JP2001147239A - コンタクトプローブ装置 - Google Patents
コンタクトプローブ装置Info
- Publication number
- JP2001147239A JP2001147239A JP33154099A JP33154099A JP2001147239A JP 2001147239 A JP2001147239 A JP 2001147239A JP 33154099 A JP33154099 A JP 33154099A JP 33154099 A JP33154099 A JP 33154099A JP 2001147239 A JP2001147239 A JP 2001147239A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- elastically deformable
- elastic deformation
- portions
- probe device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
付部2と、プロービング対象体に接触するプローブ本体
7と、プローブ本体7が固定されるプローブ固定部6
と、取付部2に対するプローブ固定部6の上下動を許容
可能に取付部2およびプローブ固定部6を連結する連結
手段とを備えたコンタクトプローブ装置1において、連
結手段は、上下に並設されると共に各々の一端部に取付
部2を連結する板バネ8,8を有し上下方向に弾性変形
が可能な第1の弾性変形部3と、上下に並設されると共
に各々の一端部にプローブ固定部6を連結する板バネ
8,8を有し上下方向に弾性変形が可能な第2の弾性変
形部5と、第1および第2の弾性変形部3,5を案内方
向に直交する平面上において互いに平行配置可能に両弾
性変形部3,5における各板バネ8,8の他端部同士を
連結する連結部4とを備えいる。
Description
端部をプロービング対象体に接触させて所定の電気的検
査を実行するためのコンタクトプローブ装置に関するも
のである。
下、「プローブ装置」ともいう)として、図15に示す
プローブ装置61が従来から知られている。このプロー
ブ装置61は、可撓性を有する角棒状のアーム部62の
一端側にプローブ案内機構PM(図16参照)に取り付
けるための取付用孔63a,63bが形成されると共
に、他端側にプローブ本体64が形成され、全体として
導電性素材でL字状に一体成形されている。この場合、
取付用孔63a,63bを挿通させた取付用ボルト(図
示せず)をプローブ案内機構PMにボルト締めすること
によってプローブ装置61をプローブ案内機構PMに取
り付けた状態では、プローブ本体64の先端部64aと
プローブ案内機構PMとが電気的に相互に接続される。
ングの際には、まず、プローブ案内機構PMを駆動し
て、アーム部62をプロービング対象体Pに向けて下動
させ、図16の実線で示すように、プローブ本体64の
先端部64aをプロービング対象体Pの表面Pxに接触
させる。次に、アーム部62をさらに下動させると、同
図の一点鎖線で示すように、アーム部62が矢印Iの方
向(上向き方向)に弾性変形し、その弾性力によって先
端部64aが矢印Aの向き(下向き)でプロービング対
象体P側に付勢される。これにより、先端部64aとプ
ロービング対象体Pとの電気的接続が完全となる。な
お、同図では、プローブ装置61についての動作原理の
理解を容易にするために、一点鎖線で示すプローブ装置
61およびプロービング対象体Pについては、アーム部
62の取付用孔63a,63bを基準とした相対的な位
置に図示している。この後、プローブ案内機構PMがア
ーム部62およびプローブ本体64を介してプロービン
グ対象体Pに測定用電圧を印加することにより、所定の
電気的検査が実行される。
来から知られている。このプローブ装置71は、プロー
ブ案内機構PMに取り付けるための取付用孔63a,6
3bが形成された取付部72と、一端が取付部72に固
定された板バネ78,78を有する弾性変形部73と、
板バネ78,78の他端部がそれぞれ固定されると共に
下向きにプローブ本体77が形成された固定部76とを
備え、全体として導電性素材で一体成形されている。こ
の場合、両板バネ78,78は、各々の幅、厚みおよび
長さが互いに等しく形成されると共に上下方向に並設さ
れ、取付部72に対する固定部76の相対的上下動を許
容する。また、プローブ装置71をプローブ案内機構P
Mに取り付けた状態では、プローブ本体77の先端部7
7aとプローブ案内機構PMとが電気的に相互に接続さ
れる。
ングの際には、まず、プローブ案内機構PMを駆動して
