TWI759724B - 玻璃基板檢測方法 - Google Patents
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Abstract
一種使用一第一與一第二電壓感測裝置以檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的方法，包括：自各該第一金屬導線的一端供應一第一電壓；使該第一與該第二電壓感測裝置相平行且沿垂直於該複數個第二金屬導線的一方向移動；以及當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的一第一電壓訊號與一第二電壓訊號之差不為零時，判斷位於該第一及該第二電壓感測裝置下方的兩相鄰第二金屬導線的至少其中之一與該複數個第一金屬導線間具有至少一短路。
Description
本發明涉及一種用於檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的方法，尤指一種使用一具有一第一與一第二電壓感測裝置之檢測設備以檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的方法。其中，各該第一金屬導線與各該第二金屬導線分別是由數據線/閘極線(檢測閘極線/數據線短路：GDS)，或者是數據線/共源極線(檢測數據線/共源極線短路：DCS)，抑或者是共源極線/閘極線(檢測閘極線/共源極線短路：GCS)所組成群組的其中之一。
在玻璃基板的各該第一金屬導線與各該第二金屬導線間是否具有短路的檢測方面，先前技術主要是運用非接觸式供電及非接觸式感測器接收感測訊號。前述用於檢測玻璃基板短路之先前技術，主要應用在液晶顯示螢幕(LCD)的前段製程，在LCD的後段製程則無法達到檢測功能，於是促使開發適用於LCD的後段製程之新檢測方法。
目前用於檢測玻璃基板之短路的檢測方法，
其檢測出短路的精確度與速度仍有待提升，以進一步地減少瑕疵與降低生產成本。如何改善現存用於檢查玻璃基板的短路檢測方法，使得玻璃基板上電路的短路的檢出率能被提高，是一值得深思的問題。
職是之故，發明人鑒於習知技術之缺失，乃思及改良發明之意念，終能發明出本案之「玻璃基板檢測方法」。本案所實現的是運用接觸式供電及非接觸式感測器接收感測訊號的玻璃基板之各該第一金屬導線與各該第二金屬導線間是否具有短路的檢測方法。
本發明的主要目的在於提供一種用於檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的第一金屬導線與第二金屬導線間短路的方法，該方法當供電該複數個第一金屬導線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰第二金屬導線上二感應電壓訊號之一第一差值，當該第一差值不為零時，該兩相鄰第二金屬導線的至少其中之一與該複數個第一金屬導線間具有至少一短路，以及當供電該複數個第二金屬導線時，使用該第一與該第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰第一金屬導線上二感應電壓訊號之一第二差值，當該第二差值不為零時，該兩相鄰第一金屬導線的至少其中之一與該複數個第二金屬導線間具有至少一短路，以提升玻璃基板上第一金屬導線與第二金屬導線間短路的檢出率。
本案之又一主要目的在於提供一種使用一具
有一第一與一第二電壓感測裝置之檢測設備以檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的方法，包括：自各該第二金屬導線的一端供應一第一電壓，且使各該第二金屬導線的另一端接地；使該第一與該第二電壓感測裝置彼此實質平行地沿垂直於該複數個第一金屬導線的一方向移動；以及當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的一第一電壓訊號與一第二電壓訊號間的一第一兩電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一及該第二電壓感測裝置下方的兩相鄰第一金屬導線的至少其中之一與該複數個第二金屬導線間具有至少一短路。
本案之下一主要目的在於提供一種使用一具有一第一與一第二電壓感測裝置之檢測設備以檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的方法，包括：自各該第一金屬導線的一端供應一第一電壓，且使各該第一金屬導線的另一端接地；使該第一與該第二電壓感測裝置彼此實質平行地沿垂直於該複數個第二金屬導線的一方向移動；以及當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的一第一電壓訊號與一第二電壓訊號間一第一兩電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一及該第二電壓感測裝置下方的兩相鄰第二金屬導線的至少其中之一與該複數個第一金屬導線間具有至少一短路。
本案之另一主要目的在於提供一種使用一第
