JP2011242213A - 通電検査用プローブ - Google Patents

Abstract

【課題】第２方向における設置スペースの増大および機械的強度の低下を回避しつつ、より大きなオーバードライブ量を確保する通電検査用プローブを提供すること。
【解決手段】第１連結部１２０と第２連結部１３０と第１アーム部１４０と第２アーム部１５０とを備え、針先部１１０は、第１アーム部１４０または第１連結部１２０により支持され、第１アーム部１４０および第２アーム部１５０の少なくとも一方は、第１方向Ｘ１および第２方向Ｘ２により規定される平面内で曲げられて第１方向Ｘ１に沿って起伏を繰り返すバネ領域１７０を有している通電検査用プローブ１００。
【選択図】図３

Description

本発明は、被検査体の通電検査に用いられる通電検査用プローブに関する。

一般に、半導体集積回路のような被検査体の製造時には、被検査体が仕様書通りに製造されているか否かを検査する通電検査が行われる。

この種の通電検査は、被検査体の電極に個々に押圧される複数の接触子すなわちプローブを備えた、プローブカード、プローブブロック、プローブユニット等、電気的接続装置を用いて行われる。

従来、通電検査用のプローブとして、図１４に示すように、第１方向Ｘ１に間隔をおいて第２方向Ｘ２へ延びる第１アーム部５４０および第２アーム部５５０と、第１アーム部５４０および第２アーム部５５０をそれらの先端部側および基端部側においてそれぞれ連結する第１連結部５２０および第２連結部５３０と、第１連結部５２０の第１方向Ｘ１における一方側に続く針先部５１０とを備え、第２アーム部５５０の全体を弧状とされている通電検査用プローブ５００が知られている（例えば、特許文献１参照。）。

ところが、特許文献１に記載される従来の通電検査用プローブ５００は、第２アーム部５５０が湾曲しているに過ぎないから、第２アーム部５５０の実質的な長さを充分には確保できず、オーバードライブ量（被検査体が針先部５１０を押圧した際の第１方向Ｘ１における針先部５１０の変位量）を大きくして第１アーム部５４０および第２アーム部５５０を大きく弾性変形させようとすると、第１アーム部５４０および第２アーム部５５０の少なくとも一方において破断が生じるという問題があった。

特に、集積回路用のマイクロプローブの場合、第１アーム部５４０および第２アーム部５５０の断面積が著しく小さいため、第１アーム部５４０および第２アーム部５５０の機械的強度が弱く、その結果、オーバードライブ量を大きくして、第１アーム部５４０および第２アーム部５５０を大きく弾性変形させることが難しい。

さらに、オーバードライブ量を大きくすることができないと、第１方向Ｘ１における針先部５１０の高さ位置を高精度に一致させなければ、正確な検査をすることができない。

そこで、前述したオーバードライブ量の増大を目的として考案された発明として、特許文献２に記載された通電検査用プローブ６００が知られている。

この特許文献２に記載された通電検査用プローブ６００は、図１５に示すように、第１方向Ｘ１に間隔をおいて第２方向Ｘ２へ伸びる第１アーム部６４０および第２アーム部６５０と、第１アーム部６４０および第２アーム部６５０をそれらの先端部側および基端部側においてそれぞれ連結する第１連結部６２０および第２連結部６３０と、第１連結部６２０の第１方向Ｘ１における一方側に続く針先部６１０とを含み、第１アーム部６４０および第２アーム部６５０は、波状に湾曲形成されている。

ＷＯ２００４／１０２２０７号公報 特開２００６−１８９３７０号公報

ところが、従来の通電検査用プローブ６００は、図１５に示すように、第１アーム部６４０および第２アーム部６５０が、荷重作用方向（第１方向Ｘ１）とは異なる第２方向Ｘ２に沿って起伏を繰り返す波形状で形成されているため、針先部６１０への荷重作用時（被検査体と針先部６１０との接触時）に、第１アーム部６４０および第２アーム部６５０が第１方向Ｘ１へのバネ性を発揮することはなかった。

そのため、従来の通電検査用プローブ６００は、第１アーム部６４０および第２アーム部６５０を波状に形成することにより、単に、第１アーム部６４０および第２アーム部６５０の実質的な寸法長さを大きくして、オーバードライブ量を稼いでいるに過ぎず、より大きなオーバードライブ量を必要とする場合には更なる工夫を要するという問題があった。

