JPH0337571A - プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、プローブカードに関する。

〈従来の技術〉 従来のプローブカードを第６図〜第８図を参照しつつ説
明する。

プローブカードは、略中夫に開口１１が開設された基板
１０と、前記開口１１に嵌合されるリング２０と、この
リング２０の内面２２に取り付けられる複数本のプロー
ブ３０とを有している。

基板１０は、その中央部に段差を有する開口■１が開設
されているとともに、この間口１１を中心として略放射
状に所定のパターン（図示省ｌ１１Ｂ）が形成されてい
る。そして、当該パターンは、基板１０の端縁部に形成
された接点部（図示省略）に接続されている。

前記開口１１に嵌合されるリング２０は、全体として略
擂鉢状を呈しており、その中央には開口２１が開設され
ている。このリング２０は、セラξ・ンク等の絶縁材料
で構成されている。

前記リング２０の内面２２にエポキシ系樹脂４０等で取
り付けられるプローブ３０の取付密度が大なる時には、
その周囲にテフロン等の絶縁物３１がコーティングされ
ているものを用いる場合もあるが、プローブ３０が接触
しない程度の密度でもって取り付けられるならば、必ず
しもコーティングは必要ではない。測定対象物であるＩ
Ｃチップ６０のバｙ　）６１に圧接されるプローブ３０
の先端３２は、略り字形状に折曲形成されて前記間口２
１から基板１０の裏面側に突出するように設定されてい
る。一方、プローブ３０の後端３３は、基板１０の表面
側に突出するようになっており、当該後端３３は前記パ
ターンと接続される。

第６図に示すものはパット６１が周縁部にのみ在丘５：
ζ、■０チップ６０を測定する場合Ｇこ用いるもの、第
７図に示すものはパッド６１がマトリクス状に存在する
ＩＣチップ６０を測定する場合に用いるものをそれぞれ
示している。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上述した従来のプローブカードには以下
のような問題点がある。

すなわち、プローブ３０の先端３２は、いわば宙に浮い
た状態になっているので、所定の圧力で当該先端３２を
バンド６１に圧接すると、プローブ３０がパッド６１上
を滑ってパッド６１を傷つけることがある（第８図の破
線参照）。また、前記滑りのため↓こ先端３２をバッｌ
’　６１の中心に接触させるには、滑り量に相当する寸
法（約３〜５μｍ程度）だけバンド６１の中心からずれ
た位置に接触させ、その後に所定の圧力を加えなＩｄれ
ばならない。

本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、プローブ
がパッドに圧接しても滑らない、すなわちパッドを傷付
＆Ｊることかないプローブカードを提供することを目的
としている。

〈課題を解決するための手段〉 本発明に係るプローブカードは、所定のパターンが形成
された基板と、この基板の開口に嵌合される略擂鉢状の
リングと、このリングの内面に取りイ］けられ、後端が
前記パターンに接続される複数本のプローブと、前記リ
ングの開口に固着され、前記プローブの先端が挿入され
、かつ当該先端が所定量だけ突出入する貫通孔が開設さ
れたプレートとを有している。

〈作用〉 測定対象物であるＩＣＣタンプパッドと、プローブの先
端とをアライメントし、パッドにプローブを所定の圧力
で圧接する。

プローブの先端は、プレートの貫通孔に挿入されている
ので、従来のツーローブカードのような圧接によるパッ
ド上での滑りは起こらない。

〈実施例〉 以下、図面を参照して本発明に係る一実施例を説明する
。

第１図は本発明の一実施例に係るプローブカードの概略
的断面図、第２図はプローブの先端の近傍を示す説明図
、第３図は他の実施例に係るプローブカードの概略的断
面図、第４図及び第５図は他の実施例に係るプローブカ
ードの概略的断面図である。なお、従来のものと略同−
の部品等には同一の符号を付して説明を行う。また、各
部の寸法は図面の都合上誇張して示している。

本実施例に係るプローブカードは、所定のパターンが形
成された基板１０と、この基板１０の開口１１に嵌合さ
れる略擂鉢状のリング２０と、このリング２０の内面２
２に取り付けられ、後端３３が前記パターンに接続され
る複数本のプローブ３０と、前記リング２０の開口２１
に固着され、前記プローブ３０の先端３２が挿入され、
かつ当該先端３２が所定量だけ突出する貫通孔５１が開
設されたプレート５０とを有している。

ます、第１図を用いて本実施例に係るプローブカードを
説明する。このプローブカードは、バンド６１が周縁部
にのみ設けられたＩＣチンプロ０の４（１１定に用いら
れるものである。

基板１０の中央には、開口１１が開設されている。

そして、当該開口１■を中心として放射状に所定のパタ
ーン（図示省略）が銅箔等で形成されている。

このパターンは、基板１０の端縁部にある接点部に接続
されている。前記開口１１は、前記パターンが形成され
た表面側の径が、裏面側の径より大きい段付状に形成さ
れている。

前記開口１１に嵌合されるリング２０は、セラ５ツク等
の絶縁材料で成形されており、内面２２は中心の開口２
１に向かって下り傾斜になった略擂鉢状を呈している。

さらに、当該リング２０の開口２１は、裏面側に後述す
るブレー１・５０を固着することができるよう乙こ段付
になっている。

さらに、当該リング２０にエポキシ系樹脂４０等で固着
されるプレート５０は、透明なプラスチック或いは強化
ガラス等で構成されており、プローブ３０の先端３２に
相当する部分には、レーザビーム或いはドリリング等の
適宜な方法による複数の真っ直くな貫通孔５１が開設さ
れている。この貫通孔５１は、５０〜１２０　μｍ程度
の直径を有しており、測定すべきＩＣチップ６０のバッ
ト６１の配置に対応している。

従って、プローブ３０を取り付ける場合に、プローブ３
０の先Ｃ・：￥１３２は所定の位置に設定される。なお
、プレート５０は測定対象物であるＩＣチップ６０によ
って適宜に選択されるが、約２００μｍ程度の厚さを有
するものが好ましい。

前記内面２２に取り付けられるプローブ３０は、例えば
タングステンで形成されており、その先端３２、すなわ
ち前記貫通孔５１に挿入される部分は略り字形状に折曲
形成されている。また、前記内面２２に接触する部分に
は、テフロン等の絶縁物３１がコーティングされている
。かかるブローフ゛３０はエポキシ系樹脂４０等で内面
２２に接着されており、その後端３３は基板１０の表面
に形成されたパターンに半田等で接続されている。なお
、このプローブ３０は、先端３２が直径約１００μｍ程
度、かつ貫通孔５１からの突出量は５０〜１００　μｍ
程度が好ましい。

次に、上述したプローブカードの作用について説明する
。

測定対象物であるＩＣチップ６０のパッド６１と、プロ
ーブ３０の先端３２とをアライメントし、パット・６１
に先端３２を所定の圧力で圧接する。

プローブ３０の先端３２は、プレート５０の貫通孔５１
に挿入されているので、プローブ３０自体の弾性力によ
って上下方向にのみ撓むようになるのて、従来のプロー
ブカードのような圧接によるパット６１上での滑りは起
こらない。

第３図に示されるプローブカードは、バット６１がマト
リクス状に形成されているＩＣチップ６０を測定する場
合に用いるものである。

かかる場合には、プローブ３０をエポキシ系樹脂４０で
絶縁して２重にリング２０に配設する。

なお、第４図に示すように測定ずべきＩＣチップ６０ａ
の隣或いは斜め横のＩＣチップ６０ｂの隅部のパット”
　６１　ｂの真上乙こ相当する部分に孔５２を開設した
プレート５０を用いれば、孔５２を介してパッド６１ｂ
をパターン認識することが可能になるので、より正確な
アライメントを行うことができる。また、第５図に示す
ように孔５２にダミープローブ３０ａを押入するように
しても正確なアライメントを行うことができる。

〈発明の効果〉 本発明に係るプローブカードは、プローブの先端はプレ
ートに開設された貫通孔に挿入されているので、プロー
ブの撓みは上下方向にのみ発生する。従って、先端がパ
ッドに圧接させられてもパッド上で滑ることはない。よ
って、当該滑りによるバンドの傷つきは発生しない。ま
た、プレートは透明なプラスチック或いは強化ガラス等
で構成されているので、アライメントを確実に行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るプローブカドの概略的
断面図、第２図はプローブの先端の近傍を示す説明図、
第３図は他の実施例に係るプローブカードの概略的断面
図、第４図及び第５図は他の実施例に係るプローブカー
ドの概略的断面図、第６図及び第７図は従来のプローブ
カードの概略的断面図、第８図は従来のプローブカード
の問題点を示す説明図である。 １０・・・基板、１１・・・開口、２０・・・リング、
２１・・・開口、２２・・・内面、３０・・・プローブ
、３２・・・　（プローブの）先端、３３・・・　（プ
ローブの）後端、５０・・・プレート、５１・・・貫通
孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ＩＣチップのパッドにプローブを接触させて、当
   該ＩＣチップの電気的特性を測定するプローブカードに
   おいて、所定のパターンが形成された基板と、この基板
   の開口に嵌合される略擂鉢状のリングと、このリングの
   内面に取り付けられ、後端が前記パターンに接続される
   複数本のプローブと、前記リングの開口に固着され、前
   記プローブの先端が挿入され、かつ当該先端が所定量だ
   け突出入する貫通孔が開設されたプレートとを具備した
   ことを特徴とするプローブカード。