JPH1073425A - 基板パターンの検査方法およびそれに用いる検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高価な探針を使用せず、しかもスルーホール
中の電極膜の異常でも、非接触で簡単に精度良く検出す
ることができる導電性パターンが形成された基板の検査
方法およびその装置の具体的な構成を提供する。 【解決手段】 マイクロ波伝送用ストリップライン２１
と、該ストリップラインの一端側に設けられマイクロ波
を入力する入力部２１ａと、該ストリップラインを伝送
するマイクロ波の変化を検出する出力部２１ｂとを有
し、前記ストリップラインの近傍を通過する被検査基板
５によるマイクロ波の変化を前記出力部からの信号によ
り検出することにより前記被検査基板に形成された導電
性パターンの異常の有無を検査する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示パネルの透
明基板や、プリント基板などの導電膜が一定のパターン
で形成された基板パターンの検査方法およびその装置に
関する。さらに詳しくは、マイクロ波を用いて非接触で
簡単に導電性パターンの断線やショートを検査すること
ができる具体的な構成の基板パターンの検査方法および
その装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶パネルの透明基板には各
画素に対応した透明電極膜が縦横に形成される。この透
明電極膜は光を透過させると共に導電性でなければなら
ないため、ＩＴＯや酸化スズなどからなる透明導電膜を
ガラス基板などに成膜してパターニングすることにより
形成される。この電極膜は厚さが０.１〜０.２μｍ程度
で、幅が小さいものでは０.１５ｍｍ程度、電極膜の間
隔も小さいものでは０.１５ｍｍ程度であるため、均一
に成膜されていないと断線が生じたり、パターニング時
のエッチングが完全に行われていないと隣接する電極膜
間で短絡するという問題がある。

【０００３】とくに最近の液晶パネルの高品位、高精細
画像化の要請に伴い、各画素が微細化され、電極膜の幅
が細くなると共に、電極膜の間隔も狭くなり、それぞれ
０.１ｍｍ程度以下が要求されるようになっている。そ
のため、一層電極パターンの形成後各パターンの断線や
ショートの検査が必要になっている。

【０００４】一方プリント基板においても、とくにコン
ピュータ関係のパソコンやＣＰＵなどにおいては、高密
度配線になっており、配線は細くて数が多く、しかもそ
の間隔も狭くなっている。

【０００５】従来のこの種の導電性パターンの断線やシ
ョートの検査方法は、探針（いわゆるプローブ）を各導
電膜の両端に並べて接触させ、探針間に電圧を印加する
ことによりその間の電流を調べたり、または各導電膜の
端部でプローブをスイープさせることにより順次各導電
膜の断線やショートの検査を行っている。また、最近で
はＣＣＤカメラによる画像認識に基づき画像処理を行う
ことにより、パターンの異常の有無を検査する方法も用
いられている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前述の導電膜の両端間
に探針を立てて検査をする方法では、導電膜の数が数百
本から数千本になると探針の数が非常に多くなる。一
方、探針は導電膜との接触が適度になるようにスプリン
グを介して形成されており、しかも導電膜の幅が狭く導
電膜間の間隔も狭いため、０.１５ｍｍ程度以下の細い
探針にするには１本あたり１万円以上となる。その結
果、数千本以上並べると非常に高価な検査装置になると
いう問題がある。

【０００７】また、前述のように導電膜の幅が狭く、そ
れに伴い探針も細くなるため、探針と導電膜との接触抵
抗が大きくなったり、多数の探針を正確に所定の位置に
合わせることができない。そのため、検査に時間がかか
ると共に正確な検査をすることができないという問題が
ある。さらに、最近の微細化に伴ない、直径が１００μ
ｍ程度以下の探針にする必要があるが、そのような探針
を作製することは不可能になってきている。

【０００８】また、導電膜上において探針をスイープさ
せる方法では、探針と導電膜との接触が不充分の場合が
生じたり、スイープ時に導電膜を傷つけたりするという
問題がある。

【０００９】さらに、最近では基板への実装の高密度化
が図られ、基板に設けられたスルーホールを介して基板
の裏面側に部品が搭載され、スルーホール内にも導電膜
が形成されて基板表面の回路パターンと接続されるが、
探針による検査や画像処理による検査ではこのようなス
ルーホール内に導電膜が正常に付着しているか否かを検
査することができない。

