JP6988954B2

JP6988954B2 - プローブピン

Info

Publication number: JP6988954B2
Application number: JP2020107476A
Authority: JP
Inventors: 宏真寺西; 貴浩酒井
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2016-06-17
Filing date: 2020-06-23
Publication date: 2022-01-05
Anticipated expiration: 2036-06-17
Also published as: JP2020170008A

Description

本発明は、プローブピンに関する。

カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極、あるいは、実装された基板対基板コネクタ等の電極部と検査装置とを接続することにより行われる。

このようなプローブピンとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、長手方向に伸縮する弾性部と、この弾性部の長手方向の両端にそれぞれ設けられた１つの接点部とで構成されている。

特開２００８−５１６３９８号公報

しかし、前記プローブピンでは、検査対象物および検査装置と１つの接点部とで接触するため、例えば、検査対象物の端子が基板対基板コネクタの雌側のコネクタ等の凹接点である場合、プローブピンの接点部と検査対象物の凹接点とを安定して接続することができず、接触信頼性を確保できない場合がある。

そこで、本発明は、凹接点に安定して接続できるプローブピンを提供することを課題とする。

本発明のプローブピンは、
長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
前記弾性部の一端から前記長手方向に沿って延在しかつ互いに接近する方向に撓み可能な一対の脚部を有し、前記一対の脚部の先端に配置されかつ前記一対の脚部を介して前記弾性部により前記長手方向に沿った方向に付勢されかつ検査対象物の凹接点に接触可能な一対の接点部を有する第１接触部と、
前記弾性部により前記第１接触部の付勢方向とは反対方向に付勢され、前記第１接触部と電気的に接続された第２接触部と、
を備え、
前記一対の脚部の間に、隙間を有している。

本発明のプローブピンによれば、一対の脚部が凹接点に対して接近する方向に撓みつつ、一対の脚部の一対の接点部が凹接点に接触するので、凹接点に安定して接続できる。

本発明の一実施形態のプローブピンの使用状態を説明するための斜視図。図１のII−II線に沿った断面図。本発明の一実施形態のプローブピンの斜視図。図３のプローブピンの平面図。図３のプローブピンの雌コネクタの凹接点に接触する前の状態を示す断面図。図３のプローブピンの雌コネクタの凹接点に接触した状態を示す断面図。図３のプローブピンの第１の例を示す平面図。図３のプローブピンの第２の例を示す平面図。図８のプローブピンの雌コネクタの凹接点に接触した状態を示す断面図。図３のプローブピンの第３の例を示す平面図。図３のプローブピンの第４の例を示す斜視図。

以下、本発明の一実施形態を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

本発明の第１実施形態のプローブピン１０は、例えば、図１に示すように、検査装置の基板９０に取り付けられたソケット１に収納された状態で使用され、ソケット１と共に検査ユニットを構成している。このソケット１では、図２に示すように、複数対の収納部２が中心線ＣＬ０に対して対称に設けられており、この収納部２にプローブピン１０が収納されている。

各収納部２は、プローブピン１０を収納可能な溝部３と、溝部３の底面に設けられた貫通孔４とで構成されており、図１に示すように、ソケット１の中心線ＣＬ０に沿って等間隔で配置されている。

プローブピン１０は、図３に示すように、弾性部２０と、この弾性部２０の長手方向の両端に設けられた第１，第２接触部３０，４０とを備えている。このプローブピン１０は、薄板で導電性を有し、例えば電鋳法で一体に形成されている。

なお、以下の説明において、プローブピン１０の板面の幅方向をＸ方向、Ｘ方向に直交するプローブピン１０の板厚方向をＹ方向、ＸＹ方向に直交する弾性部２０の長手方向をＺ方向とする。

弾性部２０は、図４に示すように、Ｚ方向に沿って直線部２１と湾曲部２２とが交互に連続する蛇行形状を有し、Ｚ方向に沿って伸縮するようになっている。

直線部２１は、図４に示す無負荷状態では、Ｘ方向に対して平行になっている。湾曲部２２は、Ｘ方向の右側に位置する第１湾曲部２２１と、Ｘ方向の左側に位置する第２湾曲部２２２とを有し、隣接する第１湾曲部２２１の頂点同士を結ぶ接線としての直線Ｌ１と、隣接する第２湾曲部２２２の頂点同士を結ぶ接線としての直線Ｌ２とが、Ｘ方向に対して平行になっている。

