JPH034179A - コンタクトプローブによる電気的試験方法 - Google Patents
コンタクトプローブによる電気的試験方法Info
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- JPH034179A JPH034179A JP13966489A JP13966489A JPH034179A JP H034179 A JPH034179 A JP H034179A JP 13966489 A JP13966489 A JP 13966489A JP 13966489 A JP13966489 A JP 13966489A JP H034179 A JPH034179 A JP H034179A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要]
プリント配線基板におけるような導体について正確な電
気量を測定するための電気的試験方法に関し、 導体を介して2本のコンタクトプローブ間の接触抵抗を
測定し、コンタクトプローブが導体と良好に接触してい
る時に限り電気的試験を行うようにした試験方法を提供
することを目的とし、2本のコンタクトプローブと、 該プローブを近接して接触させた導体を介して2本のコ
ンタクトプローブ間の接触抵抗値を測定する測定部と、
該測定部の測定結果に基づいてプローブの導体への接触
状況を判断する判断部と、電気量測定部とを具備する測
定装置を使用し、電気量を測定する測定点とその近傍に
各々コンタクトプローブを当てたとき、両プローブ間の
接触抵抗値を測定して、判断部により測定結果が不良と
判断したときは、同時に両コンタクトプローブを駆動に
より移動させて接触抵抗値を再度測定し、判断部が測定
結果を良好と判断した後電気量測定部がコンタクトプロ
ーブにより所定の測定を行うことで構成する。
気量を測定するための電気的試験方法に関し、 導体を介して2本のコンタクトプローブ間の接触抵抗を
測定し、コンタクトプローブが導体と良好に接触してい
る時に限り電気的試験を行うようにした試験方法を提供
することを目的とし、2本のコンタクトプローブと、 該プローブを近接して接触させた導体を介して2本のコ
ンタクトプローブ間の接触抵抗値を測定する測定部と、
該測定部の測定結果に基づいてプローブの導体への接触
状況を判断する判断部と、電気量測定部とを具備する測
定装置を使用し、電気量を測定する測定点とその近傍に
各々コンタクトプローブを当てたとき、両プローブ間の
接触抵抗値を測定して、判断部により測定結果が不良と
判断したときは、同時に両コンタクトプローブを駆動に
より移動させて接触抵抗値を再度測定し、判断部が測定
結果を良好と判断した後電気量測定部がコンタクトプロ
ーブにより所定の測定を行うことで構成する。
[産業上の利用分野]
本発明はプリント配線基板におけるような導体について
正値な電気量を測定するための電気的試験方法に関する
。
正値な電気量を測定するための電気的試験方法に関する
。
従来、プリント配線基板など高周波・低周波電流の流れ
る導体について、電流電圧などを測定し電気的特性をチ
エツクするため、1本のコンタクトプローブを導体の測
定個所へ接触させ、また導体の抵抗値を測定するため、
導体の離れた2点にそれぞれコンタクトプローブを押圧
して電圧・電流を測定し抵抗値を演算していた。コンタ
クトプローブの先端は導体に対し必ずしも接触抵抗零の
状態で接触しているとは限らず、測定結果に誤差が入っ
ても、そのことを検出することが出来なかった。より正
確な測定結果を得るような技術を開発することが要望さ
れている。
る導体について、電流電圧などを測定し電気的特性をチ
エツクするため、1本のコンタクトプローブを導体の測
定個所へ接触させ、また導体の抵抗値を測定するため、
導体の離れた2点にそれぞれコンタクトプローブを押圧
して電圧・電流を測定し抵抗値を演算していた。コンタ
クトプローブの先端は導体に対し必ずしも接触抵抗零の
状態で接触しているとは限らず、測定結果に誤差が入っ
ても、そのことを検出することが出来なかった。より正
確な測定結果を得るような技術を開発することが要望さ
れている。
[従来の技術]
近年プリント配線基板は、表面実装技術の導入により、
