CN112327128B - 一种测试装置及测试方法 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 93
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 87
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 87
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 45
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 31
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 6
- 238000010998 test method Methods 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229940008718 metallic mercury Drugs 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005483 Hooke's law Effects 0.000 description 1
- 230000005574 cross-species transmission Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000011900 installation process Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 230000003245 working effect Effects 0.000 description 1
Images
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2607—Circuits therefor
- G01R31/2637—Circuits therefor for testing other individual devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种测试装置及测试方法，涉及半导体技术领域，解决现有的：待测物体和探针接触损伤、待测物体与探针接触不稳定的问题。其具体包括：测试探针、测试插座、支撑架和测试构件；测试探针设置在测试插座内，待测物体的下端面与安装在测试插座内的测试探针上端相抵靠，测试探针的下端通过测试插座与测试构件电性连接；测试探针包括柱形管、定位环、第一柱端、弹簧、第二柱端、套筒、丝杠螺母、储液管、活塞、漏斗状管、封堵环、导电流体和固定套。本发明有效保护待测物和测试探针,同时满足测量更准确、更有效的要求。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种测试装置及测试方法。
背景技术
经历了复杂工艺过程的半导体器件要接受各种类型的电测试，以测试它们的特性及其缺陷。为了这个目的，利用插座和探针将安装在测试设备内的测试板（印刷电路板）的金属电线或接触垫和待测试器件(半导体封装)的外部接头进行电连接。
例如中国发明专利《探针模块与插座》，申请号为CN201880068269.X，一种探针模块。包括：导电管；探针，被非接触式地插入于管中且可沿长度方向弹性伸缩；以及绝缘探针支撑部件，被配置成在管的内壁与探针的外表面之间支撑探针。具有弹性伸缩的探针端部可以直接接触在物体表面，虽然其电传导效果正常，但是测试电路板器件时，仍然存在以下问题：
（1）金属探针在施加力的作用下与待测物体基板表面接触时，力的作用下接触处产生相互的压痕，出现探针的灵敏性降低、电路板形成扎痕的问题；
（2）待测定点与探针之间在接触时存在滑动，造成接触不稳定、电阻变化较大的问题，从而导致测试误差变大。
发明内容
本发明的技术方案是：一种测试装置及测试方法，用以解决现有的对待测物体和探针的损伤和待测物体与探针接触不稳定的问题。
本方案中涉及的测试装置主要包括：探针、插座、支撑架和测试构件。
探针设置在插座内，插座通过支撑架固定于待测物体和测试构件之间。