また、より大きなオーバードライブ量を確保しようとする場合、第２方向Ｘ２における第１アーム部６４０および第２アーム部６５０の長さを増大させることや、通電検査用プローブ６００全体の厚みを薄く形成することが考えられるが、その場合、第２方向Ｘ２における通電検査用プローブ６００の設置スペースの増大や、機械的強度の低下という他の問題が生じることになる。

そこで、本発明は、従来の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、第２方向における設置スペースの増大および機械的強度の低下を回避しつつ、より大きなオーバードライブ量を確保する通電検査用プローブを提供することである。

本発明の通電検査用プローブは、プローブ基端側で片持ち梁状に支持され、プローブ先端側に設けられた針先部を被検査体の電極に接触させて被検査体の通電検査を行う通電検査用プローブであって、前記針先部と被検査体とが相対的に接近する第１方向に関して相互に間隔をおいて配置される第１アーム部および第２アーム部と、前記第１方向に直交する第２方向に関して相互に間隔をおいて配置され、前記第１アーム部および前記第２アーム部をプローブ先端側およびプローブ基端側でそれぞれ連結する第１連結部および第２連結部とを備え、前記針先部は、前記第１アーム部または前記第１連結部により支持され、前記第１アーム部および前記第２アーム部の少なくとも一方は、前記第１方向および第２方向により規定される平面内で曲げられて前記第１方向に沿って起伏を繰り返すバネ領域を有していることにより、前述した課題を解決したものである。

なお、本発明の通電検査用プローブで意味するところの「第１方向に沿って起伏を繰り返すバネ領域」とは、起伏を１セットとして見た場合に起伏のセットを１つ以上有しているものを意味し、また、その起伏が規則的に繰り返されるバネ領域、その起伏がランダムに繰り返されるバネ領域のいずれをも含むものであり、その具体的形状は、第１方向を上下方向とした場合にＳ字状または逆Ｓ字状を呈するものや、波状に形成されたもの等の如何なるものであってもよい。

本発明の通電検査用プローブは、第１アーム部および第２アーム部の少なくとも一方が、荷重作用方向（第１方向）に沿って起伏を繰り返すバネ領域を有していることにより、当該アーム部の実質的な長さ寸法を大きく確保するとともに、針先部への荷重作用時（被検査体と針先部との接触時）に当該アーム部に形成された各アーム曲げ部が弾性変形してバネ領域が良好なバネ性を発揮するため、オーバードライブ量を増大させて、被検査体の電極と針先部との間における接触信頼性を向上できる。

また、針先部への荷重作用時に、アーム曲げ部を弾性変形させて、アーム曲げ部の曲げ角度を変化させ易くなることにより、当該アーム部の第２連結部側の端部と第１連結部側の端部との間の直線距離（リンク長）を変化させ易くなるため、第１アーム部と第２アーム部と第１連結部と第２連結部の４つのリンクで構成される４節リンク機構のうち、１つまたは２つのリンク（第１アーム部および／または第２アーム部）のリンク長を変化させて、針先部の第１方向に対する傾斜角度を変化させ易くなる。

本発明の第１実施例である通電検査用プローブの仕様態様図である。 通電検査用プローブを示す斜視図である。 非荷重作用時における通電検査用プローブを示す平面図である。 荷重作用時における通電検査用プローブを示す平面図である。 非荷重作用時における通電検査用プローブのリンク機構を誇張して示す模式図である。 荷重作用時における通電検査用プローブのリンク機構を誇張して示す模式図である。 本発明の第１実施例の変形例である通電検査用プローブを示す平面図である。 本発明の第２実施例である通電検査用プローブを示す斜視図である。 非荷重作用時における通電検査用プローブを示す平面図である。 荷重作用時における通電検査用プローブを示す平面図である。 非荷重作用時における通電検査用プローブのリンク機構を誇張して示す模式図である。 荷重作用時における通電検査用プローブのリンク機構を誇張して示す模式図である。 本発明の第２実施例の変形例である通電検査用プローブを示す平面図である。 従来の通電検査用プローブを示す平面図である。 他の従来の通電検査用プローブを示す平面図である。