一與一第二電壓感測裝置以檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的方法，包括：自各該第二金屬導線或各該第一金屬導線的一端供應一第一電壓；使該第一與該第二電壓感測裝置相平行，且沿垂直於未供電的該複數個第一金屬導線或未供電的該複數個第二金屬導線的一方向移動；以及當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的一第一電壓訊號與一第二電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一及該第二電壓感測裝置下方的兩相鄰第一金屬導線或兩相鄰第二金屬導線的至少其中之一和與該兩相鄰第一金屬導線或該兩相鄰第二金屬導線相交的該複數個第二金屬導線至少其中之一或該複數個第一金屬導線至少其中之一之間具有至少一短路。
本案之再一主要目的在於提供一種使用一第一與一第二電壓感測裝置以檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的方法，包括：自各該第一金屬導線的一端供應一第一電壓；使該第一與該第二電壓感測裝置相平行且沿垂直於該複數個第二金屬導線的一方向移動；以及當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的一第一電壓訊號與一第二電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一及該第二電壓感測裝置下方的兩相鄰第二金屬導線的至少其中之一與該複數個第一金屬導線間具有至少一短路。
1:檢測設備
11:第一電壓感測裝置
12:第二電壓感測裝置
13:橫樑
2:玻璃基板
21:閘極線/第二金屬導線
22:數據線/第一金屬導線
23:外部電源
24:共源極線/第一金屬導線/第二金屬導線
aa’:線段
d:間距
第一圖：其係顯示一依據本發明構想之第一較佳實施例，當供電複數個閘極線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰數據線上二感應電壓訊號之一第一差值之示意圖。
第二圖：其係顯示一依據本發明構想之第一較佳實施例，當供電複數個數據線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰閘極線上二感應電壓訊號之一第二差值之示意圖。
第三圖：其係顯示一依據本發明構想之第二較佳實施例，當供電複數個共源極極線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰數據線上二感應電壓訊號之一第三差值之示意圖。
第四圖：其係顯示一依據本發明構想之第二較佳實施例，當供電複數個數據線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰共源極線上二感應電壓訊號之一第四差值之示意圖。
第五圖：其係顯示一依據本發明構想之第三較佳實施例，當供電複數個閘極極線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰共源極線上二感應電壓訊號之一第五差值之示意圖。
第六圖：其係顯示一依據本發明構想之第三較佳實施例，當供電複數個共源極線時，使用一第一與一第二電
壓感測裝置分別依序感測兩相鄰閘極線上二感應電壓訊號之一第六差值之示意圖。
第七圖(a)：其係顯示一對應於第一圖或第三圖中aa’線段之橫切面的該第一與該第二電壓感測裝置與該二相鄰數據線之剖面圖。
第七圖(b)：其係顯示一對應於第五圖中aa’線段之橫切面的該第一與該第二電壓感測裝置與該二相鄰共源極線之剖面圖。
第一圖是顯示一依據本發明構想之第一較佳實施例，當供電該複數個閘極線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰數據線上二感應電壓訊號之一第一差值之示意圖。在第一圖中，一檢測設備1包括一第一電壓感測裝置11、一第二電壓感測裝置12與一橫樑13。該檢測設備1用於檢測一玻璃基板2的GDS。該玻璃基板2包括複數個第二金屬導線21(在本實施例為複數個閘極線21)、複數個第一金屬導線22(在本實施例為複數個數據線22)與一外部電源23。
如第一圖所示，檢測玻璃基板2時，檢測設備1當供應一第一電壓給該複數個閘極線21時，使用該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12分別依序感測兩相鄰數據線22上二感應電壓訊號之該第一差值是否為零，當該第一差值不為零時，判斷分別位於該第一電壓感
測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰數據線22的至少其中之一與該複數個閘極線21間具有至少一短路。
