WO2015194385A1 - プローブピン - Google Patents

Abstract

　挟ピッチで配置でき、集積密度の高いプローブピンを提供する。このため、コイルバネ１０と、前記コイルバネ１０の一端側から挿入し、一端部を露出する第１プランジャ２０と、前記コイルバネ１０の他端側から挿入し、一端部を前記第１プランジャ２０に接触するとともに、他端部を露出する第２プランジャ３０と、からなるプローブピンである。特に、前記第２プランジャ３０の他端部から延在した少なくとも１本の弾性腕部３５の先端に、軸心方向の押圧力によって前記軸心方向に交差する方向に変位できる接触部３７を、設けた。

Description

プローブピン

　本発明はプローブピン、特に、ワイピング機能を備えたプローブピンに関する。

　従来、ワイピング機能を備えたプローブピンとしては、例えば、金属製の板材から形成された第１の部材であって、一方の端部から長手方向に一定の長さで延在する第１の開口が形成され、当該第１の開口によって弾性変形可能な一対の接点部が形成され、当該一対の接点部は少なくとも第１の距離で離間された第１の部分と第１の距離よりも大きな第２の距離で離間された第２の部分を含み、前記一対の接点部から前記一方の端部と対向する他方の端部へ向けて延在する延在部が形成された、前記第１の部材と、
金属製の板材から形成された第２の部材であって、前記第１の部材と係合する係合部が一方の端部に形成され、当該係合部から長手方向に一定の長さで延在する第２の開口が形成され、前記係合部は、前記第１の領域の第１の距離よりも大きい板厚の部分を含む、前記第２の部材と、
前記第１の部材と前記第２の部材とを離れる方向に付勢するバネ部材とを有し、
前記第１の部材の第１の開口内に前記第２の部材の前記係合部が位置し、前記第２の部材の第２の開口内に前記第１の部材の延在部の少なくとも一部が位置するように第１の部材と第２の部材とが交差し、
前記第１の部材が前記第２の部材に接近する方向に移動したとき、前記係合部が前記一対の接点部の第２の領域から第１の領域へ移動し、前記一対の接点部が開かれる、プローブピンが開示されている（特許文献１参照）。
　そして、前記プローブピンは、その図８，１０，１４に示すように、接点拡大部３２０の摺動に伴って一対の接点部２２０ａ，２２０ｂが開くことにより、ワイピング機能を確保している。

特開２００９－１２８２１１号公報

　しかしながら、前記接点拡大部３２０は外方に開くので、挟ピッチでプローブピンを配置できず、集積密度の高いプローブピンが得られないという問題点がある。
　本発明は、前記問題点に鑑み、挟ピッチで配置でき、集積密度の高いプローブピンを提供することを課題とする。

　本発明に係るプローブピンは、前記課題を解決すべく、コイルバネと、
　前記コイルバネの一端側から挿入し、一端部を露出する第１プランジャと、
　前記コイルバネの他端側から挿入し、一端部を前記第１プランジャに接触するとともに、他端部を露出する第２プランジャと、からなるプローブピンであって、
　前記第２プランジャの他端部から延在した少なくとも１本の弾性腕部の先端に、軸心方向の押圧力によって前記軸心方向に交差する方向に変位できる接触部を、設けた構成としてある。

　本発明によれば、前記接触部が変位してワイピング動作を行うことにより、被試験体との接触不良を防止でき、プローブピンの寿命を延ばすことができる。

　本発明の他の実施形態としては、前記弾性腕部の基部に位置する支点と軸心との間に、作用点として接触部を配置しておいてもよい。
　本実施形態によれば、作用点に位置する接触部が軸心側に変位し、挟ピッチでワイピング動作を行うプローブピンが得られる。

　本発明の実施形態としては、前記第２プランジャの他端部から延在した少なくとも１本の前記弾性腕部の先端に、前記軸心方向の押圧力によって軸心側に変位する接触部を、設けておいてもよい。
　本実施形態によれば、前記接触部が軸心側に変位するので、挟ピッチでワイピング動作を行うプローブピンが得られる。

　本発明の別の実施形態としては、前記弾性腕部を左右対称に配置しておいてもよい。
　本実施形態によれば、左右から内側に向けて一対の接触部がワイピング動作を行うので、より好ましいワイピング動作を行うプローブピンが得られる。

