図1に示す力/トルクセンサ校正装置は、据付け面35に設置される台板32aと、台板32aのほぼ中央に固定され上端に力/トルクセンサ4が固定される水平な取付け面を備えた取付け台である力/トルクセンサ校正用ベース(以下、校正用ベースという)16と、校正用ベース16に中心を合わせて固定された力/トルクセンサ4の上面(環状体11もしくは12)に治具締結用ねじ14で環状体11と同心に締結される円板13aと、円板13aの側面に円板13aの中心を挟んで対称に、かつ、据付け状態で軸線が水平になるように円板13aの側面に突出するように固着された一対の荷重負荷軸13b,13cと、台板32aに校正用ベース16の中心を挟んで対称の位置に固着され上端部にそれぞれナイフエッジを備えた支点座32b,32cと、中央部下面に断面三角形の溝状の切り込みを備え前記荷重負荷軸13b,13cの軸線の延長線の上方にかつ該軸線と平行に配置され前記溝状の切り込みの底部を前記支点座32b,32c上端のナイフエッジに支持されかつ校正用ベース16側の端部が対応する前記荷重負荷軸13b,13cの端部上方に位置した天秤状の第1、第2のてこ17’,17”と、上部に下向きのナイフエッジを、下部に上向きのナイフエッジを、それぞれ備え、上部のナイフエッジを前記てこ17’,17”の校正用ベース16側の端部上面に形成された断面三角形の溝状の切り込み底部(負荷点)に係合させて吊り下げられ下部のナイフエッジを前記荷重負荷軸13b,13cの端部下面に形成された断面三角形の溝状の切り込みに係合させた一対の吊り材33a,33bと、上部に下向きのナイフエッジを、下部におもり受け34a’,34b’をそれぞれ備え、上部のナイフエッジを前記第1、第2のてこ17’,17”の校正用ベース16と反対の側の端部上面に形成された断面三角形の溝状の切り込み底部(荷重点)に係合させて吊り下げられた一対のおもり台34a,34bと、を含んで構成されている。
【0021】
荷重負荷軸13b,13cの端部下面に形成された断面三角形の溝状の切り込みの溝長手方向中心線(溝底部をなす断面三角形の頂点の線、以下同じ)、第1、第2のてこ17’,17”の上面及び下面に形成された断面三角形の溝状の切り込みの溝長手方向中心線、及び支点座32b,32c上端のナイフエッジの刃先の線は、図1に示すように装置を組み立てた状態で互いに平行で、荷重負荷軸13b,13cの軸線に垂直である。また、前記吊り材33a,33bの上部と下部に形成されたナイフエッジの刃先の線も互いに平行で、上部と下部のナイフエッジの刃先の間隔は、図1に示すように装置を組み立てた状態で、てこ17’,17”がほぼ水平になる距離に設定してある。
【0022】
てこ17’,17”の校正用ベース16側の端部上面に形成された断面三角形の溝状の切り込みの溝長手方向中心線(負荷点)は、図1に示すように装置を組み立てた状態で、荷重負荷軸13b,13cの端部下面に形成された断面三角形の溝状の切り込みの長手方向中心線の鉛直上方に位置し、従って、吊り材33a,33bの軸線は図1に示す組立て状態では、鉛直(重力の方向)になっている。
【0023】
円板13a、治具締結用ねじ14及び荷重負荷軸13b,13cを含んで治具13が構成され、図1に示すように組み立てられた状態で、治具13の重心は、力/トルクセンサ4の中心線上にある。また、荷重負荷軸13b,13cの下面に形成された前記断面三角形の溝状の切り込みの長手方向中心線は力/トルクセンサ4の中心に対して対称の位置になっている。
【0024】
第1、第2のてこ17’,17”と、これらてこに吊り下げられる吊り材33a,33bおよびおもり台34a,34bと、てこ17’,17”を支持する支点座32b,32cと、を含んで補正荷重負荷手段が構成されている。てこ17’,17”の中央下面の断面三角形の切り込みの底部が支点19’,19”をなし、支点19’から前記荷重点20’までの距離、支点19”から前記荷重点20”までの距離、支点19’から前記負荷点21’までの距離、支点19”から前記負荷点21”までの距離、は、同じにしてある。そして、荷重負荷軸13b,13cがない状態で吊り材33a,33bを負荷点21’,21”に、おもりが乗せられていないおもり台34a,34bを荷重点20’,20”にそれぞれ吊り下げ、支点19’,19”で支持されたてこ17’,17”は、両側の重量がちょうどバランスして水平になるように、各部材の重量が配分されている。