第二圖是顯示一依據本發明構想之第一較佳實施例，當供電複數個數據線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置依序感測兩相鄰閘極線上二感應電壓訊號之一第二差值之示意圖。在第二圖中，當供應一第二電壓給該複數個數據線22時，使用該檢測設備1的該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12分別依序檢測相鄰兩閘極線21上二感應電壓訊號之該第二差值是否為零，當該第二差值不為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰閘極線21的至少其中之一與該複數個數據線22間具有至少一短路。
如第二圖所示，檢測玻璃基板2時，檢測設備1當供應該第二電壓給該複數個數據線22時，使用該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12分別依序感測兩相鄰閘極線21上二感應電壓訊號之該第二差值是否為零，當該第二差值為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰閘極線21與該複數個數據線22間不具有短路。
第三圖是顯示一依據本發明構想之第二較佳實施例，當供電複數個共源極極線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰數據線上二感應電壓訊號之一第三差值之示意圖。在第三圖中，一檢測設備
1包括一第一電壓感測裝置11、一第二電壓感測裝置12與一橫樑13。該檢測設備1用於檢測一玻璃基板2的DCS。該玻璃基板2包括複數個第二金屬導線24(在本實施例為複數個共源極線24)、複數個第一金屬導線22(在本實施例為複數個數據線22)與一外部電源23。
如第三圖所示，檢測玻璃基板2時，檢測設備1當供應該第一電壓給該複數個共源極線24時，使用一第一電壓感測裝置11與一第二電壓感測裝置12分別依序感測兩相鄰數據線22上二感應電壓訊號之該第三差值是否為零，當該第三差值不為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰數據線22的至少其中之一與該複數個共源極線24間具有至少一短路。
第四圖是顯示一依據本發明構想之第二較佳實施例，當供電複數個數據線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰共源極線上二感應電壓訊號之一第四差值之示意圖。在第四圖中，當供應一第二電壓給該複數個數據線22時，使用該檢測設備1的該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12分別依序檢測相鄰兩共源極線24上二感應電壓訊號之該第四差值是否為零，當該第四差值不為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰共源極線24的至少其中之一與該複數個數據線22間具有至少一短路。
如第四圖所示，檢測玻璃基板2時，檢測設備1當供應該第二電壓給該複數個數據線22時，使用該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12分別依序感測兩相鄰共源極線24上二感應電壓訊號之該第四差值是否為零，當該第四差值為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰共源極線24與該複數個數據線22間不具有短路。
第五圖是顯示一依據本發明構想之第三較佳實施例，當供電複數個閘極極線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰共源極線上二感應電壓訊號之一第五差值之示意圖。在第五圖中，一檢測設備1包括一第一電壓感測裝置11、一第二電壓感測裝置12與一橫樑13。該檢測設備1用於檢測一玻璃基板2的GCS。該玻璃基板2包括複數個第二金屬導線21(在本實施例為複數個閘極線21)、複數個第一金屬導線24(在本實施例為複數個共源極線24)與一外部電源23。
如第五圖所示，檢測玻璃基板2時，檢測設備1當供應一第一電壓給該複數個閘極線21時，使用該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12分別依序感測兩相鄰共源極線24上二感應電壓訊號之該第五差值是否為零，當該第五差值不為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰共源極線24的至少其中之一與該複數個閘極線21間具有至少一短路。
第六圖是顯示一依據本發明構想之第三較佳實施例，當供電複數個共源極線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰閘極線上二感應電壓訊號之一第六差值之示意圖。在第六圖中，當供應一第二電壓給該複數個共源極線24時，使用該檢測設備1的該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12分別依序檢測相鄰兩閘極線21上二感應電壓訊號之該第六差值是否為零，當該第六差值不為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰閘極線21的至少其中之一與該複數個共源極線24間具有至少一短路。
