JP6076709B2 - 導通検査装置および導通検査方法 - Google Patents
導通検査装置および導通検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6076709B2 JP6076709B2 JP2012257616A JP2012257616A JP6076709B2 JP 6076709 B2 JP6076709 B2 JP 6076709B2 JP 2012257616 A JP2012257616 A JP 2012257616A JP 2012257616 A JP2012257616 A JP 2012257616A JP 6076709 B2 JP6076709 B2 JP 6076709B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring pattern
- terminal
- contact
- measured
- multiple wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 57
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 30
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 202
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 66
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 60
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 1
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
一方の側に第1の端子を有し且つ他方の側に第2の端子を有する複数の配線パターンを備えるプリント配線板に対し、前記複数の配線パターンの導通検査を行う導通検査装置であって、
前記複数の配線パターンの前記第1の端子に一括して接触可能に構成された一括コンタクトプローブを有する一括コンタクト部と、
前記配線パターンの前記第2の端子に個別に接触可能に構成された個別コンタクトプローブを、前記各配線パターンについて有する個別コンタクト部と、
前記一括コンタクト部および前記個別コンタクト部に電気的に接続可能に構成され、測定対象の前記配線パターンの前記第1の端子と前記第2の端子間の直流抵抗値を測定する直流抵抗測定部と、
前記直流抵抗値に基づいて、前記測定対象の配線パターンの良否を判定する導通判定部と、
を備えることを特徴とする。
一方の側に第1の端子を有し且つ他方の側に第2の端子を有する主配線パターンと、前記主配線パターンから分岐し、前記第1の端子および前記第2の端子を電気的に接続する分岐配線パターンとを有する複数の多重配線パターンを備えるプリント配線板に対し、前記複数の多重配線パターンの導通検査を行う導通検査装置であって、
前記複数の多重配線パターンの前記第1の端子に一括して接触可能に構成された第1および第2の一括コンタクトプローブを有する一括コンタクト部と、
前記多重配線パターンの前記第2の端子に個別に接触可能に構成された一対の第1および第2の個別コンタクトプローブを、前記多重配線パターンごとに有する個別コンタクト部と、
前記一括コンタクト部および個別コンタクト部に電気的に接続可能に構成され、測定対象の多重配線パターンの前記第1の端子と前記第2の端子間のインダクタンス値を測定するインダクタンス測定部と、
前記インダクタンス値と導通判定用閾値とを比較し、その比較結果に基づいて、前記測定対象の多重配線パターンに断線が発生しているか否かを判定する導通判定部と、
を備え、
前記第1および第2の一括コンタクトプローブは、前記複数の多重配線パターンの前記第1の端子に一括して接触する際、前記第1の一括コンタクトプローブが前記第2の一括コンタクトプローブよりも前記第2の端子側に位置するように構成され、
前記第1および第2の個別コンタクトプローブは、前記多重配線パターンの前記第2の端子に接触する際、前記第1の個別コンタクトプローブが前記第2の個別コンタクトプローブよりも前記第1の端子側に位置するように構成され、
前記インダクタンス測定部は、測定対象の前記多重配線パターンに接触している前記第2の個別コンタクトプローブと前記第2の一括コンタクトプローブとの間に交流電流を流し、前記測定対象の多重配線パターンに接触している前記第1の個別コンタクトプローブと前記第1の一括コンタクトプローブとの間の交流電圧値と、前記測定対象の多重配線パターンに接触している前記第2の個別コンタクトプローブと前記第2の一括コンタクトプローブとの間の交流電流値と、に基づいて、前記インダクタンス値を測定する、
ことを特徴とする。
一方の側に第1の端子を有し且つ他方の側に第2の端子を有する複数の配線パターンを備えるプリント配線板に対し、前記複数の配線パターンの導通検査を行う方法であって、
