TW201713953A

TW201713953A - 探針以及具備其的檢測夾具

Info

Publication number: TW201713953A
Application number: TW105129530A
Authority: TW
Inventors: Hirotada Teranishi; Takahiro Sakai; Makoto Kondo
Original assignee: Omron Tateisi Electronics Co
Priority date: 2015-09-15
Filing date: 2016-09-12
Publication date: 2017-04-16
Also published as: WO2017047495A1; JP2017059363A; JP6641818B2

Abstract

在包括螺旋彈簧（50）、第1柱塞（30）、第2柱塞（40）的探針中，第1柱塞（30）包括：第1插入部（31），配置於螺旋彈簧（50）的內部；以及第1接觸部（32），露出於所述螺旋彈簧的外部，並且設置著能夠沿中心線往復移動的第1觸點（34），第2柱塞（40）包括：第2插入部（41），配置於螺旋彈簧（50）的內部，且，能夠滑動移動地連結於第1插入部（31）；以及第2接觸部（42），露出於所述螺旋彈簧的外部，並且設置著能夠沿與中心線交叉的方向往復移動的第2觸點（47）。

Description

探針以及具備其的檢測夾具

本發明是有關於一種探針以及具備該探針的檢測夾具。

先前，關於探針，有記載於專利文獻1中的探針。該探針具備一端設置著接觸（contact）部的同一形狀的兩個觸針（contact pin）、以及螺旋彈簧（coil spring）。而且，兩個觸針以接觸部露出的方式自螺旋彈簧的兩端分別插入，在螺旋彈簧的內部彼此正交，且，能夠滑動移動地結合。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2008-516398號公報

[發明所欲解決之課題] 且說，近年來，伴隨被檢測物的複雜化及多樣化，被檢測物的端子的配置受到限制的情況增加。例如，在因被檢測物的端子的配置限制，而無法將被檢測物的端子與檢測裝置的端子在同一直線上彼此相向地加以配置的情況下，所述探針中，兩端的接觸部無法同時接觸到被檢測物的端子及檢測裝置的端子，從而無法進行導通檢測。

因此，本發明的課題在於提供能夠應對被檢測物的複雜化及多樣化的探針以及具備該探針的檢測夾具。 [解決課題之手段]

本發明的探針是為了解決所述課題，包括：螺旋彈簧，沿中心線伸縮；導電性的第1柱塞（plunger），自所述螺旋彈簧的一端沿著所述中心線向所述螺旋彈簧的內部延伸；以及導電性的第2柱塞，自所述螺旋彈簧的另一端沿著所述中心線向所述螺旋彈簧的內部延伸，所述第1柱塞包括：第1插入部，配置於所述螺旋彈簧的內部；第1接觸部，露出於所述螺旋彈簧的外部，並且設置著能夠沿著所述中心線往復移動的第1觸點；以及第1支持部，設置於所述第1接觸部與所述第1插入部的邊界部分，沿與所述中心線交叉的方向延伸，並且，與所述螺旋彈簧的一端接觸而對所述螺旋彈簧進行防脫保持，所述第2柱塞包括：第2插入部，配置於所述螺旋彈簧的內部且能夠滑動移動地連結於所述第1插入部；第2接觸部，露出於所述螺旋彈簧的外部，並且設置著能夠沿與所述中心線交叉的方向往復移動的第2觸點；以及第2支持部，設置於所述第2接觸部與所述第2插入部的邊界部分，沿與所述中心線交叉的方向延伸，並且與所述螺旋彈簧的另一端接觸而對所述螺旋彈簧進行防脫保持。 [發明的效果]

根據本發明的探針，具備：第1觸點，能夠沿螺旋彈簧的中心線往復移動；以及第2觸點，能夠沿與螺旋彈簧的中心線交叉的方向往復移動。因此，例如，即便在無法將被檢測物的端子與檢測裝置的端子配置於同一直線上，且若不使一觸點沿與螺旋彈簧的中心線交叉的方向往復移動便無法同時接觸到被檢測物的端子與檢測裝置的端子的情況下，亦可同時接觸到被檢測物的端子與檢測裝置的端子。

以下，參照隨附圖式對本發明的實施形態進行說明。另外，以下的說明中，在對圖式表示的構成進行說明時，使用「上」、「下」、「左」、「右」等表示方向的用語以及包含該些在內的其他用語，但使用該些用語的目的是為了透過圖式使實施形態容易理解。因此，該些用語只不過是表示本發明的實施形態實際被使用時的方向，而不應由該些用語對申請專利範圍中記載的發明的技術範圍進行限定性解釋。

