TWI730591B - 玻璃基板檢測設備及其方法 - Google Patents

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Abstract

一種用於檢測一具有複數個數據線與複數個閘極線之玻璃基板之一檢測設備，包含一具兩個第一感測器與兩個第二感測器之感測裝置，當該感測裝置依一垂直於該複數個經通電之閘極線的方向移動時，該兩個第二感測器依序感測兩相鄰閘極線上二感應電流之一第一差值，當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線之一有一線路異常，以及當該感測裝置依一垂直於該複數個經通電之數據線的方向移動時，該兩個第一感測器用於依序感測兩相鄰數據線上二感應電流之一第二差值，當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線之一有一線路異常。

Description

玻璃基板檢測設備及其方法
本發明涉及一種用於檢測一具有複數個數據線、複數個閘極線、一水平邊緣與一垂直邊緣之玻璃基板之一檢測設備及其方法，尤指一種包括一水平感測單元，具有兩個第一感測器，以及一垂直感測單元，具有兩個第二感測器之一檢測設備及其檢測方法，其中各該第一與第二感測器為一金屬導體。
目前用於檢測玻璃基板的開路/短路/跨接的檢測設備，其檢出開路/短路/跨接的感測器仍有待精進，如何而能使該感測器易於製造及具有相對較低之生產成本，是一值得深思的問題。
職是之故，發明人鑒於習知技術之缺失，乃思及改良發明之意念，終能發明出本案之「玻璃基板檢測設備及其方法」。
本發明的主要目的在於提供一種用於檢測一具有複數個數據線、複數個閘極線、一水平邊緣與一垂直邊緣之玻璃基板之一檢測設備及其方法，該檢測設備包括 一具有兩個第一感測器的水平感測單元，以及一具有兩個第二感測器的垂直感測單元，其中各該第一與第二感測器為一金屬導體，該兩個第二感測器用於依序感測兩相鄰閘極線上二感應電流之一第一差值，當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線的其中之一有一線路異常，以及該兩個第一感測器用於依序感測兩相鄰數據線上二感應電流之一第二差值，當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線的其中之一有一線路異常，各該感測器為金屬導體使其相對易於製造及具有相對較低之生產成本。
本案之又一主要目的在於提供一種用於檢測一具有複數個數據線、複數個閘極線、一水平邊緣與一垂直邊緣之玻璃基板之一檢測設備，包含一感測裝置，該感測裝置包括一水平感測單元，具有兩個第一感測器，以及一垂直感測單元，具有兩個第二感測器，其中各該第一與第二感測器為一金屬導體，當該感測裝置沿該水平邊緣且垂直於該複數個閘極線移動，和自一外部電源提供一第一電壓給該複數個閘極線時，該兩個第二感測器分別用於依序感測兩相鄰閘極線的二個感測電流之一第一差值，當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線的其中之一有一第一線路異常，以及當該感測裝置沿該垂直邊緣且垂直於該複數個數據線移動，和自該外部電源提供一第二電壓給該複數個數據線時，該兩個第一感測器分別用於依序感測兩相鄰數據線的二個感測電流之一第二差值，當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線的其中之一有一第二線路異常。
本案之下一主要目的在於提供一種用於檢測一具有複數個數據線與複數個閘極線之玻璃基板之一檢測設備，包含一感測裝置，該感測裝置包括一水平感測單元，具有兩個第一感測器，以及一垂直感測單元，具有兩個第二感測器，其中各該第一與第二感測器為一金屬導體，當該感測裝置依一垂直於該複數個閘極線的方向移動，且該複數個閘極線接收一第一電壓時，該兩個第二感測器用於依序感測兩相鄰閘極線上二感應電流之一第一差值，當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線的其中之一有一線路異常，以及當該感測裝置依一垂直於該複數個數據線的方向移動，且該複數個數據線接收一第二電壓時，該兩個第一感測器用於依序感測兩相鄰數據線上二感應電流之一第二差值，當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線的其中之一有一線路異常。