取付部72をプロービング対象体Pに向けて下動させ、
図18の実線で示すように、プローブ本体77の先端部
77aをプロービング対象体Pの表面Pxに接触させ
る。次に、取付部72をさらに下動させると、同図の一
点鎖線で示すように、板バネ78,78が弾性変形し、
その弾性力によって先端部77aが同図に示す矢印Aの
向き(下向き)でプロービング対象体P側に付勢され
る。これにより、先端部77aとプロービング対象体P
との電気的接続が完全となる。なお、同図でも、一点鎖
線で示すプローブ装置71およびプロービング対象体P
については、取付部72の取付用孔63a,63bを基
準とした相対的な位置に図示している。この後、プロー
ブ案内機構PMが取付部72、弾性変形部73、固定部
76およびプローブ本体77を介してプロービング対象
体Pに測定用電圧を印加することにより、所定の電気的
検査が実行される。
ーブ装置61,71には、以下の問題点がある。すなわ
ち、従来のプローブ装置61では、プローブ本体64の
先端部64aがプロービング対象体Pの表面Pxに接触
した状態でアーム部62がさらに下動させられた際に、
先端部64aは、図16に示すように、取付用孔63
a,63bの位置を基準とすれば、取付用孔63bの近
傍を中心として矢印Jで示すように上向き円弧状の軌跡
で相対的に移動する。したがって、先端部64aは、接
触当初の位置からプロービング対象体Pの表面Pxを矢
印Kの方向(プローブ本体64の前方)に距離S11だ
け位置ずれする。このため、このプローブ装置61に
は、先端部64aの位置ずれに起因して、プロービング
対象体Pの表面Pxに大きな接触痕ができてしまうとい
う問題がある。
部77aがプロービング対象体Pの表面Pxに接触した
状態で取付部72がさらに下動させられた際に、固定部
76は、図18に示すように、取付用孔63a,63b
の位置を基準とすれば、矢印M1,M2で示すように、
取付用孔63bの近傍を中心とした上向き円弧状の軌跡
で相対的に移動する。これに伴い、プローブ本体77の
先端部77aが、矢印Mで示すように、固定部76と共
に上向き円弧状の軌跡で相対的に移動する。この結果、
先端部77aは、接触当初の位置からプロービング対象
体Pの表面Pxを矢印Nの方向(取付部72側)に距離
S12だけ位置ずれする。この場合、プローブ装置71
では、固定部76が2枚の板バネ78,78によって取
付部72に連結されているため、プローブ装置61とは
異なり、プローブ本体77は、接触時の姿勢を維持した
状態でプロービング対象体Pに対してほぼ上動する。し
たがって、このプローブ装置71では、先端部77aが
プロービング対象体Pの表面Pxを位置ずれする距離S
12がプローブ装置61における先端部64aが位置ず
れする距離S11よりも短くなる結果、プローブ装置6
1と比較して接触痕が小さくなる。しかし、プロービン
グ対象体Pのファインピッチ化が進む今日においては、
無視することのできない大きさの接触痕であり、この接
触痕が可能な限り小さいプローブ装置の登場が望まれて
いる。
ものであり、プロービング時の接触痕を極力小さくする
ことが可能なコンタクトプローブ装置を提供することを
主目的とする。
求項1記載のコンタクトプローブ装置は、プローブ案内
機構に取り付けるための取付部と、プローブ案内機構の
案内に従ってプロービング対象体に先端部が接触するプ
ローブ本体と、プローブ本体が固定されるプローブ固定
部と、取付部に対するプローブ固定部の相対的な上下動
を許容可能に取付部およびプローブ固定部を相互に連結
する連結手段とを備えているコンタクトプローブ装置に
おいて、連結手段は、上下に並設されると共に各々の一
端部に取付部をそれぞれ連結する2つの板バネを有し上
下方向に弾性変形が可能な第1の弾性変形部と、上下に
並設されると共に各々の一端部にプローブ固定部をそれ
ぞれ連結する2つの板バネを有し上下方向に弾性変形が
可能な第2の弾性変形部と、第1の弾性変形部および第
2の弾性変形部をプローブ案内機構の案内方向に直交す
る平面上において互いに平行配置可能に両弾性変形部に
おける各板バネの他端部同士を連結する連結部とを備え
て構成されていることを特徴とする。
は、請求項1記載のコンタクトプローブ装置において、
上下に並設されると共に各々の一端部にプローブ案内機
構に取り付けるための取付部をそれぞれ連結する2つの
板バネを有し上下方向に弾性変形が可能な第3の弾性変
形部をさらに備え、連結部は、第1および第3の弾性変
形部の間に第2の弾性変形部を挟んだ状態で第1、第2
および第3の弾性変形部を案内方向に直交する平面上に
おいて互いに平行配置可能に第3の弾性変形部における