以下に、本発明の第１実施例である通電検査用プローブ１００を図面に基づいて説明する。

まず、本発明の第１実施例である通電検査用プローブ１００は、プローブ基端側で検査機器（図示しない）により片持ち梁状に支持され、プローブ先端側に設けられた針先部１１０を被検査体（図示しない）の電極（図示しない）に接触させて被検査体の通電検査を行うものである。

以下の説明においては、針先部１１０と被検査体とが相対的に接近または離間する方向を第１方向Ｘ１、第１方向Ｘ１に直交する方向を第２方向Ｘ２、第１方向Ｘ１および第２方向Ｘ２に直交する方向を第３方向Ｘ３と規定する。

通電検査用プローブ１００は、燐青銅から成形された平坦なブレードタイプのプローブであり、図１に示すように、検査機器の基板Ｂ上に、第３方向Ｘ３に所定間隔で並列状に複数配設されている。

通電検査用プローブ１００は、図２および図３に示すように、第１方向Ｘ１に延びる針先部１１０と、第１方向Ｘ１に延びて針先部１１０を支持するプローブ先端側の第１連結部１２０と、第２方向Ｘ２に関して第１連結部１２０との間に間隔をおいて配置され、第１方向Ｘ１に延びるプローブ基端側の第２連結部１３０と、被検査体側で第１連結部１２０と第２連結部１３０とを連結する第１アーム部１４０と、第１方向Ｘ１に関して第１アーム部１４０との間に間隔をおいて配置され、基板Ｂ側で第１連結部１２０と第２連結部１３０とを連結する第２アーム部１５０と、第２連結部１３０に連設されて基板Ｂにより保持される被保持部１６０とを一体に備えている。

第１アーム部１４０は、図２および図３に示すように、直線状に第２方向Ｘ２に延びている。

第１アーム部１４０の第１連結部１２０側の端部１４０ａと第２連結部１３０側の端部１４０ｂとは、図３に示すように、第１方向Ｘ１における高さが一致している。
なお、図３および図４に示す点線１４０ａ、１４０ｂは、第１アーム部１４０の端部を明確にするために仮想的に施したものである。

第２アーム部１５０は、図３に示すように、Ｕ字状に屈曲した第１アーム曲げ部１５１と、Ｕ字状に屈曲した第２アーム曲げ部１５２と、約１５０°の曲げ角度で屈曲する第３アーム曲げ部１５３と、約１５０°の曲げ角度で屈曲する第４アーム曲げ部１５４と、第２方向Ｘ２に延びて第１連結部１２０と第１アーム曲げ部１５１とを連結する直線状の第１アーム繋ぎ部１５５と、第２方向Ｘ２に延びて第１アーム曲げ部１５１と第２アーム曲げ部１５２とを連結する直線状の第２アーム繋ぎ部１５６と、第２方向Ｘ２に延びて第２アーム曲げ部１５２と第３アーム曲げ部１５３とを連結する直線状の第３アーム繋ぎ部１５７と、第２方向Ｘ２に対して約３０°の傾斜角度を有した状態で延びて第３アーム曲げ部１５３と第４アーム曲げ部１５４とを連結する直線状の第４アーム繋ぎ部１５８と、第２方向Ｘ２に延びて第４アーム曲げ部１５４と第２連結部１３０とを連結する直線状の第５アーム繋ぎ部１５９とを有している。

第１アーム曲げ部１５１は、図３に示すように、その内周面が第２方向Ｘ２側（第１連結部１２０側）を向いており、また、第２アーム曲げ部１５２は、その内周面が第２方向Ｘ２側（第２連結部１３０側）を向いている。

第２アーム部１５０の第１連結部１２０側の端部１５０ａと第２連結部１３０側の端部１５０ｂとは、図３に示すように、第１方向Ｘ１における高さが一致している。
なお、図３および図４に示す点線１５０ａ、１５０ｂは、第２アーム部１５０の端部を明確にするために仮想的に施したものである。

第２アーム部１５０の第１アーム曲げ部１５１と第２アーム曲げ部１５２と第１アーム繋ぎ部１５５と第２アーム繋ぎ部１５６と第３アーム繋ぎ部１５７とは、図３に示すように、第１方向Ｘ１を上下方向とした場合に、第１方向Ｘ１および第２方向Ｘ２により規定される平面内で曲げられて第１方向Ｘ１に沿って起伏を繰り返すＳ字状のバネ領域１７０を構成している。