【００１０】本発明はこのような問題を解決し、高価な
探針を使用せず、しかもスルーホール中の導電膜の異常
でも、非接触で簡単に精度良く検出することができる導
電性パターンが形成された基板パターンの検査方法およ
びその装置の具体的な構成を提供することを目的とす
る。

【００１１】本発明の他の目的は、非接触で簡単に導電
性パターンの異常を検査しながらその異常の場所を簡単
に特定することができる基板パターンの検査方法を提供
することにある。

【００１２】本発明のさらに他の目的は、ストリップラ
インを用いながら、その強い電界部分に被検査基板を通
過させることにより、高感度で精度高く検査をすること
ができる具体的な基板パターンの検査方法およびその装
置を提供することにある。

【００１３】本発明のさらに他の目的は、入力するマイ
クロ波と検査する変調したマイクロ波とを分離して高感
度に検査をすることができる具体的な基板パターンの検
査装置を提供することにある。

【００１４】本発明のさらに他の目的は、被検査基板を
搬送させながら検査しなくても、大きい被検査基板の全
面を一度にバッチ的に検査をすることができる検査装置
を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明の導電性パターン
が形成された基板パターンの検査方法は、アース面から
一定間隙を設けて、またはアース面上に誘電体材料を介
してストリップラインを配設し、前記一定間隙部または
前記誘電体材料と対向する空間部において導電性パター
ンが形成された被検査基板を通過させ、前記ストリップ
ラインを伝送するマイクロ波の変化を検出することによ
り前記被検査基板の導電性パターンの異常の有無を検出
するものである。その結果、マイクロ波は波長が短いた
め、導電性パターンの僅かな異常でも振幅や位相に影響
が出やすいと共に、分解能が高く微細パターンや裏面に
アース面が形成された基板にも対応できる。とくにマイ
クロ波の伝送線路としてストリップラインを用いること
により、ストリップラインでは距離に対して電磁界分布
が指数関数的に減衰する分布であるため、分解能を向上
させることができる。

【００１６】ここにアース面とは、アースと接続された
導体表面を意味し、アースと接続された金属板や金属ブ
ロックなどの導体表面を意味する。

【００１７】本発明の基板パターンの検査の他の方法
は、マイクロ波伝送線路またはその近傍において導電性
パターンが形成された被検査基板を通過させ、前記被検
査基板による前記マイクロ波伝送線路のマイクロ波の変
化を前記基板の通過位置と同期させて検出することによ
り前記導電性パターンの異常の有無の検査をすると共
に、その異常箇所を検出するものである。そうすること
により、一方向の検査により異常部の行を知ることがで
きて凡その場所を特定することができ、さらに厳密に異
常箇所を特定するには、さらに９０゜回転させた方向の
同様の検査により異常部の列を知ることができるため、
行と列により異常箇所の場所を特定することができる。

【００１８】ここにマイクロ波伝送線路とは、ストリッ
プラインのほか導波管などマイクロ波を伝送し得る線路
を意味する。

【００１９】本発明による基板パターンの検査装置は、
マイクロ波伝送用ストリップラインと、該ストリップラ
インの一端側に設けられマイクロ波を入力する入力部
と、該ストリップラインを伝送するマイクロ波の変化を
検出する出力部とを有し、前記ストリップラインの近傍
を通過する被検査基板によるマイクロ波の変化を前記前
記出力部からの信号により検出することにより前記被検
査基板に形成された導電性パターンの異常の有無を検査
することを特徴とする。このようにストリップラインの
近傍を導電性パターンが形成された被検査基板を通過さ
せることにより、細い線路のストリップラインの近くの
電磁波の強い部分を通過させることができ、導電性パタ
ーンの位置に対する分解能が向上する。したがって、導
電性パターン中の異常部分の位置特定を向上させること
ができる。

【００２０】前記ストリップラインがアース面と一定間
隙を有して設けられ、該一定間隙部を前記被検査基板が
通過するように前記ストリップラインが設けられること
により、ストリップラインとアース面との間に強い電磁
界が集中するため、狭い範囲で強い電磁界の部分で検査
をすることができて好ましい。しかし、前記ストリップ
ラインがアース面上に誘電体材料を介して設けられ、該
ストリップライン上を前記被検査基板が通過するように
設けられても良い。この場合、ストリップラインを安定
して保持することができる。

