KR101910123B1

KR101910123B1 - 프로브 핀

Info

Publication number: KR101910123B1
Application number: KR1020187002900A
Authority: KR
Inventors: 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2016-06-17
Filing date: 2017-03-14
Publication date: 2018-10-22
Also published as: JP2017223629A; CN113030533A; KR20190009277A; US20200158753A1; KR102099139B1; DE112017003011T5; CN113030533B; CN107850624A; JP6737002B2; CN107850624B; WO2017217042A1; KR20180016616A

Abstract

프로브 핀(10)이, 탄성부(20)와, 탄성부(20)의 일단부로부터 길이 방향을 따라서 연장되고, 또한 서로 접근하는 방향으로 휨 가능한 한 쌍의 다리부(32, 33)를 갖고, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 선단에 배치되고, 또한 한 쌍의 다리부(32, 33)를 통해서 탄성부(20)에 의해 길이 방향을 따른 방향으로 가압되고, 또한 검사 대상물의 오목 접점에 접촉 가능한 한 쌍의 접점부(321, 331)를 갖는 제1 접촉부(30)와, 탄성부(20)의 타단부에 배치되고, 또한 제1 접촉부(30)와 전기적으로 접속된 제2 접촉부(40)를 구비하고, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 사이에, 간극(34)을 갖고 있다.

Description

프로브 핀

본 발명은 프로브 핀에 관한 것이다.

카메라 또는 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로, 그 제조 공정에서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행하여진다. 이들 검사는, 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉 전극, 또는, 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행하여진다.

이러한 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 길이 방향으로 신축하는 탄성부와, 이 탄성부의 길이 방향의 양단에 각각 설치된 1개의 접점부로 구성되어 있다.

일본 특허 공개 제2008-516398호 공보

그러나, 상기 프로브 핀에서는, 검사 대상물 및 검사 장치와 1개의 접점부에서 접촉하기 때문에, 예를 들어 검사 대상물의 단자가 기판 대 기판 커넥터의 암형측의 커넥터 등의 오목 접점일 경우, 프로브 핀의 접점부와 검사 대상물의 오목 접점을 안정되게 접속할 수 없어, 접촉 신뢰성을 확보할 수 없는 경우가 있다.

그래서, 본 발명은, 오목 접점에 안정되게 접속할 수 있는 프로브 핀을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 일 형태 프로브 핀은,

길이 방향을 따라서 신축하는 탄성부와,

상기 탄성부의 일단부로부터 상기 길이 방향을 따라서 연장되고, 또한 서로 접근하는 방향으로 휨 가능한 한 쌍의 다리부를 갖고, 상기 한 쌍의 다리부의 선단에 배치되고, 또한 상기 한 쌍의 다리부를 통해서 상기 탄성부에 의해 상기 길이 방향을 따른 방향으로 가압되고, 또한 검사 대상물의 오목 접점에 접촉 가능한 한 쌍의 접점부를 갖는 제1 접촉부와,

상기 탄성부에 의해 상기 제1 접촉부의 가압 방향과는 반대 방향으로 가압되어, 상기 제1 접촉부와 전기적으로 접속된 제2 접촉부를

구비하고,

상기 한 쌍의 다리부의 사이에, 간극을 갖고 있다.

상기 형태의 프로브 핀에 의하면, 한 쌍의 다리부가 오목 접점에 대하여 접근하는 방향으로 휘면서, 한 쌍의 다리부의 한 쌍의 접점부가 오목 접점에 접촉하므로, 오목 접점에 안정되게 접속할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀의 사용 상태를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀의 사시도이다.
도 4는 도 3의 프로브 핀의 평면도이다.
도 5는 도 3의 프로브 핀의 암형 커넥터의 오목 접점에 접촉하기 전의 상태를 도시하는 단면도이다.
도 6은 도 3의 프로브 핀의 암형 커넥터의 오목 접점에 접촉한 상태를 도시하는 단면도이다.
도 7은 도 3의 프로브 핀의 제1 예를 나타내는 평면도이다.
도 8은 도 3의 프로브 핀의 제2 예를 나타내는 평면도이다.
도 9는 도 8의 프로브 핀의 암형 커넥터의 오목 접점에 접촉한 상태를 도시하는 단면도이다.
도 10은 도 3의 프로브 핀의 제3 예를 나타내는 평면도이다.
도 11은 도 3의 프로브 핀의 제4 예를 나타내는 사시도이다.