探针包括：套筒、第一柱端、弹簧、第二柱端。套筒为中空体，其两端开口。套筒的两端内对应装配第一柱端、第二柱端，同时套筒的弹簧作用于两端之间且为第一柱端、第二柱端提供伸缩弹力。在弹簧的形变力作用下，第一柱端与待测物体产生电性连接，第二柱端则与测试构件产生电性连接。
探针插套于一根柱形管中，探针位于柱形管的轴芯处与柱形管的内壁形成非接触式布置。柱形管的两端分别装配一固定环，固定环与柱形管的内壁通过螺纹配合以实现装配。探针的柱端均可以从固定环上的轴孔中穿出，且探针的套筒端部可以与固定环进行配合。
具体的固定环上形成一个阶梯式的轴孔，小孔段与探针的柱端形成滑动配合，大孔段则与探针的套筒端部进行螺纹配合。这样可以将探针稳定的装配在柱形管内，同时装配过程也较为方便。即，先旋紧柱形管底部固定环，再将探针插入柱形管中；探针下端穿过下侧固定环轴孔，将探针与下侧固定环旋紧；盖上柱形管上侧固定环，旋紧上侧固定环，上侧固定环同时与柱形管上端口、探针套筒上端进行螺纹连接。
插套探针的柱形管装配在一个插座内，插座包括一个与柱形管外形相同的内腔，柱形管插入该内腔中，柱形管的外壁与插座的内壁形成接触。插座还包括两端侧的盖板，即上端侧的第一盖板、下端侧的第二盖板。在第一盖板和第二盖板之间的内腔中包括一个间隔挡片，该间隔挡片将该空腔在轴向上分隔成两个部分：第二盖板和间隔挡片之间的部分用于装配柱形管，间隔挡片和第一盖板之间的部分装配储液管。当插套柱形管的探针装配在插座中时，探针的第一柱端穿过间隔挡片的轴孔与储液管配合形成了第一柱端与待测物体的电性连接，探针的第二柱端穿过第二盖板与测试构件形成电性连接。
第一柱端与待测物体的电性连接是通过储液管实现的，具体的，在间隔挡片与第一盖板之间的腔室内布置一个储液管。储液管从第一盖板上的轴孔向上伸出，储液管的上端为一个漏斗状管口，该漏斗状管口与待测物体接触并将待测物体上的电接点覆盖在内。储液管内胀塞一个金属活塞，该活塞与探针的第一柱端连接。具体的，第一柱端上加工外螺纹，活塞上的螺孔中加工内螺纹，第一柱端与活塞实现螺纹连接。当第一柱端受到弹簧向上推力后，第一柱端同时推动活塞向上位移，活塞将储液管内的液体向上推压直至到达漏斗状管口处与待测物体上的电接点接触。
为了确保漏斗状管口与待测物体表面接触的密闭性，在漏斗状管口设置一个封堵环，该封堵环垫压于漏斗状管口与待测物体下表面之间，在封堵环的作用下，使导电流体无法溢出于漏斗状管外部。待测试完成后，调节待测物体的位置，能够将下一批待测的电接点与对应的漏斗状管相对应，再向下移动待测物体至封堵环和与待测物体下表面充分贴合，封堵环的变形能够有效的保证导电流体无法溢出，使导电流体与待测物体下端面充分接触，实现电性连接。
第二柱端与测试构件上的焊垫接触，为了确保第二柱端接触环境的稳定，在插座下端与测试构件之间布置一个连接件。该连接件安装于插座下端的端面上，连接件通过弹性元件作用在插座上以使其抵靠至测试构件表面。连接件包括：盛液管、限位柱、复位弹簧、连接块、密封圈。盛液管为中空管体，盛液管与探针同轴关系。盛液管的下管口抵靠在测试构件表面的焊垫上，且该下管口外缘设置密封圈以确保管口与焊垫接触的密闭性。盛液管的表面设置两个位置向对称的连接块，连接块则通过限位柱以伸缩支撑的方式安装在插座的第二盖板上。限位柱上套装复位弹簧，复位弹簧提供了盛液管下管口抵靠焊垫的压紧力。探针的第二柱端插入盛液管中并抵触至焊垫上，同时在焊垫上布置橡胶垫，第二柱端与橡胶垫接触以完成对准。
测试构件包括主机、配线板、焊垫和驱动件。主机与配线板电性连接，多个焊垫设置在配线板的一端侧面上，驱动件能够推动配线板进行向上的位移。
优选的是，为了进一步确保柱形管在插座内的轴向固定，在柱形管的表面上形成一圈凸起于其表面的定位环。同时在插座的内壁上形成一个凹槽用于匹配定位环，两者匹配可以确保柱形管装配稳定。因此，进一步的，插座实施为分体式的构造，从凹槽处进行分体为：上层单元和下层单元，可以满足定位环及柱形管的安装。
优选的是，该测试机构根据结构需要进行阵列排布呈组，对应的在待测物体上设置多个电接点，电接点则与漏斗状管一一对应；在测试构件上同样布置多个焊垫，焊垫则与第二柱端一一对应。
优选的是，在测试时，盛液管与储液管内均需要注入导电流体，该导电流体为常温下为液态的金属汞。
基于上述结构，本方案进一步的保护了一种基于该测试装置的测试方法，包括以下步骤；