部品の装着が高密度化し、接続配線パターンは益々微細
化している。接続配線について、導通・絶縁試験のみな
らず配線の導体抵抗を精密に測定することが、部品の装
着されたプリント配線基板の信顛性向上のため必要とな
っている。導体抵抗の精密測定を行うとき、従来2本の
コンタクトプローブにより導体の終端または中継点など
の測定点に各別に接触させ、両者間に電圧を印加して導
体に流れる電流を測定し、抵抗値を演算していた。この
ときコンタクトプローブの先端が目的とする導体の測定
点に確実に接触していることが必要である。従来コンタ
クトプローブとして、スプリング・コンタクトプローブ
を使用することが実行された。このプローブはプローブ
外筒内を摺動できるプローブピンと、該プローブピンを
押圧するスプリングとを具備し、外筒を持ってピンを測
定点に押圧したとき、良好な接触の得られることを意図
している。
部品の装着が高密度化し、接続配線パターンは益々微細
化している。接続配線について、導通・絶縁試験のみな
らず配線の導体抵抗を精密に測定することが、部品の装
着されたプリント配線基板の信顛性向上のため必要とな
っている。導体抵抗の精密測定を行うとき、従来2本の
コンタクトプローブにより導体の終端または中継点など
の測定点に各別に接触させ、両者間に電圧を印加して導
体に流れる電流を測定し、抵抗値を演算していた。この
ときコンタクトプローブの先端が目的とする導体の測定
点に確実に接触していることが必要である。従来コンタ
クトプローブとして、スプリング・コンタクトプローブ
を使用することが実行された。このプローブはプローブ
外筒内を摺動できるプローブピンと、該プローブピンを
押圧するスプリングとを具備し、外筒を持ってピンを測
定点に押圧したとき、良好な接触の得られることを意図
している。
またコンタクトプローブ2本を11とし、1Miずつを
導体の測定個所両端に接触させて、四端子法により測定
することが知られている。即ち、第5図に示すように、
コンタクトプローブ1〜4についてlと2.3と4を各
々l&Ilとし、導体5の測定個所両端6,7に接触さ
せる。8は電流源、9は電圧計を示す。電流源8からプ
ローブ1,4を介して電流を導体5に流し、導体上の電
位差を電圧計9により測定する。
導体の測定個所両端に接触させて、四端子法により測定
することが知られている。即ち、第5図に示すように、
コンタクトプローブ1〜4についてlと2.3と4を各
々l&Ilとし、導体5の測定個所両端6,7に接触さ
せる。8は電流源、9は電圧計を示す。電流源8からプ
ローブ1,4を介して電流を導体5に流し、導体上の電
位差を電圧計9により測定する。
[発明が解決しようとする課題]
コンタクトプローブを導体に接触して測定するとき、若
し接触不良とか位置ずれが起きた場合に、電気的試験の
良否判定の出来なくなることが発生した。特に絶縁試験
の際に接触不良となることは、絶縁性が大きいことを良
品と判断するから、絶縁不良であっても「良品」と判断
する恐れがある。
し接触不良とか位置ずれが起きた場合に、電気的試験の
良否判定の出来なくなることが発生した。特に絶縁試験
の際に接触不良となることは、絶縁性が大きいことを良
品と判断するから、絶縁不良であっても「良品」と判断
する恐れがある。
また、第5図に示すように導体5の精密な抵抗値測定を
行う場合、4本のプローブを同時に良好な接触をさせる
ことは処理動作が複雑であって、しかも、電圧測定用プ
ローブの1本が接触不良となれば、浮遊電圧を測定して
しまい、測定値が信顛のおけないこととなる。そして測
定点の「バンド」の形状が多様化するため、測定個所を
変更してもコンタクトプローブを常に良好に保持するこ
とが困難となった。
行う場合、4本のプローブを同時に良好な接触をさせる
ことは処理動作が複雑であって、しかも、電圧測定用プ
ローブの1本が接触不良となれば、浮遊電圧を測定して
しまい、測定値が信顛のおけないこととなる。そして測
定点の「バンド」の形状が多様化するため、測定個所を
変更してもコンタクトプローブを常に良好に保持するこ
とが困難となった。
本発明の目的は前述の欠点を改善し、導体を介して2本
のコンタクトプローブ間の接触抵抗を測定し、コンタク
トプローブが導体と良好に接触している時に限り電気的