【００２１】前記出力部が、前記ストリップラインの他
端側に設けられ、前記ストリップラインを伝送し、前記
被検査基板により変化する透過マイクロ波を検出すれ
ば、少ない部品点数で簡単に検査をすることができる。

【００２２】また、前記ストリップラインが近接して設
けられた第１および第２のストリップラインからなり、
前記入力部が前記第１のストリップラインの一端側に設
けられ、前記出力部が前記第２のストリップラインのマ
イクロ波を検出するように設けられておれば、第２のス
トリップラインに検査される基板により位相や振幅が変
調されて反射したマイクロ波のみを結合して検出するよ
うに構成できるため、測定用の送信波と分離された導電
性パターンにより変化するマイクロ波の波形を直接観測
することができ、僅かの異常でも検出し易い。

【００２３】前記入力部が、前記ストリップラインの一
端側にサーキュレータを介して設けられ、該サーキュレ
ータの第３のポートに前記出力部が設けられ、前記スト
リップラインを伝送したマイクロ波の前記被検査基板に
よる反射波により前記異常の有無を検出しても、検査さ
れる基板の反射波のみを送信波から分離して検査するこ
とができるため、１つのストリップラインによる簡単な
構成で精度良い測定をすることができる。

【００２４】本発明の検査装置の他の形態は、誘電体基
板上に直線偏波を送受信することができるように導電体
膜が設けられることによりパッチアンテナエレメントが
形成され、該パッチアンテナエレメントが直線状または
平面状に配列されることにより形成されたアレーアンテ
ナと、該アレーアンテナの一端部に設けられマイクロ波
を入力する入力部と、該アレーアンテナから放射され被
検査基板によるマイクロ波の変化を検出する出力部とを
有し、前記アレーアンテナの前面に存在する前記被検査
基板に形成された導電性パターンの異常の有無を検査す
るものである。このようにすることにより、スキャンさ
せなくても大きな基板を一度にバッチ的に検査すること
ができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】つぎに、図面を参照しながら、本
発明の検査方法およびそれに用いる検査装置について説
明をする。

【００２６】図１は、本発明の検査装置の一実施形態の
ブロック説明図、図２はそのアプリケータ部の一例の説
明図、図３はマイクロ波波形の変化の例を示す図であ
る。

【００２７】図１において、１はマイクロ波発振器など
のマイクロ波送信部とマイクロ波検出器などの受信部と
を有するマイクロ波送受信機であるが、マイクロ波送信
部と受信部とは別々に構成されていても良い。２はアプ
リケータ部、３は装置の制御および信号処理を行う制御
処理部、４は、導電性パターンが形成されそのパターン
の異常の有無が検査される被検査基板５を搬送する基板
送り装置、６および７はそれぞれ送信用および受信用の
マイクロ波同軸ケーブルである。

【００２８】アプリケータ部２は、被検査基板５の導電
性パターンの異常の有無を検査するため、被検査基板５
にマイクロ波を作用させる部分で、たとえば図２に示さ
れるように構成される。図２において、（ａ）はその斜
視説明図、（ｂ）はその断面説明図で、２１はたとえば
０.５〜２ｍｍ程度の厚さの銅板などにより、幅が２〜
５ｍｍ程度に形成されたストリップラインで、アース面
２２と一定間隙部Ｄが、たとえば１０ＧＨｚ程度のマイ
クロ波に対して１〜５ｍｍ程度の間隔で設けられてい
る。ストリップライン２１の厚さは機械的強度が得られ
れば良く、また幅は送受信系とのマッチングやアース面
２２との間隔などにより設定される。アース面２２との
間隔はマイクロ波の波長の１／８〜１／４程度が好まし
い。この一定間隙部Ｄをストリップライン２１と直角方
向に被検査基板５が搬送されるように、前記基板送り装
置４により操作される。