各板バネの他端部を連結することを特徴とする。
は、請求項2記載のコンタクトプローブ装置において、
連結手段は、第1および第3の弾性変形部の弾性変形に
基づくプローブ本体における先端部の案内方向に直交す
る平面上の移動量と、第2の弾性変形部の弾性変形に基
づく先端部の案内方向に直交する平面上の移動量とが相
殺可能に構成されていることを特徴とする。
は、請求項2または3記載のコンタクトプローブ装置に
おいて、第2の弾性変形部の両板バネは、上面視におけ
る他端部が一端部よりも幅広に形成されていることを特
徴とする。
は、請求項2から4のいずれかに記載のコンタクトプロ
ーブ装置において、第1および第3の弾性変形部の各板
バネは、上面視における一端部が他端部よりも幅広に形
成されていることを特徴とする。
明に係るコンタクトプローブ装置の好適な実施の形態に
ついて説明する。
図1,2を参照して説明する。
ローブ案内機構PM(図4参照)に取り付けるための取
付部2と、本発明におけるプローブ固定部に相当する固
定部6と、一端部に取付部2をそれぞれ連結する板バネ
8,8が上下方向に並設された弾性変形部3と、一端部
に固定部6をそれぞれ連結する板バネ8,8が上下方向
に並設された弾性変形部5と、弾性変形部3,5の各板
バネ8,8,8,8の各他端部を連結することによって
プローブ案内機構PMの案内方向に直交する水平面にお
いて両弾性変形部3,5を互いに平行配置する連結部4
と、固定部6に下向きに固定されたプローブ本体7とを
備えて構成され、全体として導電性素材でコ字状に一体
形成されている。この場合、弾性変形部3,5および固
定部6が本発明における連結手段を構成する。また、図
2に示すように、取付部2、弾性変形部3,5、連結部
4および固定部6は、それぞれ所定形状に打ち抜いた基
材R1〜R4を積層して形成されている。また、プロー
ブ本体7は、同図(b)に示すように、固定部6を形成
する基材R4の下面に導電性接着剤で固着されている。
さらに、取付部2を形成する基材R1〜R4には、同図
(a)に示すように、プローブ案内機構PMに取り付け
るための取付用孔2a,2aが連通形成されている。
性変形部に相当し、板バネ8,8の弾性変形によって取
付部2に対する連結部4の相対的な上下動を許容する。
弾性変形部5は、本発明における第2の弾性変形部に相
当し、板バネ8,8の弾性変形によって連結部4に対す
る固定部6の相対的な上下動を許容する。したがって、
弾性変形部3,5および連結部4は、全体として、取付
部2に対する固定部6の相対的な上下動を許容する。こ
の場合、図1,2に示すように、4つの板バネ8,8・
・は、互いに同じ材質で、各々の幅W、長さLおよび厚
みTが等しくなるように形成されている。したがって、
両弾性変形部3,5は、所定押圧力に対する弾性変形の
比率としての弾性率が互いに等しくなるように形成され
ている。
置1の動作について、図3〜6を参照して説明する。
プローブ本体7の先端部7aをプロービング対象体Pの
上方に位置させる。次に、プローブ案内機構PMをさら
に駆動して、取付部2を下動させる。これにより、プロ
ーブ本体7が下動するため、図5の実線で示すように、
その先端部7aがプロービング対象体Pの表面Pxに接
触する。次いで、取付部2が同図の矢印Aの向き(下向
き)にさらに下動すると、図3に示すように、弾性変形
部3,5の板バネ8,8・・がそれぞれ弾性変形する。
これにより、先端部7aは、プロービング対象体Pの表
面Pxに付勢される。
性変形部5の板バネ8,8における固定部6側の端部
は、矢印B1,B2で示すように、連結部4側の端部を
中心とした上向き円弧状の軌軸で相対的に移動する。こ
れに伴い、固定部6は、矢印Bで示すように、上向き円
弧状の軌跡で相対的に移動する。この結果、連結部4の
位置を基準とすれば、固定部6は、矢印Cの方向(連結
部4側の方向)に距離S1bだけ移動する。なお、同図
では、プローブ装置1についての動作原理の理解を容易
にするために、一点鎖線で示す弾性変形部5および固定
部6については、連結部4を基準とした相対的な位置に
図示している。一方、弾性変形部3の板バネ8,8にお
ける連結部4側の端部は、図4(b)に示すように、矢
印D1,D2で示すように、取付部2側の端部を中心と
した上向き円弧状の軌軸で相対的に移動する。これに伴
い、連結部4は、矢印Dで示すように、上向き円弧状の
軌跡で移動する。この結果、取付部2の位置を基準とす
れば、連結部4は、矢印Eの方向(取付部2側の方向)
に距離S1aだけ移動させられる。なお、同図では、プ
ローブ装置1についての動作原理の理解を容易にするた
めに、一点鎖線で示す弾性変形部3および連結部4につ