【0025】
図1は、図5に示す力/トルクセンサ4のZ軸方向(図の上下方向、つまり力/トルクセンサ4の軸線方向)の軸力Fzと、X軸(紙面に垂直な方向、つまり力/トルクセンサ4の環状体11の軸線方向端面に平行する方向)のまわりに回転させる方向の曲げモーメント(トルク)Mxの校正をしている状態を示す(Z軸方向、X軸方向に直交する方向をY軸方向とし、Y軸のまわりに回転させる方向の曲げモーメントをMy、Z軸のまわりに回転させる方向の曲げモーメントをMzとする)。
【0026】
てこ17’,17”の支点19’,19”から負荷点21’,21”までの距離と、支点19’,19”から荷重点20’,20”までの距離を等しくとることにより、治具13の重量及び力トルクセンサの重量の1/2の合計に相当する重量wの半分ずつの重量w/2のおもり18’,18”をおもり台34a,34bにかければ、おもり18’,18”に加わる重力は、てこ17’,17”を介して荷重負荷軸13b,13cに重力の方向と反対方向に加わり、結果的に力/トルクセンサ4に加わる負荷、Fz,Mx,Myは全て0にすることができる。図1に示す状態では、力/トルクセンサ4に加わる水平方向の力Fx,FyおよびトルクMzは0であるから、軸力Fx,Fy,Fz,及びトルクMx,My,Mzがすべて0の状態(負荷0状態)を作り出せる。
【0027】
この負荷0状態からおもり台34a,34bの双方に、既知の等しい重さのおもりを加えあるいは減らしていけば、Fx,Fy,Mx,My,Mz,を0のままで、Fzのみを変化させて校正を行うことができる。又、前記負荷0状態から、ある既知の重さのおもりをおもり台34a’に加え、同じ重さのおもりをおもり台34b’から減らす、あるいはその逆の操作を行うことによってFx,Fy,Fz,My,Mzを0に維持したまま、Mxのみを変化させて校正できる。図3の特性線31がこの状態を示している。原点oがおもり台34a,34bの双方に、それぞれ重さw/2のおもりが乗せられた負荷0状態を示し、点fが負荷0状態からおもり台34aのおもりをすべて取り去った状態、点gがおもり台34aから取り去ったおもりをおもり台34bに乗せた状態である。
【0028】
もちろん、おもり台34a,34bのおもりの増減をそれぞれ独立して調節することにより、Fz,Mxを任意の数値に複合して与えて校正することができる。
【0029】
軸力Fzを0の状態に維持して負荷することのできるMxの最大値(図3の点gにおけるトルクMxの値)は、前記負荷0状態から、おもり台34aからおもり台34bに(あるいはその逆に)移されるおもりの量、すなわち治具13等の重量に相当するおもりの量に制限される。したがって、Mxをそれより大きい値で校正する場合には、治具13に重心位置を変えないようにして余分の重量を付加して治具13等の見かけの重量を増加させ、この見かけの重量の1/2に相当する重さのおもり18’,18”をおもり台34a’,34b’にのせて負荷0状態を作り出せばよい。
【0030】
トルクMyを校正する場合は、一旦治具13を力/トルクセンサ4から取外し、力/トルクセンサ4を校正用ベース16から外して水平に90度回転させて校正用ベース16へ再び取付け、治具13を再度取付けて同様に校正を行えばよい。
【0031】
なお、図1に示す装置では、てこ17’,17”の軸線は荷重負荷軸13b,13cの軸線と平行になっているが、必ずしも平行でなくてある角度をなしていてもよい。例えばてこ17’,17”を、その軸線が荷重負荷軸13b,13cの軸線に直交するように配置してもよい。但しその場合、吊り材33a,33bの上部のナイフエッジの刃先線の方向を下部の刃先線の方向と平行でなく、てこ17’,17”の軸線に垂直な方向とするのが望ましい。