そして、第２アーム部１５０の第１アーム繋ぎ部１５５と第２アーム繋ぎ部１５６と第３アーム繋ぎ部１５７とは、図３に示すように、第１方向Ｘ１に関して相互に重なり合っている。

第２アーム繋ぎ部１５６は、図３に示すように、第１アーム繋ぎ部１５５より基板Ｂ側に配置されているとともに、第３アーム繋ぎ部１５７は、第２アーム繋ぎ部１５６より基板Ｂ側に配置されている。

図５等に示すように、第１アーム部１４０の第１連結部１２０側の端部１４０ａと第２連結部１３０側の端部１４０ｂとの間の直線距離（以下、リンク長と称する）Ｄ１と、第２アーム部１５０の第１連結部１２０側の端部１５０ａと第２連結部１３０側の端部１５０ｂとの間のリンク長Ｄ２とは、ほぼ同じ長さに設定されている。

以下に、針先部１１０に荷重が作用した時（被検査体と針先部１１０との接触時、以下、荷重作用時と称する）における通電検査用プローブ１００の作用について、図４等に基づいて説明する。

第１アーム部１４０は、荷重作用時、図４に示すように、第２連結部１３０側の端部１４０ｂを固定端として、第１方向Ｘ１の基板Ｂ側に向けて撓む。

第２アーム部１５０は、荷重作用時、図４に示すように、第１アーム部１４０と同様に、第２連結部１３０側の端部１５０ｂを固定端として、第１方向Ｘ１の基板Ｂ側に向けて撓む。
同時に、第１アーム曲げ部１５１および第２アーム曲げ部１５２は、荷重作用時にその曲げ角度が小さくなる（閉じる）ように弾性変形する、換言すると、第１アーム曲げ部１５１は、第１アーム繋ぎ部１５５と第２アーム繋ぎ部１５６とが相互に接近するように、弾性変形し、また、第２アーム曲げ部１５２は、第２アーム繋ぎ部１５６と第３アーム繋ぎ部１５７とが相互に接近するように、弾性変形する。

そして、第１アーム部１４０と第２アーム部１５０とを比較した場合、第２アーム部１５０は、全体の撓みに加えて、第１アーム曲げ部１５１および第２アーム曲げ部１５２が、その曲げ角度が小さくなる（閉じる）ように弾性変形するため、非荷重作用時の第２アーム部１５０のリンク長Ｄ２と荷重作用時における第２アーム部１５０のリンク長Ｄ２’との間の差は、非荷重作用時の第１アーム部１４０のリンク長Ｄ１と荷重作用時における第１アーム部１４０のリンク長Ｄ２’との間の差よりも、大きくなる。

図５および図６に、非荷重作用時および荷重作用時における通電検査用プローブ１００
のリンク機構を模式的かつ誇張して示す。
図５に示すように、非荷重作用時には、非荷重作用時の第１アーム部１４０のリンク長Ｄ１と非荷重作用時の第２アーム部１５０のリンク長Ｄ２とは、同じ長さで設定されている。
そして、図６に示すように、荷重作用時には、前述したように、非荷重作用時の第２アーム部１５０のリンク長Ｄ２と荷重作用時における第２アーム部１５０のリンク長Ｄ２’との間の差は、非荷重作用時の第１アーム部１４０のリンク長Ｄ１と荷重作用時における第１アーム部１４０のリンク長Ｄ１’との間の差よりも大きくなる。
そのため、第１方向Ｘ１に対する第１連結部１２０の傾斜角度は、仮に第２アーム部１５０を第１アーム部１４０と同一形状のアーム部に置き換えた場合の第１連結部１２０’’の傾斜角度よりも大きくなる。

そして、第１方向Ｘ１に対する第１連結部１２０の傾斜角度が大きくなるため、スクラブ量（針先部１１０の第２方向Ｘ２への変位量）が大きくなる。
なお、このスクラブ量は、針先部１１０により被検査体の電極の表面酸化膜を擦り取るために、一定値以上を確保する必要があり、また、同時に、被検査体の電極の表面に形成されるスクラブ痕を小さくするとともに被検査体の電極の位置から針先部１１０が逸脱しないように、一定値以下に設定する必要がある。