如第六圖所示，檢測玻璃基板2時，檢測設備1當供應該第二電壓給該複數個共源極線24時，使用該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12分別依序感測兩相鄰閘極線21上二感應電壓訊號之該第六差值是否為零，當該第六差值為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰閘極線21與該複數個共源極線24間不具有短路。
第七圖(a)是顯示一對應於第一圖或第三圖中aa’線段之橫切面的該第一與該第二電壓感測裝置與該二相鄰數據線之剖面圖。第一電壓感測裝置11與第二電壓感測裝置12分別在數據線Y或數據線X位置上方距離d的位置(間距為d)。
第七圖(b)是顯示一對應於第五圖中aa’線段
之橫切面的該第一與該第二電壓感測裝置與該二相鄰共源極線之剖面圖。第一電壓感測裝置11與第二電壓感測裝置12分別在共源極線Y或共源極線X位置上方距離d的位置(間距為d)。
如第一圖、第三圖或第五圖所示，本案提供一種使用一具有一第一電壓感測裝置11與一第二電壓感測裝置12之檢測設備1以檢測一具有複數個第一金屬導線(在第一圖與第三圖中為數據線22，在第五圖中為共源極線24)22/24與複數個第二金屬導線(在第一圖與第五圖中為閘極線21，在第三圖中為共源極線24)21/24之玻璃基板2的方法。該方法包括：自各該第二金屬導線21/24的一端供應一第一電壓，且使各該第二金屬導線21/24的另一端接地；使該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12彼此實質平行地沿垂直於該複數個第一金屬導線22/24的一方向移動；以及當該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12所分別感測到的一第一電壓訊號與一第二電壓訊號間的一第一兩電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰第一金屬導線22/24的至少其中之一與該複數個第二金屬導線21/24間具有至少一短路。
如第一圖、第三圖或第五圖所示之該方法，其中該檢測設備1更包括一可移動之橫樑13，其中該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12設置於該橫樑13上，藉由該橫樑13之移動以檢測該玻璃基板2，該第一
電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12實質平行於各該第一金屬導線22/24，以偵測各該第一金屬導線22/24是否因該至少一短路而產生一電流並因而使該第一電壓感測裝置11或該第二電壓感測裝置12分別感測到該第一電壓訊號或該第二電壓訊號。
如第一圖、第三圖或第五圖所示之方法，其中當該第一兩電壓訊號之差不為零時，則該兩相鄰第一金屬導線22/24的至少其中之一與該複數個第二金屬導線21/24的至少其中之一間具有該至少一短路。而當該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12所分別感測到的該第一電壓訊號與該第二電壓訊號間的該第一兩電壓訊號之差不為零時，則如第二圖、第四圖或第六圖所示，該方法更包括下列步驟：自各該第一金屬導線22/24(在第二圖與第四圖中為數據線22，在第六圖中為共源極線24)的一端供應一第二電壓，且使各該第一金屬導線22/24的另一端接地；使該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12彼此實質平行地沿垂直於該複數個第二金屬導線(在第二圖與第六圖中為閘極線21，在第四圖中為共源極線24)21/24的一方向移動；以及當該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12所分別感測到的一第三電壓訊號與一第四電壓訊號間之一第二兩電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰第二金屬導線21/24的至少其中之一與該複數個第一金屬導線22/24間具有該至少一短路。
如第一至第七圖(b)所示之該方法，其中該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12設置於該玻璃基板2上方，且該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12與該玻璃基板2間具有一間距d(見第七圖(a)與第七圖(b))。在第一圖、第三圖或第五圖中，當該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12分別位於一第N+1個與一第N個第一金屬導線22/24上方，且該第一兩電壓訊號之差等於該第N+1個第一金屬導線22/24的該第一電壓訊號的值減去該第N個第一金屬導線22/24的該第二電壓訊號的值，且為一正值，而當該第一與該第二電壓感測裝置分別移動至一第N+2個與該第N+1個第一金屬導線22/24上方，且該第一兩電壓訊號之差等於該第N+2個第一金屬導線22/24的該第一電壓訊號的值減去該第N+1個第一金屬導線22/24的該第二電壓訊號的值，且為一負值，其中N為一正整數時，則判斷該第N+1個第一金屬導線22/24具有該至少一短路。
