JPH034179A - コンタクトプローブによる電気的試験方法 - Google Patents

コンタクトプローブによる電気的試験方法

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JPH034179A
JPH034179A JP13966489A JP13966489A JPH034179A JP H034179 A JPH034179 A JP H034179A JP 13966489 A JP13966489 A JP 13966489A JP 13966489 A JP13966489 A JP 13966489A JP H034179 A JPH034179 A JP H034179A
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JP
Japan
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contact
probes
measurement
probe
conductor
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JP13966489A
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English (en)
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Toru Goto
後藤 亨
Morishirou Sudou
須藤 守四郎
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Fujitsu Ltd
Miyachi Systems Co Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Miyachi Systems Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要] プリント配線基板におけるような導体について正確な電
気量を測定するための電気的試験方法に関し、 導体を介して2本のコンタクトプローブ間の接触抵抗を
測定し、コンタクトプローブが導体と良好に接触してい
る時に限り電気的試験を行うようにした試験方法を提供
することを目的とし、2本のコンタクトプローブと、 該プローブを近接して接触させた導体を介して2本のコ
ンタクトプローブ間の接触抵抗値を測定する測定部と、
該測定部の測定結果に基づいてプローブの導体への接触
状況を判断する判断部と、電気量測定部とを具備する測
定装置を使用し、電気量を測定する測定点とその近傍に
各々コンタクトプローブを当てたとき、両プローブ間の
接触抵抗値を測定して、判断部により測定結果が不良と
判断したときは、同時に両コンタクトプローブを駆動に
より移動させて接触抵抗値を再度測定し、判断部が測定
結果を良好と判断した後電気量測定部がコンタクトプロ
ーブにより所定の測定を行うことで構成する。
[産業上の利用分野] 本発明はプリント配線基板におけるような導体について
正値な電気量を測定するための電気的試験方法に関する
従来、プリント配線基板など高周波・低周波電流の流れ
る導体について、電流電圧などを測定し電気的特性をチ
エツクするため、1本のコンタクトプローブを導体の測
定個所へ接触させ、また導体の抵抗値を測定するため、
導体の離れた2点にそれぞれコンタクトプローブを押圧
して電圧・電流を測定し抵抗値を演算していた。コンタ
クトプローブの先端は導体に対し必ずしも接触抵抗零の
状態で接触しているとは限らず、測定結果に誤差が入っ
ても、そのことを検出することが出来なかった。より正
確な測定結果を得るような技術を開発することが要望さ
れている。
[従来の技術] 近年プリント配線基板は、表面実装技術の導入により、
部品の装着が高密度化し、接続配線パターンは益々微細
化している。接続配線について、導通・絶縁試験のみな
らず配線の導体抵抗を精密に測定することが、部品の装
着されたプリント配線基板の信顛性向上のため必要とな
っている。導体抵抗の精密測定を行うとき、従来2本の
コンタクトプローブにより導体の終端または中継点など
の測定点に各別に接触させ、両者間に電圧を印加して導
体に流れる電流を測定し、抵抗値を演算していた。この
ときコンタクトプローブの先端が目的とする導体の測定
点に確実に接触していることが必要である。従来コンタ
クトプローブとして、スプリング・コンタクトプローブ
を使用することが実行された。このプローブはプローブ
外筒内を摺動できるプローブピンと、該プローブピンを
押圧するスプリングとを具備し、外筒を持ってピンを測
定点に押圧したとき、良好な接触の得られることを意図
している。
またコンタクトプローブ2本を11とし、1Miずつを
導体の測定個所両端に接触させて、四端子法により測定
することが知られている。即ち、第5図に示すように、
コンタクトプローブ1〜4についてlと2.3と4を各
々l&Ilとし、導体5の測定個所両端6,7に接触さ
せる。8は電流源、9は電圧計を示す。電流源8からプ
ローブ1,4を介して電流を導体5に流し、導体上の電
位差を電圧計9により測定する。