步骤a、待测定点、在待测物体上选出待测的电接点进行标记；
步骤b、形成闭路、将安装完成的插座，通过微调支撑架使漏斗状管对准待测的电接点，同时使封堵环与待测物体的下表面充分贴合。再通过驱动件在推力F作用下推动配线板向上移动，使第二柱端的下端与焊垫完全抵靠，并直至盛液管的上端与第二盖板的下端面相抵靠，使盛液管的下端与焊垫的上端面形成封闭的空间，以便液体注入，以形成初步的闭路。
其中，配线板对第二柱端施加恒定大小的推力F为：
推力F的作用能够将漏斗状管完全填满，充分的保证了导电流体与待测物体下端面的充分接触。
步骤c、下层注液、通过液体注入装置沿着盛液管外壁上端开有的注液孔，向盛液管内注入导电流体，使第二柱端部分浸没在导电流体内；
步骤d、通电测试、对测试构件进行通电，以通过主机获得关于待测的电接点的测试数据；
步骤e、更换测点、待上一批电接点的测试完成时，通过先向上移动待测物体，再将待测物体进行水平移动，将下一批待测的电接点与对应的漏斗状管相对应后，向下移动待测物体至封堵环与待测物体下表面充分贴合，然后通过主机获得待测的电接点的测试数据。
本发明的优点是：
1、通过测试构件对第二柱端施加压力的作用，弹簧力的作用变大，并通过弹簧推动第一柱端推动活塞向上移动，使漏斗状管内的液面上升，并使导电流体与待测物体的下端面充分接触。有效的将探针第一柱端接触转换成柔性体接触，充分避免了对探针与待测物体基板表面接触时，推力作用对待测物的扎痕，从而造成对待测物的破坏。同时又保护了第一柱端的尖端，避免反复测量过程中的力的作用对第一柱端尖端的磨损，使探针的灵敏性得到保证。
2、调节插座能够带动封堵环向待测物体进行微小的位移，至封堵环发生形变，与待测物体完全贴合实现封堵，并在封堵环的作用下，使受到挤压的导电流体与待测物体的下端面充分接触，同时又能阻止导电流体溢出于漏斗状管外部。待测试完成后，通过调节待测物体的位置，先向上移动待测物体，此时受挤压的封堵环恢复原有的形状，使封堵环的外边缘高度变大，并向内变形复原，使封堵环内的液面低于封堵环外边缘的最高高度，以有效防止导电流体的溢出。
3、导电流体能够使橡胶垫隔开的第二柱端和焊垫充分接触，同时橡胶垫有效解决了探针和接触点上产生刮痕和压痕而导致探针的导电性降低的问题，第二柱端和焊垫通过导电流体电性连接并充分接触，解决了探针和焊垫的接触不稳定，存在测试误差较大的问题，同时保证了每次的接触电阻恒定，通过设置盛液管与第二盖板下端面的距离为h，有效保证活塞压缩导电流体时，避免导电流体沿着漏斗状管内向外部溢出。
4、探针和插座为可拆卸组合和安装，保证了多个探针同时工作时，当某一探针发生问题，将该探针从相应的插座中拆下再进行更换即可，简单方便有效，同时解决了一个器件发生故障、整体报废的问题，避免资源浪费。
附图说明
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：
图1为一种探针装置的整体示意图；
图2为一种探针装置的剖面图；
图3为探针示意图；
图4为探针的部分示意图；
图5为测试构件施加力的作用的探针和插座的变化示意图；；
图6为测试物体与封堵环贴合、挤压、分离的变化示意图；
图7为插座的剖面主视图；
图8为第二盖板与连接件的组合示意图；
其中，1、探针；1-1、柱形管；1-2、定位环；1-3、第一柱端；1-4、弹簧；1-5、第二柱端；1-6、套筒；1-7、丝杠螺母；1-8、储液管；1-9、活塞；1-10、漏斗状管；1-11、封堵环；1-12、导电流体；1-13、固定环；2、插座；2-1、上层单元；2-2、间隔挡片；2-3、第一盖板；2-4、下层单元；2-5、第二盖板；2-6、连接件；2-6-1、盛液管；2-6-2、连接块；2-6-3、密封圈；2-6-4、限位柱；2-6-5、复位弹簧；3、支撑架；4、待测物体；4-1、电接点；5、测试构件；5-1、主机；5-2、配线板；5-3、焊垫。
具体实施方式
实施例1：
如图1-8所示，本实施例的一种探针测试装置，包括探针1、插座2、支撑架3、和测试构件5。
探针1设置在插座2内，插座2通过支撑架3固定于待测物体4和测试构件5之间，待测物体4的下端面与安装在插座2内的探针1上端电性连接，探针1的下端通过插座2与测试构件5电性连接。
插座2能够可拆卸安装在支撑架3上，并通过驱动器控制支撑架3以调节插座2的位置，同时又可以对插座进行固定，待测物体4设置在能够对其进行调节固定的器械上，以满足待测物体4的固定和移动。