이하, 본 발명의 일 실시 형태를 첨부 도면을 따라서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라서 특정한 방향 또는 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「좌」, 「우」를 포함하는 용어)를 사용하는데, 그러한 용어의 사용은 도면을 참조한 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서이며, 그러한 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물, 또는 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것이 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하고 있지는 않다.

본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀(10)은, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 검사 장치의 기판(90)에 설치된 소켓(1)에 수납된 상태로 사용되며, 소켓(1)과 함께 검사 유닛을 구성하고 있다. 이 소켓(1)에서는, 도 2에 도시한 바와 같이, 복수 쌍의 수납부(2)가 중심선(CL0)에 대하여 대칭으로 설치되어 있고, 이 수납부(2)에 프로브 핀(10)이 수납되어 있다.

각 수납부(2)는, 프로브 핀(10)을 수납 가능한 홈부(3)와, 홈부(3)의 저면에 형성된 관통 구멍(4)으로 구성되어 있고, 도 1에 도시한 바와 같이, 소켓(1)의 중심선(CL0)을 따라 등간격으로 배치되어 있다.

프로브 핀(10)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 탄성부(20)와, 이 탄성부(20)의 길이 방향의 양단에 설치된 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)를 구비하고 있다. 이 프로브 핀(10)은, 박판으로 도전성을 갖고, 예를 들어 전주법으로 일체로 형성되어 있다.

또한, 이하의 설명에서, 프로브 핀(10)의 판면의 폭 방향을 X 방향으로 하고, X 방향에 직교하는 프로브 핀(10)의 판 두께 방향을 Y 방향으로 하고, XY 방향에 직교하는 탄성부(20)의 길이 방향을 Z 방향으로 한다.

탄성부(20)는, 도 4에 도시한 바와 같이, Z 방향을 따라서 직선부(21)와 만곡부(22)가 교대로 연속하는 사행 형상을 갖고, Z 방향을 따라서 신축하도록 되어 있다.

직선부(21)는, 도 4에 도시하는 무부하 상태에서는, X 방향에 대하여 평행하게 되어 있다. 만곡부(22)는, X 방향의 우측에 위치하는 제1 만곡부(221)와, X 방향의 좌측에 위치하는 제2 만곡부(222)를 갖고, 인접하는 제1 만곡부(221)의 정점끼리를 연결하는 접선으로서의 직선(L1)과, 인접하는 제2 만곡부(222)의 정점끼리를 연결하는 접선으로서의 직선(L2)이, X 방향에 대하여 평행하게 되어 있다.

또한, 탄성부(20)의 각 직선부(21)의 폭 방향의 중간부와 각 만곡부(22)의 폭 방향의 중간부에는, 판 두께 방향(Y 방향)으로 관통하고, 또한 사행 형상을 따라서 연장되는 관통 구멍(23)이 마련되어 있다. 이에 의해, 탄성부(20)의 스프링성을 높이고 있다.

제1 접촉부(30)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 탄성부(20)의 Z 방향의 하단에 연결된 지지부(31)와, 이 지지부(31)로부터 Z 방향의 하측으로 연장되어 휨 가능한 한 쌍의 다리부(32, 33)와, 검사 대상물의 오목 접점에 접촉 가능하게 한 쌍의 다리부(32, 33)의 선단에 배치된 한 쌍의 접점부(321, 331)를 갖고 있다. 이 한 쌍의 접점부(321, 331)는, 연결부(70)에 의해 연결되어 있음과 함께, 한 쌍의 다리부(32, 33)를 통해서, 탄성부(20)에 의해 Z 방향의 하측을 향해서 가압 가능하다.