[発明が解決しようとする課題] コンタクトプローブを導体に接触して測定するとき、若
し接触不良とか位置ずれが起きた場合に、電気的試験の
良否判定の出来なくなることが発生した。特に絶縁試験
の際に接触不良となることは、絶縁性が大きいことを良
品と判断するから、絶縁不良であっても「良品」と判断
する恐れがある。
また、第5図に示すように導体5の精密な抵抗値測定を
行う場合、4本のプローブを同時に良好な接触をさせる
ことは処理動作が複雑であって、しかも、電圧測定用プ
ローブの1本が接触不良となれば、浮遊電圧を測定して
しまい、測定値が信顛のおけないこととなる。そして測
定点の「バンド」の形状が多様化するため、測定個所を
変更してもコンタクトプローブを常に良好に保持するこ
とが困難となった。
本発明の目的は前述の欠点を改善し、導体を介して2本
のコンタクトプローブ間の接触抵抗を測定し、コンタク
トプローブが導体と良好に接触している時に限り電気的
試験を行うようにした試験方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 第1図は本発明の原理構成を示す図である。第1図にお
いて、1.2はコンタクトプローブ、Pl、P2は測定
点、5は導体、IOは測定装置、11は接触抵抗測定部
、12は接触抵抗判断部、13は電気量測定部、14は
コンタクトプローブ駆動部を示す。
本発明は下記のとおり構成している。即ち、2本のコン
タクトプローブ1.2と、該プローブ1. 2を接触さ
せた導体5を介して2本のコンタクトプローブ間の接触
抵抗値を測定する測定部11と、該測定部11の測定結
果に基づいてプローブの導体への接触状況を判断する判
断部12と、電気量測定部13とを具備する測定装置1
0を使用し、電気量を測定する測定点Pi、P2とその
近傍に各々コンタクトプローブ1.2を当てたとき、両
プローブ間の接触抵抗値を測定して、判断部12により
測定結果が不良と判断したときは、同時に両コンタクト
プローブ1.2を駆動部14により移動させて接触抵抗
値を再度測定し、判断部12が測定結果を良好と判断し
た後電気量測定部13がコンタクトプローブl、2によ
り所定の測定を行うことで構成する。
[作用] コンタクトプローブ1.2を導体5上の点Pl。
P2に接触させたとき、測定部11によりプローブ18
2間の抵抗値をまず測定する。その手段は公知のように
電圧源から印加した電圧により流れる電流を電流計によ
り測定して、抵抗値を演算するようなことである。その
値は両プローブ間の接触抵抗値となるから、演算結果を
判断部12において、接触状態が良好な値であるか、否
か判断する。良好であれば、プローブl、2を適宜使用
し、電気量測定部13により所定の電気量を測定する。
若し良好でないと判断したときは、駆動部14によりプ
ローブ1.2を同時に若干移動させて、接触抵抗値を測
定する。接触状態が良好となるまでプローブの移動と測
定を繰り返す。
本発明によって得られた電気量はプローブの接触状態が
良好のときに測定しているから、電気量測定データの信
鯨性が高い。
[実施例] 第2図は本発明の実施例として、2本のプローブを1組
とし、2組のプローブを使用する測定装置について示し
である。第2図において、1,2と3.4とはそれぞれ
組となっているプローブ、15−1〜15−4はリレー
などによる切換スイッチ、16は電流印加電圧測定部、
17は電圧印加電流測定部、18−1 、18−2はプ
ローブ移動棹、19−1 、19−2はプローブヘッド
を示し、その他の第1図と同一符号は同様のものを示し
ている。導体5が例えばプリント配線基板上の導体であ
るとき、切換スイッチ15−1.15−2を、先ず図の
下方の接点に閉じる。
接触抵抗測定部11ではコンタクトプローブl。
2間に1mA程度の電流を印加し、その時のプローブ間
の電位差を測定してコントローラ12に伝送する。コン
トローラ12ではプローブ1,2間の接触抵抗を演算し
、その値が所定値(例えば2Ω)以上であれば、プロー
ブ1,2と導体5との接触状態が不良であると判定する
。そしてコントローラ12はプローブ駆動部14に指令
し、プローブヘッド19−1を導体5から離れさせて、
機械的に微小路M(例えばプリント配線基板の最小格子
間隔の2程度)だけ時計上りに移動させ、プローブヘッ
ド19−1を導体5に降ろす。そして接触抵抗の測定を
再開する。抵抗値が所定値以内になるまで繰り返して、
コンタクトプローブl、2を導体5と良好に接触してい
る位置に停止させる。
次にコンタクトプローブ3,4について切換スイッチ1
5−3.15−4を図の下方の接点と閉じて、前記と同
様に測定し、停止位置を定める。各コンタクトプローブ
1〜4と導体5との接触抵抗が良好となった後に、切換
スイッチ15−1−15−4を図の上方の接点に切換え
て、電気量測定部13と接続する。そして電流印加電圧
測定部16を使用して四端子法による導体5上のプロー
ブ間の精密抵抗値を求めることが出来る。或いはプロー
ブ1.2と3.4間が切断されてしくる所であれば電圧
印加電流測定部17を使用して絶縁試験を行うことが出
来る。
その他低周波の交流が流れていることを検出するなど、
種々の電気量を適切に試験・測定することができる。
なお第3図はプローブヘッド19−1の具体的構成を斜
視図で示したもの、第4図はプローブヘッド19−1.