本案之另一主要目的在於提供一種使用一具有一感測裝置之檢測設備以檢測一具有複數個數據線與複數個閘極線之玻璃基板之方法，其中該感測裝置包括一具有兩個第一感測器之水平感測單元與一具有兩個第二感測器之垂直感測單元，各該第一與第二感測器為一金屬導體，該方法包含：當該感測裝置依一垂直於該複數個閘極線的方向移動，且由一外部電源提供一第一電壓給該複數個閘極線時，使該兩個第二感測器依序感測兩相鄰閘極線的二個感應電流之一第一差值，其中當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線的其中之一有一第一線路異常；以 及當該感測裝置依一垂直於該複數個數據線的方向移動，且由該外部電源提供一第二電壓給該複數個數據線時，使該兩個第一感測器依序感測兩相鄰數據線的二個感應電流之一第二差值，其中當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線的其中之一有一第二線路異常。
本案之再一主要目的在於提供一種用以檢測一基板之感測裝置，其中該基板具有複數個電路線、該複數電路線包括一第一複數第一方向電路線、一第二複數第二方向電路線、及一第三複數第三方向電路線、該第一或第二方向係一水平或垂直方向、該第三方向非該水平或垂直方向、且該基板受一訊號源供電，俾使該複數電路線受檢測，該感測裝置包含一第一對感測導線，用以感測該第一及第二複數電路線兩者之一中相鄰兩特定電路線，並產生一第一對訊號，一第二對感測導線，用以感測該第一及第二複數電路線兩者之另一中相鄰兩特定電路線，並產生一第二對訊號，以及一第三對感測導線，用以感測該第三複數電路線中相鄰兩特定電路線，並產生一第三對訊號，俾藉各該對訊號之差值，以判斷各該被檢測之兩特定電路線是否正常。
本案之又一主要目的在於提供一種用以檢測一基板之方法，其中該基板具有複數個電路線、該複數電路線包括一第一複數第一方向電路線、一第二複數第二方向電路線、及一第三複數第三方向電路線、該第一或第二方向係一水平或垂直方向、該第三方向非該水平或垂直方 向、且該基板受一訊號源供電，俾使該複數電路線受檢測，該方法包含：提供一第一對感測導線，用以感測該第一及第二複數電路線兩者之一中相鄰兩特定電路線，並產生一第一對訊號；提供一第二對感測導線，用以感測該第一及第二複數電路線兩者之另一中相鄰兩特定電路線，並產生一第二對訊號；提供一第三對感測導線，用以感測該第三複數電路線中相鄰兩特定電路線，並產生一第三對訊號；以及藉各該對訊號之差值，以判斷各該被檢測之兩特定電路線是否正常。
本案之下一主要目的在於提供一種用以檢測一基板之感測裝置，其中該基板具有複數個電路線、該複數電路線包括在複數個方向延伸之複數組電路線、且該基板受一訊號源供電，俾使該複數電路線受檢測，該感測裝置包含複數對感測導線，用以分別感測在該複數個方向上之該複數組電路線，其中每一各該對感測導線用以感測一組相關電路線中相鄰兩特定電路線，並產生一對訊號，以及藉各該對訊號之差值，以判斷各該被檢測之兩特定電路線是否正常。
1:檢測設備
10:磁場感應電流區域
11:感測裝置
111:水平感測單元
1111/1112:第一感測器
112:垂直感測單元
1121/1122:第二感測器
113:斜向感測單元
1131/1132:第三感測器
1133/1134:第四感測器
114:後級裝置
12:橫樑
2:玻璃基板
21:閘極線
22:數據線
23:水平邊緣
24:垂直邊緣
25:外部電源
26:斜線段
R1:負載電組
R2:放大倍率調整電阻
R3:電流調整電阻
RG+/RG-:IC電源
U1:訊號放大器
VOUT:輸出電壓
VRef:參考電壓
第一圖：其係顯示一依據本發明構想之較佳實施例的檢測設備之感測裝置在檢測玻璃基板時移動方式之示意圖。
第二圖：其係顯示一依據本發明構想之較佳實施例 的檢測設備之感測裝置內部的感測器配置方式之示意圖。
第三圖：其係顯示一依據本發明構想之較佳實施例的檢測設備之感測裝置的一對實質平行於數據線之感測器置於玻璃基板的二相鄰數據線上方的示意圖。
第四圖：其係顯示一對應於第三圖中aa’線段之橫切面的該對感測器與該二相鄰數據線之剖面圖。
第五圖：其係顯示一依據本發明構想之較佳實施例的檢測設備之感測裝置的一斜向感測單元用於檢測玻璃基板上二相鄰的斜線段的示意圖。
第六圖：其係顯示一依據本發明構想之較佳實施例的檢測設備之感測裝置的一個感測器電連接於一訊號放大器與一後級裝置的電路示意圖。
