JP5624452B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、回路基板の検査に用いられるプローブ（導電接触ピン）を所定方向に移動可能な可動アームに支持してなるＸ−Ｙ型（もしくはフライング型等）と呼ばれる回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、可動アームの動きの自由度を高める技術に関するものである。

回路基板に存在する導体パターン，実装部品や素子等（以下、これらを「被測定試料」という。）のインピーダンスを測定する方法の一つとして４端子法がある。

４端子法においては、図７の模式図に示すように、基本的な構成として、測定信号を発生する測定信号源１と、電圧検出手段としての電圧計２と、電流検出手段としての電流計３とを備える。

プローブとしては、測定信号源１から被測定試料ＤＵＴに流れる測定電流径路に内に含まれる２つの電流プローブＰ１，Ｐ２（Ｐ１が高電位Ｈｃ側で、Ｐ２が低電位Ｌｃ側）と、被測定試料ＤＵＴの電圧検出径路内に含まれる２つの電圧プローブＰ３，Ｐ４（Ｐ３が高電位Ｈｐ側で、Ｐ２が低電位Ｌｐ側）の４つのプローブが用いられる。

なお、これらの各プローブは構造的には変わらないが、本明細書では、説明の便宜上、電流系統側のものを電流プローブと言い、電圧系統側のものを電圧プローブと言う。

測定にあたっては、測定信号源１から電流プローブＰ１，Ｐ２を介して被測定試料ＤＵＴに例えば定電流を流し、これによって被測定試料ＤＵＴの両端に発生する電圧を電圧プローブＰ３，Ｐ４を介して電圧計２で測定し、電流計３による電流値と電圧計２による電圧値とに基づいて、被測定試料ＤＵＴのインピーダンスＺを測定する。

この４端子法によれば、測定系の電気配線（リード線）の配線抵抗や被測定試料との接触抵抗の影響をほとんど排除することができるが、測定電流径路に流れる電流によって発生する磁束が電圧検出径路をよぎると、検出電圧に誤差が生じ、この誤差がインピーダンス測定値に含まれることになる。

この現象は、特に高い周波数の測定電流で測定を行う高周波測定時に問題となる。なお、測定系の電気配線に、同軸ケーブル（シールド被覆線）を使用しても、静電シールドの効果はあるが、上記のような電磁誘導に対しては有効ではない。

この電磁誘導による問題は、４端子対法によって解決することができる。４端子対法に関する文献としては例えば特許文献１があるが、図８に４端子対法による測定状態を模式的に示し、これについて説明する。

図８を参照して、４端子対法の場合、電流プローブＰ１，Ｐ２の電気配線として同軸ケーブルＣ１，Ｃ２を用い、同様に、電圧プローブＰ３，Ｐ４の電気配線にも同軸ケーブルＣ３，Ｃ４を用いる。そして、各同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各外部導体（シールド被覆線）Ｓのすべてを各プローブの基端付近でリード線５にて接続し短絡する。

動作について、測定信号源１よりＨｃラインを介して被測定試料ＤＵＴに測定電圧Ｖを印加すると（この印加電圧はＨｐラインと同じ）、被測定試料ＤＵＴにはＶ／Ｚなる測定電流が流れる。この測定電流は電流計３を通り、そのまま逆向きに外部導体を流れて測定信号源１に戻る（図８の電流の流れ方向を示す矢印参照）。

このとき、被測定試料ＤＵＴの反対側では、ＬｐがＬｃ（＝ＧＮＤ）となるように帰還制御回路ＦＣが動作する。したがって、被測定試料ＤＵＴには、電圧計２の両端と同じ電圧がかかるため、電圧計２の示す値は、被測定試料ＤＵＴの両端電圧と同じとなる。

このように、４端子対法によれば、測定電流径路内において、測定電流の往路と復路とが重ね合わされるため、上記４端子法の利点を維持しながら、測定電流により生ずる磁束の影響（電磁誘導）を軽減することができる。

なお、各同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各外部導体Ｓのすべてをリード線５にて接続しているのは、上記電圧を測定する際に、それに関与するＨｐ，Ｌｐの各外部導体Ｓの電位が確定していない状態は好ましくない、等の理由による。