いては、取付部2を基準とした相対的な位置に図示して
いる。
互いに等しく、かつ、取付部2によって弾性変形部3に
下向きに加わる押圧力と、固定部6によって弾性変形部
5に上向きに加わる押圧力が互いに等しいため、弾性変
形部3の弾性変形に基づく連結部4の水平面に対する移
動量S1aと、弾性変形部5の弾性変形に基づくプロー
ブ本体7の水平面に対する移動量S1bとが互いに等し
くなる。したがって、両移動量S1a,S1bが互いに
相殺されるため、固定部6は、図5に示すように、取付
部2に対し、水平面方向において相対的に移動すること
なく同じ位置を維持する。この結果、プローブ本体7の
先端部7aは、プロービング対象体P上で位置ずれする
ことなく点的接触状態を維持する。これは、プローブ本
体7の先端部7aがプローブ案内機構PMの案内方向に
対して実質的に直動することを意味する。この後、例え
ば、回路基板のパターン断線などを検査する場合、一方
のプローブ装置1におけるプローブ本体7の先端部7a
を介してプロービング対象体Pに電圧または電流を供給
し、かつ、他方のプローブ装置1におけるプローブ本体
7の先端部7aを介して電圧または電流を入力すること
により、その入力した電流または電圧に基づいて、パタ
ーン断線が検査可能となる。
ローブ本体7の先端部7aが、プローブ案内機構PMの
案内方向に対して直動するため、プロービング対象体P
の表面Pxに生じる接触痕を極めて小さくすることがで
きる。このため、プロービング対象体Pの美観や機能を
損なうことなくプロービングを行うことができる。一
方、このプローブ装置1では、先端部7aがプロービン
グ対象体Pの表面Pxに接触した状態の取付部2(つま
り、図6の実線で示す状態の取付部2)をさらに下動さ
せると、同図の一点鎖線で示すように、連結部4が矢印
Fの向きで回転するおそれがある。かかる場合には、連
結部4の回転に伴ってプローブ本体7が傾くため、プロ
ーブ本体7の先端部7aがプロービング対象体Pの表面
Px上を矢印Gの向き(取付部2から遠ざかる向き)で
距離S2だけ位置ずれし、これにより、表面Pxに極く
小さな線的接触痕ができてしまう。なお、同図では、連
結部4およびプローブ本体7の傾きや先端部7aの位置
ずれ量を実際の傾きおよび位置ずれ量よりも誇張して図
示している。
る接触痕を小さくするのが好ましく、以下に、この点を
改善した他の実施の形態に係るプローブ装置11につい
て説明する。
て、図7,8を参照して説明する。なお、プローブ装置
1と同一の構成要素については同一の符号を付して重複
した説明を省略する。
プローブ案内機構PMに取り付けるための取付部12,
12と、固定部6と、一端部に取付部12をそれぞれ連
結する板バネ18,18が上下方向に並設された弾性変
形部13,13と、弾性変形部5と、弾性変形部13,
13の各板バネ18,18,18,18の各他端部およ
び弾性変形部5の各板バネ8,8を連結することによっ
て弾性変形部13,13,5を水平面において互いに平
行配置する連結部14と、固定部6に下向きに取り付け
られたプローブ本体7とを備えて構成され、全体として
導電性素材でE字状に一体形成されている。また、この
プローブ装置11でも、プローブ装置1と同様にして、
それぞれ所定形状に打ち抜いた基材R1〜R4を積層し
て形成され、プローブ本体7が基材R4の下面に導電性
接着剤で固着されている。
第1および第3の弾性変形部に相当し、板バネ18,1
8の弾性変形によって取付部12に対する連結部14の
相対的な上下動を許容する。弾性変形部5は、弾性変形
部13,13の間に配設されると共に、板バネ8,8の
弾性変形によって連結部14に対する固定部6の相対的
な上下動を許容する。この場合、同図および図8に示す
ように、各板バネ18,18・・8,8は、例えば、互
いに同じ材質で、各々の長さLおよび厚みTがそれぞれ
等しく、かつ、板バネ18の幅W1が板バネ8の幅Wの
1/2となるように形成されている。したがって、両弾
性変形部13,13全体としての弾性率と弾性変形部5
の弾性率とが互いに等しくなるように形成されている。
置11の動作について、図9,10を参照して説明す
る。
で示すように、プローブ本体7の先端部7aがプロービ
ング対象体Pの表面Pxに接触した状態において、取付
部12がさらに下動すると、図9に示すように、弾性変
形部13,13,5における各板バネ18,18・・
8,8がそれぞれ弾性変形する。この際に、固定部6
は、プローブ装置1によるプロービングと同様にして、
連結部14が取付部12に対して矢印Eの向き(取付部
12側の向き)で距離S1aだけ移動し、固定部6が連
結部14に対して矢印Cの向き(連結部14側の向き)