また、弾性部２０の各直線部２１の幅方向の中間部と各湾曲部２２の幅方向の中間部には、板厚方向（Ｙ方向）に貫通しかつ蛇行形状に沿って延びる貫通孔２３が設けられている。これにより、弾性部２０のばね性を高めている。

第１接触部３０は、図４に示すように、弾性部２０のＺ方向の下端に連結された支持部３１と、この支持部３１からＺ方向の下側に延びて撓み可能な一対の脚部３２，３３と、検査対象物の凹接点に接触可能に一対の脚部３２，３３の先端に配置された一対の接点部３２１，３３１とを有している。この一対の接点部３２１，３３１は、連結部７０により連結されていると共に、一対の脚部３２，３３を介して、弾性部２０によりＺ方向の下側に向かって付勢可能である。

支持部３１は、Ｙ方向に沿った平面視において略矩形状を有し、ソケット１の収納部２にプローブピン１０を収納したときに、収納部２の溝部３に当接して、プローブピン１０を支持する。この支持部３１は、弾性部２０の長手方向に隣接する第２湾曲部２２２同士を結ぶ接線である直線Ｌ１と、弾性部２０の長手方向に隣接する第１湾曲部２２１同士を結ぶ接線である直線Ｌ２との間の最短距離である幅Ｗ１と略同じ幅Ｗ２を有している。

支持部３１のＸ方向の左側かつＺ方向の上側には、弾性部２０のＺ方向の下端が連結されている。また、支持部３１のＸ方向の左側かつＺ方向の下側には、一対の脚部３２，３３が連結されている。すなわち、弾性部２０のＺ方向に延びるＸ方向の中心線ＣＬ１と、一対の脚部３２，３３のＺ方向に伸びるＸ方向の中心線ＣＬ２とは、一致せず、互いにずれている。言い換えれば、弾性部２０のＺ方向に延びるＸ方向の中心線ＣＬ１から外れた支持部３１のＸ方向の一端部を介して、弾性部２０と一対の脚部３２，３３とが連結されている。

一対の脚部３２，３３の各々は、Ｚ方向に沿って延びており、Ｘ方向の中心線ＣＬ２に対して非対称に設けられている。この一対の脚部３２，３３の間には、互いに接近する方向に変形可能な隙間３４が設けられている。また、一対の脚部３２，３３は、脚連結部７１により連結されている。この脚連結部７１は、一対の脚部３２，３３と一対の接点部３２１，３３１との境界に設けられており、隙間３４をＺ方向に２分割している。一対の脚部３２，３３側（Ｚ方向上側）の隙間３４により、一対の脚部３２，３３の方向付けを調整できるので、例えば、一対の脚部３２，３３を凹接点に接触させるときの一対の接点部３２１，３３１と凹接点との間の位置ずれを調整できる。

また、一対の脚部３２，３３の各々は、一対の脚部３２，３３のＸ方向の中心線ＣＬ２に近づく方向に（すなわち、互いに接近する方向に）撓み可能になっている。すなわち、Ｘ方向左側の脚部３２は、Ｘ方向の右側に向かって、Ｘ方向右側の脚部３３は、Ｘ方向の左側に向かって、撓み可能である。言い換えれば、一対の脚部３２，３３が検査対象物の凹接点に挿入されるとき、一対の脚部３２，３３の先端の一対の接点部３２１，３３１の各々が、凹接点と接触しながら互いに接近する方向に摺動可能としている。

一対の脚部３２，３３の先端（Ｚ方向の下端）の一対の接点部３２１，３３１の各々には、凹接点に接触可能な湾曲面３５が設けられている。この一対の接点部３２１，３３１の湾曲面３５は、接点連結部７０を介して一体化されている。すなわち、接点連結部７０は、一対の接点部３２１，３３１の湾曲面３５と連続する湾曲面７２を有し、一対の脚部３２，３３を枠状に連結している。

