JP2007127552A - 導電パターン検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査装置10は、検査用の電気信号を出力する電源14、ショートパターン104に接触する二つの接触子12、および、非接触での電流検出ができる電流センサを備えている。第一ショートパターン104aに接触する給電接触子12aは電源14に、第二ショートパターン104bに接触するグランド接触子12bはグランド16に、それぞれ接続されている。その結果、第一ショートパターン104a,ショートブリッジ110、第二ショートパターン104bを経由する閉回路が形成されることになる。このショートパターン104に沿って非接触の電流センサ18を移動させた場合、検出電流値は、ショート位置P2,P3近傍で激変するため容易に正確なショート位置を特定できる。
【選択図】図2
Description
Claims (2)
- 基板上に複数配設された導電パターンのショート位置を検出する導電パターン検査装置であって、
検査用の電気信号を出力する電源と、
前記電源と接続されるとともに、ショートブリッジにより電気的に接続された第一導電パターンおよび第二導電パターンの一方の端部に接触する第一接触子と、
第一導電パターンおよび第二導電パターンの他方の端部に接触することにより、前記第一接触子との間で、第一導電パターン、ショートブリッジ、および第二導電パターンを経由する閉回路を形成する第二接触子と、
近接する導電パターンに流れる電流値を非接触で検出する電流検出手段と、
第一導電パターンまたは第二導電パターンに近接させつつ第一導電パターンまたは第二導電パターンに沿って電流検出手段を相対移動させる移動手段と、
を備え、電流検出手段の移動に伴う検出電流値の変動に基づいてショート位置を検出することを特徴とする導電パターン検査装置。 - 請求項1に記載の導電パターン検査装置であって、
電流検出手段は、導電パターンに流れる電流が作る磁界の強さに基づいて電流値を検出することを特徴とする導電パターン検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005321326A JP2007127552A (ja) | 2005-11-04 | 2005-11-04 | 導電パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005321326A JP2007127552A (ja) | 2005-11-04 | 2005-11-04 | 導電パターン検査装置 |
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JP2007127552A true JP2007127552A (ja) | 2007-05-24 |
Family
ID=38150325
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005321326A Pending JP2007127552A (ja) | 2005-11-04 | 2005-11-04 | 導電パターン検査装置 |
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JP (1) | JP2007127552A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010139377A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Oht Inc | 回路パターン検査装置及びその回路パターン検査方法 |
CN102053106A (zh) * | 2009-11-09 | 2011-05-11 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种缺陷检测方法 |
CN108226695A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-06-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 邻近金属线短路的检测及定位装置和方法 |
-
2005
- 2005-11-04 JP JP2005321326A patent/JP2007127552A/ja active Pending
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JP2010139377A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Oht Inc | 回路パターン検査装置及びその回路パターン検査方法 |
CN102053106A (zh) * | 2009-11-09 | 2011-05-11 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种缺陷检测方法 |
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