　本発明の実施形態としては、前記弾性腕部と前記接触部との間に湾曲した接続部を設けておいてもよい。
　本実施形態によれば、前記接続部により支点と作用点との間の距離が長くなり、ワイピング量のより大きいプローブピンが得られる。

　本発明の他の実施形態としては、前記接触部はＶ字形状、波型形状、尖端形状であってもよい。
　これらの実施形態によれば、前記接触部がより効果的なワイピング動作を行うプローブピンが得られる。

　本発明の他の実施形態としては、前記接触部が円弧形状であってもよい。
　本実施形態によれば、接触部が弾性変形しやすく、被試験体の表面を忠実になぞりながらワイピング動作を行うプローブピンが得られる。

　本発明の別の実施形態としては、前記第２プランジャの片面縁部のうち、少なくとも前記弾性腕部から前記接触部に向かって段差部を形成しておいてもよい。
　本実施形態によれば、第２プランジャの表裏面が線対称にならないので、前記弾性腕部に捩じりモーメントが作用し、前記接触部が回転しながらワイピング動作を行う。このため、より一層好ましいワイピング作用が得られる。

　本発明の実施形態としては、前記第２プランジャのうち、少なくとも前記弾性腕部から前記接触部までの断面積を台形形状としておいてもよい。
　本実施形態によれば、第２プランジャの表裏面が線対称にならないので、前記弾性腕部に捩じりモーメントが作用し、前記接触部が回転しながらワイピング動作を行う。このため、より一層好ましいワイピング作用が得られる。

　本発明の異なる実施形態としては、前記第２プランジャの他端部から蛇腹形状に延在する前記弾性腕部の先端に、前記接触部を有する接続部を設けることにより、前記軸心方向の押圧力によって前記軸心方向に交差する方向に前記接触部が変位する構成としてもよい。
　本実施形態によれば、前記蛇腹形状の弾性腕部の基部から前記接触部までの実質的な支点間距離が長くなるので、ワイピング量の大きいプローブピンが得られる。
　また、前記弾性腕部が弾性変形しやすいので、低接触圧でワイピング動作を行うプローブピンが得られる。

　本発明に係る実施形態としては、前記弾性腕部の少なくともいずれか一方の基部に、位置規制突起を設けておいてもよい。
　本実施形態によれば、前記位置規制突起が接続部の位置規制を行うことにより、前記弾性腕部の破損を防止できるプローブピンが得られる。

　本発明の異なる実施形態としては、前記第２プランジャの他端部から非対称に湾曲するように延在した前記弾性腕部の先端に、先端に前記接触部を有する接続部を設けることにより、前記軸心方向の押圧力によって前記軸心方向に交差する方向に前記接触部が変位する構成としてもよい。
　本実施形態によれば、非対称に湾曲した前記弾性腕部の基部から前記接触部までの実質的な支点間距離が長くなるので、ワイピング量の大きいプローブピンが得られる。
　また、前記弾性腕部が弾性変形しやすいので、低接触圧でワイピング動作を行うプローブピンが得られる。

　本発明に係る電子デバイスとしては、前述のプローブピンを用いた構成としてある。
　本発明によれば、前記接触部が変位することにより、ワイピング動作を行うことにより、被試験体との接触不良を防止でき、プローブピンの寿命を延ばすことができる。
　また、作用点に位置する接触部が、軸心方向の押圧力によって前記軸心方向に交差する方向、特に、軸心側に近づくように変位する。このため、プローブピンを挟ピッチで配置でき、プローブピンの集積密度の高い電子デバイスが得られるという効果がある。