また、一対の脚部３２，３３のＸ方向左側の接点部３２１のＸ方向右側の接点部３３１に向かい合う内面とは反対側の外面に、弾性部２０の付勢方向、すなわち、Ｚ方向の下側に向かうに従って互いに接近する平面または湾曲凹面の傾斜面３６が設けられている。

第２接触部４０は、弾性部２０のＺ方向の上端に連結された基部４１と、この基部４１からＺ方向の上側に突出した一対の突出部４２とを有し、第１接触部３０と電気的に接続されている。この第２接触部４０は、弾性部２０によりＺ方向の上側に向かって、すなわち、第１接触部３０の付勢方向とは反対方向に付勢される。

基部４１は、Ｙ方向に沿った平面視において略矩形状を有している。この基部４１のＸ方向の左側かつＺ方向の下側には、弾性部２０のＺ方向の上端が連結されている。

一対の突出部４２は、弾性部２０のＸ方向の中心線ＣＬ１に対して対称に設けられている。この一対の突出部４２の各々は、その先端（Ｚ方向の上端）が、Ｚ方向上側に突出するように湾曲しており、ソケット１に収納された状態で、検査装置の基板９０に設けられた端子９１（図２に示す）に接触するようになっている。

また、一対の突出部４２の各々には、板厚方向（Ｙ方向）に貫通した貫通孔４３が設けられている。これにより、各突出部４２が、基板９０の端子９１に接触したときに弾性変形して、その弾性力により端子９１を押圧するので、プローブピン１０と検査装置との間の接触信頼性を高めることができる。

なお、一対の突出部４２を基部４１の両端に設けることによって、プローブピン１０をソケット１に収納したときに、図２に示すように、Ｙ方向に隣接するプローブピン１０の突出部４２との間のピッチＰ１を小さくすることができる。また、突出部４２を一対とすることで、検査装置の基板９０に対する安定した接触が可能になる。

次に、図５，図６を参照して、２本のプローブピン１０をソケット１の一対の収納部２に収納した状態で、検査対象物８０の隣接した２つの凹接点８１に接触させる場合の動作について説明する。なお、凹接点８１は、検査対象物８０の凹部内の対向する面において、プローブピン１０の挿入方向（Ｚ方向）に対して交差する方向（Ｘ方向）に相互に対向する一対の接点部８２，８３を有している。そして、この一対の接点部８２，８３の間には、変形可能な隙間８４が設けられている。

図５に示すように、各プローブピン１０の一対の脚部３２，３３が、凹接点８１の一対の接点部８２，８３の間の隙間８４に位置した状態で、各プローブピン１０を検査対象物８０に向かって近づけていくと、一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１の各湾曲面３５の外面と凹接点８１の一対の接点部８２，８３とが接触する。

各プローブピン１０を検査対象物８０に向かってさらに近づけて、検査対象物８０の各凹接点８１の一対の接点部８２、８３の間の隙間８４に、各プローブピン１０の一対の脚部３２，３３を挿入していくと、図６に示すように、一対の脚部３２，３３が、凹接点８１の一対の接点部８２、８３を互いに離れる方向に押し広げる一方、押し広げられた凹接点８１の一対の接点部８２、８３が、一対の脚部３２，３３を互いに接近する方向に撓ませる。このとき、一対の脚部３２，３３は、その外面が凹接点８１の一対の接点部８２、８３と接触した状態で、滑りながら移動する。

一方、各プローブピン１０を検査対象物８０から離して、一対の脚部３２，３３を検査対象物８０の凹接点８１の隙間８４から抜去していくと、凹接点８１の一対の接点部８２，８３が互いに接近する方向に復帰すると共に、一対の脚部３２，３３が互いに離れる方向に復帰する。このとき、一対の脚部３２，３３は、その外面が凹接点８１の一対の接点部８２、８３と接触した状態で、滑りながら移動する。