如第二圖、第四圖或第六圖所示之該方法，其中當該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12分別位於一第M個與一第M+1個第二金屬導線21/24上方，且該第二兩電壓訊號之差等於該第M+1個第二金屬導線21/24的該第四電壓訊號的值減去該第M個第二金屬導線21/24的該第三電壓訊號的值，且為一正值，而當該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12分別移動至該第M+1個與一第M+2個第二金屬導線21/24上方，且該
第二兩電壓訊號之差等於該第M+2個第二金屬導線21/24的該第四電壓訊號的值減去該第M+1個第二金屬導線21/24的該第三電壓訊號的值，且為一負值，其中M為一正整數時，則判斷該第M+1個第二金屬導線21/24具有該至少一短路，而該第一與該第二電壓是由一外部電源23(見第一圖至第六圖)所提供。
如第二圖、第四圖或第六圖所示，本案提供一種使用一具有一第一電壓感測裝置11與一第二電壓感測裝置12之檢測設備1以檢測一具有複數個第一金屬導線22/24與複數個第二金屬導線21/24之玻璃基板2的方法。該方法包括：自各該第一金屬導線22/24的一端供應一第一電壓，且使各該第一金屬導線22/24的另一端接地；使該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12彼此實質平行地沿垂直於該複數個第二金屬導線21/24的一方向移動；以及當該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12所分別感測到的一第一電壓訊號與一第二電壓訊號間一第一兩電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰第二金屬導線21/24的至少其中之一與該複數個第一金屬導線22/24間具有至少一短路。
如第二圖、第四圖或第六圖所示之該方法，其中當該第一兩電壓訊號之差不為零時，則該兩相鄰第二金屬導線21/24至少其中之一與該複數個第一金屬導線22/24的至少其中之一間具有該至少一短路。而當該第一
電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12所分別感測到的該第一電壓訊號與該第二電壓訊號間的該第一兩電壓訊號之差不為零時，則如第一圖、第三圖或第五圖所示，該方法更包括下列步驟：自各該第二金屬導線21/24的一端供應一第二電壓，且使各該第二金屬導線21/24另一端接地；使該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12彼此實質平行地沿垂直於該複數個第一金屬導線22/24的一方向移動；以及當該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12所分別感測到的一第三電壓訊號與一第四電壓訊號間之一第二兩電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰第一金屬導線22/24的至少其中之一具有該至少一短路。
如第一圖至第六圖所示，本案揭露一種使用一第一電壓感測裝置11與一第二電壓感測裝置12以檢測一具有複數個第一金屬導線22/24與複數個第二金屬導線21/24之玻璃基板2的方法。該方法包括：自各該第二金屬導線21/24或各該第一金屬導線22/24的一端供應一第一電壓，且使各該第二金屬導線21/24或各該第一金屬導線22/24的另一端接地；使該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12相平行，且沿垂直於未供電的該複數個第一金屬導線22/24或未供電的該複數個第二金屬導線21/24的一方向移動；以及當該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12所分別感測到的一第一電壓訊號與
一第二電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰第一金屬導線22/24或兩相鄰第二金屬導線21/24的至少其中之一和與該兩相鄰第一金屬導線22/24或該兩相鄰第二金屬導線21/24相交的該複數個第二金屬導線21/24至少其中之一或該複數個第一金屬導線22/24至少其中之一之間具有至少一短路。