19−2をプローブ駆動部14が駆動する装置の例を平
面図で示したものである。第3図において、1.2はコ
ンタクトプローブ、2).22はプローブガイド、23
はガイドホルダ、24はねじを示す。プローブ1.2は
プローブガイド2)22を介してガイドホルダ23に取
り付けられている。ガイドホルダ23と接触しているプ
ローブガイド2).22の面2)a、22aはテーパー
をなして、ねじ24でガイドホルダ23に締めつけてい
る。
第4図Aにおいて、24は基板、25.26は可動アー
ムを示す、プローブl、2とプローブ34は第4図Bに
示すように先端に鋭角を付けておけば掻く接近した測定
点にプローブを正しく接触させることが出来、電気量の
測定を正確に行うことができる。
[発明の効果] このようにして本発明によると、電気量測定を行う測定
点において、導体とコンタクトプローブとが良好な状態
で接触していることを確認してから測定するため、従来
のようにばらついた接触抵抗値などが測定値に入らず、
常に正確な測定値のみを取り込むことができ、信鯨性の
高い試験結果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理構成を示す図、 第2図は本発明の実施例の構成を示す図、第3図・第4
図は第2図の部分的構成を示す図、第5図は従来の測定
法を説明するための図である。 1.2.3.4−−・コンタクトプローブ5〜導体 lO−・・測定装置 11−・・接触抵抗測定部 12−・−判断部 13・−電気量測定部 14−駆動部 Pl、P2−測定点

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 2本のコンタクトプローブ(1)(2)と、該プローブ
    (1)(2)を接触させた導体(5)を介して2本のコ
    ンタクトプローブ間の接触抵抗値を測定する測定部(1
    1)と、該測定部(11)の測定結果に基づいてプロー
    ブの導体への接触状況を判断する判断部(12)と、電
    気量測定部(13)とを具備する測定装置(10)を使
    用し、 電気量を測定する測定点(P1)(P2)とその近傍に
    各々コンタクトプローブ(1)(2)を当てたとき、両
    プローブ間の接触抵抗値を測定して、判断部(12)に
    より測定結果が不良と判断したときは、同時に両コンタ
    クトプローブ(1)(2)を駆動部(14)により移動
    させて接触抵抗値を再度測定し、 判断部(12)が測定結果を良好と判断した後電気量測
    定部(13)がコンタクトプローブ(1)(2)により
    所定の測定を行うこと を特徴とするコンタクトプローブによる電気的試験方法
JP13966489A 1989-06-01 1989-06-01 コンタクトプローブによる電気的試験方法 Pending JPH034179A (ja)

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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007225284A (ja) * 2006-02-21 2007-09-06 Hioki Ee Corp 測定装置
JP2008261678A (ja) * 2007-04-11 2008-10-30 Hioki Ee Corp 検査プローブ接触検知機構および回路基板検査装置
JP2009100121A (ja) * 2007-10-15 2009-05-07 Sharp Corp 画像処理方法、画像処理装置、画像形成装置、コンピュータプログラム及び記録媒体
JP2009257852A (ja) * 2008-04-15 2009-11-05 Hitachi Ltd プローブ顕微鏡及び絶縁不良の検査装置,絶縁不良検査方法
CN103048541A (zh) * 2012-12-27 2013-04-17 河北省电力公司电力科学研究院 一种接地材料服役过程中导电性能变化的试验方法
KR101337372B1 (ko) * 2011-12-28 2013-12-05 비나텍주식회사 칩 타입의 슈퍼 커패시터용 프로브 기판
JP2014029946A (ja) * 2012-07-31 2014-02-13 Kokusai Electric Semiconductor Service Inc 抵抗率測定装置
CN103941117A (zh) * 2014-03-14 2014-07-23 上海交通大学 电输运特性测量装置及测量方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007225284A (ja) * 2006-02-21 2007-09-06 Hioki Ee Corp 測定装置
JP2008261678A (ja) * 2007-04-11 2008-10-30 Hioki Ee Corp 検査プローブ接触検知機構および回路基板検査装置
JP2009100121A (ja) * 2007-10-15 2009-05-07 Sharp Corp 画像処理方法、画像処理装置、画像形成装置、コンピュータプログラム及び記録媒体
JP4568748B2 (ja) * 2007-10-15 2010-10-27 シャープ株式会社 画像処理方法、画像処理装置、画像形成装置、コンピュータプログラム及び記録媒体
JP2009257852A (ja) * 2008-04-15 2009-11-05 Hitachi Ltd プローブ顕微鏡及び絶縁不良の検査装置,絶縁不良検査方法
KR101337372B1 (ko) * 2011-12-28 2013-12-05 비나텍주식회사 칩 타입의 슈퍼 커패시터용 프로브 기판
JP2014029946A (ja) * 2012-07-31 2014-02-13 Kokusai Electric Semiconductor Service Inc 抵抗率測定装置
CN103048541A (zh) * 2012-12-27 2013-04-17 河北省电力公司电力科学研究院 一种接地材料服役过程中导电性能变化的试验方法
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