第一圖是顯示一依據本發明構想之較佳實施例的檢測設備之感測裝置在檢測玻璃基板時移動方式之示意圖。在第一圖中，一檢測設備1包括一感測裝置11與一橫樑12。該檢測設備1用於檢測一玻璃基板2。該玻璃基板2包括複數個閘極線21、複數個數據線22、一水平邊緣23、一垂直邊緣24與一外部電源25。
如第一圖所示，檢測玻璃基板2時，檢測設備1會針對數據線22及閘極線21分別供電後移動該感測裝置11以逐一檢測每一條線是否正常。在第一圖中，該感測裝置11從位置A移動至位置B時，該檢測設備1提供閘極線1 至閘極線N電源，該感測裝置11逐一檢測閘極線1至閘極線N是否正常。如第一圖所示，該感測裝置11從位置B移動至位置C時，該感測裝置11提供數據線1至數據線M電源，該感測裝置11逐一檢測數據線1至數據線M是否正常。在第一圖中，該感測裝置11從位置A移動至位置B，再從位置B移動至位置C，形成L型移動路徑並完成該複數個數據線22及該複數個閘極線21的檢查。
第二圖是顯示一依據本發明構想之較佳實施例的檢測設備之感測裝置內部的感測器配置方式之示意圖。在第二圖中，該感測裝置11包括一水平感測單元111、一垂直感測單元112與一斜向感測單元113。該感測裝置11上同時有垂直方向感測器(垂直感測單元112所包括之第二感測器1121/1122)及水平方向的磁組感測器(水平感測單元111所包括之第一感測器1111/1112)，可以同時偵測垂直及水平兩個方向的磁場變化，可以同時滿足玻璃基板數據線及閘極線檢測需求。如第二圖所示，同一個方向的磁組感測器是以2個為一組，2個同一個方向的磁組感測器(例如，第一感測器1111與1112)的輸出差(二相鄰數據線或閘極線之二感測電流之差)是否為零作為判讀二相鄰數據線或閘極線之一是否有一線路異常。
第三圖是顯示一依據本發明構想之較佳實施例的檢測設備之感測裝置的一對實質平行於數據線之感測器置於玻璃基板的二相鄰數據線上方的示意圖。在第三圖中，第一感測器1111與1112，其周遭磁場大小變化同 時，改變第一感測器1111與1112的感應電流大小，可以應用於電流偵測。如第三圖所示，待測物為玻璃基板(運用於薄膜電晶體的液晶顯示器：TFT-LCD)2，該第一感測器1111與1112置於待測物上方。數據線1~數據線M及閘極線1~閘極線N(LCD的解析度MxN，其中數據線X與數據線Y的X>=1且X<=M，Y>=1且Y<=M)為LCD上的走線用來導通電流控制LCD上的畫素(Pixel)顯示功能。如第三圖所示，檢測數據線1~數據線M的線路電氣特性是否一致時，一外部電源25提供一第二電壓給數據線1~數據線M用來產生電流，電流產生磁場，磁場可以改變第一感測器1111與1112內部電阻大小。在第三圖中，當第一感測器1111與1112分別在數據線X或數據線Y上方的位置，其中數據線X或數據線Y有線路異常，2個第一感測器1111與1112的輸出差不為零；反之當數據線X或數據線Y線路相同時，2個第一感測器1111與1112的輸出差為零，以此判讀二相鄰閘極線、數據線或斜線段的電氣特性是否一致。
第四圖是係顯示一對應於第三圖中aa’線段之橫切面的該對感測器與該二相鄰數據線之剖面圖。第一感測器1111與1112分別在數據線X或數據線Y位置上方距離d的位置(間距為d)。
第五圖是顯示一依據本發明構想之較佳實施例的檢測設備之感測裝置的一斜向感測單元用於檢測玻璃基板上二相鄰的斜線段的示意圖。如第五圖所示，針對具有水平邊緣23與垂直邊緣24之玻璃基板2上的二相鄰斜 線段26(非水平或垂直的線段)的電流感測，該感測裝置11具有一斜向感測單元113，其被置於該二相鄰斜線段26上方，以感測該二相鄰斜線段26上二感應電流之一差值。
第六圖是顯示一依據本發明構想之較佳實施例的檢測設備之感測裝置的一個感測器電連接於一訊號放大器與一後級裝置的電路示意圖。如第六圖所示，該外部電源25透過一電流調整電阻R3分別提供各該閘極線21或各該數據線22一第一電壓/第二電壓，此時各該第、一/第二/第三/第四感測器1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134電連接於一負載電阻R1形成一閉迴路，且以2mm的間距置於各該閘極線21或各該數據線22上方，在各該閘極線21或各該數據線22及各該第一/第二/第三/第四感測器1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134間形成一磁場感應電流區域10，因流經各該閘極線21或各該數據線22的電流而形成一磁場，各該第一/第二/第三/第四感測器1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134因該磁場產生一感應電流後，經過該負載電阻R1產生一電壓差，訊號放大器U1接收該電壓差，放大該電壓差後，輸出給後級裝置114，以判讀該電壓訊號。在U1中包括兩輸入端IN-/IN+、一輸出端OUT、二IC電源：RG+與RG-與一放大倍率調整電阻R2。