（第1實施形態）具備本發明的第1實施形態的探針3的檢測夾具1如圖1～圖3所示，具備絕緣性的殼體2、以及收納於該殼體2內的多個探針3。

殼體2如圖1所示，具有俯視為矩形的形狀，包括第1殼體的一例的下部殼體10，以及設置於下部殼體10上（圖1的Z方向的上側）的第2殼體的一例的上部殼體20。而且，在殼體2的內部設置著收容保持探針3的收容保持部4。該收容保持部4如圖2所示，包含設置於下部殼體10的保持部11及設置於上部殼體20的收納部28。

下部殼體10如圖3所示，包括：多個保持部11，用以保持多個探針3；四個卡合突部12，用以將下部殼體10及上部殼體20定位；以及一對安裝孔13，用以將下部殼體10與上部殼體20固定並且將殼體2固定於基板等。

各保持部11包含：貫通孔111，在Z方向上貫通下部殼體10；以及保持槽部112，與該貫通孔111連通，且以沿Y方向延伸的方式設置於下部殼體10的上表面。各保持部11以形成沿X方向延伸的平行的兩行的方式，等間隔地配置在下部殼體10的上表面。保持部11的兩行如圖2所示，以後述的探針3的第2觸點47彼此相向的方式，在短邊方向（Y方向）上隔開間隔而配置。即，保持槽部112設置於下部殼體10的與上部殼體20相向的面。

各卡合突部12以自下部殼體10的上表面朝向Z方向的上側突出的方式設置。而且，各卡合突部12在下部殼體10的X方向的兩端部的保持部11與安裝孔13之間，以與下部殼體10的沿X方向延伸的長側的兩邊相向的方式配置。

各安裝孔13具有在Z方向上貫通下部殼體10且能夠供緊固構件插入的形狀，分別配置於下部殼體10的X方向的兩端（圖3中僅表示一端）。

上部殼體20如圖3所示，包括：一對支持部21、支持部22，用以支持被檢測物；檢測部（檢測槽部）23，用以供被檢測物插入且進行通電檢測；四個卡合接受部24（圖3中僅表示兩個），用以對下部殼體10及上部殼體20進行定位；以及一對安裝孔25（圖3中僅表示一個），用以將上部殼體20固定於基板等。

各支持部21、支持部22以自上部殼體20的上表面向Z方向突出的方式設置，分別配置於上部殼體20的X方向的兩端。在各支持部21、支持部22的彼此相向的側面，分別設置著沿Z方向延伸的支持槽部26、支持槽部27。各支持槽部26、支持槽部27如圖2所示，包括：槽部261、槽部271（圖2中僅表示一者），以及與槽部261、槽部271的Z方向的上側相連的導入部262、導入部272（圖2中僅表示一者）。各槽部261、槽部271具有能夠供被檢測物插入的大致相同的寬度。而且，各導入部262、導入部272具有隨著朝向Z方向的上側而逐漸增大的寬度。

檢測部23在上部殼體20的上表面沿X方向設置，如圖2所示，在Z方向上貫通。該檢測部23在將上部殼體20固定於下部殼體10時，以位於下部殼體10的保持部11的行之間的方式配置。而且，檢測部23的X方向的兩端分別與支持槽部26、支持槽部27連通。

各卡合接受部24設置成在將上部殼體20固定於下部殼體10時，能夠與下部殼體10的對應的卡合突部12卡合。該卡合接受部24配置於各支持部21、支持部22的X方向的外側且Z方向的下側的兩角部。

各安裝孔25具有在Z方向上貫通上部殼體20且能夠供緊固構件插入的形狀。該安裝孔25以在將上部殼體20固定於下部殼體10時與下部殼體10的安裝孔13一致的方式，分別配置於上部殼體20的X方向的兩端（圖3中僅表示一端）。

而且，在上部殼體20的底面，如圖2所示，設置著多個收納部28，該多個收納部28用以將後述探針3的第2觸點47以能夠往復動作的方式加以收納。各收納部28與多個保持部11的各者對應，在將上部殼體20固定於下部殼體10時，以與對應的保持部11連通且於在Y方向上鄰接的保持部11側具有開口部281的方式配置。而且，各收納部28以其Y方向的寬度較保持部11的保持槽部112的Y方向的長度小的方式設置。