【００２９】この構成で、マイクロ波送受信機１から送
信されたマイクロ波はストリップライン２１の入力部２
１ａ側に入力され、ストリップライン２１を通り、出力
部２１ｂ側に伝送する。この際、ストリップライン２１
とアース面２２との間にとくに強い電磁界分布が形成さ
れる。ストリップライン２１を伝送したマイクロ波は出
力部２１ｂより同軸ケーブル７を経てマイクロ波送受信
機１に戻され、そのマイクロ波の波形が検出される。ス
トリップライン２１とアース面２２との間に何も存在し
なければストリップライン２１を伝送して受信部に戻っ
たマイクロ波は図３（ａ）に示されるように、一定の振
幅Ａ₀ および位相で検出される。

【００３０】しかし、ストリップライン２１とアース面
２２との間に、たとえば導電性パターン５ａが形成され
た被検査基板５が挿入されていると、マイクロ波が吸収
されたり、反射されたりする。すなわち、基板がマイク
ロ波損失の小さい誘電体からなっており導電性パターン
が形成されていなければマイクロ波は一定の影響を受け
るだけで透過するが、導電性パターンが形成されている
と導電性パターンで一部が反射し、または透過する際に
位相が変化し、さらに導電性パターン上に高周波電流が
発生しマイクロ波の振幅や位相に変化が生じる。

【００３１】たとえば正常な導電性パターン５ａが形成
された被検査基板５をストリップライン２１とアース面
２２との間に挿入すると、図３（ｂ）に示されるよう
に、何も挿入しないときの波形（図３（ａ）参照）に比
べて位相φ₁ だけずれ、振幅Ａ ₁ の波形が得られる。な
お、図３（ｂ）において横軸は時間を表し、時間ｔ₁ は
被検査基板５の挿入前の状態、時間ｔ₂ が被検査基板５
を挿入している時間、ｔ ₃ が被検査基板５を挿入し終わ
って何も挿入されていない状態を表している。ここで、
導電性パターン５ａが基板５内で同じパターンの繰返し
で形成されていれば、被検査基板５が挿入され通過して
いる間、同じマイクロ波の波形が繰り返されるが、異な
ったパターンであれば被検査基板５が挿入されて通過す
る間の波形は順次異なった波形が現れる。しかし、正常
なパターンが形成された被検査基板５が挿入され通過す
る間のマイクロ波の波形を基準波形として予め検出して
おくことにより、正常な導電性パターン５ａが形成され
た被検査基板５であれば、常に基準波形と同じ一定の波
形が得られる。

【００３２】もし、導電性パターン５ａに断線やショー
トなどの異常があると、導電性パターンに誘起される高
周波電流にも変化が生じ、また導電性パターンによる反
射の割合も変わり、位相や振幅がさらに変化し、たとえ
ば図３（ｃ）に示されるように、波形がさらに変化す
る。すなわち、図３（ｃ）において、横軸は（ｂ）と同
様に時間を表し、時間ｔ₄ は被検査基板５が挿入されて
いない状態、時間ｔ₅ は被検査基板５が挿入され、被検
査基板５が正常な状態、時間ｔ₆ は被検査基板５の導電
性パターンに異状がある場合を、時間ｔ₇ は被検査基板
５の正常部分が通過している状態を、時間ｔ₈ は被検査
基板５が通過し終えて何も挿入されていない状態を示
す。図３（ｃ）に示されるように、導電性パターンに異
常がある部分が通過する時間ｔ₆ においては、何も挿入
されていない（ａ）の波形にたいして位相がφ
₂ （（ｂ）に示される正常な導電性パターンに比してφ
₂ −φ₁ ）だけずれ、振幅がＡ₂ になっている。

【００３３】以上のように、検査をする導電性パターン
５ａが形成された被検査基板５をストリップライン２１
とアース面２２との間に通過させ、出力部２１ｂからの
信号を検出し、それによって得られる（ｃ）の波形を
（ｂ）の基準波形と比較することにより、（ｂ）と同じ
波形が得られれば良品であり、（ｂ）と異なる波形が得
られれば導電性パターンに異状があり不良であることが
判明する。すなわち、導電性パターンの形状により導電
性パターンを通過したマイクロ波の振幅や位相に変化が
生じる。そのため、正常なパターンが形成された基板で
あれば、その基板の一定の場所は常に同じ振幅で同じ位
相の波形、すなわち同じ形状のマイクロ波の波形が得ら
れる。したがって、正常な基板のマイクロ波の基準波形
と異なる波形が現れた場合は基板の導電性パターンに断
線やショートなどの異常があることを示しており、導電
性パターンの良否を判定することができる。なお、正常
な基板の基準波形と検査される基板の波形との比較は、
アナログのコンパレータにより波形で直接比較してもよ
いし、横軸の時間または距離に対する振幅をデジタル化
してコンピュータによりデジタル値で比較することもで
きる。