如第一圖所示，本案提供一種用於檢測一具有複數個數據線22、複數個閘極線21、一水平邊緣23與一 垂直邊緣24之玻璃基板2之一檢測設備，包含一感測裝置11，該感測裝置11包括一水平感測單元111，具有兩個第一感測器1111/1112，以及一垂直感測單元112，具有兩個第二感測器1121/1122，其中各該第一1111/1112與第二感測器1121/1122為一金屬導體，當該感測裝置11沿該水平邊緣23且垂直於該複數個閘極線21移動，和自一外部電源25提供一第一電壓給該複數個閘極線21時，該兩個第二感測器1121/1122分別用於依序感測兩相鄰閘極線21的二個感測電流以獲得兩者間之一第一差值，當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線21的其中之一有一第一線路異常，以及當該感測裝置沿該垂直邊緣24且垂直於該複數個數據線22移動，和自該外部電源25提供一第二電壓給該複數個數據線22時，該兩個第一感測器1111/1112分別用於依序感測兩相鄰數據線22的二個感測電流以獲得兩者間之一第二差值，當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線的其中之一有一第二線路異常。
如第一圖與第二圖所示之該檢測設備1，更包括一可移動之橫樑12，其中該感測裝置11設置於該橫樑12上，藉由該橫樑12之移動以檢測該玻璃基板2，該玻璃基板2具有一各該閘極線21接地之下側與一各該數據線22接地之右側，該水平邊緣23為該下側，且該垂直邊緣24為該右側，各該金屬導體是一金屬線或一印刷電路板上之一銅線，該兩個第一感測器1111/1112彼此平行，使該兩個第一感測器1111/1112實質平行於各該數據線22，以分別偵 測因兩相鄰數據線22上通電而產生之二感測電流，該兩個第二感測器1121/1122彼此平行，使該兩個第二感測器1121/1122實質平行於各該閘極線21，以偵測因兩相鄰閘極線21上通電而產生之二感測電流，當各該閘極線21或各該數據線22因通電而產生一導通電流時，將使鄰近各該閘極線21或各該數據線22的各該第一感測器1111/1112或各該第二感測器1121/1122因感應該導通電流所產生之一磁場，而產生各該感測電流。
如第一圖、第二圖與第五圖所示之該檢測設備1，其中該感測裝置11更包括一具有兩個彼此平行的第三感測器1131/1132與兩個彼此平行的第四感測器1133/1134之斜向感測單元113，其中各該第三感測器1131/1132與各該第四感測器1133/1134斜向交疊，各該第三感測器1131/1132與各該第四感測器1133/1134為一金屬導體，該玻璃基板2更包括至少二斜線段26，各該斜線段26是一非實質水平於該水平邊緣23且非實質垂直於該垂直邊緣24的線段，當該感測裝置11以一垂直於該至少二斜線段26之方向移動，以檢測該至少二斜線段26之兩相鄰斜線段26的二個感測電流之一第三差值時，該兩個第三感測器1131/1132或該兩個第四感測器1133/1134分別用於依序感測該第三差值，當該第三差值不為零時，該兩相鄰斜線段26的其中之一有一第三線路異常。
如第一圖與第四圖所示之該檢測設備1，其中該感測裝置11設置於該玻璃基板2上方，且兩者間具有一 間距d，該感測裝置11首先沿著該水平邊緣23移動，而後沿著該垂直邊緣24移動，或者首先沿著該垂直邊緣24移動，而後沿著該水平邊緣23移動，以檢測該複數個閘極線21與該複數個數據線22，當檢測該至少二斜線段26時，則沿著垂直於該至少二斜線段26之方向移動，該第一至該第三線路異常各自是一短路、一跨接或一開路。