なお、図６の符号Ｄ１’は、荷重作用時の第１アーム部１４０のリンク長を示している。
荷重作用時の第１アーム部１４０のリンク長Ｄ１’は、荷重作用時における第１アーム部１４０の撓みに起因して、非荷重作用時の第１アーム部１４０のリンク長Ｄ１より僅かに短くなる。
また、図６の符号Ｄ２’’は、第２アーム部１５０を第１アーム部１４０と同一形状のアーム部に置き換えた場合における第２アーム部１５０のリンク長を示している。

このようにして得られた本実施例の通電検査用プローブ１００は、第２アーム部１５０が、荷重作用方向（第１方向Ｘ１）に沿って起伏を繰り返すバネ領域１７０を有していることにより、第２アーム部１５０の実質的な長さ寸法を大きく確保するとともに、バネ領域１７０に対して第１方向Ｘ１に荷重が作用した際に、図４に示すように、第２方向Ｘ２に向けて開口する第１アーム曲げ部１５１および第２アーム曲げ部１５２の曲げ角度が小さくなる（閉じる）ようにバネ領域１７０が弾性変形して良好なバネ性を発揮するため、オーバードライブ量を増大させて、被検査体の電極と針先部１１０との間における接触信頼性を向上できる。

また、荷重作用時に、第１アーム曲げ部１５１および第２アーム曲げ部１５２を弾性変形させて、第１アーム曲げ部１５１および第２アーム曲げ部１５２の曲げ角度を変化させ易くなることにより、第２アーム部１５０の第２連結部１３０側の端部１５０ｂと第１連結部１２０側の端部１５０ａとの間のリンク長Ｄ２を変化させ易くなるため、第１アーム部１４０と第２アーム部１５０と第１連結部１２０と第２連結部１３０の４つのリンクで構成される４節リンク機構のうち、１つのリンク（第２アーム部１５０）のリンク長Ｄ２を変化させて、針先部１１０の第１方向Ｘ１に対する傾斜角度を変化させ、針先部１１０のスクラブ量（第２方向Ｘ２への針先部１１０の変位量）を調整し易くなる。

また、バネ領域１７０は、第１方向Ｘ１を上下方向とした場合にＳ字状を呈していることにより、バネ領域１７０に形成される曲げ部分が第１アーム曲げ部１５１および第２アーム曲げ部１５２の２箇所に限定されるため、第１方向Ｘ１における第２アーム部１５０の長さ寸法を最小に留めることができ、第１方向Ｘ１における通電検査用プローブ１００の小型化を実現できる。

上述した本発明の第１実施例である通電検査用プローブ１００では、第２アーム部１５０が、第１方向Ｘ１に沿って起伏を１回のみ繰り返すＳ字状のバネ領域１７０を有しているものとして説明した。
しかしながら、この起伏の回数や具体的態様は如何なるものであってもよく、例えば、
第１方向Ｘ１に沿って起伏を２回繰り返すバネ領域１７０Ａを有する第２アーム部１５０Ａを備えた通電検査用プローブ１００Ａが、本発明の第１実施例の変形例の一例として挙げられる。
なお、図７においては、第１実施例と少なくとも略同じ形状を呈する部材については、第１実施例と同じ符号を付している。

次に、本発明の第２実施例である通電検査用プローブ２００を図８乃至図１２に基づいて説明する。
ここで、第２実施例である通電検査用プローブ２００における第２アーム部２５０以外の構成は前述した内容と全く同じであるため、第１実施例の通電検査用プローブ１００に関する明細書、および、図１乃至図６に示す１００番台の符号を２００番台の符号に読み替えることによって、第２アーム部２５０以外の構成についてはその説明を省略する。

まず、第２実施例の第２アーム部２５０は、図９に示すように、Ｕ字状に屈曲した第１アーム曲げ部２５１と、Ｕ字状に屈曲した第２アーム曲げ部２５２と、第２方向Ｘ２に延びて第１連結部２２０と第１アーム曲げ部２５１とを連結する直線状の第１アーム繋ぎ部２５５と、第２方向Ｘ２に延びて第１アーム曲げ部２５１と第２アーム曲げ部２５２とを連結する直線状の第２アーム繋ぎ部２５６と、第２方向Ｘ２に延びて第２アーム曲げ部２５２と第２連結部２３０とを連結する直線状の第３アーム繋ぎ部２５７とを有している。