ところで、Ｘ−Ｙ型回路基板装置では、例えば特許文献２に記載されているように、回路基板上を所定方向（Ｘ，ＹおよびＺ方向）に移動し得る少なくとも２つの可動アームを備え、その各可動アームにプローブを支持させ、あらかじめ設定されている検査プログラムにしたがって、各可動アームを移動させて回路基板上の被測定試料の検査を行うようにしている。

Ｘ−Ｙ型回路基板装置で４端子対法による測定を行う場合、例えば、一方の可動アームに高電位側の電流プローブＰ１と電圧プローブＰ３とが設けられ、他方の可動アームに低電位側の電流プローブＰ２と電圧プローブＰ４とが設けられ、これらの各可動アーム間に外部導体接続用のリード線５が掛け渡されることになる。

このため、各可動アームの動き得る範囲がリード線５の配線長に制限され、例えばパターンのピッチが変化し、プロービング箇所間の距離がリード線５の配線長よりも長い場合には対応ができない、等の問題がある。

なお、各可動アーム間に掛け渡される外部導体接続用リード線の配線長を長くすることは、高い周波数を扱ううえで好ましくないし、また、極端な例ではあるが、可動アームの間隔が狭められた際に、被検査回路基板上にリード線が垂れ下がって引きずられるおそれもあり、総じて好ましい対策とは言えない。

特開平２−１２２２７４号公報 特開２００２−１４１３２号公報

したがって、本発明の課題は、Ｘ−Ｙ型（もしくはフライング型等）と呼ばれる回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、同軸ケーブルの外部導体間を接続するリード線の配線長による制限を受けることなく、各可動アームを自由に動き得るようにすることにある。

上記課題を解決するため、本発明は、測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被検査回路基板に実装されている被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第１，第２の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第１，第２の電圧プローブの４つのプローブと、所定の上記プローブが取り付けられ、移動機構により任意方向に駆動される第１，第２の可動アームと、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出し、かつ、上記移動機構を介して上記各可動アームの動きを制御する制御部とを備えている回路基板検査装置において、
４端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられるとともに、上記４つのプローブとは別に、上記各プローブが接触する上記被測定試料の端子部分とは異なる場所に配置されている所定の導体に接触して互いに導通する第５および第６のプローブをさらに備え、
上記第１の可動アーム側に、上記第１の電流プローブ，上記第１の電圧プローブおよび上記第５のプローブが支持され、上記第２の可動アーム側に、上記第２の電流プローブ，上記第２の電圧プローブおよび上記第６のプローブが支持され、上記第１の可動アーム側においては、上記第１の電流プローブと上記第１の電圧プローブの上記各同軸ケーブルの外部導体間および上記第５のプローブがリード線を介して接続されており、上記第２の可動アーム側においては、上記第２の電流プローブと上記第２の電圧プローブの上記各同軸ケーブルの外部導体間および上記第６のプローブがリード線を介して接続されており、
上記各プローブが上記被測定試料の端子部分に接触するに伴って、上記第５および第６のプローブが上記導体に接触し、上記第１の可動アーム側の各同軸ケーブルの外部導体と上記第２の可動アーム側の各同軸ケーブルの外部導体とが、上記第５，第６のプローブおよび上記導体を介して互いに電気的に接続されることを特徴としている。

本発明において、上記第１の可動アーム側に支持される上記第１の電流プローブおよび上記第１の電圧プローブがともに高電位側で、上記第２の可動アーム側に支持される上記第２の電流プローブおよび上記第２の電圧プローブがともに低電位側であることが４端子対法による測定を行う上で好ましい。

また、本発明において、上記各可動アームは、上記電流プローブおよび上記電圧プローブが取り付けられる第１アーム部と、上記第５，第６のプローブのいずれか一方が取り付けられる第２アーム部とを備え、上記第１アーム部と上記第２アーム部とが、上記被検査回路基板の基板面とほぼ平行な平面内において異なる方向に配向されている態様が好ましく採用される。