【００３４】前述の被検査基板５の送り装置４の送りピ
ッチと送信部からの信号によるマイクロ波の波形検出と
を同期させることにより、被検査基板５を連続的に搬送
しながら全面の検査をすることができる。しかも導電性
パターに異常がある場合には、その異常のあるライン
（行）を知ることができ、凡その異常箇所を知ることが
できる。さらに被検査基板５を９０゜回転させて同様に
搬送させながら検査をすることにより異状のある直交す
るライン（列）を知ることができ、両方の検査の交差部
分で異常箇所をポイント的に特定することもできる。な
お、この同期させて測定することにより異常箇所を特定
する方法は、ストリップラインの伝送線路に限らず、導
波管など他のマイクロ波伝送線路についても同様に適用
できる。

【００３５】図４はアプリケータ部の他の例を示す図２
（ｂ）と同様の説明図である。この例は、ストリップラ
イン２１とアース面との間に空隙部を設けるのではな
く、アース面となる金属板２３上に誘電体膜２４または
誘電体基板などの誘電体材料を介してストリップライン
２１が設けられている。そして、その誘電体膜２４の表
面と対向するストリップライン２１上の空間部で一定の
距離をおいて被検査基板５が一定のスピードで搬送され
るように基板送り装置４により送られる。ストリップラ
イン２１の入力部や出力部、マイクロ波の変化の検出方
法など他の構成や動作方法は前述の例と同じである。図
４に示される例では、ストリップライン２１が誘電体膜
２４上に固定されているため、しっかりと固定され、安
定した検査装置が得られる。この場合、ストリップライ
ン２１から延びる電界ができるだけ表面側の被検査基板
５の近傍で強くなるように、誘電体膜２４などの誘電体
材料はその誘電率が空気の誘電率に近く小さいもの、た
とえば比誘電率で２.５程度以下（１以上）の材料を使
用することが好ましい。

【００３６】図５の（ａ）はアプリケータ部のさらに他
の例を示す図２（ａ）と同様の説明図で、（ｂ）はその
一部を変形して金属板２３上に誘電体膜２４を介して第
１および第２のアンテナエレメント２５、２６が設けら
れた構造の具体例を示す斜視図である。この例は、スト
リップラインが第１のストリップライン２５と第２のス
トリップライン２６の近接して設けられた２本からなっ
ていることに特徴がある。そして被検査基板５はこの２
本のストリップライン２５、２６とアース面２２との間
の一定間隙部Ｄを前述と同様にストリップライン２５、
２６と直角方向に搬送される（（ｂ）の例は被検査基板
５がストリップライン２５、２６上の空間部を搬送され
る）。この構成で、第１のストリップライン２５の一端
部である入力部２５ａから前述と同様にマイクロ波が入
力され、その他端部２５ｂはダミー終端部とされてい
る。第１のストリップライン２５から放射される電界は
アース面２２側に進みアース面２２またはその間隙部に
搬送される被検査基板５により反射して第２のストリッ
プライン２６に乗り、第２のストリップライン２６を伝
送する。図５に示される例では、第２のストリップライ
ン２６の一端部２６ａはダミー終端部になっており、他
端部２６ｂが出力部となっている。この出力部２６ｂに
より得られる信号を前述のマイクロ波送受信機に送り、
その波形を調べることにより、前述の図３に示される波
形の変化により導電性パターンの異常の有無を検出する
ことができる。

【００３７】この例では、検査用に伝送するマイクロ波
と、被検査基板５などにより反射して波形の変化が生じ
たマイクロ波とを分離して、検出すべき反射波のみを検
出することができるようになっている。その結果、検出
すべき波形のみが得られるため、ノイズが小さく、少な
い誤差で高感度の検査をすることができる。なお、図５
に示される例では、出力部を第２のストリップライン２
６の他端部２６ｂに設けたが、一端部２６ａ側に設け
て、他端部２６ｂ側をダミー終端としても同様である。