即，收容保持部4包括：收納部28，設置著能夠供第2觸點47與插入至檢測部23的被檢測物的端子接觸的開口部281；以及貫通孔111，能夠供露出於外部的第1觸點34與安裝於殼體2的基板的端子接觸。

各探針3如圖4～圖6所示，包括第1柱塞30、第2柱塞40、及螺旋彈簧50。第1柱塞30、第2柱塞40分別具有導電性，例如利用電鑄法形成。

第1實施形態的探針3中，第1柱塞30自螺旋彈簧50的一端沿著在螺旋彈簧50的Z方向上延伸的中心線CL1插入，且延伸至螺旋彈簧50的內部。第2柱塞40以其板面與第1柱塞30的板面正交的方式，自螺旋彈簧50的另一端沿著中心線CL1（圖5所示）插入，且延伸至螺旋彈簧50的內部。而且，第1柱塞30及第2柱塞40經由後述的第1插入部31及第2插入部41而在螺旋彈簧50的內部彼此連結。

另外，將第1柱塞30的與板厚方向（X方向）正交的面作為板面，將第2柱塞40的與板厚方向（Y方向）正交的面作為板面。而且，將和與板面正交的板厚方向平行的面作為側面。

第1柱塞30如圖6所示，具有為大致相同的板厚且寬度方向（Y方向）對稱的矩形的板形狀。該第1柱塞30包括：配置於螺旋彈簧50的內部的第1插入部31，以及與該第1插入部31一體成形且露出於螺旋彈簧50的外部的第1接觸部32。

第1插入部31在其板面的頂端側（圖6的上側）具有貫通第1插入部31的導槽33。該導槽33為沿第1插入部31的長邊方向（圖6的上下方向）延伸的矩形狀，且具有較第2柱塞40的板厚大的寬度。

第1接觸部32具有設置於其頂端（圖6的下側）的第1觸點34。第1觸點34具有板面觀察為圓弧的形狀。而且，在第1接觸部32與第1插入部31的邊界部分，設置著一對第1支持部35。各第1支持部35以自第1接觸部32的兩側面突出的方式設置，沿與中心線CL1正交的方向延伸。關於各第1支持部35，其頂端間的距離大於螺旋彈簧50的內徑，且與螺旋彈簧50的Z方向的下側的端部接觸而對螺旋彈簧50進行防脫保持。

另外，第1柱塞30的中心線與螺旋彈簧50的中心線CL1一致。

第2柱塞40如圖6所示，具有大致相同的板厚，且包括：配置於螺旋彈簧50的內部的第2插入部41，以及與該第2插入部41一體成形且露出於螺旋彈簧50的外部的第2接觸部42。

第2插入部41包含沿中心線CL1延伸的第1彈性片43及第2彈性片44。第1彈性片43及第2彈性片44的各者隔開較第1柱塞30的板厚大的間隔而彼此大致平行地配置。而且，第1彈性片43及第2彈性片44以長度不同且第1彈性片43較第2彈性片44短的方式設置。

在第1彈性片43的與第2彈性片44相向的內側面的頂端，以突出的方式設置導引突起431。該導引突起431構成為能夠卡合於第1柱塞30的第1插入部31的導槽33。而且，在第2彈性片44的與第1彈性片43相向的內側面的頂端，以突出的方式設置接觸突起441。第1彈性片43及第2彈性片44構成為在第1彈性片43的導引突起431卡合於第1柱塞30的導槽33的狀態下，第2彈性片44的接觸突起441能夠接觸到第1柱塞30的導槽33與第1支持部35之間的板面。

第2接觸部42包含：連接著第2插入部41的第2支持部45，以及自該第2支持部45朝向Z方向的上側突出的彈性部46。

第2支持部45具有矩形的平板形狀，設置於第2接觸部42的與第2插入部41的邊界部分，沿X方向（與中心線CL1正交的方向）延伸。關於該第2支持部45，其兩端451、452間的距離L1大於螺旋彈簧50的內徑，且與螺旋彈簧50的Z方向的上側的端部接觸而對螺旋彈簧50進行防脫保持。而且，第2支持部45以自中心線CL1至X方向的左側的端452為止的距離L2大於自中心線CL1至X方向的右側的端451為止的距離L1的方式設置。