如第一圖至第六圖所示之該方法，更包括提供一檢測設備1，其中該檢測設備1包括該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12與一可移動之橫樑13。該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12設置於該橫樑13上，且藉由該橫樑13之移動以檢測該玻璃基板2。
如第二圖、第四圖或第六圖所示，本案提供一種使用一第一電壓感測裝置11與一第二電壓感測裝置12以檢測一具有複數個第一金屬導線22/24與複數個第二金屬導線21/24之玻璃基板2的方法。該方法包括：自各該第一金屬導線22/24的一端供應一第一電壓，且使各該第一金屬導線22/24的另一端接地；使該第一電壓感測裝置11與該第二電壓感測裝置12相平行且沿垂直於該複數個第二金屬導線21/24的一方向移動；以及當該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12所分別感測到的一第一電壓訊號與一第二電壓訊號之差不為零時，判斷位於該第一電壓感測裝置11及該第二電壓感測裝置12下方的兩相鄰第二金屬導線21/24的至少其中之一與該複數個第一
金屬導線22/24間具有至少一短路。
綜上所述，本發明提供一種用於檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的第一金屬導線與第二金屬導線間短路的方法，該方法當供電該複數個第一金屬導線時，使用一第一與一第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰第二金屬導線上二感應電壓訊號之一第一差值，當該第一差值不為零時，該兩相鄰第二金屬導線的至少其中之一與該複數個第一金屬導線間具有至少一短路，以及當供電該複數個第二金屬導線時，使用該第一與該第二電壓感測裝置分別依序感測兩相鄰第一金屬導線上二感應電壓訊號之一第二差值，當該第二差值不為零時，該兩相鄰第一金屬導線的至少其中之一與該複數個第二金屬導線間具有至少一短路，以提升玻璃基板上第一金屬導線與第二金屬導線間短路的檢出率，故其確實具有新穎性與進步性。
是以，縱使本案已由上述之實施例所詳細敘述而可由熟悉本技藝之人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。
1:檢測設備
11:第一電壓感測裝置
12:第二電壓感測裝置
13:橫樑
2:玻璃基板
21:閘極線/第二金屬導線
22:數據線/第一金屬導線
23:外部電源
Claims (9)
- 一種使用一具有一第一與一第二電壓感測裝置之檢測設備以檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的方法，其中各該第一金屬導線與各該第二金屬導線分別是一數據線和一閘極線，或是一數據線和一共源極線，或是一共源極線和一閘極線，包括：自各該第二金屬導線的一端供應一第一電壓，且使各該第二金屬導線的另一端接地；使該第一與該第二電壓感測裝置彼此實質平行地沿垂直於該複數個第一金屬導線的一方向移動；以及當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的一第一電壓訊號與一第二電壓訊號間的一第一兩電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一及該第二電壓感測裝置下方的兩相鄰第一金屬導線本身的至少其中之一與該複數個第二金屬導線本身間具有至少一短路。
- 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該檢測設備更包括一可移動之橫樑，其中該第一與該第二電壓感測裝置設置於該橫樑上，藉由該橫樑之移動以檢測該玻璃基板，該第一電壓感測裝置與該第二電壓感測裝置實質平行於各該第一金屬導線，以偵測各該第一金屬導線是否因該至少一短路而產生一電流並因而使該第一或該第二電壓感測裝置分別感測到該第一電壓訊號或該第二電壓訊號。
- 如申請專利範圍第2項所述之方法，其中當該第一兩電壓訊號之差不為零時，則該兩相鄰第一金屬導線的至少其中之一與該複數個第二金屬導線的至少其中之一間具有該至少一短路，且當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的該第一電壓訊號與該第二電壓訊號間的該第一兩電壓訊號之差不為零時，更包括下列步驟：停止供應該第一電壓，並自各該第一金屬導線的一端供應一第二電壓，且使各該第一金屬導線的另一端接地；使該第一與該第二電壓感測裝置彼此實質平行地沿垂直於該複數個第二金屬導線的一方向移動；以及當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的一第三電壓訊號與一第四電壓訊號間之一第二兩電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一及該第二電壓感測裝置下方的兩相鄰第二金屬導線的至少其中之一具有該至少一短路。