第１アーム曲げ部２５１は、図９に示すように、その内周面が第２方向Ｘ２側（第１連結部２２０側）を向いており、また、第２アーム曲げ部２５２は、その内周面が第２方向Ｘ２側（第２連結部２３０側）を向いている。

第２アーム部２５０の第１連結部２２０側の端部２５０ａは、図９に示すように、第２アーム部２５０の第２連結部２３０側の端部２５０ｂより、第１方向Ｘ１に関して基板Ｂ側に配置されている。
なお、図９および図１０に示す点線２５０ａ、２５０ｂは、第２アーム部２５０の端部を明確にするために仮想的に施したものである。
また、同様に、図９および図１０に示す点線２４０ａ、２４０ｂは、第１アーム部２４０の端部を明確にするために仮想的に施したものである。

第２アーム部２５０の第１アーム曲げ部２５１と第２アーム曲げ部２５２と第１アーム繋ぎ部２５５と第２アーム繋ぎ部２５６と第３アーム繋ぎ部２５７とは、図８および図９に示すように、第１方向Ｘ１を上下方向とした場合に、第１方向Ｘ１および第２方向Ｘ２により規定される平面内で曲げられて第１方向Ｘ１に沿って起伏を繰り返す逆Ｓ字状のバネ領域２７０を構成している。

そして、第２アーム部２５０の第１アーム繋ぎ部２５５と第２アーム繋ぎ部２５６と第３アーム繋ぎ部２５７とは、図９に示すように、第１方向Ｘ１に関して相互に重なり合っている。

第１アーム繋ぎ部２５５は、図９に示すように、第２アーム繋ぎ部２５６より基板Ｂ側に配置され、また、第２アーム繋ぎ部２５６は、第３アーム繋ぎ部２５７より基板Ｂ側に配置されている。

以下に、針先部２１０へ荷重が作用した時（被検査体と針先部２１０との接触時、以下、荷重作用時と称する）における通電検査用プローブ２００の作用について、図１０等に基づいて説明する。

第１アーム部２４０は、荷重作用時、図１０に示すように、第２連結部２３０側の端部２４０ｂを固定端として、第１方向Ｘ１の基板Ｂ側に向けて撓む。

第２アーム部２５０は、荷重作用時、図１０に示すように、第１アーム部２４０と同様に、第２連結部２３０側の端部２５０ｂを固定端として、第１方向Ｘ１の基板Ｂ側に向けて撓む。
同時に、第１アーム曲げ部２５１および第２アーム曲げ部２５２は、荷重作用時にその曲げ角度が大きくなる（開く）ように弾性変形する、換言すると、第１アーム曲げ部２５１は、第１アーム繋ぎ部２５５と第２アーム繋ぎ部２５６とが相互に離間するように、弾性変形し、また、第２アーム曲げ部２５２は、第２アーム繋ぎ部２５６と第３アーム繋ぎ部２５７とが相互に離間するように、弾性変形する。

図１１および図１２に、非荷重作用時および荷重作用時における通電検査用プローブ２００のリンク機構を模式的かつ誇張して示す。
図１０に示すように、荷重作用時には、第２アーム部２５０の第１アーム曲げ部２５１および第２アーム曲げ部２５２は、荷重作用時にその曲げ角度が大きくなる（開く）ように弾性変形する。
そのため、図１２に示すように、第１方向Ｘ１に対する第１連結部２２０の傾斜角度は、仮に第２アーム部２５０を第１アーム部２４０と同一形状のアーム部に置き換えた場合の第１連結部２２０’’の傾斜角度よりも小さくなる。

そして、第１方向Ｘ１に対する第１連結部２２０の傾斜角度が小さくなるため、スクラブ量（針先部２１０の第２方向Ｘ２への変位量）が小さくなる。
なお、このスクラブ量は、針先部２１０により被検査体の電極の表面酸化膜を擦り取るために、一定値以上を確保する必要があり、また、同時に、被検査体の電極の表面に形成されるスクラブ痕を小さくするとともに被検査体の電極の位置から針先部２１０が逸脱しないように、一定値以下に設定する必要がある。