如第一圖與第六圖所示之該檢測設備1，其中該感測裝置11更包括一後級裝置114，該水平感測單元111與該垂直感測單元112更各包括二訊號放大器U1，各該訊號放大器U1包括該兩輸入端IN+/IN-與該輸出端OUT，各該第一、第二、第三與第四感測器1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134分別串聯電連接於一負載電阻R1，該負載電阻R1產生一電壓差，該電壓差代表各該感測器1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134所產生之各該感測電流，該負載電阻R1的兩端分別電連接於對應的該兩輸入端IN+/IN-，各該訊號放大器U1用以經該輸出端OUT輸出一經放大的電壓訊號VOUT給該後級裝置114，以判讀代表該第一差值、該第二差值或該第三差值之一電壓訊號。
如第一圖與第二圖所示，本案提供一種用於檢測一具有複數個數據線22與複數個閘極線21之玻璃基板2之一檢測設備1，包含一感測裝置11，該感測裝置11包括一水平感測單元111，具有兩個第一感測器 1111/1112，以及一垂直感測單元112，具有兩個第二感測器1121/1122，其中各該第一1111/1112與第二感測器1112/1122為一金屬導體，當該感測裝置11依一垂直於該複數個閘極線21的方向移動，且該複數個閘極線21接收一第一電壓時，該兩個第二感測器1121/1122用於感測兩相鄰閘極線21上二感應電流之一第一差值，當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線21的其中之一有一線路異常，以及當該感測裝置11依一垂直於該複數個數據線22的方向移動，且該複數個數據線22接收一第二電壓時，該兩個第一感測器1111/1112用於感測兩相鄰數據線22上二感應電流之一第二差值，當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線22的其中之一有一線路異常。
如第一圖與第二圖所示，本案提供一種使用一具有一感測裝置11之檢測設備1以檢測一具有複數個數據線22與複數個閘極線21之玻璃基板2之方法，其中該感測裝置11包括一具有兩個第一感測器1111/1112之水平感測單元111與一具有兩個第二感測器1121/1122之垂直感測單元112，各該第一1111/1112與第二感測器1112/1122為一金屬導體，該方法包含：當該感測裝置11依一垂直於該複數個閘極線21的方向移動，且由一外部電源25提供一第一電壓給該複數個閘極線21時，使該兩個第二感測器1121/1122分別依序感測兩相鄰閘極線21的二個感應電流以獲得兩者之一第一差值，其中當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線21的其中之一有一第一線路異常；以及當 該感測裝置11依一垂直於該複數個數據線22的方向移動，且由該外部電源25提供一第二電壓給該複數個數據線22時，使該兩個第一感測器1111/1112分別依序感測兩相鄰數據線22的二個感應電流以獲得兩者之一第二差值，其中當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線22的其中之一有一第二線路異常。
如第一圖與第二圖所示之該方法，其中該玻璃基板2更包括一水平邊緣23與一垂直邊緣24，該當該感測裝置11依該垂直於該複數個閘極線21的方向移動之步驟更包括：使該感測裝置11沿著該水平邊緣23且垂直於該複數個閘極線21而移動，以檢測該複數個閘極線21是否有該第一線路異常，且該當該感測裝置11依該垂直於該複數個數據線22的方向移動之步驟更包括：使該感測裝置11沿著該垂直邊緣24且垂直於該複數個數據線22而移動，以檢測該複數個數據線22是否有該第二線路異常。
如第一圖、第二圖與第五圖所示之該方法，其中該玻璃基板2更包括至少二斜線段26，各該斜線段26是一非實質水平於該水平邊緣23且非實質垂直於該垂直邊緣24的線段，該感測裝置11更包括一具有兩個彼此平行的第三感測器1131/1132與兩個彼此平行的第四感測器1133/1134之斜向感測單元113，其中各該第三感測器1131/1132與各該第四感測器1133/1134斜向交疊，各該第三感測器1131/1132與各該第四感測器1133/1134為一金屬導體，該方法更包括：使該感測裝置11以一垂直於該至 少二斜線段26之方向移動，以該斜向感測單元113檢測該至少二斜線段26之兩相鄰斜線段26的二個感測電流以獲得兩者之一第三差值，其中當該第三差值不為零時，該兩相鄰斜線段26的其中之一有一第三線路異常。