本発明では、各可動アーム間に配線されるリード線に代えて、所定の導体に接触して互いに導通する第５および第６のプローブが用いられるが、その導体として、上記被検査回路基板に対して並置される別基板上に形成された所定の導体パターンが用いられてよい。

また、別の態様として、上記導体に上記被検査回路基板上に形成されている所定の導体パターンが用いられてもよい。

また、別の態様として、上記導体に上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブが接触する上記被検査回路基板のプロービング箇所を除いて上記被検査回路基板上に配置されるマスク基板に形成された所定の導体パターンを用いることもできる。いずれの場合においても、導体パターンは、銅箔よりなるベタパターンが好ましく採用される。

本発明によれば、各可動アーム間に配線されるリード線に代えて、所定の導体に接触して互いに導通する第５および第６のプローブを採用したことにより、同軸ケーブルの外部導体間を接続するリード線の配線長による制限を受けることなく、各可動アームを自由に動き得るようにすることができる。

（ａ）Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置の基本的な構成を示す模式図、（ｂ）本発明に適用される４端子対法によるプローブの構成例を示す模式図。 本発明の実施形態を示す模式図。 各可動アームの要部を示す斜視図。 本発明の第１導体パターンによる測定例を示す模式図。 本発明の第２導体パターンによる測定例を示す模式図。 本発明の第３導体パターンによる測定例を示す模式図。 ４端子法による測定状態を示す模式図。 ４端子対法による測定状態を示す模式図。

次に、図１ないし図６により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

まず、図１（ａ）を参照して、本発明の回路基板検査装置の構成を概略的に説明すると、この回路基板検査装置は、Ｘ−Ｙ型もしくはフライング型と呼ばれる検査装置で、基本的な構成として、制御部１０と、測定部２０と、一対の可動アーム３１，３２と、可動アームの移動機構４１，４２とを備える。

検査プローブには、図１（ｂ）に示す４端子対法による４本のプローブＰ１〜Ｐ４が用いられるが、本発明では、さらに２本のプローブＰ５，Ｐ６を備える。したがって、使用するプローブは、Ｐ１〜Ｐ６の合計６本である。

制御部１０には、例えばマイクロコンピュータが用いられ、その記憶部には、被検査回路基板Ａ上に存在する被測定試料ＤＵＴについての検査プログラムや、良否判定用の基準データ等が設定される。また、制御部１０は、測定部２０からの測定信号に基づいて、被測定試料ＤＵＴのパラメータ（例えば、インピーダンス）を算出し、好ましくは、その良否判定等を行う。

測定部２０は、先の図８で説明したように、４端子対法による測定を行うための測定信号源１、電圧検出手段としての電圧計２、電流検出手段としての電流計３および帰還制御回路ＦＣ等を備える。

可動アーム３１，３２は、それらの移動機構４１，４２によりＸ，ＹおよびＺ方向に駆動される。可動アーム３１，３２の移動制御信号は、制御部１０から移動機構４１，４２に与えられる。図示しないが、可動アーム３１，３２のほかに、別の可動アーム（例えば、ガードプローブ用の可動アーム等）が設けられてもよい。

図１（ｂ）に示す検査プローブのうち、先の図８で説明したのと同じく、Ｐ１，Ｐ２が被測定試料ＤＵＴに対する測定電流径路に含まれる電流プローブで、Ｐ３，Ｐ４が被測定試料ＤＵＴの電圧検出径路に含まれる電圧プローブである。また、Ｐ５，Ｐ６は、ともに同一の導体１００に接触して互いに導通する導通用のプローブである。

電流プローブＰ１，Ｐ２，電圧プローブＰ３，Ｐ４および導通用のプローブＰ５，Ｐ６には、同じ構造のプローブが用いられてよい。なお、説明するうえで、これらの各プローブの区別を必要としない場合には、単にプローブということがある。

プローブＰ１，Ｐ２，Ｐ３およびＰ４は、それぞれ同軸ケーブルＣ１，Ｃ２，Ｃ３およびＣ４の各内部導体ＩＬを介して測定部２０に接続される。

先の図８を参照して、電流プローブＰ１，Ｐ２のうち、電流プローブＰ１が高電位（Ｈｉ）側で測定信号源１のＨｃ端子に接続され、電流プローブＰ２は低電位（Ｌｏｗ）側として電流計３のＬｃ端子側に接続される。