前記複数の配線パターンの前記第1の端子に一括して接触可能に構成された第1および第2の一括コンタクトプローブを、前記第1の一括コンタクトプローブが前記第2の一括コンタクトプローブよりも前記第2の端子側に位置するように、前記複数の配線パターンの前記第1の端子に一括して接触させ、
前記配線パターンの前記第2の端子に個別に接触可能に構成された一対の第1および第2の個別コンタクトプローブを、前記第1の個別コンタクトプローブが前記第2の個別コンタクトプローブよりも前記第1の端子側に位置するように、前記複数の配線パターンの前記第2の端子に接触させ、
測定対象の前記配線パターンに接触している前記第2の個別コンタクトプローブと前記第2の一括コンタクトプローブとの間に直流電圧を印加し、前記測定対象の配線パターンに接触している前記第1の個別コンタクトプローブと前記第1の一括コンタクトプローブとの間の直流電圧値と、前記測定対象の配線パターンに接触している前記第2の個別コンタクトプローブと前記第2の一括コンタクトプローブとの間の直流電流値と、に基づいて、前記測定対象の配線パターンの前記第1の端子と前記第2の端子間の直流抵抗値を4端子法により測定し、
前記直流抵抗値に基づいて、前記測定対象の配線パターンの良否を判定する、
ことを特徴とする。
一方の側に第1の端子を有し且つ他方の側に第2の端子を有する複数の配線パターンを備えるプリント配線板に対し、前記複数の配線パターンの導通検査を行う方法であって、
前記複数の配線パターンの前記第1の端子に一括して接触可能に構成された一括コンタクトプローブを、前記複数の配線パターンの前記第1の端子に一括して接触させ、
前記配線パターンの前記第2の端子に個別に接触可能に構成された個別コンタクトプローブを、前記複数の配線パターンの前記第2の端子に接触させ、
測定対象の前記配線パターンに接触している前記個別コンタクトプローブと前記一括コンタクトプローブとの間に直流電圧を印加し、前記測定対象の配線パターンに接触している前記個別コンタクトプローブと前記一括コンタクトプローブとの間の直流電圧値と、前記測定対象の配線パターンに接触している前記個別コンタクトプローブと前記一括コンタクトプローブとの間の直流電流値と、に基づいて、前記測定対象の配線パターンの前記第1の端子と前記第2の端子間の直流抵抗値を2端子法により測定し、
前記直流抵抗値に基づいて、前記測定対象の配線パターンの良否を判定する、
ことを特徴とする。
一方の側に第1の端子を有し且つ他方の側に第2の端子を有する主配線パターンと、前記主配線パターンから分岐し、前記第1の端子および前記第2の端子を電気的に接続する分岐配線パターンとを有する複数の多重配線パターンを備えるプリント配線板に対し、前記複数の多重配線パターンの導通検査を行う方法であって、
前記複数の多重配線パターンの前記第1の端子に一括して接触可能に構成された第1および第2の一括コンタクトプローブを、前記第1の一括コンタクトプローブが前記第2の一括コンタクトプローブよりも前記第2の端子側に位置するように、前記複数の多重配線パターンの前記第1の端子に一括して接触させ、
前記多重配線パターンの前記第2の端子に個別に接触可能に構成された一対の第1および第2の個別コンタクトプローブを、前記第1の個別コンタクトプローブが前記第2の個別コンタクトプローブよりも前記第1の端子側に位置するように、前記複数の多重配線パターンの前記第2の端子に接触させ、
測定対象の前記多重配線パターンに接触している前記第2の個別コンタクトプローブと前記第2の一括コンタクトプローブとの間に交流電流を流し、前記測定対象の多重配線パターンに接触している前記第1の個別コンタクトプローブと前記第1の一括コンタクトプローブとの間の交流電圧値と、前記測定対象の多重配線パターンに接触している前記第2の個別コンタクトプローブと前記第2の一括コンタクトプローブとの間の交流電流値と、に基づいて、前記測定対象の多重配線パターンの前記第1の端子と前記第2の端子間のインダクタンス値を測定し、
前記インダクタンス値と導通判定用閾値とを比較し、その比較結果に基づいて、前記測定対象の多重配線パターンに断線が発生しているか否かを判定する、
ことを特徴とする。
本発明の第1の実施形態に係る導通検査装置および導通検査方法について、図1および図2を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る導通検査装置100の概略的な構成を示すブロック図である。図2は、第1の実施形態に係る、4端子法よる導通検査について説明するための図である。
図3は、本変形例に係る、2端子法よる導通検査について説明するための図である。図3に示すように、本変形例では、一括コンタクト部100は1つの一括コンタクトプローブ111を有する。
次に、本発明の第2の実施形態に係る導通検査装置および導通検査方法について、図4および図5を参照して説明する。第2の実施形態と第1の実施形態との相違点の一つは、測定対象の配線パターンが分岐配線を有する多重配線パターンであり、インダクタンス値の測定により導通判定を行うことである。