如第一圖、第二圖與第五圖所示，本案提供一種用以檢測一基板2之感測裝置11，其中該基板2具有複數個電路線21/22/26、該複數電路線21/22/26包括一第一複數第一方向電路線21、一第二複數第二方向電路線22、及一第三複數第三方向電路線26、該第一或第二方向係一水平或垂直方向、該第三方向非該水平或垂直方向、且該基板2受一訊號源25供電，俾使該複數電路線21/22/26受檢測，該感測裝置11包含一第一對感測導線1111-1112/1121-1122，用以感測該第一及第二複數電路線21/22兩者之一21/22中相鄰兩特定電路線21/22，並產生一第一對訊號，一第二對感測導線1121-1122/1111-1112，用以感測該第一及第二複數電路線21/22兩者之另一22/21中相鄰兩特定電路線22/21，並產生一第二對訊號，以及一第三對感測導線1131-1132/1133-1134，用以感測該第三複數電路線26中相鄰兩特定電路線26，並產生一第三對訊號，俾藉各該對訊號之差值，以判斷各該被檢測之兩特定電路線21/22/26是否正常。
如第一圖、第二圖與第五圖所示，本案提供一種用以檢測一基板2之方法，其中該基板2具有複數個電路線21/22/26、該複數電路線21/22/26包括一第一複數第 一方向電路線21、一第二複數第二方向電路線22、及一第三複數第三方向電路線26、該第一或第二方向係一水平或垂直方向、該第三方向非該水平或垂直方向、且該基板2受一訊號源25供電，俾使該複數電路線21/22/26受檢測，該方法包含：提供一第一對感測導線1111-1112/1121-1122，用以感測該第一及第二複數電路線21/22兩者之一21/22中相鄰兩特定電路線21/22，並產生一第一對訊號；提供一第二對感測導線1121-1122/1111-1112，用以感測該第一及第二複數電路線21/22兩者之另一22/21中相鄰兩特定電路線22/21，並產生一第二對訊號；提供一第三對感測導線1131-1132/1133-1134，用以感測該第三複數電路線26中相鄰兩特定電路線26，並產生一第三對訊號；以及藉各該對訊號之差值，以判斷各該被檢測之兩特定電路線21/22/26是否正常。
如第一圖、第二圖與第五圖所示，本案提供一種用以檢測一基板2之感測裝置11，其中該基板2具有複數個電路線21/22/26、該複數電路線21/22/26包括在複數個方向延伸之複數組電路線21/22/26、且該基板2受一訊號源25供電，俾使該複數電路線21/22/26受檢測，該感測裝置11包含：複數對感測導線1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134，用以分別感測在該複數個方向上之該複數組電路線21/22/26，其中每一各該對感測導線21/22/26用以感測一組相關電路線中 相鄰兩特定電路線21/22/26，並產生一對訊號；以及藉各該對訊號之差值，以判斷各該被檢測之兩特定電路線21/22/26是否正常。
綜上所述，本發明提供一種用於檢測一具有複數個數據線、複數個閘極線、一水平邊緣與一垂直邊緣之玻璃基板之一檢測設備及其方法，該檢測設備包括一具有兩個第一感測器的水平感測單元，以及一具有兩個第二感測器的垂直感測單元，其中各該第一與第二感測器為一金屬導體，該兩個第二感測器用於感測兩相鄰閘極線上二感應電流之一第一差值，當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線的其中之一有一線路異常，以及該兩個第一感測器用於感測兩相鄰數據線上二感應電流之一第二差值，當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線的其中之一有一線路異常，各該感測器為金屬導體使其相對易於製造及具有相對較低之生產成本，故其確實具有新穎性與進步性。
是以，縱使本案已由上述之實施例所詳細敘述而可由熟悉本技藝之人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。
1‧‧‧檢測設備
11‧‧‧感測裝置
12‧‧‧橫樑
2‧‧‧玻璃基板
21‧‧‧閘極線
22‧‧‧數據線
23‧‧‧水平邊緣
24‧‧‧垂直邊緣
25‧‧‧外部電源

Claims (12)