同様に、電圧プローブＰ３，Ｐ４のうち、電圧プローブＰ３が高電位側で電圧計２のＨｐ端子に接続され、電圧プローブＰ４は低電位側として電圧検出系のＬｐ端子側に接続される。

同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各内部導体ＩＬは、その各一端が測定部２０に接続され、各他端がプローブＰ１〜Ｐ４の基端ｂ側に接続されるが、この実施形態においては、高電位側の同軸ケーブルＣ１，Ｃ３の各外部導体（シールド被覆線）Ｓ同士は、プローブＰ１，Ｐ３の基端ｂ側付近においてリード線５により相互に接続され、また、一方の導通用のプローブＰ５もリード線５を介して高電位側の同軸ケーブルＣ１，Ｃ３の各外部導体Ｓに接続されている。

同様に、低電位側の同軸ケーブルＣ２，Ｃ４の各外部導体Ｓ同士も、プローブＰ２，Ｐ４の基端ｂ側付近においてリード線５により相互に接続され、また、他方の導通用のプローブＰ６もリード線５を介して低電位側の同軸ケーブルＣ２，Ｃ４の各外部導体Ｓに接続されている。

したがって、高電位側の同軸ケーブルＣ１，Ｃ３の各外部導体Ｓと、低電位側の同軸ケーブルＣ２，Ｃ４の各外部導体Ｓは、導通用のプローブＰ５，Ｐ６が導体１００に接触することにより、これらプローブＰ５，Ｐ６および導体１００を介して相互に接続されることになる。

本発明では、この４端子対法による測定用のプローブＰ１〜Ｐ４と導通用のプローブＰ５，Ｐ６とを所定方向に移動可能な可動アームに支持させて、Ｘ−Ｙ型の回路基板検査装置で被測定試料ＤＵＴのインピーダンス測定を可能とする。

そのため、この実施形態では、図２に示すように、６本のプローブＰ１〜Ｐ６を２つに分け、高電位側の電流プローブＰ１および高電位側の電圧プローブＰ３と、一方の導通用のプローブＰ５とを一方の可動アーム３２側に取り付け、低電位側の電流プローブＰ２および低電位側の電圧プローブＰ４と、他方の導通用のプローブＰ６とを他方の可動アーム３１側に取り付ける。

そして、各プローブＰ１〜Ｐ４を同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を介して測定部２０に接続したのち、同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４のプローブ側の端部の外皮をはぎ取って露出された各外部導体Ｓのうち、図１（ｂ）に示すように、同軸ケーブルＣ１，Ｃ３の各外部導体Ｓ間および導通用のプローブＰ５をリード線５により接続し、また、同軸ケーブルＣ２，Ｃ４の各外部導体Ｓ間および導通用のプローブＰ６をリード線５により接続する。

この場合、測定用のプローブＰ１〜Ｐ４は、被測定試料ＤＵＴ（例えば、キャパシタ素子）の各端子部分に接触し、導通用のプローブＰ５，６は、これとは異なる場所に配置される導体１００に接触することから、各可動アーム３１，３２を図３に例示するような構成するとよい。

すなわち、各可動アーム３１，３２は、被検査回路基板Ａの基板面とほぼ平行な平面内で、各可動アーム３１，３２の基端側からＸ軸方向に沿って互いに近づく方向に延びる第１アーム部３１ａ，３２ａと、第１アーム部３１ａ，３２ａの端部からＹ軸方向に沿ってともに同一方向に延びる第２アーム部３１ｂ，３２ｂとを備える構成とし、可動アーム３１側の第１アーム部３１ａに測定用のプローブＰ２，Ｐ４を取り付け、第２アーム部３１ｂに導通用のプローブＰ６を取り付ける。同様に、可動アーム３２側の第１アーム部３２ａに測定用のプローブＰ１，Ｐ３を取り付け、第２アーム部３２ｂに導通用のプローブＰ５を取り付ける。