このように、一実施形態のプローブピン１０では、プローブピン１０の検査対象物８０への挿抜時に、一対の脚部３２，３３が、凹接点８１の一対の接点部８２、８３と接触した状態で滑りながら、すなわち、ワイピングしながら移動する。このため、一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１の一対の外面上あるいは凹接点８１の一対の接点部８２，８３の表面上に異物が付着している場合であっても、一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１と凹接点８１の一対の接点部８２，８３との間のワイピングにより異物を擦り取るので、異物による導通不良を回避して、接触信頼性を確保できる。

また、一対の脚部３２，３３の各々が、互いに接近する方向に撓み可能になっており、この一対の脚部３２，３３の間に、互いに接近する方向に変形可能な隙間３４を有している。これにより、一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１が、凹接点８１の一対の接点部８２，８３に接触した状態で移動する距離を長くすることができ、ワイピング効果を高めることができる。

また、第１接触部３０が、一対の脚部３２，３３を連結する脚連結部７１を有している。脚連結部７１の位置を調整することにより、一対の脚部３２，３３の撓み量を調整できる。

また、第１接触部３０が、一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１を連結する接点連結部７０を有している。これにより、一対の接点部３２１，３３１が一体化されるので、一対の脚部３２，３３の検査対象物８０の凹接点８１の隙間８４への挿入が容易になる。

また、弾性部２０のＺ方向（長手方向）に延びる中心線ＣＬ１と、一対の脚部３２，３３のＺ方向に延びる中心線ＣＬ２とは、一致せず、互いにずれている。よって、２つのプローブピン１０をソケット１の一対の収納部２に収納するとき、中心線ＣＬ２が弾性部２０の中心線ＣＬ１と一致するように一対の脚部３２，３３を配置した状態に対して、２つのプローブピン１０の各支持部３１の互いに接近した側の端部に一対の脚部３２，３３を配置した状態では、検査対象物８０の隣接する２つの凹接点８１のピッチを狭くした狭ピッチに対応することができる。

また、一対の脚部３２，３３の先端の一対の接点部３２１，３３１に、湾曲面３５が設けられ、一対の脚部３２，３３の外面に、弾性部２０の付勢方向に向かうに従って互いに接近する平面または湾曲凹面の傾斜面３６が設けられている。これにより、検査対象物８０の凹接点８１の隙間８４に一対の脚部３２，３３をスムーズに案内することができる。

なお、プローブピン１０は、互いに接近する方向に撓み可能な一対の脚部３２，３３の一対の接点部３２１，３３１の間に、互いに接近する方向に変形可能な隙間３４を有していれば、安定した接触を確保し続けることができる。

例えば、一対の脚部３２，３３は、両方とも撓み可能な構成に限定されるものではなく、少なくとも一方が撓み可能であればよい。

また、一対の脚部３２，３３の湾曲面３５および傾斜面３６は、省略してもよいし、一対の脚部３２，３３のいずれか一方または両方に設けてもよい。また、湾曲面３５のみ設けてもよいし、傾斜面３６のみ設けてもよい。ただし、凹接点８１に対する、より安定した接触を確保するためには、湾曲面３５又は傾斜面３６を配置したほうがよい。

また、狭ピッチに対応する必要がない場合には、弾性部２０のＺ方向に伸びる中心線ＣＬ１と、一対の脚部３２，３３のＺ方向に伸びる中心線ＣＬ２とが一致するように、プローブピン１０を構成してもよい。

また、接点連結部７０は、湾曲面７２に代えて、例えば、図７に示すように、一対の接点部３２１，３３１の湾曲面３５に連続する傾斜面７３を有するように構成してもよい。なお、一対の脚部３２，３３の間の隙間３４は、分割する場合に限らず、図７に示すように、脚連結部７１を省略して一体にしてもよい。

また、接点連結部７０は、図８，図９に示すように、省略することができる。この場合、例えば、一対の接点部３２１，３３１の外面の各々に傾斜面３６を設けることで、一対の脚部３２，３３の検査対象物８０の凹接点８１の隙間８４への挿入が容易になる。

なお、一対の脚部３２，３３は、図８，図９に示すように、長手方向に延びる中心線ＣＬ２に対して対称に設けてもよいし、図１０に示すように、長手方向の長さが異なるように設けてもよい。