- 如申請專利範圍第3項所述之方法，其中該第一與該第二電壓感測裝置設置於該玻璃基板上方，且該第一與該第二電壓感測裝置與該玻璃基板間具有一間距，當該第一與該第二電壓感測裝置分別位於一第N+1個與一第N個第一金屬導線上方，且該第一兩電壓訊號之差等於該第N+1個第一金屬導線的該第一電壓訊號的值減去該第N個第一金屬導線的該第二電壓訊號的值，且為一正值，而當該 第一與該第二電壓感測裝置分別移動至一第N+2個與該第N+1個第一金屬導線上方，且該第一兩電壓訊號之差等於該第N+2個第一金屬導線的該第一電壓訊號的值減去該第N+1個第一金屬導線的該第二電壓訊號的值，且為一負值，其中N為一正整數時，則判斷該第N+1個第一金屬導線具有該至少一短路。
- 如申請專利範圍第4項所述之方法，其中當該第一與該第二電壓感測裝置分別位於一第M個與一第M+1個第二金屬導線上方，且該第二兩電壓訊號之差等於該第M+1個第二金屬導線的該第四電壓訊號的值減去該第M個第二金屬導線的該第三電壓訊號的值，且為一正值，而當該第一與該第二電壓感測裝置分別移動至該第M+1個與一第M+2個第二金屬導線上方，且該第二兩電壓訊號之差等於該第M+2個第二金屬導線的該第四電壓訊號的值減去該第M+1個第二金屬導線的該第三電壓訊號的值，且為一負值，其中M為一正整數時，則判斷該第M+1個第二金屬導線具有該至少一短路，而該第一與該第二電壓是由一外部電源所提供。
- 一種使用一具有一第一與一第二電壓感測裝置之檢測設備以檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的方法，其中各該第一金屬導線與各該第二金屬導線分別是一數據線和一閘極線，或是一數據線 和一共源極線，或是一共源極線和一閘極線，包括：自各該第一金屬導線的一端供應一第一電壓，且使各該第一金屬導線的另一端接地；使該第一與該第二電壓感測裝置彼此實質平行地沿垂直於該複數個第二金屬導線的一方向移動；以及當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的一第一電壓訊號與一第二電壓訊號間一第一兩電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一及該第二電壓感測裝置下方的兩相鄰第二金屬導線本身的至少其中之一與該複數個第一金屬導線本身間具有至少一短路。
- 如申請專利範圍第6項所述之方法，其中當該第一兩電壓訊號之差不為零時，則該兩相鄰第二金屬導線的至少其中之一與該複數個第一金屬導線的至少其中之一間具有該至少一短路，且當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的該第一電壓訊號與該第二電壓訊號間的該第一兩電壓訊號之差不為零時，更包括下列步驟：停止供應該第一電壓，並自各該第二金屬導線的一端供應一第二電壓，且使各該第二金屬導線的另一端接地；使該第一與該第二電壓感測裝置彼此實質平行地沿垂直於該複數個第一金屬導線的一方向移動；以及當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的一第三電壓訊號與一第四電壓訊號間之一第二兩電壓訊號之 差不為零時，判斷分別位於該第一及該第二電壓感測裝置下方的兩相鄰第一金屬導線的至少其中之一具有該至少一短路。
- 一種使用一第一與一第二電壓感測裝置以檢測一具有複數個第一金屬導線與複數個第二金屬導線之玻璃基板的方法，包括：自各該第二金屬導線或各該第一金屬導線的一端供應一第一電壓，且使各該第二金屬導線或各該第一金屬導線的另一端接地；使該第一與該第二電壓感測裝置相平行，且沿垂直於未供電的該複數個第一金屬導線或未供電的該複數個第二金屬導線的一方向移動；以及當該第一及該第二電壓感測裝置所分別感測到的一第一電壓訊號與一第二電壓訊號之差不為零時，判斷分別位於該第一及該第二電壓感測裝置下方的兩相鄰第一金屬導線本身或兩相鄰第二金屬導線本身的至少其中之一與該兩相鄰第一金屬導線或該兩相鄰第二金屬導線相交的該複數個第二金屬導線本身至少其中之一或該複數個第一金屬導線本身至少其中之一之間具有至少一短路。
- 如申請專利範圍第8項所述之方法，更包括提供一檢測設備，其中該檢測設備包括該第一及該第二電壓感測裝置與一可移動之橫樑，該第一及該第二電壓感測裝置設置於 該橫樑上，且藉由該橫樑之移動以檢測該玻璃基板，其中各該第一金屬導線與各該第二金屬導線分別是一數據線和一閘極線，或是一數據線和一共源極線，或是一共源極線和一閘極線。
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5097201A (en) * | 1990-02-15 | 1992-03-17 | Photon Dynamics, Inc. | Voltage imaging system using electro-optics |
| US5170127A (en) * | 1991-02-19 | 1992-12-08 | Photon Dynamics, Inc. | Capacitance imaging system using electro-optics |