지지부(31)는, Y 방향을 따른 평면에서 보아 대략 직사각 형상을 갖고, 소켓(1)의 수납부(2)에 프로브 핀(10)을 수납했을 때, 수납부(2)의 홈부(3)에 맞닿아, 프로브 핀(10)을 지지한다. 이 지지부(31)는, 탄성부(20)의 길이 방향으로 인접하는 제2 만곡부(222)끼리를 연결하는 접선인 직선(L1)과, 탄성부(20)의 길이 방향으로 인접하는 제1 만곡부(221)끼리를 연결하는 접선인 직선(L2)과의 사이의 최단 거리인 폭(W1)과 대략 동일한 폭(W2)을 갖고 있다.

지지부(31)의 X 방향의 좌측이면서 또한 Z 방향의 상측에는, 탄성부(20)의 Z 방향의 하단이 연결되어 있다. 또한, 지지부(31)의 X 방향의 좌측이면서 또한 Z 방향의 하측에는, 한 쌍의 다리부(32, 33)가 연결되어 있다. 즉, 탄성부(20)의 Z 방향으로 연장되는 X 방향의 중심선(CL1)과, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 Z 방향으로 연장되는 X 방향의 중심선(CL2)은, 일치하지 않고 서로 어긋나 있다. 바꿔 말하면, 탄성부(20)의 Z 방향으로 연장되는 X 방향의 중심선(CL1)으로부터 벗어난 지지부(31)의 X 방향의 일단부를 통해서, 탄성부(20)와 한 쌍의 다리부(32, 33)가 연결되어 있다.

한 쌍의 다리부(32, 33) 각각은, Z 방향을 따라서 연장되어 있고, X 방향의 중심선(CL2)에 대하여 비대칭으로 설치되어 있다. 이 한 쌍의 다리부(32, 33)의 사이에는, 서로 접근하는 방향으로 변형 가능한 간극(34)이 형성되어 있다. 또한, 한 쌍의 다리부(32, 33)는, 다리 연결부(71)에 의해 연결되어 있다. 이 다리 연결부(71)는, 한 쌍의 다리부(32, 33)와 한 쌍의 접점부(321, 331)와의 경계에 설치되어 있어, 간극(34)을 Z 방향으로 2분할하고 있다. 한 쌍의 다리부(32, 33)측(Z 방향 상측)의 간극(34)에 의해, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 방향 설정을 조정할 수 있으므로, 예를 들어 한 쌍의 다리부(32, 33)를 오목 접점에 접촉시킬 때의 한 쌍의 접점부(321, 331)와 오목 접점과의 사이의 위치 어긋남을 조정할 수 있다.

또한, 한 쌍의 다리부(32, 33) 각각은, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 X 방향의 중심선(CL2)에 근접하는 방향으로(즉, 서로 접근하는 방향으로) 휨 가능하게 되어 있다. 즉, X 방향 좌측의 다리부(32)는, X 방향의 우측을 향해서, X 방향 우측의 다리부(33)는, X 방향의 좌측을 향해서 휨 가능하다. 바꿔 말하면, 한 쌍의 다리부(32, 33)가 검사 대상물의 오목 접점에 삽입될 때, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 선단의 한 쌍의 접점부(321, 331) 각각이, 오목 접점과 접촉하면서 서로 접근하는 방향으로 미끄럼 이동 가능하게 하고 있다.

한 쌍의 다리부(32, 33)의 선단(Z 방향의 하단)의 한 쌍의 접점부(321, 331) 각각에는, 오목 접점에 접촉 가능한 만곡면(35)이 설치되어 있다. 이 한 쌍의 접점부(321, 331)의 만곡면(35)은, 접점 연결부(70)를 통해서 일체화되어 있다. 즉, 접점 연결부(70)는, 한 쌍의 접점부(321, 331)의 만곡면(35)과 연속하는 만곡면(72)을 가져, 한 쌍의 다리부(32, 33)를 프레임상으로 연결하고 있다.

또한, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 X 방향 좌측의 접점부(321)의 X 방향 우측의 접점부(331)에 대향하는 내면과는 반대측의 외면에, 탄성부(20)의 가압 방향, 즉, Z 방향의 하측을 향함에 따라서 서로 접근하는 평면 또는 만곡 오목면의 경사면(36)이 마련되어 있다.

제2 접촉부(40)는, 탄성부(20)의 Z 방향의 상단에 연결된 기부(41)와, 이 기부(41)로부터 Z 방향의 상측에 돌출된 한 쌍의 돌출부(42)를 갖고, 제1 접촉부(30)와 전기적으로 접속되어 있다. 이 제2 접촉부(40)는, 탄성부(20)에 의해 Z 방향의 상측을 향해서, 즉, 제1 접촉부(30)의 가압 방향과는 반대 방향으로 가압된다.

기부(41)는, Y 방향을 따른 평면에서 보아 대략 직사각 형상을 갖고 있다. 이 기부(41)의 X 방향의 좌측이면서 또한 Z 방향의 하측에는, 탄성부(20)의 Z 방향의 상단이 연결되어 있다.

한 쌍의 돌출부(42)는, 탄성부(20)의 X 방향의 중심선(CL1)에 대하여 대칭으로 설치되어 있다. 이 한 쌍의 돌출부(42) 각각은, 그 선단(Z 방향의 상단)이 Z 방향 상측에 돌출되도록 만곡되어 있고, 소켓(1)에 수납된 상태에서, 검사 장치의 기판(90)에 설치된 단자(91)(도 2에 도시함)에 접촉하도록 되어 있다.

또한, 한 쌍의 돌출부(42) 각각에는, 판 두께 방향(Y 방향)으로 관통한 관통 구멍(43)이 마련되어 있다. 이에 의해, 각 돌출부(42)가, 기판(90)의 단자(91)에 접촉했을 때 탄성 변형하고, 그 탄성력에 의해 단자(91)를 압박하므로, 프로브 핀(10)과 검사 장치와의 사이의 접촉 신뢰성을 높일 수 있다.

또한, 한 쌍의 돌출부(42)를 기부(41)의 양단에 설치함으로써, 프로브 핀(10)을 소켓(1)에 수납했을 때, 도 2에 도시한 바와 같이, Y 방향으로 인접하는 프로브 핀(10)의 돌출부(42)와의 사이의 피치(P1)를 작게 할 수 있다. 또한, 돌출부(42)를 한 쌍으로 함으로써, 검사 장치의 기판(90)에 대한 안정된 접촉이 가능해진다.

이어서, 도 5 및 도 6을 참조하여, 2개의 프로브 핀(10)을 소켓(1)의 한 쌍의 수납부(2)에 수납한 상태에서, 검사 대상물(80)의 인접한 2개의 오목 접점(81)에 접촉시킬 경우의 동작에 대해서 설명한다. 또한, 오목 접점(81)은, 검사 대상물(80)의 오목부 내의 대향하는 면에 있어서, 프로브 핀(10)의 삽입 방향(Z 방향)에 대하여 교차하는 방향(X 방향)으로 서로 대향하는 한 쌍의 접점부(82, 83)를 갖고 있다. 그리고, 이 한 쌍의 접점부(82, 83)의 사이에는, 변형 가능한 간극(84)이 마련되어 있다.

도 5에 도시한 바와 같이, 각 프로브 핀(10)의 한 쌍의 다리부(32, 33)가, 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)의 사이의 간극(84)에 위치한 상태에서, 각 프로브 핀(10)을 검사 대상물(80)을 향해서 근접시켜 가면, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 한 쌍의 접점부(321, 331)의 각 만곡면(35)의 외면과 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)가 접촉한다.

각 프로브 핀(10)을 검사 대상물(80)을 향해서 더 근접시켜, 검사 대상물(80)의 각 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)의 사이의 간극(84)에, 각 프로브 핀(10)의 한 쌍의 다리부(32, 33)를 삽입해 가면, 도 6에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 다리부(32, 33)가, 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)를 서로 이격하는 방향으로 밀어 넓히는 한편, 넓혀진 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)가, 한 쌍의 다리부(32, 33)를 서로 접근하는 방향으로 휘게 한다. 이때, 한 쌍의 다리부(32, 33)는, 그 외면이 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)와 접촉한 상태에서, 미끄러지면서 이동한다.