なお、第２アーム部３１ｂ，３２ｂは、必ずしも第１アーム部３１ａ，３２ａに対して直交する方向とする必要はなく、第１アーム部３１ａ，３２ａに対する角度は任意に選択されてよい。

また、第２アーム部３１ｂ，３２ｂは、第１アーム部３１ａ，３２ａの途中から突設されてもよい。すなわち、第１アーム部３１ａ，３２ａと第２アーム部３１ｂ，３２ｂは、Ｔ字状に交差されてもよい。

また、測定用のプローブＰ１〜Ｐ４が接触する被測定試料ＤＵＴの端子部分と、導通用のプローブＰ５，Ｐ６が接触する導体１００とが異なる高さに存在する場合があることを考慮して、第２アーム部３１ｂ，３２ｂに、若干下向き（被検査回路基板Ａ側に近づく向き）の勾配を付けるとともに、適度な弾性を持たせることが好ましい。

本発明によれば、可動アーム３１，３２間に、高電位側の同軸ケーブルＣ１，Ｃ３の各外部導体Ｓと、低電位側の同軸ケーブルＣ２，Ｃ４の各外部導体Ｓとを接続するリード線の配線が不要であるため、可動アーム３１，３２のＸ−Ｙ方向への移動の自由度が高められる。

次に、図４により、この回路基板検査装置の第１測定例について説明する。この第１測定例では、導通用のプローブＰ５，Ｐ６間を導通させる導体１００として、被検査回路基板Ａに並置される別基板１１０に形成されている導体パターン１１１が用いられる。導体パターン１１１は、別基板１１０の片面側の全面に形成されたいわゆる銅箔のベタパターンであることが好ましい。

被検査回路基板Ａに被測定試料ＤＵＴの端子部５１，５２が形成されているとして、この第１測定例によると、高電位側の測定用のプローブＰ１，Ｐ３を一方の端子部５１に接触させ、低電位側の測定用のプローブＰ２，Ｐ４を他方の端子部５２に接触させるに伴って、導通用のプローブＰ５，Ｐ６が別基板１１０の導体パターン１１１に接触する。

これにより、プローブＰ５，Ｐ６および導体パターン１１１を介して高電位側の同軸ケーブルＣ１，Ｃ３の各外部導体Ｓと低電位側の同軸ケーブルＣ２，Ｃ４の各外部導体Ｓとが電気的に接続されるため、被測定試料ＤＵＴのパラメータを４端子対法により測定することができる。

上記第１測定例とは異なり、図５に示す第２測定例のように、導通用のプローブＰ５，Ｐ６間を導通させる導体１００として、被検査回路基板Ａに形成されている所定の導体パターン１２１が用いられてもよい。

この導体パターン１２１は、導通用のプローブＰ５，Ｐ６間を導通させる専用パターンであってもよいし、被検査回路基板Ａに形成されている他の回路の例えば引き回し配線部分等が利用されてもよい。

また、導通用のプローブＰ５，Ｐ６間を導通させる導体１００として、図６に示す第３測定例のように、被検査回路基板Ａ上に配置されるマスク基板１３０を用いることもできる。

この第３測定例は、上記第１測定例での別基板１１０を被検査回路基板Ａ上に配置した変形例として位置付けされ、マスク基板１３０は、被測定試料ＤＵＴの端子部５１，５２を露出させる窓１３２，１３３を有し、その片面側の全面には、導通用のプローブＰ５，Ｐ６間を導通させる導体１００として、好ましくは、銅箔のベタパターン１３１が形成されている。

上記第２測定例および第３測定例においても、上記第１測定例と同じく、プローブＰ５，Ｐ６および導体パターン１００（１１１，１２１，１３１）を介して高電位側の同軸ケーブルＣ１，Ｃ３の各外部導体Ｓと低電位側の同軸ケーブルＣ２，Ｃ４の各外部導体Ｓとが電気的に接続されるため、被測定試料ＤＵＴのパラメータを４端子対法により測定することができる。