なお、図１１の符号Ｄ１は、非荷重作用時の第１アーム部２４０のリンク長を示しており、図１２の符号Ｄ１’は、荷重作用時の第１アーム部２４０のリンク長を示している。
荷重作用時の第１アーム部２４０のリンク長Ｄ１’は、荷重作用時における第１アーム部２４０の撓みに起因して、非荷重作用時の第１アーム部２４０のリンク長Ｄ１より僅かに短くなる。
また、図１２の符号Ｄ２’は、荷重作用時の第２アーム部２５０のリンク長を示している。
また、図１２の符号Ｄ２’’は、第２アーム部２５０を第１アーム部２４０と同一形状のアーム部に置き換えた場合における第２アーム部２５０のリンク長を示している。

このようにして得られた本実施例の通電検査用プローブ２００は、第２アーム部２５０が、荷重作用方向（第１方向Ｘ１）に沿って起伏を繰り返すバネ領域２７０を有していることにより、第２アーム部２５０の実質的な長さ寸法を大きく確保するとともに、バネ領域２７０に対して第１方向Ｘ１に荷重が作用した際に、図１０に示すように、第２方向Ｘ２に向けて開口する第１アーム曲げ部２５１および第２アーム曲げ部２５２の曲げ角度が大きくなる（開く）ようにバネ領域２７０が弾性変形して良好なバネ性を発揮するため、オーバードライブ量を増大させて、被検査体の電極と針先部２１０との間における接触信頼性を向上できる。

また、荷重作用時に、第１アーム曲げ部２５１および第２アーム曲げ部２５２を弾性変形させて、第１アーム曲げ部２５１および第２アーム曲げ部２５２の曲げ角度を変化させ易くなることにより、第２アーム部２５０の第２連結部２３０側の端部２５０ｂと第１連結部２２０側の端部２５０ａとの間のリンク長Ｄ２を変化させ易くなるため、第１アーム部２４０と第２アーム部２５０と第１連結部２２０と第２連結部２３０の４つのリンクで構成される４節リンク機構のうち、１つのリンク（第２アーム部２５０）のリンク長Ｄ２を変化させて、針先部２１０の第１方向Ｘ１に対する傾斜角度を変化させ、針先部２１０のスクラブ量（第２方向Ｘ２への針先部２１０の変位量）を調整し易くなる。

また、バネ領域２７０が、第１方向Ｘ１を上下方向とした場合に逆Ｓ字状を呈していることにより、バネ領域２７０に形成される曲げ部分が第１アーム曲げ部２５１および第２アーム曲げ部２５２の２箇所に限定されるため、第１方向Ｘ１における第２アーム部２５０の長さ寸法を最小に留めることができ、第１方向Ｘ１における通電検査用プローブ２００の小型化を実現できる。

上述した本発明の第２実施例である通電検査用プローブ２００では、第２アーム部２５０が、第１方向Ｘ１に沿って起伏を１回のみ繰り返す逆Ｓ字状のバネ領域２７０を有しているものとして説明した。
しかしながら、この起伏の回数や具体的態様は如何なるものであってもよく、例えば、
第１方向Ｘ１に沿って起伏を２回繰り返すバネ領域２７０Ａを有する第２アーム部２５０Ａを備えた通電検査用プローブ２００Ａが、本発明の第２実施例の変形例の一例として挙げられる。
なお、図１３においては、第２実施例と少なくとも略同じ形状を呈する部材については、第２実施例と同じ符号を付している。

上記の実施例では、バネ領域が、第１方向を上下方向とした場合にＳ字状または逆Ｓ字状を呈しているものとして説明したが、このバネ領域は、第１方向に沿って起伏を繰り返すものであれば如何なるものであってもよく、例えば、第１方向に沿って起伏を繰り返す波状のものであっても何ら構わない。
また、本発明の通電検査用プローブで意味するところの「第１方向に沿って起伏を繰り返すバネ領域」とは、起伏を１セットとして見た場合に起伏のセットを１つ以上有しているものを意味し、また、その起伏が規則的に繰り返されるバネ領域、その起伏がランダムに繰り返されるバネ領域のいずれをも含むものである。