次に、本発明の第3の実施形態に係る導通検査装置および導通検査方法について、図8および図9を参照して説明する。第3の実施形態と第2の実施形態との相違点の一つは、多重配線パターンのインダクタンス値を測定する前に、直流抵抗値を測定することで、両側断線しているか否かをまず判定することである。
11,12,13,14 配線パターン
11a,12a,13a,14a (一方の側の)端子
11b,12b,13b,14b (他方の側の)端子
15 基板
20 プリント配線板(分岐配線あり)
25 基板
21,22,23,24 多重配線パターン
31,32,33,34 主配線パターン
31a,32a,33a,34a (一方の側の)端子
31b,32b,33b,34b (他方の側の)端子
41,42,43,44 分岐配線パターン
51 層間接続部
100,100A,100B 導通検査装置
110 一括コンタクト部
111,112 一括コンタクトプローブ
120 個別コンタクト部
121a,121b 個別コンタクトプローブ
122a,122b 個別コンタクトプローブ
123a,123b 個別コンタクトプローブ
124a,124b 個別コンタクトプローブ
130 直流抵抗測定部
131 直流電源
132 直流電流計
133 直流電圧計
134 直流電源
135 抵抗
136 直流電圧計
140 導通判定部
150 測定対象選択部
160 記憶部
170 出力部
180 インダクタンス測定部
181 交流電流計
182 交流電圧計
183 交流電流源
191,192,193,194 同軸ケーブル
195 導線
Claims (6)
- 一方の側に第1の端子を有し且つ他方の側に第2の端子を有する主配線パターンと、前記主配線パターンから分岐し、前記第1の端子および前記第2の端子を電気的に接続する分岐配線パターンとを有する複数の多重配線パターンを備えるプリント配線板に対し、前記複数の多重配線パターンの導通検査を行う導通検査装置であって、
前記複数の多重配線パターンの前記第1の端子に一括して接触可能に構成された第1および第2の一括コンタクトプローブを有する一括コンタクト部と、
前記多重配線パターンの前記第2の端子に個別に接触可能に構成された一対の第1および第2の個別コンタクトプローブを、前記多重配線パターンごとに有する個別コンタクト部と、
前記一括コンタクト部および個別コンタクト部に電気的に接続可能に構成され、測定対象の多重配線パターンの前記第1の端子と前記第2の端子間のインダクタンス値を測定するインダクタンス測定部と、
前記インダクタンス値と導通判定用閾値とを比較し、その比較結果に基づいて、前記測定対象の多重配線パターンに断線が発生しているか否かを判定する導通判定部と、
を備え、
前記第1および第2の一括コンタクトプローブは、前記複数の多重配線パターンの前記第1の端子に一括して接触する際、前記第1の一括コンタクトプローブが前記第2の一括コンタクトプローブよりも前記第2の端子側に位置するように構成され、
前記第1および第2の個別コンタクトプローブは、前記多重配線パターンの前記第2の端子に接触する際、前記第1の個別コンタクトプローブが前記第2の個別コンタクトプローブよりも前記第1の端子側に位置するように構成され、
前記インダクタンス測定部は、測定対象の前記多重配線パターンに接触している前記第2の個別コンタクトプローブと前記第2の一括コンタクトプローブとの間に交流電流を流し、前記測定対象の多重配線パターンに接触している前記第1の個別コンタクトプローブと前記第1の一括コンタクトプローブとの間の交流電圧値と、前記測定対象の多重配線パターンに接触している前記第2の個別コンタクトプローブと前記第2の一括コンタクトプローブとの間の交流電流値と、に基づいて、前記インダクタンス値を測定する、
ことを特徴とする導通検査装置。 - 前記第1および第2の一括コンタクトプローブは、前記複数の多重配線パターンの前記第1の端子に一括して接触可能な接触面を有し且つ前記第1の端子の各々を横切る形状の導体を備えることを特徴とする請求項1に記載の導通検査装置。
- 前記測定対象の多重配線パターンについて前記導通判定部による判定が完了すると、次に測定する前記多重配線パターンの前記第2の端子に接触している前記第1および第2の個別コンタクトプローブを、前記インダクタンス測定部に電気的に接続する測定対象選択部をさらに備え、前記複数の多重配線パターンの導通検査を自動的に順次行うことを特徴とする請求項1または2に記載の導通検査装置。
- 前記一括コンタクト部および前記個別コンタクト部に電気的に接続可能に構成され、測定対象の前記主配線パターンの前記第1の端子と前記第2の端子間の直流抵抗値を測定する直流抵抗測定部をさらに備え、
