JP5611023B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
4端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられ、上記第1の可動アーム側に、上記第1の電流プローブと上記第1の電圧プローブとが、それらの各同軸ケーブルの外部導体間をリード線により電気的に接続した状態で支持されているとともに、上記第2の可動アーム側に、上記第2の電流プローブと上記第2の電圧プローブとが、それらの各同軸ケーブルの外部導体間をリード線により電気的に接続した状態で支持されており、上記第1の可動アーム側のうちの一方の上記同軸ケーブルの外部導体と、上記第2の可動アーム側のうちの一方の上記同軸ケーブルの外部導体とが、金属製のコイルバネを介して互いに電気的に接続されていることを特徴としている。
2 電圧検出手段(電圧計)
3 電流検出手段(電流計)
5 リード線
5a コイルバネ
10 制御部
20 測定部
31,32 可動アーム
41,42 移動機構
A 被検査回路基板
P1,P2 電流プローブ
P3,P4 電圧プローブ
C1〜C4 同軸ケーブル
IL 内部導体
S 外部導体(シールド被覆線)
FC 帰還制御回路
DUT 被測定試料
Claims (3)
- 測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第1,第2の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第1,第2の電圧プローブと、上記第1,第2の電流プローブおよび上記第1,第2の電圧プローブが取り付けられ、移動機構により任意方向に駆動される第1,第2の可動アームと、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出し、かつ、上記移動機構を介して上記各可動アームの動きを制御する制御部とを備えている回路基板検査装置において、
4端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられ、
上記第1の可動アーム側に、上記第1の電流プローブと上記第1の電圧プローブとが、それらの各同軸ケーブルの外部導体間をリード線により電気的に接続した状態で支持されているとともに、
上記第2の可動アーム側に、上記第2の電流プローブと上記第2の電圧プローブとが、それらの各同軸ケーブルの外部導体間をリード線により電気的に接続した状態で支持されており、
上記第1の可動アーム側のうちの一方の上記同軸ケーブルの外部導体と、上記第2の可動アーム側のうちの一方の上記同軸ケーブルの外部導体とが、金属製のコイルバネを介して互いに電気的に接続されていることを特徴とする回路基板検査装置。
- 上記第1の可動アーム側に支持される上記第1の電流プローブおよび上記第1の電圧プローブがともに高電位側で、上記第2の可動アーム側に支持される上記第2の電流プローブおよび上記第2の電圧プローブがともに低電位側であり、上記第1の電圧プローブにおける同軸ケーブルの外部導体と、上記第2の電圧プローブにおける同軸ケーブルの外部導体との間に上記コイルバネが介装されていることを特徴とする請求項1に記載の回路基板検査装置。
- 上記第1の可動アームと上記第2の可動アームとの間には、上記コイルバネの伸び量を所定範囲内に制限する上記コイルバネよりも強靱なワイヤが掛け渡されていることを特徴とする請求項1または2に記載の回路基板検査装置。
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