JP2010139377A - 回路パターン検査装置及びその回路パターン検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】隣接する2つの導電パターン2a、2bに同じ周波数で同じ波形を有し、位相が反転した2つの検査信号S1、S2をそれぞれに印加し、導電パターン2a、2b上方を非接触でセンサ部4を移動させて検査信号を検出部5においてそれぞれに検出する。センサ部4が短絡した箇所に接近するに従い、印加された検査信号が互いに打ち消されて、その検出値が急峻に減少することにより、短絡発生位置100を見出す。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る回路パターン検査装置の概念的な構成を示すブロック構成例を示す図である。本実施形態は、プローブが導電パターンに接触して検査信号を印加し、センサが非接触で検査信号を検出する構成である。
尚、センサ移動部6は、検出箇所を撮像する撮像素子及び撮像光学系からなる撮像機構を搭載して、ユーザーが目視できるようにしてもよい。
本実施形態は、前述した第1の実施形態における導電パターンから検査信号を非接触で検出することに加えて、印加側のプローブが、導電パターンとは非接触で検査信号を印加する構成である。これ以外の構成は、前述した第1の実施形態と同等であり、図1に示した構成部材の参照符号と同じ参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。尚、本実施形態においても、導電パターンの不良検査を行った後、短絡不良が見出された導電パターンに対する短絡箇所の位置を検出することについて説明するが、最初の不良検出(短絡及び断線)を行う機能は有しているものとする。
Claims (4)
- 基板上に列状に形成された複数の導電パターンのうち、隣接する2つの導電パターンに対して、同じ周波数で同じ波形の交流信号であり、位相が互いに180度ずれている第1の検査信号と第2の検査信号をそれぞれに印加する検査信号印加部と、
前記導電パターンのそれぞれに離間して非接触で容量結合し、前記第1の検査信号及び前記第2の検査信号を検出するセンサ部と、
前記センサ部を前記導電パターンと一定距離を離間した状態で前記導電パターンの延設方向に沿って移動させるセンサ移動部と、
前記センサ部が移動しつつ検出した前記第1の検査信号及び前記第2の検査信号の反転信号を加算して検出信号として出力する検出部と、
前記検出部により検出された検出信号の減少により予め定めた閾値以下となった前記導電パターンの位置を、隣接する2つの導電パターンの短絡不良位置と判断する判断部と、
を具備することを特徴とする回路パターン検査装置。 - 前記検査信号印加部は、前記導電パターンの端部の表面に接触して、前記第1の検査信号及び前記第2の検査信号を印加する少なくとも2本のプローブを具備すること特徴とする請求項1に記載の回路パターン検査装置。
- 前記検査信号印加部は、前記導電パターンの端部の幅と同等又はそれ以下の幅を有し、該導電パターンの配置間隔と同じ間隔をあけて配置され、該導電パターン上方に離間して非接触の容量結合を成し、前記前記第1の検査信号及び前記第2の検査信号を印加するすくなくとも2つの印加電極を具備すること特徴とする請求項1に記載の回路パターン検査装置。
- 基板上に列状に形成された複数の導電パターンのうち、隣接する2つの導電パターンに対して、同じ周波数で同じ波形の交流信号であり、位相が互いに180度ずれている第1の検査信号と第2の検査信号をそれぞれに印加し、
前記2つの導電パターンを伝搬した第1,第2の検査信号を検出し、
検出されたいずれが一方の検査信号からなる検出信号又は、一方の検査信号の位相を反転し、他方の検査信号と加算した検査信号の値が予め定めた閾値以下となった検査位置を前記2つの導電パターンにおける短絡不良位置と判断することを特徴とする回路パターン検査方法。
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