  1. 一種用於檢測一具有複數個數據線、複數個閘極線、一水平邊緣與一垂直邊緣之玻璃基板之一檢測設備，包含一感測裝置，該感測裝置包括：一水平感測單元，具有兩個第一感測器；以及一垂直感測單元，具有兩個第二感測器，其中各該第一與第二感測器為一金屬導體，當該感測裝置沿該水平邊緣且垂直於該複數個閘極線移動，和自一外部電源提供一第一電壓給該複數個閘極線時，該兩個第二感測器分別用於依序感測兩相鄰閘極線的二個感測電流之一第一差值，當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線的其中之一有一第一線路異常，以及當該感測裝置沿該垂直邊緣且垂直於該複數個數據線移動，和自該外部電源提供一第二電壓給該複數個數據線時，該兩個第一感測器分別用於依序感測兩相鄰數據線的二個感測電流之一第二差值，當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線的其中之一有一第二線路異常。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之檢測設備，更包括一可移動之橫樑，其中該感測裝置是設置於該橫樑上，藉由該橫樑之移動以檢測該玻璃基板，該金屬導體是一金屬線或一印刷電路板上之一銅線，該玻璃基板具有一各該閘極線接地之下側與一各該數據線接地之右側，該水平邊緣為該下 側，且該垂直邊緣為該右側，該兩個第一感測器彼此平行，使該兩個第一感測器實質平行於各該數據線，以分別偵測因兩相鄰數據線上通電而產生之二感測電流，該兩個第二感測器彼此平行，使該兩個第二感測器實質平行於各該閘極線，以偵測因兩相鄰閘極線上通電而產生之二感測電流，當各該閘極線或各該數據線因通電而產生一導通電流時，將使鄰近各該閘極線或各該數據線的各該第一感測器或各該第二感測器因感應該導通電流而產生各該感測電流。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之檢測設備，其中該感測裝置更包括一具有兩個彼此平行的第三感測器與兩個彼此平行的第四感測器之斜向感測單元，其中各該第三感測器與各該第四感測器斜向交疊，各該第三感測器與各該第四感測器為該金屬導體，該玻璃基板更包括至少二斜線段，各該斜線段是一非實質水平於該水平邊緣且非實質垂直於該垂直邊緣的線段，當該感測裝置以一垂直於該至少二斜線段之方向移動，以檢測該至少二斜線段之兩相鄰斜線段的二個感測電流之一第三差值時，該兩個第三感測器或該兩個第四感測器分別用於依序感測該第三差值，當該第三差值不為零時，該兩相鄰斜線段的其中之一有一第三線路異常。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之檢測設備，其中該感測裝 置設置於該玻璃基板上方，且兩者間具有一間距，該感測裝置首先沿著該水平邊緣移動，而後沿著該垂直邊緣移動，或者首先沿著該垂直邊緣移動，而後沿著該水平邊緣移動，以檢測該複數個閘極線與該複數個數據線，當檢測該至少二斜線段時，則沿著垂直於該至少二斜線段之方向移動，該第一至該第三線路異常各自是一短路、一跨接或一開路。
  5. 如申請專利範圍第3項所述之檢測設備，其中該感測裝置更包括一後級裝置，該水平感測單元與該垂直感測單元更各包括二訊號放大器，該斜向感測單元更包括四訊號放大器，各該訊號放大器包括兩輸入端與一輸出端，各該第一、第二、第三與第四感測器分別串聯電連接於一負載電阻，該負載電阻產生一電壓差，該電壓差代表各該感測器所產生之各該感測電流，該負載電阻的兩端分別電連接於對應的該兩輸入端，各該訊號放大器用以輸出一經放大的電壓訊號給該後級裝置，以判讀代表該第一差值、該第二差值或該第三差值之一電壓訊號。
  6. 一種用於檢測一具有複數個數據線與複數個閘極線之玻璃基板之一檢測設備，包含一感測裝置，該感測裝置包括：一水平感測單元，具有兩個第一感測器；以及一垂直感測單元，具有兩個第二感測器，其中各該第 一與第二感測器為一金屬導體，當該感測裝置依一垂直於該複數個閘極線的方向移動，且該複數個閘極線接收一第一電壓時，該兩個第二感測器用於感測兩相鄰閘極線上二感測電流之一第一差值，當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線的其中之一有一線路異常，以及當該感測裝置依一垂直於該複數個數據線的方向移動，且該複數個數據線接收一第二電壓時，該兩個第一感測器用於感測兩相鄰數據線上二感測電流之一第二差值，當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線的其中之一有一線路異常。