図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは本発明に係るプローブピンの第１実施形態を示す正面図、右側面図、拡大平面図および拡大底面図である。 図Ａ，Ｂ，Ｃは図１で示した第１プランジャの斜視図、正面図および右側面図である。 図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは図１で示した第２プランジャの斜視図、正面図、部分拡大正面図および右側面図である。 図Ａ，Ｂおよび図Ｃは図１で示したプローブピンの組立前後を示す斜視図および縦断面図である。 図Ａ，Ｂは本発明に係るプローブピンの第２実施形態を示す斜視図および部分拡大図、図Ｃ，Ｄは本発明に係るプローブピンの第３実施形態を示す斜視図および部分拡大図、図Ｅ，Ｆは本発明に係るプローブピンの第４実施形態を示す斜視図および部分拡大図、図Ｇ，Ｈは本発明に係るプローブピンの第５実施形態を示す斜視図および部分拡大図である。 図Ａ，Ｂ，Ｃは本発明に係るプローブピンの第６実施形態を示し、その第２プランジャの斜視図、部分拡大側面図および部分拡大斜視図である。 図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは本発明に係るプローブピンの第７実施形態を示し、その第２プランジャの斜視図、部分拡大正面図、部分拡大側面図および部分拡大斜視図である。 図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは本発明に係るプローブピンの第８実施形態を示す正面図、右側面図、拡大平面図および拡大底面図である。 図Ａ，Ｂ，Ｃは図８で示した第１プランジャの斜視図、正面図および右側面図である。 図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは図８で示した第２プランジャの斜視図、正面図、部分拡大正面図および右側面図である。 図Ａ，Ｂおよび図Ｃは図８で示したプローブピンの組立前後を示す斜視図および縦断面図である。 図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは本発明に係るプローブピンの第９実施形態を示す正面図、右側面図、拡大平面図および拡大底面図である。 図Ａ，Ｂ，Ｃは図１２で示した第１プランジャの斜視図、正面図および右側面図である。 図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは図１２で示した第２プランジャの斜視図、正面図、部分拡大正面図および右側面図である。 図Ａ，Ｂおよび図Ｃは図１２で示したプローブピンの組立前後を示す斜視図および縦断面図である。 実施例１の解析結果を図示した図面である。 図Ａ，Ｂは実施例２に係るプローブピンの動作前後を示す写真である。 図Ａ，Ｂは実施例３に係るプローブピンの動作前後を示す写真である。 実施例４の解析結果を図示した図面である。 実施例５の解析結果を図示した図面である。

　本発明に係るプローブピンの実施形態を図１ないし図１５の添付図面に従って説明する。
　第１実施形態に係るプローブピンは、図１ないし図４に示すように、コイルバネ１０と、前記コイルバネ１０の一端部から挿入される第１プランジャ２０と、前記コイルバネ１０の他端部から挿入され、かつ、前記第１プランジャ２０を挟持して接触する第２プランジャ３０と、で構成されている。

　前記コイルバネ１０は、図１に示すように、外径寸法Ｄ１，内径寸法Ｄ２を有し、例えば、炭素鋼あるいはステンレス鋼で形成されている。そして、前記コイルバネ１０は、第１，第２プランジャ２０，３０を組み付けたときに圧縮され、そのバネ力で前記第１，第２プランジャ２０，３０を軸心方向に付勢できる長さ寸法を有している。

　第１プランジャ２０は、図２に示すように、巾寸法Ｗ１，厚さ寸法Ｔ１の長尺な導電性板状体からなる電鋳製であり、その中間部に巾寸法Ｗ２の巾広部２１有している。なお、第１プランジャ２０の巾寸法Ｗ１はコイルバネ１０の内径寸法Ｄ２よりも小さく、第１プランジャ２０の巾寸法Ｗ２はコイルバネ１０の外径寸法Ｄ１とほぼ同一寸法である。
　また、前記第１プランジャ２０は、その一端部に断面略Ｖ字形状の接触部２２を有する一方、その他端側に巾寸法Ｗ３、長さ寸法Ｌ１のガイド溝２３を長さ方向に沿って形成してある。

　第２プランジャ３０は、図３に示すように、巾寸法Ｗ４，厚さ寸法Ｔ２の長尺な導電性板状体からなる電鋳製であり、その中間部に巾寸法Ｗ５の巾広部３１を有している。なお、第２プランジャ３０の巾寸法Ｗ４はコイルバネ１０の内径寸法Ｄ２よりも小さく、第２プランジャ３０の巾寸法Ｗ５はコイルバネ１０の外径寸法Ｄ１とほぼ同一寸法である。また、第２プランジャ３０の厚さ寸法Ｔ２は、前記第１プランジャ２０のガイド溝２３の巾寸法Ｗ３よりも小さい。
　また、前記第２プランジャ３０は、その一端部から下方側に第１弾性脚部３２および第２弾性脚部３３を平行に延在し、巾寸法Ｗ６のスリット３４を形成している。なお、前記スリット３４の巾寸法Ｗ６は第１プランジャ２０の厚さ寸法Ｔ１と同等以上である。
　そして、前記第１弾性脚部３２は前記第２弾性脚部３３よりも距離Ｌ２だけ長いとともに、その内向面の下方縁部に可動接点部３２ａを設けてある一方、前記第２弾性脚部３３の内向面の下方縁部にガイド突起３３ａを設けてある。なお、前記距離Ｌ２は前記ガイド溝２３の長さ寸法Ｌ１と同等以上である。
　さらに、前記第２プランジャ３０は、その他端部から上方に一対の弾性腕部３５を線対称となるように突出している。前記弾性腕部３５の先端部には内側に屈曲した接続部３６が延在しており、その上端部が平坦な接触部３７となっている。
　したがって、第２プランジャ３０の軸心３０ａと弾性腕部３５の基部に位置する支点３５ａとの間に、作用点として接触部３７が位置する。

