JP5627442B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
4端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられ、上記第1の可動アームのプローブ支持部に、上記第1の電流プローブと上記第1の電圧プローブとが支持されているとともに、上記第2の可動アームのプローブ支持部に、上記第2の電流プローブと上記第2の電圧プローブとが支持されており、いずれか一方の上記可動アームは、上記プローブ支持部の上方に配置され、上記各同軸ケーブルの一端側が固定されるケーブル支持基板を有し、上記各同軸ケーブルの一端側は、それらの外部導体が所定の導通手段を介して相互に接続された状態で上記ケーブル支持基板に固定され、上記各同軸ケーブルの内部導体が、それぞれ、上記第1および第2の各可動アームのX−Y方向への移動に追随して変形可能な電気的中継手段を介して対応する上記プローブに接続されており、上記電気的中継手段は、上記ケーブル支持基板と上記プローブ支持部との間隔よりも長い長さを有し、上記電気的中継手段の変形可能な範囲内で、上記第1の可動アームと上記第2の可動アームとの離間距離が広げられることを特徴としている。
2 電圧検出手段(電圧計)
3 電流検出手段(電流計)
5 リード線(導通手段)
10 制御部
20 測定部
31,32 可動アーム
31a,32a プローブ保持部
33 ケーブル支持基板
33a 接続パターン
41,42 移動機構
50 電気的中継手段
51 板バネ
51a 湾曲部
A 被検査回路基板
P1,P2 電流プローブ
P3,P4 電圧プローブ
C1〜C4 同軸ケーブル
IL 内部導体
S 外部導体(シールド被覆線)
FC 帰還制御回路
DUT 被測定試料
Claims (6)
- 測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第1,第2の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第1,第2の電圧プローブと、所定の上記プローブが取り付けられ、移動機構によりX,YおよびZ方向に駆動される第1,第2の可動アームと、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出し、かつ、上記移動機構を介して上記各可動アームの動きを制御する制御部とを備えている回路基板検査装置において、
4端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられ、
上記第1の可動アームのプローブ支持部に、上記第1の電流プローブと上記第1の電圧プローブとが支持されているとともに、上記第2の可動アームのプローブ支持部に、上記第2の電流プローブと上記第2の電圧プローブとが支持されており、
いずれか一方の上記可動アームは、上記プローブ支持部の上方に配置され、上記各同軸ケーブルの一端側が固定されるケーブル支持基板を有し、
上記各同軸ケーブルの一端側は、それらの外部導体が所定の導通手段を介して相互に接続された状態で上記ケーブル支持基板に固定され、上記各同軸ケーブルの内部導体が、それぞれ、上記第1および第2の各可動アームのX−Y方向への移動に追随して変形可能な電気的中継手段を介して対応する上記プローブに接続されており、
上記電気的中継手段は、上記ケーブル支持基板と上記プローブ支持部との間隔よりも長い長さを有し、上記電気的中継手段の変形可能な範囲内で、上記第1の可動アームと上記第2の可動アームとの離間距離が広げられることを特徴とする回路基板検査装置。
- 上記第1の可動アーム側に支持される上記第1の電流プローブおよび上記第1の電圧プローブがともに高電位側で、上記第2の可動アーム側に支持される上記第2の電流プローブおよび上記第2の電圧プローブがともに低電位側であることを特徴とする請求項1に記載の回路基板検査装置。
- 上記導通手段として、リード線が用いられることを特徴とする請求項1または2に記載の回路基板検査装置。
- 上記ケーブル支持基板には、上記導通手段としての接続パターンが形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の回路基板検査装置。
- 上記電気的中継手段として、上記ケーブル支持基板と上記プローブ支持部との間隔よりも長い長さを有する湾曲部を含む板バネが用いられることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の回路基板検査装置。
- 上記電気的中継手段として、上記ケーブル支持基板と上記プローブ支持部との間隔よりも長い長さを有する金属のリボン箔が用いられることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の回路基板検査装置。
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