CN112305395A - 一种探针结构及其安装方法、闭路方法、抗干扰方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种探针结构及其安装方法、闭路方法、抗干扰方法，涉及半导体技术领域，解决现有:待测物体和探针接触损伤、待测物体与探针接触不稳定的问题。其包括：探针以及配套的插座；探针插套于插座内的柱形管中，探针的两侧柱端可沿其轴向弹性伸缩；探针包括抵触至测试构件上焊垫的第二柱端、与待测物体间接接触的第一柱端；储液管与所述第一柱端同轴向布置，其包括朝向待测物的漏斗状管口，及胀塞于储液管内的活塞；漏斗状管口通过衬垫封堵环以抵触至待测物体表面；第一柱端通过丝杠螺母连接活塞并推压活塞内导电流体与待测物体接触实现电性连接；第二柱端与测试结构电性连接。

Description

一种探针结构及其安装方法、闭路方法、抗干扰方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种测试装置及测试方法。

背景技术

经历了复杂工艺过程的半导体器件要接受各种类型的电测试，以测试它们的特性及其缺陷。为了这个目的，利用插座和探针将安装在测试设备内的测试板（印刷电路板）的金属电线或接触垫和待测试器件(半导体封装)的外部接头进行电连接。

例如中国发明专利《探针模块与插座》，申请号为CN201880068269.X，一种探针模块。包括：导电管；探针，被非接触式地插入于管中且可沿长度方向弹性伸缩；以及绝缘探针支撑部件，被配置成在管的内壁与探针的外表面之间支撑探针。具有弹性伸缩的探针端部可以直接接触在物体表面，虽然其电传导效果正常，但是测试电路板器件时，仍然存在以下问题：

（1）金属探针在施加力的作用下与待测物体基板表面接触时，力的作用下接触处产生相互的压痕，出现探针的灵敏性降低、电路板形成扎痕的问题；

（2）待测定点与探针之间在接触时存在滑动，造成接触不稳定、电阻变化较大的问题，从而导致测试误差变大。

发明内容

本发明的技术方案是：一种探针安装方法及闭路方法及应用，用以解决现有的对待测物体和探针的损伤和待测物体与探针接触不稳定的问题。

本方案中涉及的测试装置主要包括：探针、插座、支撑架和测试构件。

探针设置在插座内，插座通过支撑架固定于待测物体和测试构件之间。

探针包括：套筒、第一柱端、弹簧、第二柱端。套筒为中空体，其两端开口。套筒的两端内对应装配第一柱端、第二柱端，同时套筒的弹簧作用于两端之间且为第一柱端、第二柱端提供伸缩弹力。在弹簧的形变力作用下，第一柱端与待测物体产生电性连接，第二柱端则与测试构件产生电性连接。

探针插套于一根柱形管中，探针位于柱形管的轴芯处与柱形管的内壁形成非接触式布置。柱形管的两端分别装配一固定环，固定环与柱形管的内壁通过螺纹配合以实现装配。探针的柱端均可以从固定环上的轴孔中穿出，且探针的套筒端部可以与固定环进行配合。

具体的固定环上形成一个阶梯式的轴孔，小孔段与探针的柱端形成滑动配合，大孔段则与探针的套筒端部进行螺纹配合。这样可以将探针稳定的装配在柱形管内，同时装配过程也较为方便。即，先旋紧柱形管底部固定环，再将探针插入柱形管中；探针下端穿过下侧固定环轴孔，将探针与下侧固定环旋紧；盖上柱形管上侧固定环，旋紧上侧固定环，上侧固定环同时与柱形管上端口、探针套筒上端进行螺纹连接。

插套探针的柱形管装配在一个插座内，插座包括一个与柱形管外形相同的内腔，柱形管插入该内腔中，柱形管的外壁与插座的内壁形成接触。插座还包括两端侧的盖板，即上端侧的第一盖板、下端侧的第二盖板。在第一盖板和第二盖板之间的内腔中包括一个间隔挡片，该间隔挡片将该空腔在轴向上分隔成两个部分：第二盖板和间隔挡片之间的部分用于装配柱形管，间隔挡片和第一盖板之间的部分装配储液管。当插套柱形管的探针装配在插座中时，探针的第一柱端穿过间隔挡片的轴孔与储液管配合形成了第一柱端与待测物体的电性连接，探针的第二柱端穿过第二盖板与测试构件形成电性连接。