彈性部46包含以相對於中心線CL1而不同的角度配置的連續的三個直線部461、直線部462、直線部463。第1直線部461自第2支持部45沿中心線CL1延伸。第2直線部461以與第1直線部461的Z方向的上側的端部相連而與第1直線部461形成銳角的方式延伸。第3直線部463以與第2直線部462的Z方向的下側的端部相連而與第2直線部462形成鈍角的方式延伸。

各直線部461、直線部462、直線部463的連接部分分別彎曲，第2直線部462與第3直線部463的連接部分構成第2觸點47。該第2觸點47如圖5所示，以自中心線CL1算起的距離L3大於自中心線CL1至第2支持部45的X方向的右側的端451為止的距離L2的方式配置。

另外，對圖5所示的自然狀態的第2觸點47施加負載，若在向X方向左方壓入後，釋放施加至第2觸點47的力，則第2觸點47被彈性部46朝向X方向右方施力，恢復為自然狀態。即，利用彈性部46的彈性力進行第2觸點47的X方向的往復移動。

而且，第1柱塞30的第1插入部31及第2柱塞40的第2插入部41如圖5所示，以第2柱塞40的第1彈性片43的導引突起431卡合於第1柱塞30的導槽33，且，第2柱塞40的第2彈性片44的接觸突起441與第1柱塞30的第1插入部31的板面接觸的狀態，能夠滑動移動地連結。

螺旋彈簧50例如包含碳鋼或者不鏽鋼，以沿著其中心線CL1（圖5所示）伸縮的方式形成。該螺旋彈簧50具有能夠供第1柱塞30的第1插入部31及第2柱塞40的第2插入部41插入的內徑。而且，該螺旋彈簧50如圖2所示，具有能夠插入至下部殼體10的保持部11的貫通孔111的外徑。

另外，螺旋彈簧50如圖4所示，在第1柱塞30與第2柱塞40彼此連結的狀態下，其兩端由第1柱塞30的第1支持部35與第2柱塞40的第2支持部45進行防脫保持，從而以一直被壓縮的方式調整彈簧長度。

接下來，對具備第1實施形態的探針3的檢測夾具1的組裝步驟進行說明。

最初，組裝探針3。首先，自螺旋彈簧50的一端側沿著中心線CL1插入第1柱塞30的第1插入部31，另一方面，自螺旋彈簧50的另一端側沿著中心線CL1插入第2柱塞40的第2插入部41。此時，第1柱塞30及第2柱塞40的各者以各板面彼此正交的方式插入。

若將第1柱塞30及第2柱塞40的各者插入至螺旋彈簧50的內部，則第2柱塞40的接觸突起441與第1柱塞30的第1插入部31的板面接觸，且，第2柱塞40的導引突起431卡合於第1柱塞30的導槽33，而第1柱塞30、第2柱塞40彼此連結。由此，將各探針3組裝。

若各探針3的組裝完成，則分別將各探針3裝配於下部殼體10的保持部11。此時，如圖2所示，各探針3將第1柱塞30自Z方向的上側插入至對應的保持部11的貫通孔111，將第2支持部45插入至保持槽部112。由此，各探針3以包含第1觸點34的第1接觸部32的一部分露出於下部殼體10的Z方向的下側，且，包含第2觸點47的第2接觸部42的一部分露出於下部殼體10的Z方向的上側的狀態，保持於下部殼體10。

在將探針3裝配於所有的保持部11後，自下部殼體10的Z方向的上側安裝上部殼體20。此時，露出於下部殼體10的Z方向的上側的第2接觸部42的各者收納於上部殼體20的底面所對應的收納部28，第2觸點47配置於檢測部23內。而且，如圖2所示，各第2支持部45由下部殼體10與上部殼體20夾持，而將各探針3固定。

而且，如圖7所示，將緊固構件106分別插入至成為一體的下部殼體10的各安裝孔13與上部殼體20的對應的安裝孔25，而將檢測夾具1固定於基板100。此時，檢測夾具1如圖8所示，以各探針3的第1觸點34與基板100的端子105接觸的方式固定。如此，檢測夾具1的組裝步驟結束。

如此組裝的檢測夾具1被用於在如兩面基板的兩面具有電極的被檢測物的一例的器件（device）200的導通檢測中。該導通檢測如圖7所示，是將器件200插入至檢測部23而進行。此時，器件200的X方向的兩端被分別保持於各支持部21、支持部22，而且，如圖8所示，所述器件200以分別設置於一對相向面的多個端子205的各者與各探針3的第2觸點47接觸的方式插入至檢測部23。

第1實施形態的探針3具備：能夠沿著螺旋彈簧50的中心線CL1往復移動的第1觸點34，以及能夠沿與螺旋彈簧50的中心線CL1交叉的方向所正交的方向往復移動的第2觸點47。因此，例如，即便在無法將被檢測物的端子與檢測裝置的端子配置於同一直線上，且若不使一觸點沿與螺旋彈簧的中心線交叉的方向往復移動便無法同時接觸到被檢測物的端子與檢測裝置的端子的情況下，亦可同時接觸到被檢測物的端子與檢測裝置的端子。

而且，第2柱塞40的第2觸點47的往復移動是利用彈性部46的彈性力來進行。因此，無須使用螺旋彈簧等其他彈性構件便可使第2觸點47往復移動，因而零件個數減少，從而可降低製造成本。

而且，檢測夾具1因具備第1實施形態的探針3，故能夠應對被檢測物的複雜化及多樣化。

而且，探針3的第2支持部45由下部殼體10及上部殼體20夾持，因而可容易地裝卸探針3。因此，即便多個探針3中的一個損壞，亦可僅將該損壞的探針3簡單地替換。

（第2實施形態）圖9是表示第2實施形態的探針103的立體圖。該第2實施形態中，對與第1實施形態相同的部分附上相同的參考編號並省略說明，對與第1實施形態不同的方面進行說明。

第2實施形態的探針103如圖9所示，就在第2柱塞40設置具有波狀的彈性部146的方面而言，與第1實施形態的探針3不同。

在彈性部146設置著在板厚方向上貫通彈性部146的貫通孔147。由此，可對第2觸點47的恢復力進行調整。

如此，關於第2柱塞40的彈性部，只要第2觸點47能夠沿與螺旋彈簧50的中心線CL1交叉的方向往復移動，則可採用任意的形狀及構造。即，第2觸點47不限於設置成能夠沿與螺旋彈簧50的中心線CL1正交的方向往復移動的情況，只要為與螺旋彈簧50的中心線CL1交叉的方向，則亦可設置成能夠沿任意的方向往復移動。

（其他實施形態）第1實施形態的探針3及第2實施形態的探針103如圖7所示，不限於器件200的導通檢測中所使用的檢測夾具1。例如，如圖10～圖13所示，亦可用於發光二極體（light emitting diode，LED）元件210的導通檢測中所使用的檢測夾具101。另外，圖10～圖13中表示第1實施形態的探針3。

檢測夾具101如圖10～圖12所示，具備：包含下部殼體110與上部殼體120的大致正方體的殼體102，以及收納於殼體102內的4根探針3。

下部殼體110如圖12所示，具有四個保持部11、以及設置於各角部的安裝孔13。

各保持部11包含：貫通孔111，在Z方向上貫通下部殼體110；以及保持槽部112，與該貫通孔111連通且以沿Y方向延伸的方式設置於下部殼體110的上表面。各保持部11以形成沿X方向延伸的平行的兩行的方式，等間隔地配置在下部殼體110的上表面。而且，各保持部11的兩行如圖11所示，以探針3的第2觸點47彼此相向的方式在Y方向上隔開間隔而配置。

而且，上部殼體120具有設置於中央部的檢測部（檢測凹部）23、以及設置於各角部的安裝孔25。

該檢測夾具101的導通檢測如圖13所示，是固定於基板100上，將LED元件210插入至檢測部23而進行。此時，LED元件210雖未圖示，但是以設置於一對相向面的端子與探針3的第2觸點47接觸的方式插入至檢測部23。

第1柱塞30的第1觸點34的形狀不限於圓弧狀，可根據探針的設計等而適當選擇三角形或四邊形等。

第2柱塞40的第1彈性片43的導引突起431只要可插入嵌合於第1柱塞30的導槽33，並且只要可沿導槽33內滑動移動即可，形狀、大小等可適當選擇。

第2柱塞40的第2支持部45只要可支持螺旋彈簧50，且可由下部殼體10及上部殼體20夾持即可，形狀、大小等可適當選擇。

下部殼體10的保持部11可根據所使用的探針而適當選擇形狀、大小等。

第1柱塞30、第2柱塞40的板厚不限於相同，亦可具有因部分而異的板厚。

第1柱塞30、第2柱塞40亦可根據設計而進行鍍敷、塗佈等表面處理。

第1柱塞30、第2柱塞40不限於電鑄法，只要可能，則可採用任意的製造方法。

在第1柱塞30設置導槽33，在第2柱塞40設置第1彈性片43、第2彈性片44，但不限於此。例如，亦可在第1柱塞設置第1彈性片、第2彈性片，在第2柱塞設置導槽。

第1柱塞30、第2柱塞40在自螺旋彈簧50的兩端分別插入時，只要彼此能夠滑動移動且能夠導通地連結，則可採用任意的構成。

以上，參照圖式對本發明的各種實施形態進行了詳細說明，最後，對本發明的各種態樣進行說明。

本發明的第1態樣的探針包括：螺旋彈簧，沿中心線伸縮；導電性的第1柱塞，自所述螺旋彈簧的一端沿著所述中心線插入至所述螺旋彈簧的內部；以及導電性的第2柱塞，自所述螺旋彈簧的另一端沿著所述中心線插入至所述螺旋彈簧的內部，所述第1柱塞包括：第1插入部，插入至所述螺旋彈簧的內部；第1接觸部，與所述第1插入部相連，並且設置著能夠沿著所述中心線往復移動的第1觸點；以及第1支持部，設置於所述第1接觸部的與所述第1插入部的邊界部分，沿與所述中心線交叉的方向延伸，並且，對所述螺旋彈簧進行支持，所述第2柱塞包括：第2插入部，插入至所述螺旋彈簧的內部，且能夠滑動移動地連結於所述第1插入部；第2接觸部，設置著能夠沿與所述中心線交叉的方向往復移動的第2觸點；以及第2支持部，設置於所述第2接觸部的與所述第2插入部的邊界部分，沿與所述中心線交叉的方向延伸，並且對所述螺旋彈簧進行支持。

換言之，第1態樣的探針包括：螺旋彈簧，沿中心線伸縮；導電性的第1柱塞，自所述螺旋彈簧的一端沿著所述中心線向所述螺旋彈簧的內部延伸；以及導電性的第2柱塞，自所述螺旋彈簧的另一端沿著所述中心線向所述螺旋彈簧的內部延伸，所述第1柱塞包括：第1插入部，配置於所述螺旋彈簧的內部；第1接觸部，露出於所述螺旋彈簧的外部，並且設置著能夠沿著所述中心線往復移動的第1觸點；以及第1支持部，設置於所述第1接觸部與所述第1插入部的邊界部分，沿與所述中心線交叉的方向延伸，並且，與所述螺旋彈簧的一端接觸而對所述螺旋彈簧進行防脫保持，所述第2柱塞包括：第2插入部，配置於所述螺旋彈簧的內部且能夠滑動移動地連結於所述第1插入部；第2接觸部，露出於所述螺旋彈簧的外部，並且設置著能夠沿與所述中心線交叉的方向往復移動的第2觸點；以及第2支持部，設置於所述第2接觸部與所述第2插入部的邊界部分，沿與所述中心線交叉的方向延伸，並且與所述螺旋彈簧的另一端接觸而對所述螺旋彈簧進行防脫保持。

根據第1態樣的探針，具備能夠沿著螺旋彈簧的中心線往復移動的第1觸點、以及能夠沿與螺旋彈簧的中心線交叉的方向往復移動的第2觸點。因此，例如，即便在無法將被檢測物的端子與檢測裝置的端子配置於同一直線上，且若不使一觸點沿與螺旋彈簧的中心線交叉的方向往復移動便無法同時接觸到被檢測物的端子與檢測裝置的端子的情況下，亦可同時接觸到被檢測物的端子與檢測裝置的端子。

本發明的第2態樣的探針中，所述第2接觸部包括彈性部，所述彈性部以恢復至未被施加負載的狀態即自然狀態的方式對所述第2觸點向與所述中心線交叉的方向施力，藉由該彈性部的彈性力來進行所述第2觸點的往復移動。

根據第2態樣的探針，第2觸點的往復移動是藉由彈性部的彈性力而進行。因此，無須使用螺旋彈簧等其他彈性構件便可使第2觸點往復移動，因而零件個數減少，從而可降低製造成本。

本發明的第3態樣的檢測夾具為用以進行分別設置於被檢測物的一對相向面的端子、與設置於基板上的端子之間的導通檢測的檢測夾具，包括：殼體，具有能夠供所述被檢測物插入的檢測部；請求項1或請求項2所述的探針，以如下方式可裝卸地收納於所述殼體內，即，在將所述被檢測物插入至所述檢測部時所述第2觸點與所述被檢測物的端子接觸，且在將所述殼體安裝於所述基板上時所述第1觸點與所述基板的端子接觸。

換言之，第3態樣的檢測夾具為用以進行分別設置於被檢測物的一對相向面的端子、與設置於基板上的端子之間的導通檢測的檢測夾具，包括：所述探針；殼體，具有能夠供所述被檢測物插入的檢測部、及收容保持所述探針的收容保持部，所述收容保持部包括：收納部，設置著能夠供所述第2觸點與插入至所述檢測部的所述被檢測物的所述端子接觸的開口部；以及貫通孔，能夠供露出於外部的所述第1觸點與安裝於所述殼體的所述基板的所述端子接觸。

根據第3態樣的檢測夾具，因具備所述探針，故可應對被檢測物的複雜化及多樣化。

本發明的第4態樣的檢測夾具中，所述殼體包括：第1殼體，以所述第1接觸部、第2接觸部中的至少一部分露出的方式保持所述探針；以及第2殼體，連結於所述第1殼體，並且設置著所述檢測部與收納部，所述收納部與所述檢測部連通且以能夠供所述第2觸點往復移動的方式收納所述第2接觸部，所述探針的第2支持部由所述第1殼體、第2殼體夾持。

換言之，如請求項3所述的檢測夾具，第4態樣的檢測夾具中，所述殼體包括：第1殼體，具有以所述第1接觸部及第2接觸部的至少一部分露出的方式將所述探針保持於內部的所述貫通孔，及供所述探針的第2支持部插入的保持槽部；以及第2殼體，連結於所述第1殼體，並且設置著所述檢測部與所述收納部，所述保持槽部設置於所述第1殼體的與所述第2殼體相向的面，所述第2支持部由所述第1殼體及第2殼體夾持。

根據第4態樣的檢測夾具，因探針的第2支持部由第1殼體、第2殼體夾持，故可容易地裝卸探針。因此，即便多個探針中的一個損壞，亦可僅將該損壞的探針簡單地替換。

另外，藉由將所述各種實施形態或變形例中的任意實施形態或變形例適當地加以組合，而可實現各自所具有的效果。而且，能夠將實施形態彼此加以組合或將實施例彼此加以組合或者將實施形態與實施例加以組合，並且亦能夠將不同的實施形態或實施例中的特徵彼此加以組合。

本發明是一面參照隨附圖式一面對於較佳的實施形態進行了充分記載，但對於熟悉該技術的人員來說各種變形或修正是明瞭的。此種變形或修正只要不脫離由隨附的申請專利範圍所規定的本發明的範圍，則應理解為包含於其中。 [產業上的可利用性]

本發明的探針及檢測夾具不限於所述實施形態，可應用於其他半導體積體電路及半導體器件等的檢測單元。

1、101‧‧‧檢測夾具
2、102‧‧‧殼體
3、103‧‧‧探針
4‧‧‧收容保持部
10、110‧‧‧下部殼體（第1殼體）
11‧‧‧保持部
111、147‧‧‧貫通孔
112‧‧‧保持槽部
12‧‧‧卡合突部
13、25‧‧‧安裝孔
20、120‧‧‧上部殼體（第2殼體）
21、22‧‧‧支持部
23‧‧‧檢測部
24‧‧‧卡合接受部
26、27‧‧‧支持槽部
261、271‧‧‧槽部
262、272‧‧‧導入部
28‧‧‧收納部
281‧‧‧開口部
30‧‧‧第1柱塞
31‧‧‧第1插入部
32‧‧‧第1接觸部
33‧‧‧導槽
34‧‧‧第1觸點
35‧‧‧第1支持部
40‧‧‧第2柱塞
41‧‧‧第2插入部
42‧‧‧第2接觸部
43‧‧‧第1彈性片
431‧‧‧導引突起
44‧‧‧第2彈性片
441‧‧‧接觸突起
45‧‧‧第2支持部
451‧‧‧支持部的右側的端
452‧‧‧支持部的左側的端
46、146‧‧‧彈性部
461‧‧‧第1直線部
462‧‧‧第2直線部
463‧‧‧第3直線部
47‧‧‧第2觸點
50‧‧‧螺旋彈簧
100‧‧‧基板
105‧‧‧端子
106‧‧‧緊固構件
200‧‧‧器件
205‧‧‧端子
210‧‧‧LED元件
CL1‧‧‧中心線
L1、L2、L3‧‧‧距離
X、Y、Z‧‧‧方向