| TW201250238A (en) * | 2011-04-25 | 2012-12-16 | Sharp Kk | Wiring defect detecting method and wiring defect detecting apparatus, and method for producing semiconductor substrate |
| TW201321769A (zh) * | 2011-11-25 | 2013-06-01 | Lg Display Co Ltd | 顯示裝置的顯示面板及檢測顯示裝置的信號線的缺陷的方法 |
| TW201337251A (zh) * | 2012-03-13 | 2013-09-16 | Oht Inc | 電極基板及具備該電極基板之電路圖案檢查裝置 |
| CN108226695A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-06-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 邻近金属线短路的检测及定位装置和方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100528695B1 (ko) * | 2003-05-06 | 2005-11-16 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 평판표시장치의 검사방법 및 장치 |
| JP2006300665A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Oht Inc | 検査装置および導電パターン検査方法 |
| JP4291843B2 (ja) * | 2006-10-19 | 2009-07-08 | 株式会社東京カソード研究所 | パターン検査装置 |
| KR101931175B1 (ko) * | 2012-05-18 | 2019-03-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 쇼트 불량 검사 방법, 표시 장치의 쇼트 불량 검사 방법 및 유기 발광 표시 장치의 쇼트 불량 검사 방법 |
| JP2014153177A (ja) * | 2013-02-08 | 2014-08-25 | Evolve Technology Co Ltd | 検査装置および検査方法 |
| CN103309064B (zh) * | 2013-05-24 | 2015-11-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 传感器、检测装置及检测方法 |
| TW201447663A (zh) * | 2013-06-13 | 2014-12-16 | Integrated Solutions Technology Inc | 觸控裝置及其感測電路 |
-
2020
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5097201A (en) * | 1990-02-15 | 1992-03-17 | Photon Dynamics, Inc. | Voltage imaging system using electro-optics |
| US5170127A (en) * | 1991-02-19 | 1992-12-08 | Photon Dynamics, Inc. | Capacitance imaging system using electro-optics |
| TW201250238A (en) * | 2011-04-25 | 2012-12-16 | Sharp Kk | Wiring defect detecting method and wiring defect detecting apparatus, and method for producing semiconductor substrate |
| TW201321769A (zh) * | 2011-11-25 | 2013-06-01 | Lg Display Co Ltd | 顯示裝置的顯示面板及檢測顯示裝置的信號線的缺陷的方法 |
| TW201337251A (zh) * | 2012-03-13 | 2013-09-16 | Oht Inc | 電極基板及具備該電極基板之電路圖案檢查裝置 |
| CN108226695A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-06-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 邻近金属线短路的检测及定位装置和方法 |
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