【００３８】図６はアプリケータ部のさらに他の例を示
す説明図である。この例は、ストリップライン２１の一
端側にサーキュレータ２７を介してマイクロ波の入力部
２１ａが設けられているもので入力部２１ａに入力され
たマイクロ波は、サーキュレータ２７の第１のポートに
入力され、第２のポートから出力しストリップライン２
１を伝送する。ストリップライン２１の他端部２１ｄは
ダミー終端部とされ、伝送してきたマイクロ波は吸収さ
れるが、ダミー終端部２１ｄに至るまでの途中で、スト
リップライン２１から放射した電磁波が被検査基板５な
どにより反射した電磁波がストリップライン２１に再度
乗り、反射してきたマイクロ波の一部は、サーキュレー
タ２７の第２のポートからサーキュレータ２７に入り、
第３のポートから出力される。その第３のポート側に出
力部２１ｂが設けられ、前述のように同軸ケーブルによ
りマイクロ波送受信機に送られて、その波形の変化の有
無が調べられる。

【００３９】この例では、図５に示される例と同様に、
入力用のマイクロ波と検査用の反射してきたマイクロ波
とを分離することができるため、分離度が向上して感度
が向上する。

【００４０】図７はアプリケータ部のさらに他の例を説
明する図である。この例は、ストリップラインの代わり
に、誘電体膜または誘電体基板２８などの表面に直線偏
波を放射したり受信できるように、帯状導電膜２９が設
けられたパッチアンテナからなるアンテナ部２０を直線
状または平面状に並べてアレーアンテナを構成したもの
である。すなわち、各アンテナ部２０の入力部および出
力部同志をそれぞれ合成器１９により合成して入力部１
８を介してマイクロ波送受信機に接続されている。その
結果、アンテナの前面に存在する被検査基板の全面に一
度にマイクロ波を照射することができ、スキャン（走
査）などの煩わしさがなく、被検査基板の全面を一度に
バッチ的に検査することができる。

【００４１】以上の各例では、アプリケータ部の主要部
のみを説明したが、ストリップラインからの電磁波の漏
れによる悪影響を防止するため、とくにストリップライ
ン部を電波吸収体で包囲することが好ましい。この場
合、被検査基板の搬送部から電磁波の漏れがある場合
は、被検査基板の入口と出口とにそれぞれチョーク構造
を形成することが好ましい。なお、電磁波の漏れ防止の
観点のみからいえば金属板により被覆しても良いが、金
属板で被覆すると、金属板で反射した電磁波により検査
する波形に異常が生じる場合があり、少なくとも内面は
電波吸収体にすることが好ましい。電波吸収体として
は、フェライトゴムなどを使用することができる。ま
た、前述の各例では、被検査基板の表面に導電性パター
ンのみが形成された例を示しているが、被検査基板の裏
面にアース板が設けられていても、マイクロ波は波長が
短いため、導電性パターンの異常を検出することができ
る。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によればス
トリップラインをアース面と一定間隙部を介して、また
は誘電体材料を介して設け、そのストリップラインの近
傍で被検査基板を通過させているため、ストリップライ
ンから放射される電磁波の電界の強い部分に被検査基板
を作用させることができる。そのため、小形で精度の高
い検査をすることができ、従来のような高価な探針を多
数使用する必要がなく、しかも導電性パターンの幅やピ
ッチが小さくなっても、またパターンの数が非常に多く
なっても、さらには基板のスルーホール中もしくは多層
基板などの外からは見にくい部分の配線の異常をも、一
度で簡単に検査をすることができる。その結果、非常に
短時間で安価に検査をすることができる。

【００４３】また、被検査基板の搬送と検出を同期させ
ながら検査することにより、異常箇所を特定することが
でき、その異常発生の対策や修理を容易に行える。

【００４４】さらに、非接触で検査をすることができる
ため、基板や導電性パターンに傷をつけたり、接触不良
による検査ミスが発生することがなく、信頼性の高い検
査をすることができる。

【００４５】さらに、アレーアンテナ化することによ
り、面積の大きい被検査基板の検査を一度に行うことが
でき、バッチ的に検査をすることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の概要を示すブロック説明図
である。