한편, 각 프로브 핀(10)을 검사 대상물(80)로부터 이격시켜, 한 쌍의 다리부(32, 33)를 검사 대상물(80)의 오목 접점(81)의 간극(84)으로부터 빼내 가면, 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)가 서로 접근하는 방향으로 복귀함과 함께, 한 쌍의 다리부(32, 33)가 서로 이격되는 방향으로 복귀한다. 이때, 한 쌍의 다리부(32, 33)는, 그 외면이 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)와 접촉한 상태에서, 미끄러지면서 이동한다.

이와 같이, 일 실시 형태의 프로브 핀(10)에서는, 프로브 핀(10)의 검사 대상물(80)에의 삽입 발출 시에, 한 쌍의 다리부(32, 33)가, 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)와 접촉한 상태에서 미끄러지면서, 즉, 와이핑하면서 이동한다. 이 때문에, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 한 쌍의 접점부(321, 331)의 한 쌍의 외면 상 또는 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)의 표면 상에 이물이 부착되어 있는 경우에도, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 한 쌍의 접점부(321, 331)와 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)와의 사이의 와이핑에 의해 이물을 문질러 제거하므로, 이물에 의한 도통 불량을 피하고, 접촉 신뢰성을 확보할 수 있다.

또한, 한 쌍의 다리부(32, 33) 각각이, 서로 접근하는 방향으로 휨 가능하게 되어 있고, 이 한 쌍의 다리부(32, 33)의 사이에, 서로 접근하는 방향으로 변형 가능한 간극(34)을 갖고 있다. 이에 의해, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 한 쌍의 접점부(321, 331)가, 오목 접점(81)의 한 쌍의 접점부(82, 83)에 접촉한 상태에서 이동하는 거리를 길게 할 수 있어, 와이핑 효과를 높일 수 있다.

또한, 제1 접촉부(30)가, 한 쌍의 다리부(32, 33)를 연결하는 다리 연결부(71)를 갖고 있다. 다리 연결부(71)의 위치를 조정함으로써, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 휨량을 조정할 수 있다.

또한, 제1 접촉부(30)가, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 한 쌍의 접점부(321, 331)를 연결하는 접점 연결부(70)를 갖고 있다. 이에 의해, 한 쌍의 접점부(321, 331)가 일체화되므로, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 검사 대상물(80)의 오목 접점(81)의 간극(84)에의 삽입이 용이해진다.

또한, 탄성부(20)의 Z 방향(길이 방향)으로 연장되는 중심선(CL1)과, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 Z 방향으로 연장되는 중심선(CL2)은, 일치하지 않고 서로 어긋나 있다. 따라서, 2개의 프로브 핀(10)을 소켓(1)의 한 쌍의 수납부(2)에 수납할 때, 중심선(CL2)이 탄성부(20)의 중심선(CL1)과 일치하도록 한 쌍의 다리부(32, 33)를 배치한 상태에 대하여, 2개의 프로브 핀(10)의 각 지지부(31)의 서로 접근한 측의 단부에 한 쌍의 다리부(32, 33)를 배치한 상태에서는, 검사 대상물(80)의 인접하는 2개의 오목 접점(81)의 피치를 좁게 한 협소 피치에 대응할 수 있다.

또한, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 선단의 한 쌍의 접점부(321, 331)에, 만곡면(35)이 설치되고, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 외면에, 탄성부(20)의 가압 방향을 향함에 따라서 서로 접근하는 평면 또는 만곡 오목면의 경사면(36)이 마련되어 있다. 이에 의해, 검사 대상물(80)의 오목 접점(81)의 간극(84)에 한 쌍의 다리부(32, 33)를 원활하게 안내할 수 있다.

또한, 프로브 핀(10)은, 서로 접근하는 방향으로 휨 가능한 한 쌍의 다리부(32, 33)의 한 쌍의 접점부(321, 331)의 사이에, 서로 접근하는 방향으로 변형 가능한 간극(34)을 갖고 있으면, 안정된 접촉을 계속해서 확보할 수 있다.

예를 들어, 한 쌍의 다리부(32, 33)는, 양쪽 모두 휨 가능한 구성에 한정되는 것이 아니라, 적어도 한쪽이 휨 가능하면 된다.

또한, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 만곡면(35) 및 경사면(36)은, 생략해도 되고, 한 쌍의 다리부(32, 33) 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 설치해도 된다. 또한, 만곡면(35)만 설치해도 되고, 경사면(36)만 설치해도 된다. 단, 오목 접점(81)에 대한, 보다 안정된 접촉을 확보하기 위해서는, 만곡면(35) 또는 경사면(36)을 배치하는 것이 좋다.

또한, 협소 피치에 대응할 필요가 없을 경우에는, 탄성부(20)의 Z 방향으로 신장되는 중심선(CL1)과, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 Z 방향으로 신장되는 중심선(CL2)이 일치하도록, 프로브 핀(10)을 구성해도 된다.

또한, 접점 연결부(70)는, 만곡면(72) 대신에, 예를 들어 도 7에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 접점부(321, 331)의 만곡면(35)에 연속하는 경사면(73)을 갖도록 구성해도 된다. 또한, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 사이의 간극(34)은, 분할할 경우에 한하지 않고, 도 7에 도시한 바와 같이, 다리 연결부(71)를 생략해서 일체로 해도 된다.

또한, 접점 연결부(70)는, 도 8, 도 9에 도시한 바와 같이, 생략할 수 있다. 이 경우, 예를 들어 한 쌍의 접점부(321, 331)의 외면 각각에 경사면(36)을 설치함으로써, 한 쌍의 다리부(32, 33)의 검사 대상물(80)의 오목 접점(81)의 간극(84)에의 삽입이 용이해진다.

또한, 한 쌍의 다리부(32, 33)는, 도 8, 도 9에 도시한 바와 같이, 길이 방향으로 연장되는 중심선(CL2)에 대하여 대칭으로 마련해도 되고, 도 10에 도시한 바와 같이, 길이 방향의 길이가 상이하게 마련해도 된다.

또한, 프로브 핀(10)은, 탄성부(20) 및 제1, 제2 접촉부(30, 40)를 일체로 형성하는 경우에 제한하지 않는다. 예를 들어, 도 11에 도시한 바와 같이, 제1 접촉부(130) 및 제2 접촉부(140)를 각각 별체로 구성해도 된다.

이 경우, 제1 접촉부(130) 및 제2 접촉부(140) 각각은, 그 일부가 탄성체로서의 코일 스프링(120)의 내부에 위치하고, 판면이 서로 직교하도록 연결되어 있다. 또한, 도 7에서는, 제1 접촉부(130)의 판면을 따른 방향을 Y 방향으로 하고, 제2 접촉부(140)의 판면을 따른 방향을 X 방향으로 하고, X 방향 및 Y 방향에 직교하는 방향을 Z 방향으로 한다.

제1 접촉부(130)는, 지지부(31)로부터 Z 방향의 상측으로 연장됨과 함께, 코일 스프링(120)의 내부에 배치되는 삽입부(37)를 갖고 있다. 이 삽입부(37)에는, 판 두께 방향(X 방향)으로 관통하고, 또한 Z 방향을 따라서 연장되는 관통 구멍(38)이 마련되어 있다.

제2 접촉부(140)는, 기부(41)로부터 Z 방향의 하측으로 연장됨과 함께, 코일 스프링(120)의 내부에 배치되는 한 쌍의 탄성편(44, 45)을 갖고 있다. 이 한 쌍의 탄성편(44, 45)의 사이에는, 제1 접촉부(130)의 판 두께보다도 큰 간극이 마련되어 있다. 한쪽 탄성편(44)의 선단에는, 제1 접촉부(130)의 관통 구멍(38)에 끼워 맞춤 가능한 돌기(46)가 마련되어 있다. 이 돌기(46)를 관통 구멍(38)에 끼워 맞춤으로써, 제1 접촉부(130) 및 제2 접촉부(140)가 연결되어 있다. 또한, 다른 쪽 탄성편(45)의 선단에는, 제1 접촉부(130) 및 제2 접촉부(140)를 연결했을 때 제1 접촉부(130)의 삽입부(37)의 관통 구멍(38)과 지지부(31)와의 사이의 표면에 접촉하는 돌기(47)가 마련되어 있다.