  7. 一種使用一具有一感測裝置之檢測設備以檢測一具有複數個數據線與複數個閘極線之玻璃基板之方法，其中該感測裝置包括一具有兩個第一感測器之水平感測單元與一具有兩個第二感測器之垂直感測單元，各該第一與第二感測器為一金屬導體，該方法包含：當該感測裝置依一垂直於該複數個閘極線的方向移動，且由一外部電源提供一第一電壓給該複數個閘極線時，使該兩個第二感測器分別依序感測兩相鄰閘極線的二個感測電流之一第一差值，其中當該第一差值不為零時，該兩相鄰閘極線的其中之一有一第一線路異常；以及當該感測裝置依一垂直於該複數個數據線的方向移動，且由一外部電源提供一第二電壓給該複數個數據線時，使該兩個第一感測器分別依序感測兩相鄰數據線的二 個感測電流之一第二差值，其中當該第二差值不為零時，該兩相鄰數據線的其中之一有一第二線路異常。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之方法，其中該玻璃基板更包括一水平邊緣與一垂直邊緣，該玻璃基板具有一各該閘極線接地之下側與一各該數據線接地之右側，該水平邊緣為該下側，且該垂直邊緣為該右側，該當該感測裝置依該垂直於該複數個閘極線的方向移動之步驟更包括：使該感測裝置沿著該水平邊緣且垂直於該複數個閘極線而移動，以檢測該複數個閘極線是否有該第一線路異常；且該當該感測裝置依該垂直於該複數個數據線的方向移動之步驟更包括：使該感測裝置沿著該垂直邊緣且垂直於該複數個數據線而移動，以檢測該複數個數據線是否有該第二線路異常。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之方法，其中該玻璃基板更包括至少二斜線段，各該斜線段是一非實質水平於該水平邊緣且非實質垂直於該垂直邊緣的線段，該感測裝置更包括一具有兩個彼此平行的第三感測器與兩個彼此平行的第四感測器之斜向感測單元，其中各該第三感測器與各該第四感測器斜向交疊，各該第三感測器與各該第四感測器為一金屬導體，該方法更包括：使該感測裝置以一垂直於該至少二斜線段之方向移動，以該斜向感測單元檢測該至少二斜線段之兩相鄰斜線段的二個感測電流之一第三差 值，其中當該第三差值不為零時，該兩相鄰斜線段的其中之一有一第三線路異常。
  10. 一種用以檢測一基板之感測裝置，其中該基板具有複數個電路線、該複數電路線包括一第一複數第一方向電路線、一第二複數第二方向電路線、及一第三複數第三方向電路線、該第一或第二方向係一水平或垂直方向、該第三方向非該水平或垂直方向、且該基板受一訊號源供電，俾使該複數電路線受檢測，該感測裝置包含：一第一對感測導線，用以感測該第一及第二複數電路線兩者之一中相鄰兩特定電路線，並產生一第一對訊號；一第二對感測導線，用以感測該第一及第二複數電路線兩者之另一中相鄰兩特定電路線，並產生一第二對訊號；以及一第三對感測導線，用以感測該第三複數電路線中相鄰兩特定電路線，並產生一第三對訊號，俾藉各該對訊號之差值，以判斷各該被檢測之兩特定電路線是否正常。
  11. 一種用以檢測一基板之方法，其中該基板具有複數個電路線、該複數電路線包括一第一複數第一方向電路線、一第二複數第二方向電路線、及一第三複數第三方向電路線、該第一或第二方向係一水平或垂直方向、該第三方向非該水平或垂直方向、且該基板受一訊號源供電，俾使該複數電路線受檢測，該方法包含： 提供一第一對感測導線，用以感測該第一及第二複數電路線兩者之一中相鄰兩特定電路線，並產生一第一對訊號；提供一第二對感測導線，用以感測該第一及第二複數電路線兩者之另一中相鄰兩特定電路線，並產生一第二對訊號；提供一第三對感測導線，用以感測該第三複數電路線中相鄰兩特定電路線，並產生一第三對訊號；以及藉各該對訊號之差值，以判斷各該被檢測之兩特定電路線是否正常。
  12. 一種用以檢測一基板之感測裝置，其中該基板具有複數個電路線、該複數電路線包括在複數個方向延伸之複數組電路線、且該基板受一訊號源供電，俾使該複數電路線受檢測，該感測裝置包含：複數對感測導線，用以分別感測在該複數個方向上之該複數組電路線，其中：每一各該對感測導線用以感測一組相關電路線中相鄰兩特定電路線，並產生一對訊號；以及藉各該對訊號之差值，以判斷各該被檢測之兩特定電路線是否正常。
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