【図２】本発明の検査方法およびその装置に用いるアプ
リケータ部の説明図である。

【図３】本発明の検査方法により検出されるマイクロ波
波形の説明図である。

【図４】アプリケータ部の他の例を示す説明図である。

【図５】アプリケータ部のさらに他の例を示す説明図で
ある。

【図６】アプリケータ部のさらに他の例を示す説明図で
ある。

【図７】アプリケータ部のさらに他の例を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

２ アプリケータ部 ５ 被検査基板 ２１ ストリップライン ２１ａ 入力部 ２１ｂ 出力部 ２２ アース面 ２４ 誘電体膜 ２５ 第１のストリップライン ２５ａ 入力部 ２６ 第２のストリップライン ２６ｂ 出力部 ２７ サーキュレータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｆ 1/1343 Ｈ０５Ｋ 13/08 Ｄ Ｈ０５Ｋ 13/08 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｌ (72)発明者 ▲轟木▼ 岳史 東京都北区滝野川７丁目５番11号 株式会 社ヨコオ内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アース面から一定間隙を設けて、または
   アース面上に誘電体材料を介してストリップラインを配
   設し、前記一定間隙部または前記誘電体材料上のストリ
   ップラインと対向する空間部において導電性パターンが
   形成された被検査基板を通過させ、前記ストリップライ
   ンを伝送するマイクロ波の変化を検出することにより前
   記被検査基板の導電性パターンの異常の有無を検出する
   基板パターンの検査方法。
2. 【請求項２】 マイクロ波伝送線路またはその近傍にお
   いて導電性パターンが形成された被検査基板を通過さ
   せ、前記被検査基板による前記マイクロ波伝送線路のマ
   イクロ波の変化を前記基板の通過位置と同期させて検出
   することにより前記導電性パターンの異常の有無の検査
   をすると共に、その異常箇所を検出する基板パターンの
   検査方法。
3. 【請求項３】 マイクロ波伝送用ストリップラインと、
   該ストリップラインの一端側に設けられマイクロ波を入
   力する入力部と、該ストリップラインを伝送するマイク
   ロ波の変化を検出する出力部とを有し、前記ストリップ
   ラインの近傍を通過する被検査基板によるマイクロ波の
   変化を前記出力部からの信号により検出することにより
   前記被検査基板に形成された導電性パターンの異常の有
   無を検査する基板パターンの検査装置。
4. 【請求項４】 前記ストリップラインがアース面に対し
   て一定間隙を有するように設けられ、該一定間隙部を前
   記被検査基板が通過する請求項３記載の検査装置。
5. 【請求項５】 前記ストリップラインがアース面上に誘
   電体材料を介して設けられ、該ストリップライン上の空
   間部を前記被検査基板が通過する請求項３記載の検査装
   置。
6. 【請求項６】 前記出力部が、前記ストリップラインの
   他端側に設けられ、前記ストリップラインを伝送し、前
   記被検査基板により変化する透過マイクロ波を検出する
   請求項３、４または５記載の検査装置。
7. 【請求項７】 前記ストリップラインが近接して設けら
   れた第１および第２のストリップラインからなり、前記
   入力部が前記第１のストリップラインの一端側に設けら
   れ、前記出力部が前記第２のストリップラインのマイク
   ロ波を検出するように設けられてなる請求項３、４、５
   または６記載の検査装置。
8. 【請求項８】 前記入力部が、前記ストリップラインの
   一端側にサーキュレータを介して設けられ、該サーキュ
   レータの第３のポートに前記出力部が接続され、前記ス
   トリップラインを伝送したマイクロ波の前記被検査基板
   による反射波により前記異常の有無を検査する請求項
   ３、４または５記載の検査装置。
9. 【請求項９】 誘電体基板上に直線偏波を送受信するこ
   とができるように導電体膜が設けられることによりパッ
   チアンテナエレメントが形成され、該パッチアンテナエ
   レメントが直線状または平面状に配列されることにより
   形成されたアレーアンテナと、該アレーアンテナの一端
   部に設けられマイクロ波を入力する入力部と、該アレー
   アンテナから放射され被検査基板によるマイクロ波の変
   化を検出する出力部とを有し、前記アレーアンテナの前
   面に存在する前記被検査基板に形成された導電性パター
   ンの異常の有無を検査する基板パターンの検査装置。