또한, 코일 스프링(120)은, 제1 접촉부(130) 및 제2 접촉부(140)를 연결한 상태에서는, 그 양단이 제1 접촉부(130)의 지지부(31)와 제2 접촉부의 기부(41)로 지지되고, 상시 압축되도록 되어 있다.

이상, 도면을 참조하여 본 발명에서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했는데, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대해서 설명한다.

본 발명의 제1 형태의 프로브 핀은,

길이 방향을 따라서 신축하는 탄성부와,

상기 탄성부의 타단부에 배치되고, 또한 상기 탄성부에 의해 상기 제1 접촉부의 가압 방향과는 반대 방향으로 가압되고, 또한 상기 제1 접촉부와 전기적으로 접속된 제2 접촉부를

구비하고,

상기 한 쌍의 다리부의 사이에, 간극을 갖고 있다.

제1 형태의 프로브 핀에 의하면, 한 쌍의 다리부가 오목 접점에 대하여 접근하는 방향으로 자유롭게 휘면서, 한 쌍의 접점부가 오목 접점에 접촉함으로써, 오목 접점에 안정되게 접속할 수 있다. 또한, 한 쌍의 다리부의 한 쌍의 접점부와 오목 접점이 서로 접촉한 상태에서 미끄러지면서 이동하므로, 와이핑 효과에 의해, 한 쌍의 다리부의 한 쌍의 접촉부 및 오목 접점의 표면에 부착된 이물에 의한 도통 불량을 피할 수 있다.

본 발명의 제2 형태의 프로브 핀은,

상기 한 쌍의 다리부의 상기 한 쌍의 접점부를 연결하는 접점 연결부를 갖고 있다.

제2 형태의 프로브 핀에 의하면, 한 쌍의 접점부가 일체화되므로, 한 쌍의 다리부의 검사 대상물의 오목 접점에의 삽입이 용이해진다.

본 발명의 제3 형태의 프로브 핀은,

상기 제1 접촉부가, 상기 한 쌍의 다리부와 상기 한 쌍의 접점부와의 경계에 설치되고, 상기 한 쌍의 다리부를 연결하는 다리 연결부를 갖는 제1항 또는 제2항에 기재된 프로브 핀.

제3 형태의 프로브 핀에 의하면, 다리 연결부의 위치를 조정함으로써, 한 쌍의 다리부의 휨량을 조정할 수 있다.

본 발명의 제4 형태의 프로브 핀은,

상기 한 쌍의 다리부의 상기 길이 방향을 따른 중심선과, 상기 탄성부의 상기 길이 방향을 따른 중심선이 어긋나 있다.

제4 형태의 프로브 핀에 의하면, 길이 방향을 따른 중심선이 탄성부의 길이 방향을 따른 중심선과 일치하도록 한 쌍의 다리부를 배치한 상태에 대하여, 길이 방향을 따른 중심선이 탄성부의 길이 방향을 따른 중심선과 일치하지 않고, 서로 어긋나도록 한 쌍의 다리부를 배치한 상태에서는, 검사 대상물의 인접하는 2개의 오목 접점의 피치를 좁게 한 협소 피치에 대응할 수 있다.

본 발명의 제5 형태의 프로브 핀은,

상기 제1 접점부의 상기 한 쌍의 다리부의 상기 한 쌍의 접점부 각각이, 만곡면을 갖고 있다.

제5 형태의 프로브 핀에 의하면, 한 쌍의 다리부를 오목 접점에 원활하게 안내할 수 있다.

본 발명의 제6 형태의 프로브 핀은,

상기 제1 접촉부의 상기 한 쌍의 다리부의 상기 한 쌍의 접점부의 서로 대향하는 면과는 반대측의 면 중 적어도 한쪽에, 상기 탄성부의 가압 방향을 향함에 따라서 서로 접근하는 경사면을 갖고 있다.