で距離S1bだけ移動する。この場合にも、距離S1a
と距離S1bとが互いに等しくなる。したがって、両移
動量S1a,S1bが互いに相殺されるため、固定部6
は、取付部12に対して、相対的に移動することなく同
じ位置を維持する。この結果、プローブ本体7の先端部
7aは、プロービング対象体P上で位置ずれすることな
く点的接触状態を維持する。これは、プローブ本体7の
先端部7aがプローブ案内機構PMの案内方向に対して
実質的に直動することを意味する。
機構PMによって取付部12,12が互いに等しい付勢
力でプロービング対象体P側に押圧される。したがっ
て、同図の一点鎖線で示すように、連結部14がプロー
ビング対象体Pの表面Pxに対して上下方向で平行移動
する。このため、連結部14の矢印G1,G2の向きへ
の回転、つまり連結部14の傾きが抑制される。この結
果、プローブ装置1とは異なり、プローブ本体7の傾き
が抑制される結果、プローブ本体7の先端部7aは、プ
ロービング対象体Pの表面Px上で位置ずれすることな
くプローブ案内機構PMの案内方向に直動させられて、
プロービング対象体Pの表面Pxに下向きに付勢され
る。
プローブ本体7の先端部7aがプローブ案内機構PMの
案内方向に対して確実に直動するため、プロービング対
象体Pの表面Px形成される接触痕が、さらに極小とな
る。このため、プロービング対象体Pの美観や機能を損
なうことなくプロービングを行うことができる。
に示した構成に限定されない。例えば、図11に示すプ
ローブ装置21のように、本発明における第2の弾性変
形部に相当する弾性変形部25における連結部24側の
端部の幅W11aを、固定部26側の端部の幅W11b
よりも幅広に形成することにより、プロービング時にお
けるプローブ本体27の矢印G1,G2の向きへの回
転、つまりプローブ本体27の傾きをより確実に防止す
ることができ、これにより先端部27aの左右方向への
位置ずれを有効に防止することができる。この場合、弾
性変形部25は、V字形の板バネ28,28が上下方向
に並設されて構成されている。また、本発明における第
1および第3の弾性変形部に相当する両弾性変形部3,
3全体としての弾性率と弾性変形部25の弾性率とが互
いに等しくなるように形成されている。このため、この
プローブ装置21でも、プローブ装置1,11と同様に
して、プロービング時におけるプローブ本体27の先端
部27aの矢印C,Eの向きへの移動が防止され、ひい
ては、先端部27aの前後方向への位置ずれが確実に防
止される。このように、このプローブ装置21では、プ
ローブ本体27における先端部27aの前後左右方向へ
の位置ずれが確実に防止されるため、接触痕を確実に小
さくすることができる。
うに、本発明における第1および第3の弾性変形部に相
当する弾性変形部33,33における取付部32側の端
部の幅W12aを連結部34側の端部の幅W12bより
も幅広に形成することもできる。この場合、弾性変形部
33は、V字形の板バネ38,38が上下方向に並設さ
れている。また、両弾性変形部3,3の各板バネ38,
38,38,38における上面の面積の和と、弾性変形
部25の両板バネ28,28における上面の面積の和と
が等しくなるように形成されている。したがって、両弾
性変形部3,3全体としての弾性率と、弾性変形部25
の弾性率とが互いに等しくなっている。このため、プロ
ーブ装置1,11,21と同様にして、プロービング時
におけるプローブ本体27の先端部27aの矢印C,E
の向きへの位置ずれが防止される。
変形部33,33の取付部32側の端部が幅広に形成さ
れているため、プロービング時において、両弾性変形部
33,33の傾きが防止されるため、連結部34が矢印
G1,G2のいずれかの向き(下向き)で傾くことなく
水平状態を維持される。この結果、プローブ本体27の
傾きをさらに確実に防止することができるため、その先
端部27aをさらに確実に点接触させることができる。
また、弾性変形部33,33,25に三角形状の切欠き
を形成することにより、プローブ本体27における先端
部27aの位置ずれを防止しつつ、プローブ装置31の
軽量化を図ることもできる。
素材製のプローブ本体7を固定部6に固着した例につい
て説明したが、プローブ本体の形状およびプローブ固定
部への固定方法はこれに限定されない。例えば、図13
に示すプローブ装置41のように、本発明における第2
の弾性変形部に相当する弾性変形部25に連結された固
定部46に嵌入用溝46aを形成し、ピン状のプローブ
本体47を嵌入用溝46aに嵌入することによって固定
してもよい。また、プローブ装置31,41における弾
性変形部33,33における取付部32側の端部や、弾
性変形部25における連結部34側の端部は必ずしも連
結されている必要はなく、例えば、図14に示すプロー
ブ装置51のように、弾性変形部33の端部に分離独立
した取付部52,52を連結したり、弾性変形部25の
端部に分離独立した連結部54,54を連結したりして
もよい。
状の板バネを上下方向に並設して弾性変形部を構成した
例について説明したが、長さ、幅および厚みのいずれか
1つ以上が互いに異なる板バネを上下に並設して弾性変
形部を構成してもよい。また、本発明の実施の形態で
は、本発明における第1および第3の弾性変形部全体と
しての弾性率と、本発明における第2の弾性変形部の弾
性率とが互いに等しくなるように構成した例について説
明したが、若干相違する場合であっても、従来のプロー
ブ装置71と比較して、プローブ本体における先端部の
位置ずれ量をより小さくすることができる。
トプローブ装置によれば、第1および第2の弾性変形部
と連結部とを備えて連結手段を構成したことにより、プ
ローブ本体の先端部がプローブ案内機構の案内方向に沿
って直動するため、プローブ本体による接触痕を極力小
さくすることができる。
装置によれば、第1および第3の弾性変形部の間に第2
の弾性変形部を挟んだ状態で第1〜第3の弾性変形部が
案内方向に直交する平面上において平行配置されるよう
に、連結部が各弾性変形部の各板バネを連結することに
より、プロービング時におけるプローブ本体の傾きを防
止することができるため、プロービング時におけるプロ
ーブ本体の先端部の位置ずれを確実に防止することがで
き、これにより、プロービング時におけるプロービング
対象体への接触痕を極限まで小さくすることができる。
ブ装置によれば、第1および第3の弾性変形部の弾性変
形に基づくプローブ本体における先端部の案内方向に直
交する平面上での移動量と、第2の弾性変形部の弾性変
形に基づく先端部の案内方向に直交する平面上での移動
量とを相殺可能に連結手段を構成したことにより、プロ
ーブ本体の先端部がプローブ案内機構の案内方向に沿っ
て直動するため、プロービング対象体に対してプローブ
本体の先端部を点接触させることができ、これにより、
プロービング時におけるプロービング対象体への接触痕
をより小さくすることができる。
装置によれば、第2の弾性変形部の両板バネの上面視に
おける他端部を一端部よりも幅広に形成したことによ
り、プロービング時におけるプローブ本体の傾きを確実
に防止することができ、これにより、プロービング時に
おけるプロービング対象体への接触痕を確実に小さくす
ることができる。
ブ装置によれば、第1および第3の弾性変形部の各板バ
ネの上面視における一端部を他端部よりも幅広に形成し
たことにより、プロービング時における連結部の傾きを
確実に防止することができる結果、プローブ本体の傾き
をさらに確実に防止することができ、これにより、プロ
ービング時におけるプロービング対象体への接触痕をよ
り確実に小さくすることができる。
観斜視図である。
は図1におけるY−Y線断面図である。
斜視図である。
ブ装置1の側面図、(b)は弾性変形部3の変形状態を
示すプローブ装置1の側面図である。
面図である。
面図である。
1の外観斜視図である。
観斜視図である。
の正面図である。
21の外観斜視図である。
31の外観斜視図である。
41の外観斜視図である。
ブ装置51の外観斜視図である。
説明図である。
説明図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 プローブ案内機構に取り付けるための取
付部と、前記プローブ案内機構の案内に従ってプロービ
ング対象体に先端部が接触するプローブ本体と、当該プ
ローブ本体が固定されるプローブ固定部と、前記取付部
に対する前記プローブ固定部の相対的な上下動を許容可
能に当該取付部および当該プローブ固定部を相互に連結
する連結手段とを備えているコンタクトプローブ装置に
おいて、 前記連結手段は、上下に並設されると共に各々の一端部
に前記取付部をそれぞれ連結する2つの板バネを有し上
下方向に弾性変形が可能な第1の弾性変形部と、上下に
並設されると共に各々の一端部に前記プローブ固定部を
それぞれ連結する2つの板バネを有し上下方向に弾性変
形が可能な第2の弾性変形部と、前記第1の弾性変形部
および前記第2の弾性変形部を前記プローブ案内機構の
案内方向に直交する平面上において互いに平行配置可能
に当該両弾性変形部における前記各板バネの他端部同士
を連結する連結部とを備えて構成されていることを特徴
とするコンタクトプローブ装置。 - 【請求項2】 上下に並設されると共に各々の一端部に
前記プローブ案内機構に取り付けるための取付部をそれ
ぞれ連結する2つの板バネを有し上下方向に弾性変形が
可能な第3の弾性変形部をさらに備え、前記連結部は、
前記第1および第3の弾性変形部の間に前記第2の弾性
変形部を挟んだ状態で当該第1、第2および第3の弾性
変形部を前記案内方向に直交する平面上において互いに
平行配置可能に前記第3の弾性変形部における前記各板
バネの他端部を連結することを特徴とする請求項1記載
のコンタクトプローブ装置。 - 【請求項3】 前記連結手段は、前記第1および第3の
弾性変形部の弾性変形に基づく前記プローブ本体におけ
る前記先端部の前記案内方向に直交する平面上の移動量
と、前記第2の弾性変形部の弾性変形に基づく前記先端
部の前記案内方向に直交する平面上の移動量とが相殺可
能に構成されていることを特徴とする請求項2記載のコ
ンタクトプローブ装置。 - 【請求項4】 前記第2の弾性変形部の前記両板バネ
は、上面視における前記他端部が前記一端部よりも幅広
に形成されていることを特徴とする請求項2または3記
載のコンタクトプローブ装置。 - 【請求項5】 前記第1および第3の弾性変形部の前記
各板バネは、上面視における前記一端部が前記他端部よ
りも幅広に形成されていることを特徴とする請求項2か
ら4のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33154099A JP4330736B2 (ja) | 1999-11-22 | 1999-11-22 | コンタクトプローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33154099A JP4330736B2 (ja) | 1999-11-22 | 1999-11-22 | コンタクトプローブ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001147239A true JP2001147239A (ja) | 2001-05-29 |
JP4330736B2 JP4330736B2 (ja) | 2009-09-16 |
Family
ID=18244813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33154099A Expired - Fee Related JP4330736B2 (ja) | 1999-11-22 | 1999-11-22 | コンタクトプローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4330736B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003057264A (ja) * | 2001-08-13 | 2003-02-26 | Micronics Japan Co Ltd | 接触子及びプローブカード |
WO2009042946A2 (en) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Formfactor, Inc. | Reduced scrub contact element |
WO2020217804A1 (ja) * | 2019-04-25 | 2020-10-29 | オムロン株式会社 | プローブピン、検査治具および検査ユニット |
-
1999
- 1999-11-22 JP JP33154099A patent/JP4330736B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003057264A (ja) * | 2001-08-13 | 2003-02-26 | Micronics Japan Co Ltd | 接触子及びプローブカード |
WO2009042946A2 (en) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Formfactor, Inc. | Reduced scrub contact element |
WO2009042946A3 (en) * | 2007-09-26 | 2009-05-14 | Formfactor Inc | Reduced scrub contact element |
WO2020217804A1 (ja) * | 2019-04-25 | 2020-10-29 | オムロン株式会社 | プローブピン、検査治具および検査ユニット |
JP2020180888A (ja) * | 2019-04-25 | 2020-11-05 | オムロン株式会社 | プローブピン、検査治具および検査ユニット |
KR20210129706A (ko) * | 2019-04-25 | 2021-10-28 | 오므론 가부시키가이샤 | 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛 |
JP7318297B2 (ja) | 2019-04-25 | 2023-08-01 | オムロン株式会社 | プローブピン、検査治具および検査ユニット |
KR102648231B1 (ko) | 2019-04-25 | 2024-03-18 | 오므론 가부시키가이샤 | 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4330736B2 (ja) | 2009-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100314874B1 (ko) | 프로브 장치 | |
JP3976276B2 (ja) | 検査装置 | |
KR102366546B1 (ko) | 전기적 접촉자 및 전기적 접속장치 | |
JP2007278859A5 (ja) | ||
JP4917017B2 (ja) | 通電試験用プローブ及びこれを用いた電気的接続装置 | |
KR100340466B1 (ko) | 프로브 장치 | |
JP2001147239A (ja) | コンタクトプローブ装置 | |
JPH1041026A (ja) | 基板用コネクタ | |
TWI390218B (zh) | Detection device and substrate inspection device | |
TW202043778A (zh) | 多銷構造探針體及探針卡 | |
JP3544036B2 (ja) | ベアチップテスト用ソケット | |
JP2000131340A (ja) | コンタクトプローブ装置 | |
JPH0719812B2 (ja) | 検査装置 | |
KR970703533A (ko) | 접촉 아일랜드와 도선경로를 가진 인쇄회로기판의 테스트 디바이스내의 정확한 위치 테스트 시스템 및 방법(process and system for testing the correct position of printed circuit boards having contact islands and conductor paths in a testing device) | |
JP2678875B2 (ja) | コネクタ検査用治具 | |
JP2004061194A (ja) | コンタクトプローブ装置 | |
JPH1164382A (ja) | プローブヘッド | |
JP2585597B2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
TWI420112B (zh) | Probe device | |
KR20210018086A (ko) | 전기적 접촉자 및 전기적 접속장치 | |
JP2020165773A (ja) | 電気的接触子及びプローブカード | |
JP2007278861A5 (ja) | ||
KR102182216B1 (ko) | 프로브 카드 | |
JPH1038924A (ja) | プローブカード | |
JP4008599B2 (ja) | コンタクトプローブ用固定具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081211 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090324 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090616 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090617 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4330736 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120626 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120626 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140626 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |