JP5288248B2 - 電気信号接続装置 - Google Patents
電気信号接続装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5288248B2 JP5288248B2 JP2008172784A JP2008172784A JP5288248B2 JP 5288248 B2 JP5288248 B2 JP 5288248B2 JP 2008172784 A JP2008172784 A JP 2008172784A JP 2008172784 A JP2008172784 A JP 2008172784A JP 5288248 B2 JP5288248 B2 JP 5288248B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- circuit board
- resin film
- protrusion
- probe holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06733—Geometry aspects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
702、702a、702b 樹脂フィルム型プローブ
703 プローブ支持板
704 プローブユニット
705 第1のプローブ保持具
705a、705b 角棒状部材
705c 開口部
706 第2のプローブ保持具
707 小ねじ
708 回路基板
709 突起部
710 貫通穴
711 端子部
712a、712b チップのパッド
713 出力端子
714 回路基板のパッド
715 プローブ先端部
716 導体パターン
717 切り欠き
718 長穴
719 平行梁
720 スリット
721 湾曲部
722 スペーサ
Claims (6)
- 金属箔が接着された樹脂フィルムを使用し、前記金属箔をエッチング加工して樹脂フィルム上にプローブ機能を含む導電体からなる導電パターンを形成し、前記樹脂フィルムの一辺から突き出した導電体をプローブ先端部とし、前記プローブの反対側の辺から突き出した導電体をテスタに電気的に接続される回路基板への出力端子とした樹脂フィルム型プローブを使用した電気信号接続装置において、
1つ又は複数の被検査半導体チップのパッドに対応する複数の前記樹脂フィルム型プローブを並列配置した状態で複数の支持板により保持したプローブユニットと、
複数の開口部を設けた格子状の第1のプローブ保持具と、
このプローブ保持具と同形状でかつ格子の交点に突起部を有する第2のプローブ保持具とを備え、
前記第2のプローブ保持具の突起部を回路基板の相当する穴に挿通させ、突起部を介して前記第1のプローブ保持具をねじ止めして回路基板に固定し、
前記開口部ごとに前記プローブユニットを独立に配置固定すると共に第1と第2のプローブ保持具で回路基板を挟持したことを特徴とする電気信号接続装置。 - 前記突起部の挿通部外径と相当する回路基板の穴の内径との挿通時における差異が、回路基板の中心近傍においてはゼロ又は微小であり、中心近傍以外の位置においては中心近傍における差異より大きいことを特徴とする請求項1記載の電気信号接続装置。
- 前記中心近傍以外の位置における前記突起部の挿通部外径と相当する回路基板の穴の内径との挿通時における差異が、回路基板の外周に位置するに従って連続的又は断続的に大きくなることを特徴とする請求項2記載の電気信号接続装置。
- 前記中心近傍以外の位置における前記突起部の作用が、回路基板面方向に拘束されていないことを特徴とする請求項2記載の電気信号接続装置。
- 前記樹脂フィルム型プローブの出力端子が、前記プローブ保持具を回路基板に固定した状態において一定以上の押圧力にて回路基板端子と接触し、かつ回路基板面方向に拘束されていないことを特徴とする請求項1記載の電気信号接続装置。
- 少なくとも前記プローブ保持具の熱膨脹係数が半導体ウェーハの熱膨脹係数と近似である材料から形成されていることを特徴とする請求項1記載の電気信号接続装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008172784A JP5288248B2 (ja) | 2008-06-04 | 2008-06-04 | 電気信号接続装置 |
TW098117542A TWI400448B (zh) | 2008-06-04 | 2009-05-26 | Electrical signal connection device |
KR1020090048760A KR20090127074A (ko) | 2008-06-04 | 2009-06-02 | 전기신호 접속장치 |
CN200910142377XA CN101598744B (zh) | 2008-06-04 | 2009-06-04 | 电信号连接装置 |
US12/478,087 US8493086B2 (en) | 2008-06-04 | 2009-06-04 | Electrical signal connector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008172784A JP5288248B2 (ja) | 2008-06-04 | 2008-06-04 | 電気信号接続装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009294194A JP2009294194A (ja) | 2009-12-17 |
JP5288248B2 true JP5288248B2 (ja) | 2013-09-11 |
Family
ID=41420248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008172784A Expired - Fee Related JP5288248B2 (ja) | 2008-06-04 | 2008-06-04 | 電気信号接続装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8493086B2 (ja) |
JP (1) | JP5288248B2 (ja) |
KR (1) | KR20090127074A (ja) |
CN (1) | CN101598744B (ja) |
TW (1) | TWI400448B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4859820B2 (ja) * | 2007-12-05 | 2012-01-25 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ |
JP2011242377A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Kimoto Gunsei | プローブ |
US20130233099A1 (en) * | 2012-03-08 | 2013-09-12 | Gunsei Kimoto | Probe assembly |
JP6472228B2 (ja) * | 2014-12-01 | 2019-02-20 | 株式会社日本マイクロニクス | カンチレバー型プローブ、及びプローブカード |
CN113325203B (zh) * | 2020-02-29 | 2023-08-18 | 电连技术股份有限公司 | 一种探测连接器 |
CN115951203B (zh) * | 2023-03-14 | 2023-06-16 | 杭州朗迅科技股份有限公司 | 一种双模组集成电路高频测试设备 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3390254B2 (ja) * | 1994-06-16 | 2003-03-24 | 富士通株式会社 | 結像装置及び液晶表示装置 |
JP3323449B2 (ja) * | 1998-11-18 | 2002-09-09 | 日本碍子株式会社 | 半導体用ソケット |
FR2812400B1 (fr) * | 2000-07-28 | 2002-09-27 | Mesatronic | Procede de fabrication d'une carte a pointes de contact multiple pour le test de circuits integres a microbilles, et dispositif de test utilisant la carte |
JP2002162415A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-07 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード用プローブ |
JP3829099B2 (ja) * | 2001-11-21 | 2006-10-04 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
EP1742073A1 (en) * | 2004-04-27 | 2007-01-10 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Electric connecting device |
JP2006010629A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Tokyo Electron Ltd | 平行調整機構を備えたプローブカード |
KR100932459B1 (ko) * | 2004-11-16 | 2009-12-17 | 후지쯔 마이크로일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 콘택터 및 콘택터를 사용한 시험 방법 |
JP4842640B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2011-12-21 | 日本発條株式会社 | プローブカードおよび検査方法 |
JP2008122356A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-29 | Isao Kimoto | プローブ |
JP4924881B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2012-04-25 | 軍生 木本 | 電気信号接続用座標変換装置 |
JP5030060B2 (ja) | 2007-08-01 | 2012-09-19 | 軍生 木本 | 電気信号接続装置 |
KR101061593B1 (ko) * | 2008-04-21 | 2011-09-01 | 윌테크놀러지(주) | 프로브 카드 |
-
2008
- 2008-06-04 JP JP2008172784A patent/JP5288248B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-05-26 TW TW098117542A patent/TWI400448B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-06-02 KR KR1020090048760A patent/KR20090127074A/ko not_active Application Discontinuation
- 2009-06-04 CN CN200910142377XA patent/CN101598744B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-06-04 US US12/478,087 patent/US8493086B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101598744A (zh) | 2009-12-09 |
CN101598744B (zh) | 2012-10-03 |
JP2009294194A (ja) | 2009-12-17 |
US8493086B2 (en) | 2013-07-23 |
US20100026327A1 (en) | 2010-02-04 |
TW200951445A (en) | 2009-12-16 |
KR20090127074A (ko) | 2009-12-09 |
TWI400448B (zh) | 2013-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5030060B2 (ja) | 電気信号接続装置 | |
JP4721099B2 (ja) | 電気信号接続装置及びこれを用いたプローブ組立体並びにプローバ装置 | |
US7423441B2 (en) | Contactor assembly | |
US11782075B2 (en) | Probe card for a testing apparatus of electronic devices | |
JP5288248B2 (ja) | 電気信号接続装置 | |
KR20060043662A (ko) | 전기신호 접속장치 및 이것을 이용한 프로브 조립체 그리고프로버 장치 | |
JP4974021B2 (ja) | プローブ組立体 | |
JP2012093375A (ja) | 接触子組立体を用いたlsiチップ検査装置 | |
JP5077794B2 (ja) | プローブ組立体 | |
JP4936275B2 (ja) | 接触子組立体 | |
JP4962929B2 (ja) | プローバ装置及びこれに用いるプローブ組立体 | |
JP2009257910A (ja) | 二重弾性機構プローブカードとその製造方法 | |
JP2020016631A (ja) | プローブユニット | |
JP2004274010A (ja) | プローバ装置 | |
JP5333829B2 (ja) | プローブ組立体 | |
JP5077736B2 (ja) | 接触子組立体及びこれを用いたlsiチップ検査装置 | |
JP2010054487A (ja) | プローバ装置 | |
JP2010091542A (ja) | プローブ組立体 | |
KR20130118021A (ko) | 프로브 카드 | |
JP2014202557A (ja) | プローブユニット、プローブ装置、および試験装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110601 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121225 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130213 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130514 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130523 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |