JPH0582601A - プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】複数の探針を一括で固定する絶縁物を有し探針
のバラツキのないプローブカードを提供すること。 【構成】プローブカード用基板１に探針２を第１の絶縁
物４で固定し、さらに探針の先端付近を第２の絶縁物３
で固定した。 【効果】プローブカードの探針先端付近を絶縁物で固定
する事によりプローブカードを繰り返し使用しても探針
先端部の高さバラツキはなくなり接触圧不足による接触
不良や接触圧過多によるボンディングパッドの破壊等を
防ぐ事ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェハー内の多
数のペレットを測定する（Ｐ／Ｗチェック）プローブカ
ードに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のプローブカードは図４，図５，図
６に示すように、測定するチップ６のボンディングパッ
ド５の中央に、探針２の先端が接触する用に、探針２が
プローブカード用基板１と、絶縁物４で固定されてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のプローブカード
では、探針とプローブカード用基板とのみを絶縁物で固
定していた為、複数の探針は、それぞれ独立で動く構造
となっていた。そのため、繰り返しプローブカードを使
用していると、探針の高さにバラツキが生じ、探針に加
える圧力の大小により、探針とボンディングパッドの接
触不良や、ボンディングパッドの破壊といった問題があ
った。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明のプローブカード
は、探針とプローブカード用基板を固定する第１の絶縁
物と、探針先端部より、好ましくは２〜３ｍｍの位置に
探針同士を固定する第２の絶縁物を第１の絶縁物と独立
して備えている。

【０００５】

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例のプローブカードの平面図
である。図２は、図１の探針部の拡大図、図３は、図２
の側面図である。プローブカード用基板１に、探針２を
測定するチップ６のボンディングパット５に合わせ、第
１の絶縁物４で固定し、さらに各探針の先端付近におい
て探針どうしをたがいに第２の絶縁物３で固定する。第
２の絶縁物３による固定の手段は、探針２を第１の絶縁
物４で固定した後、粘度の高い樹脂等を探針先端付近に
塗り乾燥させるか、あるいは、シール上の絶縁テープで
探針を上下から貼り合せる手段等で実現出来る。

【０００６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、プロー
ブカードの探針先端付近を絶縁物で固定する事により、
プローブカードを繰り返し使用しても、探針先端部の高
さバラツキはなくなり、接触圧不足による探針とボンデ
ィングパッドとの接触不良や、接触圧過多によるボンデ
ィングパットやチップの破壊を防ぐという効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の平面図。

【図２】図１の探針先端部の拡大図。

【図３】図２の側面図。

【図４】従来のプローブカードの平面図。

【図５】図４の探針先端部の拡大図。

【図６】図５の側面図。

【符号の説明】

１ プローブカード用基板 ２ 探針 ３ 第２の絶縁物 ４ 第１の絶縁物 ５ ボンディングパッド ６ チップ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウェハー内のペレットを測定する
   プローブカードに於いて、探針とプローブカード用基板
   とを固定する第１の絶縁物と、前記第１の絶縁物から独
   立し、探針先端部より前記第１の絶縁物側の所定の位置
   で探針同士を固定する第２の絶縁物とを有する事を特徴
   とするプローブカード。
2. 【請求項２】 前記第２の絶縁物は前記探針先端部より
   前記第１の絶縁物側に２〜３ｍｍの場所に位置している
   請求項１に記載のプローブカード。