１ 測定信号源
２ 電圧検出手段（電圧計）
３ 電流検出手段（電流計）
５ リード線
１０ 制御部
２０ 測定部
３１，３２ 可動アーム
３１ａ，３２ａ 第１アーム部
３１ｂ，３２ｂ 第２アーム部
４１，４２ 移動機構
５１，５２ 端子部
１００ 導体
１１１，１２１，１３１ 導体パターン
Ａ 被検査回路基板
Ｐ１，Ｐ２ 電流プローブ
Ｐ３，Ｐ４ 電圧プローブ
Ｐ５，Ｐ６ 導通用プローブ
Ｃ１〜Ｃ４ 同軸ケーブル
ＩＬ 内部導体
Ｓ 外部導体（シールド被覆線）
ＦＣ 帰還制御回路
ＤＵＴ 被測定試料

Claims (7)

1. 測定信号源および電圧検出手段を含む測定部と、上記測定信号源と被検査回路基板に実装されている被測定試料との間の測定電流径路に含まれる第１，第２の電流プローブおよび上記電圧検出手段と上記被測定試料との間の電圧検出径路に含まれる第１，第２の電圧プローブの４つのプローブと、所定の上記プローブが取り付けられ、移動機構により任意方向に駆動される第１，第２の可動アームと、上記測定部からの測定信号に基づいて上記被測定試料のパラメータを算出し、かつ、上記移動機構を介して上記各可動アームの動きを制御する制御部とを備えている回路基板検査装置において、
   ４端子対法による計測を行うため、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブの上記測定部に至る電気配線に同軸ケーブルが用いられるとともに、上記４つのプローブとは別に、上記各プローブが接触する上記被測定試料の端子部分とは異なる場所に配置されている所定の導体に接触して互いに導通する第５および第６のプローブをさらに備え、
   上記第１の可動アーム側に、上記第１の電流プローブ，上記第１の電圧プローブおよび上記第５のプローブが支持され、
   上記第２の可動アーム側に、上記第２の電流プローブ，上記第２の電圧プローブおよび上記第６のプローブが支持され、
   上記第１の可動アーム側においては、上記第１の電流プローブと上記第１の電圧プローブの上記各同軸ケーブルの外部導体間および上記第５のプローブがリード線を介して接続されており、
   上記第２の可動アーム側においては、上記第２の電流プローブと上記第２の電圧プローブの上記各同軸ケーブルの外部導体間および上記第６のプローブがリード線を介して接続されており、
   上記各プローブが上記被測定試料の端子部分に接触するに伴って、上記第５および第６のプローブが上記導体に接触し、上記第１の可動アーム側の各同軸ケーブルの外部導体と上記第２の可動アーム側の各同軸ケーブルの外部導体とが、上記第５，第６のプローブおよび上記導体を介して互いに電気的に接続されることを特徴とする回路基板検査装置。
   
2. 上記第１の可動アーム側に支持される上記第１の電流プローブおよび上記第１の電圧プローブがともに高電位側で、上記第２の可動アーム側に支持される上記第２の電流プローブおよび上記第２の電圧プローブがともに低電位側であることを特徴とする請求項１に記載の回路基板検査装置。
3. 上記各可動アームは、上記電流プローブおよび上記電圧プローブが取り付けられる第１アーム部と、上記第５，第６のプローブのいずれか一方が取り付けられる第２アーム部とを備え、上記第１アーム部と上記第２アーム部とが、上記被検査回路基板の基板面とほぼ平行な平面内において異なる方向に配向されていることを特徴とする請求項１または２に記載の回路基板検査装置。
4. 上記導体として、上記被検査回路基板に対して並置される別基板上に形成された所定の導体パターンが用いられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の回路基板検査装置。
5. 上記導体として、上記被検査回路基板上に形成されている所定の導体パターンが用いられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の回路基板検査装置。
6. 上記導体として、上記各電流プローブおよび上記各電圧プローブが接触する上記被検査回路基板のプロービング箇所を除いて上記被検査回路基板上に配置されるマスク基板に形成された所定の導体パターンが用いられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の回路基板検査装置。
7. 上記導体パターンは、銅箔よりなるベタパターンからなることを特徴とする請求項４ないし６のいずれか１項に記載の回路基板検査装置。

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