　そして、図４Ａに示すように、前記コイルバネ１０の一端部から第１プランジャ２０の他端部を挿入する一方、前記コイルバネ１０の他端部から第２プランジャ３０の第１，第２弾性脚部３２，３３を挿入する。これにより、第１弾性脚部３２に沿って第１プランジャ２０が変位し、第２弾性脚部３３のガイド突起３３ａがガイド溝２３内に嵌合する。このとき、第１弾性脚部３２の迫り出した距離Ｌ２は前記ガイド溝２３の長さ寸法Ｌ１と同等以上である。このため、前記第１弾性脚部３２の可動接点部３２ａが前記第１プランジャ２０に常時、接触しているとともに、第２弾性脚部３３のガイド突起３３ａが第１プランジャ２０のガイド溝２３に係合している。このため、第１，第２弾性脚部３２，３３が第１プランジャを挟持する構造となっている。
　また、第１プランジャ２０の巾広部２１および第２プランジャ３０の巾広部３１が前記コイルバネ１０の両端開口部にそれぞれ係合し、押し縮める構成となっている。このため、前記第１，第２プランジャ２０，３０は軸心方向に沿って外方にそれぞれ付勢されている。

　ついで、前記構成からなるプローブピンを被試験体に押し当て、軸心方向に押圧力を負荷すると、第２プランジャ３０のガイド突起３３ａが第２プランジャ３０のガイド溝２３内を移動するとともに、第２プランジャ３０の可動接点部３２ａが第１プランジャ２０上を摺動する。このとき、前記第２プランジャ３０の弾性腕部３５の基部を支点３５ａとして押圧力が作用し、水平方向の分力によって曲げモーメントが生じ、接続部３６の接触部３７が軸心３０ａ側、すなわち、内方に移動し、ワイピング動作を行う。これにより、被試験体に付着したゴミ等に基づく接触不良を回避でき、プローブピンの寿命を延ばすことができる。
　なお、前記弾性腕部３５は必ずしも一対である必要はなく、１本であってもよいことは勿論である。

　プローブピンは、図５Ａ，５Ｂに示すように、接触部３７の形状を略Ｖ字形状（第２実施形態）にしてもよく、図５Ｃ，５Ｄに示すように、接触部３７の形状を略波型形状（第３実施形態）としてもよい。
　また、図５Ｅ，５Ｆに示すように、接触部３７の形状を尖端形状（第４実施形態）としてもよく、図５Ｇ，５Ｈに示すように、滑らかな円弧形状（第５実施形態）としてもよい。
　他は前述の第１実施形態とほぼ同様であるので、同一部分については同一番号を付して説明を省略する。

　第６実施形態に係るプローブピンは、図６に示すように、前述の第１実施形態とほぼ同様であり、異なる点は第２プランジャ３０の片面縁部に沿って段差部３０ｂを形成した点である。
　本実施形態によれば、前記段差部３０ｂを形成することにより、前記弾性腕部３５，接続部３６，接触部３７の断面形状が表裏面において線対称とならない。このため、前記弾性腕部３５に軸心方向に押圧力が作用した場合に弾性腕部３５，接続部３６に捩じりモーメントが生じ、接触部３７が回転しながらワイピング作用を行うので、より好ましいワイピング効果が得られるという利点がある。
　他は前述の第１実施形態とほぼ同様であるので、同一部分については同一番号を付して説明を書略する。

　第７実施形態に係るプローブピンは、図７に示すように、前述の第１実施形態とほぼ同様であり、異なる点は弾性腕部３５、接続部３６および接触部３７の断面形状を略台形とした点である。
　本実施形態によれば、前記弾性腕部３５，接続部３６，接触部３７の断面形状が表裏面において線対称とならない。このため、前記弾性腕部３５に軸心方向に押圧力が作用した場合に弾性腕部３５，接続部３６に捩じりモーメントが作用し、接触部３７が回転しながらワイピング作用を行うので、より一層好ましいワイピング効果が得られる。
　他は前述の第１実施形態とほぼ同様であるので、同一部分については同一番号を付して説明を書略する。

　第８実施形態に係るプローブピンは、図８ないし図１１に示すように、前述の第１実施形態とほぼ同様であり、異なる点は１本の蛇腹形状の弾性腕部３５に、先端面に波型形状の接触部３７を設けた接続部３６を設けた点である。
　また、前記弾性腕部３５の両端基部に位置規制突起３８ａ，３８ｂを軸心方向に沿って突設してある。許容範囲以上の負荷が作用した場合に、第２プランジャ３０の破損を防止するためである。

　本実施形態によれば、前記接触部３７を被試験体に押し当てて押圧力を負荷すると、弾性腕部３５が撓み、接続部３６が図１０Ｂ，１０Ｃで示した矢印方向に変位し、前記接触部３７がワイピング作用を行う。
　また、本実施形態よれば、前記弾性腕部３５の支点間距離が長く、変位量が多いので、大きなワイピング量を確保できるととともに、低い接触圧力で所望のワイピング動作が得られるという利点がある。
　他は前述の第１実施形態と同様であるので、同一部分には同一番号を付して説明を省略する。
　なお、接触部３７の形状を前述の実施形態のように、例えば、略Ｖ字形状、尖端形状、円弧形状としてもよいことは勿論である。

　第９実施形態に係るプローブピンは、図１２ないし図１５に示すように、前述の第１実施形態とほぼ同様であり、異なる点は略Ｃ字形状に湾曲する１本の弾性腕部３５の先端に、縦長の接続部３６を一体に設け、その先端部を接触部３７とした点である。

　本実施形態によれば、前記接触部３７を被試験体に押し当てて押圧力を負荷すると、弾性腕部３５が撓むとともに、接続部３６が回動するので、接触部３７が図１４Ｂ，１４Ｃで示した矢印方向に変位し、前記接触部３７がワイピング動作を行う。
　また、本実施形態よれば、前記弾性腕部３５によって支点間距離が長く、変位量が多いとともに、前記接続部３６が回転する。このため、大きなワイピング量を確保できるととともに、低い接触圧力で所望のワイピング動作が得られるという利点がある。
　他は前述の第１実施形態と同様であるので、同一部分には同一番号を付して説明を省略する。
　なお、接触部３７の形状を前述の実施形態のように、例えば、略Ｖ字形状、波型形状、尖端形状、円弧形状としてもよいことは勿論である。

　本発明の第１実施形態に係るプローブピンの挙動を数値解析した。
　プローブピンを構成するコイルバネは外径０．５８ｍｍ、第１，第２プランジャは巾寸法Ｗ１，Ｗ４が０．３２ｍｍ、厚さ寸法Ｔ１，Ｔ２が０．１２ｍｍのものを使用した。そして、前記プローブピンの軸心方向に２１ｇの負荷を加えた場合の接触部の挙動を計算した。計算結果を図１６に図示する。

　図１６から明らかなように、接触部が軸心側、すなわち、内側に変位し、ワイピング動作を行うことが判った。

　本発明の第１実施形態に係るプローブピンを実施例１と同一の条件下で平坦面上に押し付け、接触部の動作前後を写真撮影した。撮影結果を図１７Ａ，１７Ｂに示す。

　図１７Ａ，１７Ｂから明らかなように、一対の接触部が軸心側、すなわち、内側に変位し、前述の実施例１と同様、ワイピング動作を行うことを確認できた。
　この結果、数値解析と実際の挙動実験とで接触部がワイピング動作を行うことを確認できた。

　本発明の第１実施形態に係るプローブピンの接触部を、直径０．２ｍｍのドーム状ボールハンダ上に押圧力２１ｇで押し付け、接触部の動作前後を写真撮影した。撮影結果を図１８Ａ，１８Ｂに示す。