また、上記の実施例では、第２アーム部のみが、バネ領域を有しているものとして説明したが、第１アーム部のみ、または、第１アーム部および第２アーム部の両方がバネ領域を有しているものとして構成してもよい。

また、上記の実施例では、通電検査用プローブの素材が、燐青銅であるものとして説明したが、具体的な素材については如何なるものであってもよく、例えば、ニッケル・リン合金（Ｎｉ−Ｐ）、ニッケル・タングステン合金（Ｎｉ−Ｗ）、ロジウム（Ｒｈ）、ニッケル（Ｎｉ）、パラジウム・コバルト合金（Ｐｄ−Ｃｏ）、パラジウム・ニッケル・コバルト合金（Ｐｄ−Ｎｉ−Ｃｏ）などの高い靱性を有する導電性の金属材料が挙げられる。

また、通電検査用プローブは、導電性の金属材料で成形することなく、樹脂などの非導電性の材料で形成し、表面上に導電性のめっきを施しても何ら構わない。

また、上記の実施例では、同一の素材から成形され通電検査用プローブの各部分が一体に成形されているものとして説明したが、一部を他の部分とは異なる素材から成形してもよく、例えば、接触部のみをタングステン（Ｗ）、ロジウム（Ｒｈ）、コバルト（Ｃｏ）などの高い硬度の素材で成形しても何ら構わない。

また、針先部は、第１連結部により支持されているものとして説明したが、第１アーム部より支持されていても何ら構わない。

１００、 ２００ ・・・ 通電検査用プローブ
１１０、 ２１０ ・・・ 針先部
１２０、 ２２０ ・・・ 第１連結部
１３０、 ２３０ ・・・ 第２連結部
１４０、 ２４０ ・・・ 第１アーム部
１４０ａ、２４０ａ ・・・ 第１連結部側の端部
１４０ｂ、２４０ｂ ・・・ 第２連結部側の端部
１５０、 ２５０ ・・・ 第２アーム部
１５０ａ、２５０ａ ・・・ 第１連結部側の端部
１５０ｂ、２５０ｂ ・・・ 第２連結部側の端部
１５１、 ２５１ ・・・ 第１アーム曲げ部
１５２、 ２５２ ・・・ 第２アーム曲げ部
１５３ ・・・ 第３アーム曲げ部
１５４ ・・・ 第４アーム曲げ部
１５５、 ２５５ ・・・ 第１アーム繋ぎ部
１５６、 ２５６ ・・・ 第２アーム繋ぎ部
１５７、 ２５７ ・・・ 第３アーム繋ぎ部
１５８ ・・・ 第４アーム繋ぎ部
１５９ ・・・ 第５アーム繋ぎ部
１６０、 ２６０ ・・・ 被保持部
１７０、 ２７０ ・・・ バネ領域
Ｂ ・・・ 基板
Ｘ１ ・・・ 第１方向
Ｘ２ ・・・ 第２方向
Ｘ３ ・・・ 第３方向

Claims (3)

1. プローブ基端側で片持ち梁状に支持され、プローブ先端側に設けられた針先部を被検査体の電極に接触させて被検査体の通電検査を行う通電検査用プローブであって、
   前記針先部と被検査体とが相対的に接近する第１方向に関して相互に間隔をおいて配置される第１アーム部および第２アーム部と、前記第１方向に直交する第２方向に関して相互に間隔をおいて配置され、前記第１アーム部および前記第２アーム部をプローブ先端側およびプローブ基端側でそれぞれ連結する第１連結部および第２連結部とを備え、
   前記針先部は、前記第１アーム部または前記第１連結部により支持され、
   前記第１アーム部および前記第２アーム部の少なくとも一方は、前記第１方向および第２方向により規定される平面内で曲げられて前記第１方向に沿って起伏を繰り返すバネ領域を有していることを特徴とする通電検査用プローブ。
2. 前記バネ領域は、前記第１方向および第２方向により規定される平面内で曲がった２つ以上のアーム曲げ部と、前記第１方向に関して相互に重なり合う２つ以上の部分とを有していることを特徴とする請求項１に記載の通電検査用プローブ。
3. 前記バネ領域は、前記第１方向を上下方向とした場合にＳ字状または逆Ｓ字状を呈していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の通電検査用プローブ。

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