JP4448732B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
2,3 プローブユニット
5 測定部
6 演算制御部
9 非導電性メッシュシート
10 導電性メッシュシート
11 信号源
12 電圧測定回路
13 電流測定回路
15 可変電流源
16 差動増幅回路
21,22,31,32 シールド線
21a,22a,31a,32a 芯線
21b,22b,31b,32b シールド導体
23,33,63,73 保持部材
51 回路基板
52 導体パターン
A,B 測定ポイント
Hc,Hp,Lc,Lp プローブ
Is 電流
Vs 電圧
Claims (2)
- 回路基板における導体パターンの形成面上に敷設される非導電性メッシュシートと、
当該非導電性メッシュシート上に敷設される導電性メッシュシートと、
第1から第4のプローブと、
一端側における芯線の端部が前記第1のプローブに接続された第1のシールド線と、
一端側における芯線の端部が前記第2のプローブに接続された第2のシールド線と、
一端側における芯線の端部が前記第3のプローブに接続された第3のシールド線と、
一端側における芯線の端部が前記第4のプローブに接続された第4のシールド線と、
前記第1のシールド線の他端側における前記芯線の端部とシールド導体の端部との間に配設された信号源と、
前記第2のシールド線の他端側における前記芯線の端部とシールド導体の端部との間に配設された電圧測定部と、
前記第3のシールド線の他端側における前記芯線の端部とシールド導体の端部との間に直列に配設された電流測定部および可変電流源と、
前記第4のシールド線の他端側における前記芯線の端部とシールド導体の端部との間に配設された電流制御部と、
演算制御部とを備え、
前記導体パターンの検査時において、前記第1および第2のプローブは前記導電性メッシュシートをそれぞれ突き抜けて前記非導電性メッシュシート内に進入させられると共に前記導体パターンに設定された第1の測定ポイントに先端がそれぞれ接触させられ、前記第3および第4のプローブは前記導電性メッシュシートをそれぞれ突き抜けて前記非導電性メッシュシート内に進入させられると共に前記導体パターンに設定された第2の測定ポイントに先端がそれぞれ接触させられ、かつ前記第1から第4のシールド線の前記一端側における前記各シールド導体の端部は前記導電性メッシュシートを介して互いに接続させられて、
前記信号源および前記可変電流源は、当該信号源、前記第1のシールド線の前記芯線、前記第1のプローブ、前記導体パターン、前記第3のプローブ、前記第3のシールド線の前記芯線、前記電流測定部、当該可変電流源、前記第3のシールド線の前記シールド導体、前記導電性メッシュシートおよび前記第1のシールド線の前記シールド導体を含んで構成される電流ループにそれぞれ電流を供給し、
前記電流制御部は、前記電流ループに前記電流が流れることに起因して前記第4のシールド線の他端側における前記芯線および前記シールド導体の各端部間に生じる電位差を検出すると共に当該電位差がゼロになるように前記可変電流源に対して前記電流の供給量を制御し、
前記電流測定部は前記電流ループに流れる前記電流を測定し、
前記電圧測定部は前記電流ループに前記電流が流れることに起因して前記第2のシールド線の他端側における前記芯線および前記シールド導体の各端部間に生じる電圧を測定し、
前記演算制御部は、前記電圧測定部によって測定された前記電圧および前記電流測定部によって測定された前記電流に基づいて前記導体パターンについての電気的パラメータを算出すると共に当該電気的パラメータに基づいて当該導体パターンの良否を判別する回路基板検査装置。 - 一端側の外周面が縮径する筒体に導体を用いて形成された一対の保持部材を備え、
前記第1および第2のプローブは、それぞれ、一方の前記保持部材における前記一端側の内部において、互いに絶縁させると共に当該保持部材とも絶縁された状態を維持しつつ、当該一端側の開口部から前記非導電性メッシュシートの厚み未満の所定長だけ前記各先端を突出させて配設され、
前記第3および第4のプローブは、それぞれ、他方の前記保持部材における前記一端側の内部において、互いに絶縁させると共に当該保持部材とも絶縁された状態を維持しつつ、当該一端側の開口部から前記非導電性メッシュシートの厚み未満の所定長だけ前記各先端を突出させて配設され、
前記第1および第2のシールド線の前記一端側における前記各シールド導体の前記端部は前記一方の保持部材に電気的に接続され、
前記第3および第4のシールド線の前記一端側における前記各シールド導体の前記端部は前記他方の保持部材に電気的に接続されている請求項1記載の回路基板検査装置。
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