　図１８Ａ，１８Ｂから明らかなように、一対の接触部が軸心側、すなわち、内側に変位し、球面上であってもワイピング動作を行うことを確認できた。

　本発明の第８実施形態に係るプローブピンの挙動を数値解析した。
　プローブピンを構成するコイルバネは外径０．５８ｍｍ、第１，第２プランジャは巾寸法Ｗ１，Ｗ４が０．３２ｍｍ、厚さ寸法Ｔ１，Ｔ２が０．１２ｍｍのものを使用した。そして、前記プローブピンの軸心方向に２１ｇの負荷を加えた場合の接触部の挙動を計算した。計算結果を図１９に図示する。

　図１９から明らかなように、接触部が変位し、ワイピング動作を行うことが判った。

　本発明に係る第９実施形態の挙動を数値解析した。
　プローブピンを構成するコイルバネは外径０．５８ｍｍ、第１，第２プランジャは巾寸法Ｗ１，Ｗ４が０．３２ｍｍ、厚さ寸法Ｔ１，Ｔ２が０．１２ｍｍのものを使用した。そして、前記プローブピンの軸心方向に２１ｇの負荷を加えた場合の接触部の挙動を計算した。計算結果を図２０に図示する。

　図２０から明らかなように、接触部が変位し、ワイピング動作を行うことが判った。

　本発明に係るプローブピンは、前述の実施形態のものに限らず、他の形状であってもよいことは勿論である。

　　１０　コイルバネ
　　２０　第１プランジャ
　　２１　巾広部
　　２２　接触部
　　２３　ガイド溝
　　３０　第２プランジャ
　　３０ａ　軸心
　　３０ｂ　段差部
　　３１　巾広部
　　３２　第１弾性脚部
　　３２ａ　可動接点部
　　３３　第２弾性脚部
　　３３ａ　ガイド突起
　　３４　スリット
　　３５　弾性腕部
　　３５ａ　支点
　　３６　接続部
　　３７　接触部
　　３８ａ，３８ｂ　位置規制突起

Claims (15)

1. 　コイルバネと、
   　前記コイルバネの一端側から挿入し、一端部を露出する第１プランジャと、
   　前記コイルバネの他端側から挿入し、一端部を前記第１プランジャに接触するとともに、他端部を露出する第２プランジャと、からなるプローブピンであって、
   　前記第２プランジャの他端部から延在した少なくとも１本の弾性腕部の先端に、軸心方向の押圧力によって前記軸心方向に交差する方向に変位できる接触部を、設けたことを特徴とするプローブピン。
2. 　前記弾性腕部の基部に位置する支点と軸心との間に、接触部を作用点として配置したことを特徴とする請求項１に記載のプローブピン。
3. 　前記第２プランジャの他端部から延在した少なくとも１本の前記弾性腕部の先端に、前記軸心方向の押圧力によって軸心側に変位する接触部を、設けたことを特徴とする請求項１または２に記載のプローブピン。
4. 　前記弾性腕部を左右対称に配置したことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のプローブピン。
5. 　前記弾性腕部と前記接触部との間に湾曲した接続部を設けたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のプローブピン。
6. 　前記接触部がＶ字形状であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のプローブピン。
7. 　前記接触部が波型形状であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載のプローブピン。
8. 　前記接触部が尖端形状であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載のプローブピン。
9. 　前記接触部が円弧形状であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載のプローブピン。
10. 　前記第２プランジャの片面縁部のうち、少なくとも前記弾性腕部から前記接触部に向かって段差部を形成したことを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項に記載のプローブピン。
11. 　前記第２プランジャのうち、少なくとも前記弾性腕部から前記接触部までの断面積を台形形状としたことを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１項に記載のプローブピン。
12. 　前記第２プランジャの他端部から蛇腹形状に延在する前記弾性腕部の先端に、前記接触部を有する接続部を設けることにより、前記軸心方向の押圧力によって前記軸心方向に交差する方向に前記接触部が変位することを特徴とする請求項１に記載のプローブピン。
13. 　前記弾性腕部の少なくともいずれか一方の基部に、位置規制突起を設けたことを特徴とする請求項１２に記載のプローブピン。
14. 　前記第２プランジャの他端部から非対称に湾曲するように延在した前記弾性腕部の先端に、先端に前記接触部を有する接続部を設けることにより、前記軸心方向の押圧力によって前記軸心方向に交差する方向に前記接触部が変位することを特徴とする請求項１に記載のプローブピン。
15. 　請求項１ないし請求項１４のいずれか１項に記載のプローブピンを備えたことを特徴とする電子デバイス。

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