本發明的該些及其他目的與特徵根據關於隨附圖式的實施形態所關聯的如下記述而明瞭。該圖式中：圖1是具備本發明的第1實施形態的探針的檢測夾具的立體圖。圖2是沿著圖1的II-II線的剖視圖。圖3是圖1的檢測夾具的分解立體圖。圖4是本發明的第1實施形態的探針的立體圖。圖5是沿著圖4的V-V線的剖視圖。圖6是圖4的探針的分解立體圖。圖7是用以說明圖1的檢測夾具的檢測狀態的立體圖。圖8是沿著圖7的VIII-VIII線的剖視圖。圖9是本發明的第2實施形態的探針的立體圖。圖10是具備本發明的第1實施形態的探針的其他檢測夾具的立體圖。圖11是沿著圖10的XI-XI線的剖視圖。圖12是圖10的檢測夾具的分解立體圖。圖13是用以說明圖10的檢測夾具的檢測狀態的立體圖。

3‧‧‧探針

30‧‧‧第1柱塞

31‧‧‧第1插入部

32‧‧‧第1接觸部

33‧‧‧導槽

34‧‧‧第1觸點

35‧‧‧第1支持部

40‧‧‧第2柱塞

41‧‧‧第2插入部

42‧‧‧第2接觸部

43‧‧‧第1彈性片

431‧‧‧導引突起

44‧‧‧第2彈性片

441‧‧‧接觸突起

45‧‧‧第2支持部

451‧‧‧支持部的右側的端

452‧‧‧支持部的左側的端

46‧‧‧彈性部

47‧‧‧第2觸點

50‧‧‧螺旋彈簧

X、Y、Z‧‧‧方向

Claims

一種探針，包括：螺旋彈簧，沿中心線伸縮；導電性的第1柱塞，自所述螺旋彈簧的一端沿著所述中心線向所述螺旋彈簧的內部延伸；以及導電性的第2柱塞，自所述螺旋彈簧的另一端沿著所述中心線向所述螺旋彈簧的內部延伸，所述第1柱塞包括：第1插入部，配置於所述螺旋彈簧的內部；第1接觸部，露出於所述螺旋彈簧的外部，並且設置著能夠沿著所述中心線往復移動的第1觸點；以及第1支持部，設置於所述第1接觸部與所述第1插入部的邊界部分，沿與所述中心線交叉的方向延伸，並且，與所述螺旋彈簧的一端接觸而對所述螺旋彈簧進行防脫保持，所述第2柱塞包括：第2插入部，配置於所述螺旋彈簧的內部且能夠滑動移動地連結於所述第1插入部；第2接觸部，露出於所述螺旋彈簧的外部，並且設置著能夠沿與所述中心線交叉的方向往復移動的第2觸點；以及第2支持部，設置於所述第2接觸部與所述第2插入部的邊界部分，沿與所述中心線交叉的方向延伸，並且與所述螺旋彈簧的另一端接觸而對所述螺旋彈簧進行防脫保持。
如申請專利範圍第1項所述的探針，其中所述第2接觸部包括彈性部，所述彈性部以恢復至未被施加負載的狀態即自然狀態的方式對所述第2觸點向與所述中心線交叉的方向施力，藉由所述彈性部的彈性力來進行所述第2觸點的往復移動。
一種檢測夾具，其為用以進行分別設置於被檢測物的一對相向面的端子、與設置於基板上的端子之間的導通檢測的檢測夾具，包括：如申請專利範圍第1項或第2項所述的探針；以及殼體，具有能夠供所述被檢測物插入的檢測部、及收容保持所述探針的收容保持部，所述收容保持部包括：收納部，設置著能夠供所述第2觸點與插入至所述檢測部的所述被檢測物的所述端子接觸的開口部；以及貫通孔，能夠供露出於外部的所述第1觸點與安裝於所述殼體的所述基板的所述端子接觸。
如申請專利範圍第3項所述的檢測夾具，其中所述殼體包括：第1殼體，設置著以所述第1接觸部及第2接觸部的至少一部分露出的方式將所述探針保持於內部的所述貫通孔，及供所述探針的第2支持部插入的保持槽部；以及第2殼體，連結於所述第1殼體，並且設置著所述檢測部與所述收納部，所述保持槽部設置於所述第1殼體的與所述第2殼體相向的面，所述第2支持部由所述第1殼體及第2殼體夾持。