前記導通判定部は、前記直流抵抗値とオープン判定用閾値とを比較し、その比較結果に応じて、前記測定対象の多重配線パターンに対し前記インダクタンス値を用いた導通検査を行わないことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の導通検査装置。 - 一方の側に第1の端子を有し且つ他方の側に第2の端子を有する主配線パターンと、前記主配線パターンから分岐し、前記第1の端子および前記第2の端子を電気的に接続する分岐配線パターンとを有する複数の多重配線パターンを備えるプリント配線板に対し、前記複数の多重配線パターンの導通検査を行う方法であって、
前記複数の多重配線パターンの前記第1の端子に一括して接触可能に構成された第1および第2の一括コンタクトプローブを、前記第1の一括コンタクトプローブが前記第2の一括コンタクトプローブよりも前記第2の端子側に位置するように、前記複数の多重配線パターンの前記第1の端子に一括して接触させ、
前記多重配線パターンの前記第2の端子に個別に接触可能に構成された一対の第1および第2の個別コンタクトプローブを、前記第1の個別コンタクトプローブが前記第2の個別コンタクトプローブよりも前記第1の端子側に位置するように、前記複数の多重配線パターンの前記第2の端子に接触させ、
測定対象の前記多重配線パターンに接触している前記第2の個別コンタクトプローブと前記第2の一括コンタクトプローブとの間に交流電流を流し、前記測定対象の多重配線パターンに接触している前記第1の個別コンタクトプローブと前記第1の一括コンタクトプローブとの間の交流電圧値と、前記測定対象の多重配線パターンに接触している前記第2の個別コンタクトプローブと前記第2の一括コンタクトプローブとの間の交流電流値と、に基づいて、前記測定対象の多重配線パターンの前記第1の端子と前記第2の端子間のインダクタンス値を測定し、
前記インダクタンス値と導通判定用閾値とを比較し、その比較結果に基づいて、前記測定対象の多重配線パターンに断線が発生しているか否かを判定する、
ことを特徴とする導通検査方法。 - 前記インダクタンス値を測定する前に、前記測定対象の多重配線パターンの前記第1の端子と前記第2の端子間の直流抵抗値を測定し、前記直流抵抗値とオープン判定用閾値とを比較し、その比較結果に応じて、前記測定対象の多重配線パターンに対し前記インダクタンス値を測定しないことを特徴とする請求項5に記載の導通検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012257616A JP6076709B2 (ja) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | 導通検査装置および導通検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012257616A JP6076709B2 (ja) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | 導通検査装置および導通検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014106039A JP2014106039A (ja) | 2014-06-09 |
JP6076709B2 true JP6076709B2 (ja) | 2017-02-08 |
Family
ID=51027671
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012257616A Active JP6076709B2 (ja) | 2012-11-26 | 2012-11-26 | 導通検査装置および導通検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6076709B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6611251B2 (ja) * | 2016-03-22 | 2019-11-27 | ヤマハファインテック株式会社 | 検査治具、検査装置及び検査方法 |
JP2018194373A (ja) * | 2017-05-15 | 2018-12-06 | 日本電産リード株式会社 | 基板検査装置、検査治具、及び基板検査方法 |
JP2022032325A (ja) * | 2020-08-11 | 2022-02-25 | 株式会社きんでん | 配線状態検知装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6121981U (ja) * | 1984-06-23 | 1986-02-08 | 日本シイエムケイ株式会社 | プリント配線基板等の回路パタ−ン検査装置 |
JPS6161066A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-28 | Hitachi Condenser Co Ltd | プリント配線板の不良検出方法 |
JPS6361965A (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-18 | Ricoh Co Ltd | パタ−ン基板の検査方法および装置 |