第一柱端与待测物体的电性连接是通过储液管实现的，具体的，在间隔挡片与第一盖板之间的腔室内布置一个储液管。储液管从第一盖板上的轴孔向上伸出，储液管的上端为一个漏斗状管口，该漏斗状管口与待测物体接触并将待测物体上的电接点覆盖在内。储液管内胀塞一个金属活塞，该活塞与探针的第一柱端连接。具体的，第一柱端上加工外螺纹，活塞上的螺孔中加工内螺纹，第一柱端与活塞实现螺纹连接。当第一柱端受到弹簧向上推力后，第一柱端同时推动活塞向上位移，活塞将储液管内的液体向上推压直至到达漏斗状管口处与待测物体上的电接点接触。

为了确保漏斗状管口与待测物体表面接触的密闭性，在漏斗状管口设置一个封堵环，该封堵环垫压于漏斗状管口与待测物体下表面之间，在封堵环的作用下，使导电流体无法溢出于漏斗状管外部。待测试完成后，调节待测物体的位置，能够将下一批待测的电接点与对应的漏斗状管相对应，再向下移动待测物体至封堵环和与待测物体下表面充分贴合，封堵环的变形能够有效的保证导电流体无法溢出，使导电流体与待测物体下端面的充分接触，实现电性连接。

第二柱端与测试构件上的焊垫接触，为了确保第二柱端接触环境的稳定，在插座下端与测试构件之间布置一个连接件。该连接件安装于插座下端的端面上，连接件通过弹性元件作用在插座上以使其抵靠至测试构件表面。连接件包括：盛液管、限位柱、复位弹簧、连接块、密封圈。盛液管为中空管体，盛液管与探针同轴关系。盛液管的下管口抵靠在测试构件表面的焊垫上，且该下管口外缘设置密封圈以确保管口与焊垫接触的密闭性。盛液管的表面设置两个位置向对称的连接块，连接块则通过限位柱以伸缩支撑的方式安装在插座的第二盖板上。限位柱上套装复位弹簧，复位弹簧提供了盛液管下管口抵靠焊垫的压紧力。探针的第二柱端插入盛液管中并抵触至焊垫上，同时在焊垫上布置橡胶垫，第二柱端与橡胶垫接触以完成对准。

测试构件包括主机、配线板、焊垫和驱动件。主机与配线板电性连接，多个焊垫设置在配线板的一端侧面上，驱动件能够推动配线板进行向上的位移。

优选的是，为了进一步确保柱形管在插座内的轴向固定，在柱形管的表面上形成一圈凸起于其表面的定位环。同时在插座的内壁上形成一个凹槽用于匹配定位环，两者匹配可以确保柱形管装配稳定。因此，进一步的，插座实施为分体式的构造，从凹槽处进行分体为：上层单元和下层单元，可以满足定位环及柱形管的安装。

优选的是，该测试机构根据结构需要进行阵列排布呈组，对应的在待测物体上设置多个电接点，电接点则与漏斗状管一一对应；在测试构件上同样布置多个焊垫，焊垫则与第二柱端一一对应。

优选的是，在测试时，盛液管与储液管内均需要注入导电流体，该导电流体为常温下为液态的金属汞。

基于上述的探针结构，本方案还进一步的保护了本探针结构的安装方法，包括以下步骤：

S1、探针安装

将第一柱端、弹簧、第二柱端、套筒组成的探针，把探针的第一柱端和第二柱端穿过对应固定环上的通孔。各固定环的回转表面和通孔表面均布置有螺纹，因此其可以同时通过套筒端部外壁设置有螺纹和柱形管的内侧壁设置有的螺纹进行配合作用。将固定环旋进柱形管内，使柱形管两端的固定环能够将套筒固定于柱形管内部，使探针本体能有效的轴向固定。

S2、插入插座

将安装完成的柱形管的探针装入插座，探针的第一柱端插入上层单元内，并使第一柱端与间隔挡片轴孔内设置的丝杠螺母连接配合，使丝杠螺母和第一柱端完成固定连接。然后封盖安装有第二盖板和连接件的下层单元，将对应的下层单元和上层单元固定，使第二柱端穿过第二盖板上的通孔并伸入连接件内。