試験を行うようにした試験方法を提供することにある。
のコンタクトプローブ間の接触抵抗を測定し、コンタク
トプローブが導体と良好に接触している時に限り電気的
試験を行うようにした試験方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
第1図は本発明の原理構成を示す図である。第1図にお
いて、1.2はコンタクトプローブ、Pl、P2は測定
点、5は導体、IOは測定装置、11は接触抵抗測定部
、12は接触抵抗判断部、13は電気量測定部、14は
コンタクトプローブ駆動部を示す。
いて、1.2はコンタクトプローブ、Pl、P2は測定
点、5は導体、IOは測定装置、11は接触抵抗測定部
、12は接触抵抗判断部、13は電気量測定部、14は
コンタクトプローブ駆動部を示す。
本発明は下記のとおり構成している。即ち、2本のコン
タクトプローブ1.2と、該プローブ1. 2を接触さ
せた導体5を介して2本のコンタクトプローブ間の接触
抵抗値を測定する測定部11と、該測定部11の測定結
果に基づいてプローブの導体への接触状況を判断する判
断部12と、電気量測定部13とを具備する測定装置1
0を使用し、電気量を測定する測定点Pi、P2とその
近傍に各々コンタクトプローブ1.2を当てたとき、両
プローブ間の接触抵抗値を測定して、判断部12により
測定結果が不良と判断したときは、同時に両コンタクト
プローブ1.2を駆動部14により移動させて接触抵抗
値を再度測定し、判断部12が測定結果を良好と判断し
た後電気量測定部13がコンタクトプローブl、2によ
り所定の測定を行うことで構成する。
タクトプローブ1.2と、該プローブ1. 2を接触さ
せた導体5を介して2本のコンタクトプローブ間の接触
抵抗値を測定する測定部11と、該測定部11の測定結
果に基づいてプローブの導体への接触状況を判断する判
断部12と、電気量測定部13とを具備する測定装置1
0を使用し、電気量を測定する測定点Pi、P2とその
近傍に各々コンタクトプローブ1.2を当てたとき、両
プローブ間の接触抵抗値を測定して、判断部12により
測定結果が不良と判断したときは、同時に両コンタクト
プローブ1.2を駆動部14により移動させて接触抵抗
値を再度測定し、判断部12が測定結果を良好と判断し
た後電気量測定部13がコンタクトプローブl、2によ
り所定の測定を行うことで構成する。
[作用]
コンタクトプローブ1.2を導体5上の点Pl。
P2に接触させたとき、測定部11によりプローブ18
2間の抵抗値をまず測定する。その手段は公知のように
電圧源から印加した電圧により流れる電流を電流計によ
り測定して、抵抗値を演算するようなことである。その
値は両プローブ間の接触抵抗値となるから、演算結果を
判断部12において、接触状態が良好な値であるか、否
か判断する。良好であれば、プローブl、2を適宜使用
し、電気量測定部13により所定の電気量を測定する。
2間の抵抗値をまず測定する。その手段は公知のように
電圧源から印加した電圧により流れる電流を電流計によ
り測定して、抵抗値を演算するようなことである。その
値は両プローブ間の接触抵抗値となるから、演算結果を
判断部12において、接触状態が良好な値であるか、否
か判断する。良好であれば、プローブl、2を適宜使用
し、電気量測定部13により所定の電気量を測定する。
若し良好でないと判断したときは、駆動部14によりプ
ローブ1.2を同時に若干移動させて、接触抵抗値を測
定する。接触状態が良好となるまでプローブの移動と測
定を繰り返す。
ローブ1.2を同時に若干移動させて、接触抵抗値を測
定する。接触状態が良好となるまでプローブの移動と測
定を繰り返す。
本発明によって得られた電気量はプローブの接触状態が
良好のときに測定しているから、電気量測定データの信
鯨性が高い。
良好のときに測定しているから、電気量測定データの信
鯨性が高い。
[実施例]
第2図は本発明の実施例として、2本のプローブを1組
とし、2組のプローブを使用する測定装置について示し
である。第2図において、1,2と3.4とはそれぞれ
組となっているプローブ、15−1〜15−4はリレー
などによる切換スイッチ、16は電流印加電圧測定部、
17は電圧印加電流測定部、18−1 、18−2はプ
ローブ移動棹、19−1 、19−2はプローブヘッド
を示し、その他の第1図と同一符号は同様のものを示し
ている。導体5が例えばプリント配線基板上の導体であ
るとき、切換スイッチ15−1.15−2を、先ず図の
下方の接点に閉じる。
とし、2組のプローブを使用する測定装置について示し
である。第2図において、1,2と3.4とはそれぞれ
組となっているプローブ、15−1〜15−4はリレー
などによる切換スイッチ、16は電流印加電圧測定部、
17は電圧印加電流測定部、18−1 、18−2はプ
ローブ移動棹、19−1 、19−2はプローブヘッド
を示し、その他の第1図と同一符号は同様のものを示し
ている。導体5が例えばプリント配線基板上の導体であ
るとき、切換スイッチ15−1.15−2を、先ず図の
下方の接点に閉じる。
接触抵抗測定部11ではコンタクトプローブl。
2間に1mA程度の電流を印加し、その時のプローブ間
の電位差を測定してコントローラ12に伝送する。コン
トローラ12ではプローブ1,2間の接触抵抗を演算し
、その値が所定値(例えば2Ω)以上であれば、プロー
ブ1,2と導体5との接触状態が不良であると判定する
。そしてコントローラ12はプローブ駆動部14に指令
し、プローブヘッド19−1を導体5から離れさせて、
機械的に微小路M(例えばプリント配線基板の最小格子
間隔の2程度)だけ時計上りに移動させ、プローブヘッ
ド19−1を導体5に降ろす。そして接触抵抗の測定を
再開する。抵抗値が所定値以内になるまで繰り返して、
コンタクトプローブl、2を導体5と良好に接触してい
る位置に停止させる。
の電位差を測定してコントローラ12に伝送する。コン
トローラ12ではプローブ1,2間の接触抵抗を演算し
、その値が所定値(例えば2Ω)以上であれば、プロー
ブ1,2と導体5との接触状態が不良であると判定する
。そしてコントローラ12はプローブ駆動部14に指令
し、プローブヘッド19−1を導体5から離れさせて、
機械的に微小路M(例えばプリント配線基板の最小格子
間隔の2程度)だけ時計上りに移動させ、プローブヘッ
ド19−1を導体5に降ろす。そして接触抵抗の測定を
再開する。抵抗値が所定値以内になるまで繰り返して、
コンタクトプローブl、2を導体5と良好に接触してい
る位置に停止させる。
次にコンタクトプローブ3,4について切換スイッチ1
5−3.15−4を図の下方の接点と閉じて、前記と同
様に測定し、停止位置を定める。各コンタクトプローブ
1〜4と導体5との接触抵抗が良好となった後に、切換
スイッチ15−1−15−4を図の上方の接点に切換え
て、電気量測定部13と接続する。そして電流印加電圧
測定部16を使用して四端子法による導体5上のプロー
ブ間の精密抵抗値を求めることが出来る。或いはプロー
ブ1.2と3.4間が切断されてしくる所であれば電圧
印加電流測定部17を使用して絶縁試験を行うことが出
来る。
5−3.15−4を図の下方の接点と閉じて、前記と同
様に測定し、停止位置を定める。各コンタクトプローブ
1〜4と導体5との接触抵抗が良好となった後に、切換
スイッチ15−1−15−4を図の上方の接点に切換え
て、電気量測定部13と接続する。そして電流印加電圧
測定部16を使用して四端子法による導体5上のプロー
ブ間の精密抵抗値を求めることが出来る。或いはプロー
ブ1.2と3.4間が切断されてしくる所であれば電圧
印加電流測定部17を使用して絶縁試験を行うことが出
来る。
その他低周波の交流が流れていることを検出するなど、
種々の電気量を適切に試験・測定することができる。
種々の電気量を適切に試験・測定することができる。
なお第3図はプローブヘッド19−1の具体的構成を斜
視図で示したもの、第4図はプローブヘッド19−1.
19−2をプローブ駆動部14が駆動する装置の例を平
面図で示したものである。第3図において、1.2はコ
ンタクトプローブ、2).22はプローブガイド、23
はガイドホルダ、24はねじを示す。プローブ1.2は
プローブガイド2)22を介してガイドホルダ23に取
り付けられている。ガイドホルダ23と接触しているプ
ローブガイド2).22の面2)a、22aはテーパー
をなして、ねじ24でガイドホルダ23に締めつけてい
る。
視図で示したもの、第4図はプローブヘッド19−1.
19−2をプローブ駆動部14が駆動する装置の例を平
面図で示したものである。第3図において、1.2はコ
ンタクトプローブ、2).22はプローブガイド、23
はガイドホルダ、24はねじを示す。プローブ1.2は
プローブガイド2)22を介してガイドホルダ23に取
り付けられている。ガイドホルダ23と接触しているプ
ローブガイド2).22の面2)a、22aはテーパー
をなして、ねじ24でガイドホルダ23に締めつけてい
る。
第4図Aにおいて、24は基板、25.26は可動アー
ムを示す、プローブl、2とプローブ34は第4図Bに
示すように先端に鋭角を付けておけば掻く接近した測定
点にプローブを正しく接触させることが出来、電気量の
測定を正確に行うことができる。
ムを示す、プローブl、2とプローブ34は第4図Bに
示すように先端に鋭角を付けておけば掻く接近した測定
点にプローブを正しく接触させることが出来、電気量の
測定を正確に行うことができる。
[発明の効果]
このようにして本発明によると、電気量測定を行う測定
点において、導体とコンタクトプローブとが良好な状態
で接触していることを確認してから測定するため、従来
のようにばらついた接触抵抗値などが測定値に入らず、
常に正確な測定値のみを取り込むことができ、信鯨性の
高い試験結果を得ることができる。
点において、導体とコンタクトプローブとが良好な状態
で接触していることを確認してから測定するため、従来
のようにばらついた接触抵抗値などが測定値に入らず、
常に正確な測定値のみを取り込むことができ、信鯨性の
高い試験結果を得ることができる。
第1図は本発明の原理構成を示す図、
第2図は本発明の実施例の構成を示す図、第3図・第4
図は第2図の部分的構成を示す図、第5図は従来の測定
法を説明するための図である。 1.2.3.4−−・コンタクトプローブ5〜導体 lO−・・測定装置 11−・・接触抵抗測定部 12−・−判断部 13・−電気量測定部 14−駆動部 Pl、P2−測定点
図は第2図の部分的構成を示す図、第5図は従来の測定
法を説明するための図である。 1.2.3.4−−・コンタクトプローブ5〜導体 lO−・・測定装置 11−・・接触抵抗測定部 12−・−判断部 13・−電気量測定部 14−駆動部 Pl、P2−測定点
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 2本のコンタクトプローブ(1)(2)と、該プローブ
(1)(2)を接触させた導体(5)を介して2本のコ
ンタクトプローブ間の接触抵抗値を測定する測定部(1
1)と、該測定部(11)の測定結果に基づいてプロー
ブの導体への接触状況を判断する判断部(12)と、電
気量測定部(13)とを具備する測定装置(10)を使
用し、 電気量を測定する測定点(P1)(P2)とその近傍に
各々コンタクトプローブ(1)(2)を当てたとき、両
プローブ間の接触抵抗値を測定して、判断部(12)に
より測定結果が不良と判断したときは、同時に両コンタ
クトプローブ(1)(2)を駆動部(14)により移動
させて接触抵抗値を再度測定し、 判断部(12)が測定結果を良好と判断した後電気量測
定部(13)がコンタクトプローブ(1)(2)により
所定の測定を行うこと を特徴とするコンタクトプローブによる電気的試験方法
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13966489A JPH034179A (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | コンタクトプローブによる電気的試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13966489A JPH034179A (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | コンタクトプローブによる電気的試験方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH034179A true JPH034179A (ja) | 1991-01-10 |
Family
ID=15250545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13966489A Pending JPH034179A (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | コンタクトプローブによる電気的試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH034179A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2008261678A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Hioki Ee Corp | 検査プローブ接触検知機構および回路基板検査装置 |
JP2009100121A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Sharp Corp | 画像処理方法、画像処理装置、画像形成装置、コンピュータプログラム及び記録媒体 |
JP2009257852A (ja) * | 2008-04-15 | 2009-11-05 | Hitachi Ltd | プローブ顕微鏡及び絶縁不良の検査装置,絶縁不良検査方法 |
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KR101337372B1 (ko) * | 2011-12-28 | 2013-12-05 | 비나텍주식회사 | 칩 타입의 슈퍼 커패시터용 프로브 기판 |
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-
1989
- 1989-06-01 JP JP13966489A patent/JPH034179A/ja active Pending
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