제6 형태의 프로브 핀에 의하면, 한 쌍의 다리부를 오목 접점에 원활하게 안내할 수 있다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예와의 조합이 가능함과 함께, 서로 다른 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 발명은 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련해서 충분히 기재되어 있지만, 이 기술이 숙련된 사람들에게 있어서는 다양한 변형이나 수정이 명백하다. 그러한 변형이나 수정은, 첨부한 청구범위에 의한 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않는 한, 그 안에 포함된다고 이해되어야 한다.

[산업상 이용 가능성]

본 발명의 프로브 핀은, 예를 들어 단자로서 암형 커넥터를 갖는 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.

1 : 소켓 2 : 수납부
3 : 홈부 4 : 관통 구멍
10 : 프로브 핀 20 : 탄성부
120 : 코일 스프링 21 : 직선부
22 : 만곡부 23 : 관통 구멍
221 : 제1 만곡부 222 : 제2 만곡부
30, 130 : 제1 접촉부 31 : 지지부
32, 33, 132, 133 : 다리부 321, 331 : 접점부
34 : 간극 35 : 만곡면
36 : 경사면 37 : 삽입부
38 : 관통 구멍 40, 140 : 제2 접촉부
41 : 기부 42 : 돌출부
43 : 관통 구멍 44, 45 : 탄성편
46, 47 : 돌기 70 : 접점 연결부
71 : 다리 연결부 72 : 만곡면
73 : 경사면 80 : 검사 대상물
81 : 오목 접점 82, 83 : 접점부
84 : 간극 90 : 기판
91 : 단자 CL0 : (소켓의) 중심선
CL1 : (탄성부의) 중심선 CL2 : (한 쌍의 다리부의) 중심선
L1 : (제1 만곡부의 정점을 연결하는) 직선
L2 : (제2 만곡부의 정점을 연결하는) 직선
W1 : 탄성부의 폭 W2 : 지지부의 폭
P1 : (인접 프로브 핀의 돌출부간의) 피치
P2 : (인접하는 프로브 핀의 다리부간의) 피치

Claims

길이 방향을 따라서 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 일단부로부터 상기 길이 방향을 따라서 연장되고, 또한 서로 접근하는 방향으로 휨 가능한 한 쌍의 다리부를 갖음과 함께, 상기 한 쌍의 다리부의 선단에 배치되고, 또한 검사 대상물의 오목 접점의 서로 대향하는 한 쌍의 검사 대상물측 접점부 각각에 대해 각각 접촉 가능한 한 쌍의 프로브 핀측 접점부를 가지며, 상기 탄성부에 의해 상기 길이 방향을 따른 방향으로 가압되는 제1 접촉부와,
상기 탄성부의 타단부에 배치되고, 또한 상기 탄성부에 의해 상기 제1 접촉부의 가압 방향과는 반대 방향으로 가압되고, 또한 상기 제1 접촉부와 전기적으로 접속된 제2 접촉부를
구비하고,
상기 한 쌍의 다리부의 사이에, 간극을 갖고 있으며, 상기 오목 접점에 접촉할 때, 상기 한 쌍의 다리부가 서로 접근하는 방향으로 휘어지면서, 상기 한 쌍의 프로브 핀측 접점부가 상기 한 쌍의 검사 대상물측 접점부에 접촉한 상태에서 이동하는, 프로브 핀.
제1항에 있어서,
상기 제1 접촉부가, 상기 한 쌍의 프로브 핀측 접점부를 연결하는 접점 연결부를 갖고 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 접촉부가, 상기 한 쌍의 다리부와 상기 한 쌍의 프로브 핀측 접점부와의 경계에 설치되고, 상기 한 쌍의 다리부를 연결하는 다리 연결부를 갖는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 한 쌍의 다리부의 상기 길이 방향을 따른 중심선과, 상기 탄성부의 상기 길이 방향을 따른 중심선이 어긋나 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 접촉부의 상기 한 쌍의 프로브 핀측 접점부 각각이, 만곡면을 갖고 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 접촉부의 상기 한 쌍의 프로브 핀측 접점부의 서로 대향하는 면과는 반대측의 면 중 적어도 한쪽에, 상기 탄성부의 가압 방향을 향함에 따라서 서로 접근하는 경사면을 갖고 있는, 프로브 핀.