S3、上层注液

使用液体注入装置注射导电流体，沿着漏斗状管口向储液管内注射体积为V的定量的导电流体。

S4、插座定位

通过调整支撑架，以调整漏斗状管和第二柱端的位置，使漏斗状管与待测物体上待测的电接点相对应；同时，使第二柱端与焊垫相对应，将橡胶垫设置在与第二柱端对应的焊垫上，以完成对准。然后调节支撑架向带动封堵环相待测物体进行微小的位移，至封堵环发生形变，与待测物体完全贴合；

S5、驱动连接

启动测试构件上的驱动件，通过驱动件推动配线板向上平移直至与盛液管下边、与密封圈的底部边缘相抵靠，继续向上带动盛液管移动至盛液管上边与第二盖板的底部表面相抵靠。盛液管在复位弹簧的弹力作用下，使盛液管压持在配线板上，同时保证焊垫处于盛液管的底部，并使焊垫上设置的橡胶垫与第二柱端的底部相抵靠。

基于上述的探针结构，本方案还进一步的保护了本探针结构的闭路方法，包括以下步骤：

步骤a、上层连接

将安装完成的柱形管的探针装入插座，探针的第一柱端插入上层单元内，并使第一柱端与间隔挡片轴孔内设置的丝杠螺母连接配合，使丝杠螺母和第一柱端完成固定连接。然后封盖安装有第二盖板和连接件的下层单元，将对应的下层单元和上层单元固定，使第二柱端穿过第二盖板上的通孔并伸入连接件内

步骤b、上层注液

使用液体注入装置注射导电流体，沿着漏斗状管口向储液管内注射体积为V的定量的导电流体。

步骤c、驱动连接

启动测试构件上的驱动件，通过驱动件推动配线板向上平移直至与盛液管下边、与密封圈的底部边缘相抵靠，继续向上带动盛液管移动至盛液管上边与第二盖板的底部表面相抵靠。盛液管在复位弹簧的弹力作用下，使盛液管压持在配线板上，同时保证焊垫处于盛液管的底部，并使焊垫上设置的橡胶垫与第二柱端的底部相抵靠。

基于上述的探针结构，本方案还进一步的保护了本探针结构的抗干扰方法，将第一柱端、弹簧、第二柱端、套筒组成的探针，把探针的第一柱端和第二柱端穿过对应固定环上的通孔。各固定环的回转表面和通孔表面均布置有螺纹，因此其可以同时通过套筒端部外壁设置有螺纹和柱形管的内侧壁设置有的螺纹进行配合作用。

将固定环旋进金属的柱形管内，使金属的柱形管两端的固定环能够将套筒固定于金属的柱形管内部，使探针本体能有效的轴向固定；同时又能够使金属材料的柱形管对套筒进行包围，使套筒的工作环形不受外界电场的干扰影响，同时又使自身电场不对外界产生干扰影响。

本发明的优点是：

1、探针和插座为可拆卸组合和安装，保证了多个探针同时工作时，当某一探针发生问题时，将该探针从相对应的插座中拆下来再进行更换即可，简单方便有效，同时解决了一个器件发生故障、整体报废的问题，避免资源浪费。

2、通过测试构件对第二柱端施加压力的作用，有效的将探针第一柱端接触转换成柔性体接触，充分避免了对探针与待测物体基板表面接触时，推力作用对待测物的扎痕，从而造成对待测物的破坏。同时又保护了第一柱端的尖端，避免反复测量过程中的力的作用对第一柱端尖端的磨损，使探针的灵敏性得到保证。

附图说明

下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：

图1为探针结构的剖视图；

图2为探针结构的部分剖视图；

图3为测试构件施加力的作用的探针和插座的变化示意图；；

图4为测试物体与封堵环贴合、挤压、分离的变化示意图；

图5为应用该探针结构的测试装置的整体示意图；

图6为应用该探针结构的测试装置的剖面图；

图7为插座的剖面主视图；

图8为第二盖板与连接件的组合示意图；

其中，1、探针；1-1、柱形管；1-2、定位环；1-3、第一柱端；1-4、弹簧；1-5、第二柱端；1-6、套筒；1-7、丝杠螺母；1-8、储液管；1-9、活塞；1-10、漏斗状管；1-11、封堵环；1-12、导电流体；1-13、固定环；2、插座；2-1、上层单元；2-2、间隔挡片；2-3、第一盖板；2-4、下层单元；2-5、第二盖板；2-6、连接件；2-6-1、盛液管；2-6-2、连接块；2-6-3、密封圈；2-6-4、限位柱；2-6-5、复位弹簧；3、支撑架；4、待测物体；4-1、电接点；5、测试构件；5-1、主机；5-2、配线板；5-3、焊垫。

具体实施方式

实施例1：

如图1-8所示，本实施例的一种探针测试装置，包括探针1、插座2、支撑架3、和测试构件5。

探针1设置在插座2内，插座2通过支撑架3固定于待测物体4和测试构件5之间，待测物体4的下端面与安装在插座2内的探针1上端电性连接，探针1的下端通过插座2与测试构件5电性连接。

插座2能够可拆卸安装在支撑架3上，并通过驱动器控制支撑架3以调节插座2的位置，同时又可以对插座进行固定，待测物体4设置在能够对其进行调节固定的器械上，以满足待测物体4的固定和移动。

通过器械移动待测物体时，能够满足待测物体向上或向下的位移实现待测物体4的复位，同时还能满足待测物体4的水平方向的位移以保证待测点的更换，实现机械化测试。驱动器和控制待测物体4移动的器械是常规技术手段，不一一赘述。

探针1包括柱形管1-1、定位环1-2、第一柱端1-3、弹簧1-4、第二柱端1-5、套筒1-6、丝杠螺母1-7、储液管1-8、活塞1-9、漏斗状管1-10、封堵环1-11、导电流体1-12和固定环1-13。

导电流体1-12为常温下为液态的金属汞。

柱形管1-1通过定位环1-2稳定设置在插座2内。

第一柱端1-3、弹簧1-4、第二柱端1-5设置在套筒1-6内，第一柱端1-3设置在套筒1-6的上端，第二柱端1-5设置在套筒1-6的下端，二者均沿着套筒1-6部分伸出于套筒1-6外，并通过弹簧1-4相连。

套筒1-6通过其两端对称设置的固定环1-13设置在柱形管1-1内，第一柱端1-3的上端设置有螺纹，其通过丝杠螺母1-7与设置在储液管1-8内的活塞1-9相连。储液管1-8上端设置有漏斗状管1-10，漏斗状管1-10上端设置有封堵环1-11，封堵环1-11与待测物体4的下端面相抵靠。

储液管1-8内盛有导电流体1-12，第二柱端1-5通过插座2与测试构件5电性连接，在第二柱端1-5下端设置有橡胶垫，橡胶垫的下端与焊垫5-3相抵靠。

通过测试构件5对第二柱端1-5施加压力的作用，弹簧1-4力的作用变大，并通过弹簧1-4推动第一柱端1-3推动活塞1-9向上移动，使漏斗状管1-10内的液面上升，使导电流体1-12与待测物体4的下端面充分接触。

将探针的第一柱端1-3接触转换成柔性体接触，充分避免了对探针施加力的作用与待测物体基板表面的接触时力的作用对待测物的扎痕，对待测物的破坏，同时又保护了第一柱端1-3的尖端，避免反复测量过程中的力的作用对第一柱端1-3尖端的磨损，使探针的灵敏性得到保证。

安装过程中，保证调节的支撑架3能够带动封堵环1-11向待测物体4进行微小的位移，至封堵环1-11发生形变，与待测物体4完全贴合实现封堵，并在封堵环1-11的作用下，使受到挤压的导电流体1-12与待测物体4的下端面充分接触，同时又能阻止导电流体1-12溢出于漏斗状管1-10外部。

待测试完成后，通过调节待测物体4的位置，更换待测的物体。待上一批电接点4-1的测试完成时，通过先向上移动待测物体4，此时受挤压的封堵环1-11恢复原有的形态，使封堵环1-11的外边缘的最高高度变大，并向内变形复原，使封堵环1-11内的液面低于封堵环1-11外边缘的最高高度，以有效防止导电流体1-12的溢出。再将待测物体4进行水平移动，将下一批待测的电接点4-1与对应的漏斗状管1-10相对应后，向下移动待测物体4至压缩封堵环1-11发生形变，封堵环最外边缘的高度降低使封堵环1-11内的导电流体1-12与待测物体4下表面充分贴合，保证了导电流体1-12与待测物体4下端面的充分接触，实现电性连接，然后通过主机5-1获得待测的电接点4-1的测试数据。

待测物体4上设置有多个电接点4-1，电接点4-1与漏斗状管1-10相对应，漏斗状管1-10的作用能够保证上端的导电流体1-12的接触面积，与待测物体的4的电接点实现充分接触。

测试构件5包括主机5-1、配线板5-2、焊垫5-3和驱动件，主机5-1与配线板5-2电性连接，多个焊垫5-3设置在配线板5-2的一端侧面上，驱动件能够推动配线板5-2进行向上的位移。

第二柱端1-5下端设置有橡胶垫，橡胶垫的下端与焊垫5-3相抵靠。

实施例2：

一种测试方法，包括以下步骤；

步骤a、待测定点、在待测物体4上选出待测的电接点4-1进行标记；

步骤b、形成闭路、将安装完成的插座，通过微调支撑架3使漏斗状管1-10对准待测的电接点4-1，同时使封堵环1-11与待测物体4的下表面充分贴合，通过驱动件推动配线板5-2向上移动，使第二柱端1-5的下端与焊垫5-3完全抵靠，并直至盛液管2-6-1的上端与第二盖板2-5的下端面相抵靠，使盛液管2-6-1的下端与焊垫5-3的上端面形成封闭的空间，以便液体注入，以形成初步的闭路；

步骤c、下层注液、通过液体注入装置沿着盛液管2-6-1外壁上端开有的注液孔，向盛液管2-6-1内注入导电流体1-12，使第二柱端1-5部分浸没在导电流体1-12内；

步骤d、通电测试、对测试构件5进行通电，以通过主机5-1获得关于待测的电接点4-1的测试数据；

步骤e、更换测点、待上一批电接点4-1的测试完成时，通过先向上移动待测物体

，再将待测物体4进行水平移动，将下一批待测的电接点4-1与对应的漏斗状管1-10相对应后，向下移动待测物体4至封堵环1-11与待测物体4下表面充分贴合，然后通过主机5-1获得待测的电接点4-1的测试数据。

在上述测试方法中，通过驱动件推动配线板5-2向上移动，使第二柱端1-5的下端与焊垫5-3完全抵靠，并直至盛液管2-6-1的上端与第二盖板2-5的下端面相抵靠，使盛液管2-6-1的下端与焊垫5-3的上端面形成封闭的空间，以便液体注入，以形成初步的闭路。

驱动件对配线板5-2的推动力为：

；在该推动力下保证导电流 体1-12能够与待测物体4上的电接点4-1的充分接触。

其中，活塞1-9的直径为d；储液管1-8的体积为V；储液管1-8圆柱部分的横截面接为S；弹簧1-4的劲度系数为k；漏斗状管1-10的体积为V₀；未发生向上移动的盛液管上表面至插座下表面的距离为h；h的变化量为Δh。

根据胡克定律:

；

弹簧的形变量为：

；

活塞的推进量为：

；

活塞的面积为：

；

配线板5-2施加的力为：

；

即：施加F大小的力的作用能够将漏斗状管1-10完全填满，充分的保证了导电流体1-12与待测物体4下端面的充分接触。

实施例3：

本实施例公开的一种探针结构的安装方法，包括以下步骤：

步骤a、探针安装

将第一柱端1-3、弹簧1-4、第二柱端1-5、套筒1-6组成的探针,探针的第一柱端1-3和第二柱端1-5对应穿过固定环1-13的通孔，并通过第一柱端1-3外壁设置有的内螺纹和柱形管1-1的内侧壁设置有的外螺纹的配合作用，将固定环1-13旋进柱形管1-1内，使对称设置的固定环1-13能够将套筒1-6固定于柱形管1-1内部，使探针本体能有效固定。

步骤b、插入插座

将安装完成的柱形管1-1的第一柱端1-3插入上层单元2-1内，并使第一柱端1-3的外螺纹与间隔挡片2-2内设置的丝杠螺母1-7的内螺纹相配合，使丝杠螺母1-7和第一柱端1-3完成固定连接。然后封盖安装有第二盖板2-5和连接件2-6的下层单元2-4，然后将对应的下层单元2-4和上层单元2-1固定，使第二柱端1-5穿过第二盖板2-5上的通孔，活动设置在连接件2-6内。

步骤c、上层注液

使用液体注入装置沿着漏斗状管口1-10向储液管1-8内注射体积为V的定量的导电流体1-12。

步骤d、插座定位

通过调整支撑架3，以调整漏斗状管1-10和第二柱端1-5的位置，使漏斗状管1-10与待测物体4上的待测的电接点4-1相对应，使第二柱端1-5与焊垫5-3相对应，同时将橡胶垫设置在与第二柱端1-5对应的焊垫5-3上，以完成对准，然后调节支撑架3向带动封堵环1-11相待测物体4进行微小的位移，至封堵环1-11发生形变，与待测物体4完全贴合。

步骤e、驱动连接

启动测试构件5上的驱动件，通过驱动件推动配线板向上平移与盛液管2-6-1下管口、密封圈2-6-3的底部边缘相抵靠，继续向上带动盛液管2-6-1上管口移动至与第二盖板2-5的底部表面相抵靠。盛液管2-6-1在复位弹簧2-6-5的弹力作用下，使盛液管2-6-1压持在配线板5-2上，同时保证焊垫5-3处于盛液管2-6-1的底部，并使焊垫5-3上设置的橡胶垫与第二柱端1-5的底部相抵靠。

实施例4：

本实施例公开的一种探针结构的闭路方法，包括以下步骤：

步骤a、上层连接；将安装完成的柱形管1-1的第一柱端1-3插入上层单元2-1内，并使第一柱端1-3的外螺纹与间隔挡片2-2内设置的丝杠螺母1-7的内螺纹相配合，使丝杠螺母1-7和第一柱端1-3完成固定连接。然后封盖安装有第二盖板2-5和连接件2-6的下层单元2-4，然后将对应的下层单元2-4和上层单元2-1固定，使第二柱端1-5穿过第二盖板2-5上的通孔，活动设置在连接件2-6内；

步骤b、上层注液；使用液体注入装置沿着漏斗状管口1-10向储液管1-8内注射体积为V的定量的导电流体1-12；

步骤c、驱动连接；启动测试构件5上的驱动件，通过驱动件推动配线板向上平移与盛液管2-6-1下管口、密封圈2-6-3的底部边缘相抵靠，继续向上带动盛液管2-6-1上管口移动至与第二盖板2-5的底部表面相抵靠。盛液管2-6-1在复位弹簧2-6-5的弹力作用下，使盛液管2-6-1压持在配线板5-2上，同时保证焊垫5-3处于盛液管2-6-1的底部，并使焊垫5-3上设置的橡胶垫与第二柱端1-5的底部相抵靠。

实施例5：

本实施例公开的一种探针结构的干扰方法，将第一柱端1-3、弹簧1-4、第二柱端1-5、套筒1-6组成的探针,探针的第一柱端1-3和第二柱端1-5对应穿过固定环1-13的通孔，并通过第一柱端1-3外壁设置有的内螺纹和柱形管1-1的内侧壁设置有的外螺纹的配合作用，将固定环1-13旋进柱形管1-1内，使对称设置的固定环1-13能够将套筒1-6固定于柱形管1-1内部，使探针本体能有效固定。同时，能够使金属材料的柱形管1-1对套筒1-6进行包围，使套筒1-6的工作环形不受外界电场的干扰影响，同时又使自身电场不对外界产生干扰影响。

本发明实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明的。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明的所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种探针结构，包括：探针以及配套的插座；探针插套于插座内的柱形管中，探针的两侧柱端可沿其轴向弹性伸缩；其特征在于：

探针，包括抵触至测试构件上焊垫的第二柱端、与待测物体间接接触的第一柱端；

储液管，与所述第一柱端同轴向布置，其包括朝向待测物体的漏斗状管口，及胀塞于储液管内的活塞；漏斗状管口通过衬垫封堵环以抵触至待测物体表面；

第一柱端通过丝杠螺母连接所述活塞并推压活塞内导电流体与待测物体接触实现电性连接；所述第二柱端穿过与测试构件电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种探针结构，其特征在于：测试构件与所述插座上相对的端部之间布置有贮存导电流体的盛液管；第二柱端穿过所述盛液管及其内导电流体以与测试构件电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种探针结构，其特征在于：所述插座内包括形成轴向空间分隔的间隔挡片；间隔挡片一侧装配所述柱形管，其另一侧装配所述储液管；所述储液管穿过插座上端盖板抵触至待测物体；所述第一柱端穿过插座下端盖板抵触至所述测试构件上的焊垫。

4.根据权利要求3所述的一种探针结构，其特征在于：所述插座包括连接件，连接件包括所述盛液管、限位柱、复位弹簧、连接块及密封圈；所述盛液管的表面包括连接块；所述连接块与插座的下端盖板之间布置套装复位弹簧的限位柱；抵触至所述焊垫表面的盛液管下管口处套设密封圈。

5.根据权利要求4所述的一种探针结构，其特征在于：所述柱形管的两端均装配有固定环作为管体端部；所述固定环与柱形管端部通过螺纹连接。

6.根据权利要求5所述的一种探针结构，其特征在于：所述探针通过探针上的套筒与所述固定环螺纹连接以实现探针的相对固定。

7.根据权利要求6所述的一种探针结构，其特征在于：所述待测物体上设置有电接点，电接点与漏斗状管口相对应。

8.一种根据权利要求7所述的探针结构的安装方法，其特征在于：其步骤包括：

S1.探针安装，将探针置于柱形管内，且使探针的两个柱端穿过柱形管对应端部的固定环；固定环通过其回转外表面上的螺纹与柱形管内壁螺纹进行装配；同时，固定环通过回转内表面上的螺纹与探针的套筒端部螺纹进行装配；

S2.插座安装，插套柱形管的探针装入插座，将探针的第一柱端插入上层单元，并使第一柱端的外螺纹与丝杠螺母的内螺纹相配合连接，丝杠螺母前端为胀塞于储液管内的活塞；将封装好端盖的下层单元与上层单元对接固定，使得第二柱端穿过第二盖板并伸入第二盖板外的连接件内；

S3.上层注液，将体积为V的导电流体沿着漏斗状管口向储液管内注入；

S4.插座定位，调整漏斗状管口和第一柱端的位置，使漏斗状管口与待测物体上的待测的电接点相对应；同时将橡胶垫设置在与第二柱端对应的焊垫上；然后调节插座向待测物体位移至漏斗状管口的封堵环与待测物体接触并发生形变；

S5.驱动连接，通过驱动件推动测试构件向上平移至其表面与盛液管的下管口相抵靠，继续上移至盛液管上管口至与插座底部相抵靠；同时确保焊垫处于盛液管的底部，并使焊垫上设置的橡胶垫与第二柱端的底部相抵靠。

9.一种根据权利要求7所述探针结构的闭路方法，其特征在于：步骤包括：

A.上层连接，插套柱形管的探针装入插座，将探针的第一柱端插入上层单元，并使第一柱端的外螺纹与丝杠螺母的内螺纹相配合连接，丝杠螺母前端为胀塞于储液管内的活塞；将封装好端盖的下层单元与上层单元对接固定，使得第二柱端穿过第二盖板并伸入第二盖板外的连接件内；

B.上层注液，将体积为V的导电流体沿着漏斗状管口向储液管内注入；

C.插座安装，插套柱形管的探针装入插座，将探针的第一柱端插入上层单元，并使第一柱端的外螺纹与丝杠螺母的内螺纹相配合连接，丝杠螺母前端为胀塞于储液管内的活塞；将封装好端盖的下层单元与上层单元对接固定，使得第二柱端穿过第二盖板并伸入第二盖板外的连接件内。

10.一种测试权利要求7所述探针结构的抗干扰方法，其特征在于：将探针置于金属的柱形管内，且使探针的两个柱端穿过柱形管对应端部的固定环；固定环通过其回转外表面上的螺纹与柱形管内壁螺纹进行装配；同时，固定环通过回转内表面上的螺纹与探针的套筒端部螺纹进行装配。

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