通过器械移动待测物体时，能够满足待测物体向上或向下的位移实现待测物体4的复位，同时还能满足待测物体4的水平方向的位移以保证待测点的更换，实现机械化测试。驱动器和控制待测物体4移动的器械是常规技术手段，不一一赘述。
探针1包括柱形管1-1、定位环1-2、第一柱端1-3、弹簧1-4、第二柱端1-5、套筒1-6、丝杠螺母1-7、储液管1-8、活塞1-9、漏斗状管1-10、封堵环1-11、导电流体1-12和固定环1-13。
导电流体1-12为常温下为液态的金属汞。
柱形管1-1通过定位环1-2稳定设置在插座2内。
第一柱端1-3、弹簧1-4、第二柱端1-5设置在套筒1-6内，第一柱端1-3设置在套筒1-6的上端，第二柱端1-5设置在套筒1-6的下端，二者均沿着套筒1-6部分伸出于套筒1-6外，并通过弹簧1-4相连。
套筒1-6通过其两端对称设置的固定环1-13设置在柱形管1-1内，第一柱端1-3的上端设置有螺纹，其通过丝杠螺母1-7与设置在储液管1-8内的活塞1-9相连。储液管1-8上端设置有漏斗状管1-10，漏斗状管1-10上端设置有封堵环1-11，封堵环1-11与待测物体4的下端面相抵靠。
储液管1-8内盛有导电流体1-12，第二柱端1-5通过插座2与测试构件5电性连接，在第二柱端1-5下端设置有橡胶垫，橡胶垫的下端与焊垫5-3相抵靠。
通过测试构件5对第二柱端1-5施加压力的作用，弹簧1-4力的作用变大，并通过弹簧1-4推动第一柱端1-3推动活塞1-9向上移动，使漏斗状管1-10内的液面上升，使导电流体1-12与待测物体4的下端面充分接触。
将探针的第一柱端1-3接触转换成柔性体接触，充分避免了对探针施加力的作用与待测物体基板表面的接触时力的作用对待测物的扎痕，对待测物的破坏，同时又保护了第一柱端1-3的尖端，避免反复测量过程中的力的作用对第一柱端1-3尖端的磨损，使探针的灵敏性得到保证。
安装过程中，保证调节的支撑架3能够带动封堵环1-11向待测物体4进行微小的位移，至封堵环1-11发生形变，与待测物体4完全贴合实现封堵，并在封堵环1-11的作用下，使受到挤压的导电流体1-12与待测物体4的下端面充分接触，同时又能阻止导电流体1-12溢出于漏斗状管1-10外部。
待测物体4上设置有多个电接点4-1，电接点4-1与漏斗状管1-10相对应，漏斗状管1-10的作用能够保证上端的导电流体1-12的接触面积，与待测物体的4的电接点实现充分接触。
待测试完成后，通过调节待测物体4的位置，更换待测的物体。待上一批电接点4-1的测试完成时，通过先向上移动待测物体4，此时受挤压的封堵环1-11恢复原有的形态，使封堵环1-11的外边缘的最高高度变大，并向内变形复原，使封堵环1-11内的液面低于封堵环1-11外边缘的最高高度，以有效防止导电流体1-12的溢出。再将待测物体4进行水平移动，将下一批待测的电接点4-1与对应的漏斗状管1-10相对应后，向下移动待测物体4至压缩封堵环1-11发生形变，封堵环最外边缘的高度降低使封堵环1-11内的导电流体1-12与待测物体4下表面充分贴合，保证了导电流体1-12与待测物体4下端面的充分接触，实现电性连接，然后通过主机5-1获得待测的电接点4-1的测试数据。
测试构件5包括主机5-1、配线板5-2、焊垫5-3和驱动件，主机5-1与配线板5-2电性连接，多个焊垫5-3设置在配线板5-2的一端侧面上，驱动件能够推动配线板5-2进行向上的位移。
第二柱端1-5下端设置有橡胶垫，橡胶垫的下端与焊垫5-3相抵靠。
实施例2：
本实施例公开的一种插座，包括：上层单元2-1、间隔挡片2-2、第一盖板2-3、下层单元2-4、第二盖板2-5、连接件2-6。
上层单元2-1和下层单元2-4均是方形管，内部开有长方体的空腔，以充分适应柱状管1-1的外形，柱状管1-1为四棱柱状。
上层单元2-1内部设置有间隔挡片2-2，上层单元2-1的顶部设置有第一盖板2-3，上层单元2-1的开口端与下层单元2-4的一端对应相连。下层单元2-4的另一端设置有第二盖板2-5，第二盖板2-5下端设置有连接件2-6。
上层单元2-1和下层单元2-4对应连接开口端内壁就开有对应的凹槽，柱形管1-1通过定位环1-2与凹槽的配合设置在上层单元2-1和下层单元2-4之间。
漏斗状管1-10的竖向端穿过第一盖板2-3，与设置在间隔挡片2-2上的储液管1-8相连，间隔挡片2-2上开有通孔，丝杠螺母1-7活动设置在通孔内，第一柱端1-3通过丝杠螺母1-7与活塞1-9相连，第二柱端1-5的伸出端穿过第二盖板2-5，并通过连接件2-6与测试构件5相连。
上层单元2-1、间隔挡片2-2、第一盖板2-3、下层单元2-4和第二盖板2-5能够有效的将柱形管1-1内的探针本体进行有效固定，并通过控制插座2上的支撑架对探针本体进行控制，同时插座2对其内部设置的探针本体进行有效的保护，并为其测试提供有效的电性连接，上层单元2-1、间隔挡片2-2、第一盖板2-3、下层单元2-4和第二盖板2-5之间的连接可以用个螺栓连接也可以通过卡接等连接方式，本装置采用的是螺栓连接。
连接件2-6包括：盛液管2-6-1、连接块2-6-2、密封圈2-6-3、限位柱2-6-4和复位弹簧2-6-5。
盛液管2-6-1的外侧壁上对称设置有连接块2-6-2，盛液管2-6-1下端设置有密封圈2-6-3。限位柱2-6-4的一端设置在连接块2-6-2上，另一端穿过复位弹簧2-6-5活动设置在第二盖板2-5的下端。
配线板5-2上设置的焊垫5-3与盛液管2-6-1和第二柱端1-5的下端相对应，通过驱动件能够推动配线板5-2向上移动，能够对盛液管2-6-1下端封堵，并向封堵后的盛液管2-6-1注入导电流体1-12，导电流体1-12能够使橡胶垫隔开的第二柱端1-5和焊垫5-3电性连接。橡胶垫有效解决了探针和接触点上产生刮痕和压痕而导致探针的导电性降低的问题，同时第二柱端1-5和焊垫5-3通过导电流体1-12电性连接并充分接触，解决了探针和焊垫的接触不稳定，存在测试误差较大的问题，同时保证了每次的接触电阻恒定。
配线板5-2向上移动至盛液管2-6-1与第二盖板2-5相抵靠时，能够挤压活塞1-9推动注入储液管1-8内的定量导电流体1-12进入漏斗状管1-10内与待测物体完成电性连接，同时通过设置盛液管2-6-1与第二盖板2-5下端面的距离，保证有效保证活塞1-9压缩导电流体1-12时，避免导电流体1-12不会沿着漏斗状管1-10内向外部溢出。
采用此种设置实现了探针1和插座2的自由组合和安装，保证了多个探针同时工作时，针对发生问题的探针1进行拆卸相对应的插座2，拆下相应的探针进行更换即可，实现方便有效，同时解决了一个发生故障，整体报废的问题，避免资源浪费。
实施例3：
一种测试方法，包括以下步骤；
步骤a、待测定点、在待测物体4上选出待测的电接点4-1进行标记；
步骤b、形成闭路、将安装完成的插座，通过微调支撑架3使漏斗状管1-10对准待测的电接点4-1，同时使封堵环1-11与待测物体4的下表面充分贴合，通过驱动件推动配线板5-2向上移动，使第二柱端1-5的下端与焊垫5-3完全抵靠，并直至盛液管2-6-1的上端与第二盖板2-5的下端面相抵靠，使盛液管2-6-1的下端与焊垫5-3的上端面形成封闭的空间，以便液体注入，以形成初步的闭路；
步骤c、下层注液、通过液体注入装置沿着盛液管2-6-1外壁上端开有的注液孔，向盛液管2-6-1内注入导电流体1-12，使第二柱端1-5部分浸没在导电流体1-12内；
步骤d、通电测试、对测试构件5进行通电，以通过主机5-1获得关于待测的电接点4-1的测试数据；
步骤e、更换测点、待上一批电接点4-1的测试完成时，通过先向上移动待测物体
，再将待测物体4进行水平移动，将下一批待测的电接点4-1与对应的漏斗状管1-10相对应后，向下移动待测物体4至封堵环1-11与待测物体4下表面充分贴合，然后通过主机5-1获得待测的电接点4-1的测试数据。
实施例4
在上述测试方法中，通过驱动件推动配线板5-2向上移动，使第二柱端1-5的下端与焊垫5-3完全抵靠，并直至盛液管2-6-1的上端与第二盖板2-5的下端面相抵靠，使盛液管2-6-1的下端与焊垫5-3的上端面形成封闭的空间，以便液体注入，以形成初步的闭路。
驱动件对配线板5-2的推动力为：
；在该推动力下保证导电流
体1-12能够与待测物体4上的电接点4-1的充分接触。
其中，活塞1-9的直径为d；储液管1-8的体积为V；储液管1-8圆柱部分的横截面接为S；弹簧1-4的劲度系数为k；漏斗状管1-10的体积为V0；未发生向上移动的盛液管上表面至插座下表面的距离为h；h的变化量为Δh。
具体的推倒过程如下：
根据胡克定律:
；
弹簧的形变量为：
；
活塞的推进量为：
；
活塞的面积为：
；
配线板5-2施加的力为：
即：施加F大小的力的作用能够将漏斗状管1-10完全填满，充分的保证了导电流体1-12与待测物体4下端面的充分接触。
本发明实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明的。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明的所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
Claims (15)
1.一种测试装置，包括：探针以及用于插装探针的插座；探针插套于插座内的柱形管中，探针的两侧柱端可沿其轴向弹性伸缩；其特征在于：
探针，包括抵触至测试构件上焊垫的第二柱端、与待测物体间接接触的第一柱端；
储液管，包括朝向待测物体的漏斗状管口，及胀塞于储液管内活塞；漏斗状管口通过衬垫一封堵环以抵触至待测物体表面；
盛液管，包括直接抵触至所述焊垫表面的下管口；盛液管通过插座端部的具有弹性的限位柱以保持其下管口与焊垫始终接触；
所述第一柱端连接所述活塞并推压活塞内导电流体与待测物体接触实现电性连接；所述第二柱端穿过所述盛液管及其内导电流体以与测试构件电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种测试装置，其特征在于：
柱形管，叠套于所述插座内；待测物体与柱形管上相对的端部之间布置有盛放导电流体的所述储液管；
插座，测试构件与所述插座上相对的端部之间布置有贮存导电流体的所述盛液管。
3.根据权利要求1所述的一种测试装置，其特征在于：所述插座内包括形成轴向空间分隔的间隔挡片；间隔挡片一侧装配所述柱形管，其另一侧装配所述储液管；所述储液管穿过插座上端的盖板抵触至待测物体；所述第二柱端穿过插座下端的盖板抵触至所述测试构件上的焊垫。
4.根据权利要求1所述的一种测试装置，其特征在于：所述插座包括连接件，连接件包括所述盛液管、所述限位柱、复位弹簧、连接块及密封圈；所述盛液管的表面包括连接块；所述连接块与插座下端的盖板之间布置套装复位弹簧的限位柱；抵触至所述焊垫表面的盛液管下管口处套设密封圈。
5.根据权利要求1所述的一种测试装置，其特征在于：所述柱形管的表面上固定有一圈定位环；所述插座的内壁上设置与定位环匹配的槽以避免柱形管在轴向的移动。
6.根据权利要求1所述的一种测试装置，其特征在于：所述待测物体上设置有多个电接点，电接点与漏斗状管口一一对应。
7.根据权利要求1所述的一种测试装置，其特征在于：所述测试构件包括主机、配线板、所述焊垫和驱动件；所述主机与配线板电性连接，焊垫设置在配线板上，所述驱动件能够推动配线板向上的位移。
8.根据权利要求1所述的一种测试装置，其特征在于：所述柱形管的两端均装配有固定环作为管体端部；所述固定环与柱形管端部通过螺纹连接。
9.根据权利要求8所述的一种测试装置，其特征在于：所述探针通过探针上的套筒与所述固定环螺纹连接以实现探针的相对固定。
10.根据权利要求1所述的一种测试装置，其特征在于：所述第二柱端的下端设置有橡胶垫，橡胶垫与所述焊垫接触抵靠。
11.根据权利要求1所述的一种测试装置，其特征在于：所述导电流体为常温下液态的金属汞。
12.根据权利要求1所述的一种测试装置，其特征在于：所述活塞通过丝杠螺母与所述第一柱端连接，且活塞与丝杠螺母均为导电的金属制成。
13.一种应用权利要求1所述的测试装置进行的测试方法，其特征在于：步骤包括：
S1、待测定点，在待测物体上选出待测的电接点并进行标记；
S2、形成闭路，将安装完成的插座，调整漏斗状管口对准待测的电接点，同时使封堵环与待测物体的下表面充分贴合；驱动测试构件上移至：插座的下端为第二盖板，第二柱端的下端与焊垫完全抵靠、及盛液管的上端与第二盖板的下端面完全抵靠；同时盛液管的下端与焊垫的上端面抵触形成封闭；
S3、下层注液，通过盛液管外壁上的注液孔向盛液管内注入导电流体，确保第二柱端浸没在导电流体内；
S4、通电测试，对测试构件进行通电，以通过主机获得关于待测的电接点的测试数据。
14.根据权利要求13所述的测试方法，其特征在于：在S2中，驱动测试构件上移的推力F：
其中，d为活塞的直径；h为未发生向上移动的盛液管上表面至插座下表面的距离；k为弹簧的劲度系数；V0为漏斗状管口的体积。