【0032】
また、支点と荷重点の距離を支点と負荷点の距離に等しく設定するのが望ましいが、かならずしも等距離でなくてもよい。
【0033】
図2は、本発明の第2の実施例を示す。本実施例と前記第1の実施例との相違点は、校正用ベース16の力/トルクセンサ4が固定される取付け面が鉛直面であること、荷重負荷軸13b,13cに形成されている断面三角形の溝状の切り込みの溝長手方向中心線が、円板13aの力/トルクセンサに対向する面に対して垂直であること、であり、他の構成は前記第1の実施例と同じである。
【0034】
図2は、X軸方向(あるいはY軸方向)の軸力Fx(あるいはFy)とZ軸方向の曲げモーメント(トルク)Mzの校正をしている状態を示す。前記第1の実施例の場合と全く同様に、治具13等の重量の半分に相当する重量をおもり台34a,34bそれぞれに乗せることで力/トルクセンサ4の負荷0状態を作り出すことができ、軸力Fx(あるいはFy)とZ軸方向の曲げモーメント(トルク)Mzの各成分を、0点近傍を含めて任意の値に負荷して校正できる。この図1と図2の状態での校正により、力/トルクセンサ4の6軸方向全ての負荷Fx,Fy,Fz,Mx,My,Mzに対して各成分ごとに、独立して(他の成分が0の状態で)校正できる。
【0035】
上記第1、第2の実施例においては、治具13に重力の方向と反対の方向におもり18’,18”の重量を負荷するために、てこ17’,17”を用いて力の方向を反転したが、てこの代わりに、支点19’,19”を回転中心とする滑車を設け、吊り材33a,b上部を前記滑車にかけた丈夫な線でおもり台34a,bの上部に連結して装置を構成してもよい。滑車を用いる場合は、回転軸の軸受に例えば気体軸受を用いる等の、摩擦を減らすための配慮をするのが望ましい。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、おもりを用いた力/トルクセンサの校正において、治具等の重量がセンサに加わるのを防いで、負荷ゼロの点の近傍の校正ができるため、宇宙用マニピュレータに用いる力/トルクセンサの如く、重力の全くない状態でのゼロ点近傍の正確な校正が必要な場合に良く対応できることとなる。又、各軸ともに独立して校正できるため、六軸もある力/トルクセンサにおいても、正確な校正表をすみやかに作成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の力/トルクセンサ校正装置の正面図である。
【図2】本発明の第2の実施例の力/トルクセンサ校正装置の正面図である。
【図3】図4に示す本発明の実施例を用いた場合の校正荷重負荷時の負荷状態特性を示す概念図である。
【図4】力/トルクセンサの取り付けられている宇宙用マニピュータの斜視図である。
【図5】宇宙用マニピュータで使う力/トルクセンサの例を示す斜視図である。
【図6】従来の力/トルクセンサ校正装置の例を示す正面図である。
【図7】従来の校正装置を用いた場合の校正荷重負荷時の負荷状態特性を示す概念図である。
【符号の説明】
1 基礎構体(宇宙マニピュータ用ベース)
2a〜2d 宇宙マニピュレータ用のアクチュエータ
3a,3b 宇宙マニピュータ用のブーム
4 力/トルクセンサ
5 チャック
6 ワーク
7’,7” 弾性片
8 すき間
9 Fx,My,Fz検出用ひずみゲージ
10 Fx,Fy,Mz検出用ひずみゲージ
11 力/トルクセンサの駆動側締結端の環状体
12 力/トルクセンサの作業側締結端の環状体
13 力/トルクセンサ校正用の治具
13’,13” 台
13a 円板
13b,13c 荷重負荷軸
14 治具締結用ねじ
15,18 力/トルクセンサ校正用おもり
16 力/トルクセンサ校正用ベース
17’ 力/トルクセンサ校正用の第1のてこ
17” 力/トルクセンサ校正用の第2のてこ
19’,19” てこ支点
20’,20” てこ荷重点
21’,21” てこ負荷点
30a〜30d 従来型校正装置での負荷状態の例を示す特性線
31 本発明校正装置での負荷状態の例を示す特性線