また、プローブピン１０は、弾性部２０および第１，第２接触部３０，４０を一体に形成する場合に限らない。例えば、図１１に示すように、第１，第２接触部１３０，１４０をそれぞれ別体に構成してもよい。

この場合、第１，第２接触部１３０，１４０の各々は、その一部が弾性体としてのコイルばね１２０の内部に位置し、板面が相互に直交するように連結されている。なお、図７では、第１接触部１３０の板面に沿った方向をＹ方向、第２接触部１４０の板面に沿った方向をＸ方向とし、Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向をＺ方向とする。

第１接触部１３０は、支持部３１からＺ方向の上側に延びると共に、コイルばね１２０の内部に配置される挿入部３７を有している。この挿入部３７には、板厚方向（Ｘ方向）に貫通しかつＺ方向に沿って延びる貫通孔３８が設けられている。

第２接触部１４０は、基部４１からＺ方向の下側に延びると共に、コイルばね１２０の内部に配置される一対の弾性片４４，４５を有している。この一対の弾性片４４，４５の間には、第１接触部１３０の板厚よりも大きい隙間が設けられている。一方の弾性片４４の先端には、第１接触部１３０の貫通孔３８に嵌合可能な突起４６が設けられている。この突起４６を貫通孔３８に嵌合することで、第１，第２接触部１３０，１４０が連結されている。また、他方の弾性片４５の先端には、第１，第２接触部１３０，１４０を連結したときに第１接触部１３０の挿入部３７の貫通孔３８と支持部３１との間の表面に接触する突起４７が設けられている。

なお、コイルばね１２０は、第１，第２接触部１３０，１４０を連結した状態では、その両端が第１接触部１３０の支持部３１と第２接触部の基部４１とで支持され、常時圧縮されるようになっている。

前記実施形態で述べた構成要素は、適宜、組み合わせてもよく、また、適宜、選択、置換、あるいは、削除してもよいことは、勿論である。

本発明のプローブピンは、
長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
前記弾性部の一端から前記長手方向に沿って延在しかつ互いに接近する方向に撓み可能な一対の脚部を有し、前記一対の脚部の先端に配置されかつ前記一対の脚部を介して前記弾性部により前記長手方向に沿った方向に付勢されかつ検査対象物の凹接点に接触可能な一対の接点部を有する第１接触部と、
前記弾性部の他端に配置されかつ前記弾性部により前記第１接触部の付勢方向とは反対方向に付勢されかつ前記第１接触部と電気的に接続された第２接触部と、
を備え、
前記一対の脚部の間に、隙間を有している。

本発明のプローブピンによれば、一対の脚部が凹接点に対して接近する方向に自在に撓みつつ、一対の接点部が凹接点に接触することにより、凹接点に安定して接続できる。また、一対の脚部の一対の接点部と凹接点と相互に接触した状態で滑りながら移動するので、ワイピング効果により、一対の脚部の一対の接触部および凹接点の表面に付着した異物による導通不良を回避できる。

一実施形態のプローブピンでは、
前記一対の脚部の前記一対の接点部を連結する接点連結部を有している。

前記実施形態によれば、一対の接点部が一体化されるので、一対の脚部の検査対象物の凹接点への挿入が容易になる。

一実施形態のプローブピンでは、
前記第１接触部が、前記一対の脚部と前記一対の接点部との境界に設けられ、前記一対の脚部を連結する脚連結部を有する、請求項１または２に記載のプローブピン。

前記実施形態によれば、脚連結部の位置を調整することにより、一対の脚部の撓み量を調整できる。

一実施形態のプローブピンでは、
前記一対の脚部の前記長手方向沿いの中心線と、前記弾性部の前記長手方向沿いの中心線とがずれている。

前記実施形態のプローブピンによれば、長手方向沿いの中心線が弾性部の長手方向沿いの中心線と一致するように一対の脚部を配置した状態に対して、長手方向沿いの中心線が弾性部の長手方向沿いの中心線と一致せず、互いにずれるように一対の脚部を配置した状態では、検査対象物の隣接する２つの凹接点のピッチを狭くした狭ピッチに対応することができる。

一実施形態のプローブピンでは、
前記第１接点部の前記一対の脚部の前記一対の接点部の各々が、湾曲面を有している。

前記実施形態のプローブピンによれば、一対の脚部を凹接点にスムーズに案内することができる。

一実施形態のプローブピンでは、
前記第１接触部の前記一対の脚部の前記一対の接点部の相互に向かい合う面とは反対側の面の少なくとも一方に、前記弾性部の付勢方向に向かうに従って互いに接近する傾斜面を有している。

本発明のプローブピンは、例えば、端子として雌コネクタを有する液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。

１ソケット
２収納部
３溝部
４貫通孔
１０プローブピン
２０弾性部
１２０コイルばね
２１直線部
２２湾曲部
２３貫通孔
２２１第１湾曲部
２２２第２湾曲部
３０，１３０第１接触部
３１支持部
３２，３３、１３２，１３３脚部
３２１，３３１接点部
３４隙間
３５湾曲面
３６傾斜面
３７挿入部
３８貫通孔
４０，１４０第２接触部
４１基部
４２突出部
４３貫通孔
４４，４５弾性片
４６，４７突起
７０接点連結部
７１脚連結部
７２湾曲面
７３傾斜面
８０検査対象物
８１凹接点
８２，８３接点部
８４隙間
９０基板
９１端子
ＣＬ０中心線（ソケット）
ＣＬ１中心線（弾性部）
ＣＬ２中心線（一対の脚部）
Ｌ１（第１湾曲部の頂点を結ぶ）直線
Ｌ２（第２湾曲部の頂点を結ぶ）直線
Ｗ１弾性部の幅
Ｗ２支持部の幅
Ｐ１（隣接プローブピンの突出部間の）ピッチ
Ｐ２（隣接するプローブピンの脚部間の）ピッチ

Claims

第１方向に沿って伸縮する弾性部と、
前記弾性部の前記第１方向の一端に配置された第１接触部と、
前記弾性部の前記第１方向の他端に配置された第２接触部と
を備える、板状のプローブピンであって、
前記弾性部が、
前記第１方向に交差する第２方向に沿って延びる複数の直線部と、
前記直線部における前記第２方向の一方の端部に接続された湾曲部と
を有し、
前記直線部および前記湾曲部が前記第１方向に沿って交互に連続して配置され、
前記第１接触部は、前記第１方向において前記第１接触部の最も近くに配置された前記直線部である第１直線部に対して、前記第２方向の一端側で接続され、
前記第２接触部は、前記第１方向において前記第２接触部の最も近くに配置された前記直線部である第２直線部に対して、前記第２方向において前記第１接触部と同一側で接続され、
前記直線部の幅方向の中間および前記湾曲部の幅方向の中間にはそれぞれ貫通孔が設けられ、前記貫通孔は前記直線部および前記湾曲部の各々を前記第１方向および前記第２方向に交差する板厚方向に貫通しかつ前記直線部および前記湾曲部の形状に沿って延びており、
前記プローブピンの板厚方向に沿って見た場合に、前記第１接触部の前記第２方向の前記一端側の外形線と、前記第１直線部の第２接触部側の外形線とが、前記湾曲部の径方向外側の外形線を介して接続されると共に、
前記貫通孔が、前記第１接触部に接続された前記湾曲部まで延びて、前記第１接触部の前記第２方向の前記一端側の外形線が、前記第１方向に延びている、プローブピン。
前記貫通孔が、
前記第１方向において前記第２接触部に最も近い前記直線部から、前記第１接触部に接続された前記湾曲部まで、前記直線部および前記湾曲部の形状に沿って延びている、請求項１のプローブピン。
少なくとも一対の請求項１または２のいずれか１つのプローブピンと、
少なくとも一対の前記プローブピンを収容可能なソケットと
を備え、
少なくとも一対の前記プローブピンは、相互に間隔を空けかつ前記第１接触部が隣接した状態で前記ソケットに収容され、
前記ソケットは、少なくとも一対の前記プローブピンの間を通る仮想平面に対して対称に設けられている、検査ユニット。