15.根据权利要求13所述的测试方法，其特征在于：还包括：
S5、更换测点，待上一批电接点的测试完成，通过先向上移动待测物体，再将待测物体进行水平移动；将下一批待测的电接点与对应的漏斗状管相对应后，向下移动待测物体至封堵环与待测物体下表面充分贴合，然后通过主机获得下一批电接点的测试数据。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011227744.9A CN112327128B (zh) | 2020-11-06 | 2020-11-06 | 一种测试装置及测试方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011227744.9A CN112327128B (zh) | 2020-11-06 | 2020-11-06 | 一种测试装置及测试方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112327128A CN112327128A (zh) | 2021-02-05 |
| CN112327128B true CN112327128B (zh) | 2021-05-14 |
Family
ID=74316777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202011227744.9A Active CN112327128B (zh) | 2020-11-06 | 2020-11-06 | 一种测试装置及测试方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112327128B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114994516B (zh) * | 2022-08-03 | 2022-10-11 | 深圳市速德瑞科技有限公司 | 一种便携式防水电路脉冲信号检测装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4603023A (en) * | 1983-12-01 | 1986-07-29 | International Business Machines Corporation | Method of making a hybrid dielectric probe interposer |
| KR20080031311A (ko) * | 2005-08-04 | 2008-04-08 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 접속 구조체의 제조 방법 |
| KR101149760B1 (ko) * | 2009-07-03 | 2012-06-01 | 리노공업주식회사 | 검사용 탐침 장치 |
| CN105092908B (zh) * | 2015-06-04 | 2017-11-14 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种测试探针和测试装置 |
| CN107688107B (zh) * | 2016-08-04 | 2019-11-22 | 创意电子股份有限公司 | 测试装置与其探针连接器 |
| CN110247218A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-09-17 | 法特迪精密科技（苏州）有限公司 | 一种适用于集成电路的超高频测试用插座 |
-
2020
- 2020-11-06 CN CN202011227744.9A patent/CN112327128B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN112327128A (zh) | 2021-02-05 |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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