32a 台板
32b,32c 支点座
33a,33b 吊り材
34a,34b おもり台
34a’,34b’ おもり受け
35 据付け面

Claims (6)

  1. 軸力と曲げ力のいずれか一方もしくは双方を検出する力/トルクセンサを取付け台に固定し、該力/トルクセンサに装着した治具を介して既知の荷重をおもりにより負荷して校正を行う力/トルクセンサ校正装置において、
    前記力/トルクセンサは、一対の環状体が軸部を中心にして軸方向に間隔をおいて配置され各環状体と前記軸部との間に放射状にセンサ本体を配設して形成され、
    前記治具は、前記環状体と同心に締結される円板と、該円板の中心を挟んで対称に、かつ据付状態で軸線が水平になるように前記円板の側面に突出させて固着された一対の荷重負荷軸とを有し、該荷重負荷軸の荷重作用点を前記力/トルクセンサの中心に対して対称の位置に設けて形成され、
    前記力/トルクセンサの軸力と曲げ力のいずれか一方もしくは双方の負荷0状態を作り出す荷重を、重力の方向と逆の方向にてこもしくは滑車を用いて前記荷重負荷軸の荷重作用点に加える補正荷重負荷手段を設けてなり、重力の影響を排除した状態での前記力トルクセンサの校正を可能にしたことを特徴とする力/トルクセンサ校正装置。
  2. 前記力/トルクセンサが、軸力として直交3軸成分、曲げ力を直交三軸成分の合計6軸成分を独立して検出する6軸センサであり、前記取付け台が、力/トルクセンサを固定したとき、前記直交3軸のうちの1軸が重力の方向と一致する取付け面と、他の1軸が重力の方向と一致する取付け面の少なくとも二つの取付け面を有してなることを特徴とする請求項1記載の力/トルクセンサ校正装置。
  3. 補正荷重負荷手段が、前記荷重負荷軸の荷重作用点に係合させた一対の吊り材と、一端に前記一対の吊り材のうちの一つを吊り下げ、他端に前記おもりをのせるおもり台を吊り下げ、中央部の支点で天秤状に支持された第1のてこと、一端に前記一対の吊り材のうちの他の一つを吊り下げ、他端に前記おもりをのせる他のおもり台を吊り下げ、中央部の支点で天秤状に支持された第2のてこと、前記第1、第2のてこを前記支点で支持する一対の支点座とを含んで構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の力/トルクセンサ校正装置。
  4. 軸力と曲げ力のいずれか一方もしくは双方を検出する力/トルクセンサを取付け台に固定し、該力/トルクセンサに装着した治具を介して既知の荷重をおもりにより負荷して校正を行う力/トルクセンサの校正方法において、
    前記力/トルクセンサを、一対の環状体が軸部を中心にして軸方向に間隔をおいて配置され各環状体と前記軸部との間に放射状にセンサ本体を配設して形成し、
    前記治具を、前記環状体と同心に締結される円板と、該円板の中心を挟んで対称に、かつ据付状態で軸線が水平になるように前記円板の側面に突出させて固着された一対の荷重負荷軸とを有し、該荷重負荷軸の荷重作用点を前記力/トルクセンサの中心に対して対称の位置に設けて形成し、
    前記力/トルクセンサの軸力と曲げ力のいずれか一方もしくは双方の負荷0状態を作り出す荷重を、重力の方向と逆の方向にてこもしくは滑車を用いて前記荷重負荷軸の荷重作用点に加える手順を含んでなり、重力の影響を排除した状態での前記力トルクセンサの校正を可能にしたことを特徴とする力/トルクセンサ校正方法。
  5. 前記力/トルクセンサの軸力と曲げ力のいずれか一方もしくは双方の負荷0状態を作り出した後、軸力の直交3軸成分、及び曲げ力の直交3軸成分を各独立に負荷して校正を行うことを特徴とする請求項4に記載の力/トルクセンサ校正方法。
  6. 力/トルクセンサが無重力状態で作業を行う作業用マニピュレータに用いられるものであり、校正を通常の重力状態である地上で行うことを特徴とする請求項4または5に記載の力/トルクセンサ校正方法。
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