JPH08178992A (ja) * | 1994-12-21 | 1996-07-12 | Sony Corp | 回路基板検査方法及びその装置 |
JP4607295B2 (ja) * | 2000-08-02 | 2011-01-05 | 日置電機株式会社 | 回路基板検査装置 |
JP5776230B2 (ja) * | 2011-03-08 | 2015-09-09 | 凸版印刷株式会社 | フリップチップパッケージ用基板の電気検査方法 |
-
2012
- 2012-11-26 JP JP2012257616A patent/JP6076709B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014106039A (ja) | 2014-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5797502B2 (ja) | 導通検査装置および導通検査方法 | |
KR100796171B1 (ko) | 접촉식 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 도선의 단선 및단락 검사장치 및 그 방법 | |
JPH04309875A (ja) | インサーキット試験装置 | |
CN112164359B (zh) | 一种显示装置及其检测方法 | |
TWI793179B (zh) | 電阻測定裝置、基板檢查裝置以及電阻測定方法 | |
JP2011142202A (ja) | 電気部品内蔵基板の電気部品接続検査方法および電気部品内蔵基板 | |
JP6076709B2 (ja) | 導通検査装置および導通検査方法 | |
JP5538107B2 (ja) | 回路基板検査用プローブユニットおよび回路基板検査装置 | |
JP2012132738A (ja) | 回路基板検査装置 | |
KR101039049B1 (ko) | 비접촉 검사방식을 적용한 단선 및 단락 검출용 칩 스케일 패키지 기판 및 그 검사장치 | |
CN108693388B (zh) | 具有定位精度的开尔文连接 | |
JP2009294101A (ja) | プリント基板検査装置およびプリント基板検査方法 | |
CN105652088B (zh) | 外置接口接触阻抗的测试装置 | |
US8471581B2 (en) | Apparatus and method for inspecting defects in circuit pattern of substrate | |
US10264684B2 (en) | Conductivity inspection method of printed circuit board and manufacturing method of printed circuit board | |
JP2015007552A (ja) | プリント基板の検査方法 | |
US6894513B2 (en) | Multipoint plane measurement probe and methods of characterization and manufacturing using same | |
CN113391181A (zh) | 一种检测晶圆测试探针卡状态的设备、晶圆结构和方法 | |
JP2005326193A (ja) | 基板テスト方式 | |
KR20140009027A (ko) | 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 | |
TWI383157B (zh) | 印刷電路板之阻值量測模組及其量測方法 | |
JP7509365B2 (ja) | 試験測定装置を被試験デバイスに結合する装置、試験測定システム及び被試験デバイスの動作モードを設定する方法 | |
JP2003255007A (ja) | 回路配線検査方法およびその装置 | |
JP2024040140A (ja) | シャント抵抗器及びモジュラ・チップ相互接続部 | |
TW201018931A (en) | Determination of properties of an electrical device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160527 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160715 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161216 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6076709 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |