JP6790753B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、検査装置に関する。

特許文献１には、検査するプリント基板の種類に応じて交換ボードを交換することにより、汎用性を向上させたインサーキットファンクションテスタが記載されている。

特開平０４−１９４７６３号公報

箱部材の上面に設けられた複数の通電部材を備えている検査装置が、基板装置を検査する場合に用いられることが知られている。

検査対象の基板装置が複数種類（複数機種）ある場合に、複数種類の通電部材を有する部材（着脱部材）を、ユニット化して、箱部材の上面に対して着脱可能にする必要がある。箱部材の上面に対して着脱可能とされた着脱部材は、箱部材の上面に形成された大きな開口を閉じるように取り付けられている。そして、段取り替えのときに、着脱部材を交換するため、箱部材の上面から着脱部材を取り外すと、箱部材の上面に形成された開口が、内部を開放してしまう。そこで、異物が、この開口から箱部材の内部に侵入してしまうことがある。そして、箱部材の内部に侵入した異物によって、箱部材の内部に配置されている制御部（制御基板等）が破損してしまう虞がある。

本発明の課題は、通電部材を有する着脱部材を脱着するときに、箱部材の上面に形成された開口が開放され、制御部が開口から露出する場合と比して、制御部の破損を抑制することである。

本発明の請求項１に係る検査装置は、上部に開口が形成され、内部に制御部が配置されている箱部材と、該箱部材に着脱可能に取り付けられ、該開口を閉じる着脱部材であって、該制御部と通信可能に接続され、該着脱部材の上側に置かれた検査対象品に通電する通電部材を有する該着脱部材と、該箱部材の内部で、該制御部の上方に配置され、上方から見て縁部が該開口を囲み、該制御部を上方から覆う覆い部材であって、上方を向いた上向き面には、上方から見て該開口を囲む環状の凹部が形成されている該覆い部材と、を備えることを特徴とする。

本発明の請求項２に係る検査装置は、請求項１に記載の検査装置において、前記着脱部材は、板面が上下方向を向いた板状の板体と、前記板体の板面であって上方を向いた上面に取り付けられている前記通電部材と、前記板体の板面であって下方を向いた下面に取り付けられ、前記通電部材と前記制御部とに接続される機能部材と、前記板体の前記下面に取り付けられ、下方向に延びている棒体と、を有し、前記棒体は、平面上に前記着脱部材が置かれた状態で、前記機能部材が平面と離間する、長さを有することを特徴とする。

本発明の請求項３に係る検査装置は、請求項１又は２に記載の検査装置において、前記着脱部材の上方に配置され、前記着脱部材に対して接近又は離間する離間部材と、前記着脱部材と対向するように、前記離間部材に着脱可能に取り付けられる他の着脱部材であって、前記制御部と通信可能に接続され、前記離間部材が前記着脱部材に対して接近した接近位置に配置された状態で、前記着脱部材の上側に置かれた前記検査対象品に通電する他の通電部材を有する前記他の着脱部材と、を備えることを特徴とする。

本発明の請求項４に係る検査装置は、請求項３に記載の検査装置において、前記他の着脱部材は、板面が上下方向を向いた板状の他の板体と、前記他の板体の板面であって下方を向いた下面に取り付けられている前記他の通電部材と、前記他の板体の下面に取り付けられ、下方向に延びている他の棒体と、前記他の板体の板面であって上方を向いた上面に取り付けられ、前記他の通電部材と前記制御部とに接続される他の機能部材と、を有し、前記他の棒体は、平面上に前記他の着脱部材が置かれた状態で、前記他の通電部材が平面と離間する長さを有することを特徴とする。

本発明の請求項５に係る検査装置は、請求項４に記載の検査装置において、前記着脱部材には、前記離間部材が前記着脱部材に対して離間した離間位置から前記接近位置に移動することで、前記他の棒体が挿入される被挿入部が形成され、前記他の棒体が前記被挿入部に挿入されることで、前記他の着脱部材における、前記他の板体の板面に沿った方向の位置が、前記着脱部材に対して決められることを特徴とする。

本発明の請求項１の検査装置によれば、通電部材を有する着脱部材を脱着するときに、箱部材の上面に形成された開口が開放され、制御部が開口から露出する場合と比して、制御部の破損を抑制することができる。

本発明の請求項１の検査装置によれば、覆い部材の上向き面に環状の凹部が形成されていない場合と比して、制御部の破損を抑制することができる。

本発明の請求項２の検査装置によれば、平面上に着脱部材が置かれた状態で、機能部材が平面と接触する場合と比して、機能部材の損傷を抑制することができる。

本発明の請求項３の検査装置によれば、着脱可能な他の着脱部材が、離間部材に取り付けられていない場合と比して、検査装置の汎用性を向上させることができる。

本発明の請求項４の検査装置によれば、平面上に他の着脱部材が置かれた状態で、他の通電部材が平面と接触する場合と比して、他の通電部材の損傷を抑制することができる。

本発明の請求項５の検査装置によれば、他の着脱部材が着脱部材に対して位置決めされない場合と比して、着脱部材の上側に置かれた検査対象品と、他の着脱部材との相対位置精度の低下を抑制することができる。

（Ａ）（Ｂ）本発明の実施形態に係る検査装置を示した断面図である。 （Ａ）（Ｂ）本発明の実施形態に係る検査装置を示した断面図である。 （Ａ）（Ｂ）本発明の実施形態に係る検査装置を示した拡大断面図である。 本発明の実施形態に係る検査装置に備えられた下側治具を示した側面図である。 本発明の実施形態に係る検査装置に備えられた上側治具を示した側面図である。 （Ａ）（Ｂ）本発明の実施形態に係る検査装置を示した平面図、及び覆い部材を示した斜視図である。 本発明の実施形態に係る検査装置に備えられた上側治具、及び下側治具等を示した分解斜視図である。 本発明の実施形態に係る検査装置の一部を示した分解斜視図である。 本発明の実施形態に係る検査装置を示した斜視図である。 本発明の実施形態に係る検査装置の検査対象品である基板装置を示した斜視図である。 本発明の実施形態に対する変形例の検査装置を示した断面図である。

本発明の実施形態に係る検査装置の一例について、図１〜図１１に従って説明する。なお、図中に示す矢印Ｈは装置上下方向（鉛直方向）を示し、矢印Ｗは装置幅方向（水平方向）を示し、矢印Ｄは装置奥行方向（水平方向）を示す。

先ず、本実施形態に係る検査装置１０によって検査される検査対象品の一例としてのプリント配線基板装置１００（以下「基板装置１００」）を説明し、その後、検査装置１０について説明する。なお、基板装置１００については、基板装置１００が検査装置１０によって検査されている状態での方向を用いて説明する。

（基板装置）
基板装置１００は、図１０に示されるように、基板１０２と、基板１０２に実装されている、電子部品１０４及び電子部品１０６と、を備えている。

電子部品１０４は、表面実装タイプの電子部品であって、直方体状の本体部１０４Ａと、４個のリード１０４Ｂとを有している。２個のリード１０４Ｂは、本体部１０４Ａの装置幅方向の一方側の部分に取り付けられ、他の２個のリード１０４Ｂは、本体部１０４Ａの装置幅方向の他方側の部分に取り付けられている。そして、電子部品１０４は、基板１０２の装置奥行方向の奥側の部分に実装されている。

電子部品１０６は、スルーホール実装タイプの電子部品であって、直方体状の本体部１０６Ａと、４個のリード１０６Ｂとを有している。２個のリード１０６Ｂは、本体部１０６Ａの装置幅方向の一方側の部分に取り付けられ、他の２個のリード１０６Ｂは、本体部１０６Ａの装置幅方向の他方側の部分に取り付けられている。そして、電子部品１０６は、基板１０２の装置奥行方向の手前側（図中左側）の部分に実装されている。

基板１０２は、板面が上下方向を向き、上方から見て、矩形状とされている。そして、基板１０２において上方を向いた上面１０２Ａには、電子部品１０４のリード１０４Ｂが、夫々半田付けされている４個の端子１０２Ｃが形成されている。さらに、基板１０２には、電子部品１０６のリード１０６Ｂが、夫々挿入されていると共に半田付けされている４個のスルーホール１０２Ｄが形成されている。このようにして、基板１０２の上面１０２Ａに、電子部品１０４、及び電子部品１０６が実装されている。

また、基板１０２の四隅には、後述する下側治具３４に対する位置決め用の貫通孔１０２Ｂが夫々形成されている。

（検査装置）
検査装置１０は、図９に示されるように、箱状の箱部材１２と、箱部材１２の上方に配置されている離間部材１６と、箱部材１２に支持されていると共に、離間部材１６を支持している支持部材２０と、離間部材１６を上下移動させるためのレバー２２とを備えている。さらに、検査装置１０は、検査装置１０の全体を制御する制御部３０と、制御部３０を上方から覆う覆い部材３２と、箱部材１２に着脱可能に取り付けられる下側治具３４と、離間部材１６に着脱可能に取り付けられる上側治具３６とを備えている。下側治具３４は、着脱部材の一例であり、上側治具３６は、他の着脱部材の一例の一例である。

〔箱部材・制御部〕
箱部材１２は、内部が空洞とされた直方体状とされている。また、箱部材１２の上側部分で、板面が上下方向を向いた天板の上面１２Ａには、図８に示されるように、箱部材１２の内部を開放する開口１４が形成されている。この開口１４は、上方から見て矩形状とされている。

制御部３０は、箱部材１２の内部において、開口１４の下方に配置されている。そして、制御部３０は、板面が上下方向を向いた基板３０Ａと、基板３０Ａに実装されている複数の電子部品（符号省略）とを備えている。

〔離間部材・支持部材・レバー〕
離間部材１６は、図９に示されるように、上面１２Ａの上方に配置され、内部が空洞とされた直方体状とされている。この離間部材１６の装置上下方向の長さは、装置奥行方向の長さ、及び装置幅方向の長さと比して、短くされている。また、離間部材１６は、上方から見て、開口１４を覆う矩形状とされている。さらに、離間部材１６の下側部分で、板面が上下方向を向いた底板１６Ａには、離間部材１６の内部を開放する開口１８が形成されている。この開口１８は、下方から見て矩形状とされている。

支持部材２０は、箱部材１２の上面１２Ａにおいて、装置奥行方向の奥側の部分に支持され、内部が空洞とされた直方体状とされている。この支持部材２０の装置奥行方向の長さは、装置上下方向の長さ、及び装置幅方向の長さと比して、短くされている。

さらに、支持部材２０は、離間部材１６の装置奥行方向の奥側の部分と接触し、離間部材１６を片持ち状態で支持している。そして、支持部材２０の内部には、レバー２２の揺動動作に伴ない離間部材１６を、上下方向に移動させて、箱部材１２の上面１２Ａに対して接近又は離間させる、リンク機構（図示省略）の一部が配置されている。

レバー２２は、箱部材１２の側板に、揺動可能に取り付けられ、初期位置（図１（Ａ）参照）と、操作位置（図２（Ａ）参照）との間を揺動するようになっている。そして、レバー２２には、ばね等の弾性部材（図示省略）の弾性力が付与されており、レバー２２に外力が付与されていない状態（自由状態）では、レバー２２は、初期位置に配置されている。

この構成において、レバー２２が初期位置に配置されている状態では、図１（Ａ）に示されるように、離間部材１６は、箱部材１２の上面１２Ａに対して離間する離間位置に配置される。一方、レバー２２が操作位置されている状態では、図２（Ａ）に示されるように、離間部材１６は、箱部材１２の上面１２Ａに対して接近する接近位置に配置される。

〔下側治具〕
下側治具３４は、図８、図９に示されるように、箱部材１２の上面１２Ａに脱着可能に、図示せぬ取付具（例えば、ねじ等）を用いて取り付ける。また、下側治具３４が箱部材１２に取り付けられた状態（図９参照）では、下側治具３４は、箱部材１２の開口１４を上方から閉じている。つまり、前述した離間部材１６は、下側治具３４の上方に配置され、下側治具３４に対して接近又は離間するようになっている。そして、下側治具３４は、本体部３８と、位置決めピン４０と、通電部材４２と、機能部材４４と、棒体４６とを有している。本体部３８は、板体の一例である。

本体部３８は、板面が上下方向を向いた板状とされ、上方から見て、開口１４と比して大きい矩形状とされている。さらに、本体部３８の四隅側の部分には、位置決め孔３８Ａが夫々形成されている。位置決め孔３８Ａは、被挿入部の一例である。

位置決めピン４０は、大径部４０Ａ、及び大径部４０Ａに対して小径の小径部４０Ｂを有する所謂段付きピンであって、本体部３８において上方を向いた上面３８Ｃに取り付けられている。具体的には、位置決めピン４０は、本体部３８の上面３８Ｃで位置決め孔３８Ａの近傍に、４個取り付けられている。そして、基板１０２の貫通孔１０２Ｂに、位置決めピン４０の小径部４０Ｂを貫通させ、基板１０２を大径部４０Ａに支持させることで、位置決めピン４０は、図３（Ａ）に示されるように、基板装置１００を、下側治具３４に位置決めするようになっている。

通電部材４２は、図８に示されるように、軸線が上下方向に延びる円柱状とされ、本体部３８の上面３８Ｃに、４個取り付けられている。また、夫々の通電部材４２は、図３（Ａ）に示されるように、位置決めピン４０によって位置決めされた状態の基板装置１００のリード１０６Ｂと接触する位置に配置されている。そして、通電部材４２は、リード１０６Ｂと接触した状態で、電子部品１０６へ通電するようになっている。

機能部材４４は、本体部３８において下方を向いた下面３８Ｄに２個取り付けられ、治具基板装置４４Ａと、治具基板装置４４Ａを下面３８Ｄに取り付けるための取付具４４Ｂとを有している（図４参照）。この治具基板装置４４Ａは、通電部材４２の機能を発揮させるための部材であって、通電部材４２と制御部３０とに図示せぬ配線等によって通信可能に接続される。

棒体４６は、図８に示されるように、上下方向に延びる円柱状とされ、本体部３８の下面３８Ｄの四隅に、４個取り付けられている。そして、棒体４６は、図４に示されるように、下側治具３４が平面Ｇに置かれた状態で、機能部材４４が平面Ｇと離間する、長さを有している。換言すると、棒体４６の下端位置は、機能部材４４の下端位置と比して、下方に位置している。

〔上側治具〕
上側治具３６は、離間部材１６に脱着可能に、図示せぬ取付具（例えば段付きボルト等）を用いて取り付ける。また、上側治具３６が離間部材１６に取り付けられた状態では、図３（Ａ）、図９に示されるように、上側治具３６は、離間部材１６の開口１８を下方から閉じている。なお、上側治具３６は、装置奥行方向、及び装置幅方向（後述する本体部５８の板面方向）にがたつきを有した状態で、離間部材１６に取り付けられている。つまり、離間部材１６に取り付けられた上側治具３６は、予め決められた、がたつき量の範囲内で移動するようになっている。

そして、上側治具３６は、図７に示されるように、本体部５８と、通電部材６２と、機能部材６４と、棒体６６とを有している。通電部材６２は、他の通電部材の一例であり、本体部５８は、他の板体の一例であり、機能部材６４は、他の機能部材の一例であり、棒体６６は、他の棒体の一例である。

本体部５８は、板面が上下方向を向いた板状とされ、上方から見て、開口１８（図９参照）と比して大きい矩形状とされている。

通電部材６２は、軸線が上下方向に延びる円柱状とされ、本体部５８の下方を向いた下面５８Ｂから突出するように本体部５８に、４個取り付けられている。さらに、離間部材１６が接近位置に配置された状態で、通電部材６２は、図３（Ｂ）に示されるように、位置決めピン４０によって位置決めされた基板装置１００の端子１０２Ｃと夫々接触する位置に配置されている。そして、通電部材６２は、端子１０２と接触した状態で、電子部品１０４へ通電するようになっている。

機能部材６４は、本体部５８において上方を向いた上面５８Ａに取り付けられ、治具基板装置６４Ａと、治具基板装置６４Ａを上面５８Ａに取り付ける取付具６４Ｂとを有している。この治具基板装置６４Ａは、通電部材６２の機能を発揮させるための部材であって、通電部材６２と制御部３０（図９参照）とに図示せぬ配線等によって通信可能に接続される。

棒体６６は、上下方向に延び、下端部が先細りとなる円柱状とされ、図７に示されるように、本体部５８の下面５８Ｂの四隅に、４個取り付けられている。そして、棒体６６は、図５に示されるように、上側治具３６が平面Ｇに置かれた状態で、通電部材６２が平面Ｇと離間する、長さを有している。換言すると、棒体６６の下端位置は、通電部材６２の下端位置と比して、下方に位置している。

さらに、離間部材１６が離間位置から接近位置へ移動することで、棒体６６が、図３（Ａ）（Ｂ）に示されるように、下側治具３４の位置決め孔３８Ａに挿入されるようになっている。これにより、上側治具３６が、前述したがたつき量の範囲内で移動して、通電部材６２と端子１０２Ｃとが接触する前に、下側治具３４に対して位置決めされるようになっている。

〔覆い部材〕
覆い部材３２は、板面が上下方向を向いた板状とされ、図１（Ａ）、図９に示されるように、箱部材１２の内部で、制御部３０の上方に配置され、制御部３０を上方から覆っている。具体的には、覆い部材３２は、上方から見て矩形状とされ、覆い部材３２の縁部３２Ａは、図６（Ａ）に示されるように、上方から見て、開口１４を囲んでいる。そして、覆い部材３２は、箱部材１２の内部に配置されているフレーム７０（図１（Ａ）参照）等の支持部に支持されている。フレーム７０は、図示を省略しているが、上下方向に貫通する貫通穴が複数形成されている。この貫通穴は、制御部３０から発生する熱を逃がすためのものである。

さらに、覆い部材３２の上方を向いた上向き面の一例としての上面３２Ｂには、図６（Ｂ）に示されるように、凹部３２Ｃが矩形環状に形成されている。具体的には、凹部３２Ｃは、図６（Ａ）に示されるように、上方から見て、開口１４を囲んでいる。

なお、支持部は、前記したフレーム７０に代えて、３本以上の支柱であっても良い。具体的には、覆い部材３２の四隅の各々に、一端が覆い部材３２の下面に固定され、他端が箱部材１２の底面に固定される支柱を計４本取り付けても良い。この場合は、覆い部材３２の周面と、箱部材１２の内面との間に隙間（空間）が形成される。このため、制御部３０から発生した熱は、当該隙間から逃がすことができる。

（作用）
次に、検査装置１０を用いて、基板装置１００を検査する作業について説明する。

基板装置１００を検査する前の状態では、下側治具３４は、箱部材１２に取り付けられておらず、上側治具３６は、離間部材１６に取り付けられていない。また、レバー２２は、初期位置に配置され、離間部材１６は、離間位置に配置されている。つまり、箱部材１２の内部が、開口１４によって開放された状態となっている（図８参照）。

基板装置１００を検査する場合には、先ず、作業者は、図１（Ａ）に示されるように、基板装置１００を検査するための下側治具３４を箱部材１２に、図示せぬ取付具を用いて取り付け、上側治具３６を離間部材１６に、図示せぬ取付具を用いて取り付ける。なお、他の基板装置を検査する場合には、他の基板装置を検査するための下側治具を箱部材１２に取り付け、他の基板装置を検査するための上側治具を離間部材１６に取り付ける。

次に、作業者は、図１（Ａ）（Ｂ）に示されるように、下側治具３４の上側に、基板装置１００を置く。具体的には、作業者は、図３（Ａ）に示されるように、基板１０２の貫通孔１０２Ｂに、位置決めピン４０の小径部４０Ｂを貫通させ、基板１０２を大径部４０Ａに支持させる。これにより、基板装置１００は、下側治具３４の上側に置かれ、下側治具３４に位置決めされる。そして、下側治具３４の夫々の通電部材４２は、基板装置１００のリード１０６Ｂと接触して、電子部品１０６へ通電する。

次に、作業者は、図１（Ｂ）、図２（Ａ）に示されるように、レバー２２に力を負荷して、レバー２２を初期位置から操作位置へ揺動させる。これにより、離間部材１６は、離間位置から接近位置へ移動する。離間部材１６が離間位置から接近位置へ移動することで、下端部が先細りとなっている、上側治具３６の棒体６６が、図３（Ａ）（Ｂ）に示されるように、下側治具３４の位置決め孔３８Ａに挿入される。棒体６６が、位置決め孔３８Ａに挿入されることで、上側治具３６が、前述した、がたつき量の範囲内で移動して、下側治具３４に対して位置決めされる。つまり、上側治具３６、及び基板装置１００が、下側治具３４に対して位置決めされる。

そして、離間部材１６が接近位置に配置された状態で、上側治具３６の夫々の通電部材６２が、基板装置１００の端子１０２Ｃに接触して、電子部品１０４へ通電する。電子部品１０４、及び電子部品１０６へ通電することで、電子部品１０４、及び電子部品１０６が検査される。換言すれば、基板装置１００が検査される。

次に、作業者は、図２（Ａ）（Ｂ）に示されるように、レバー２２に負荷している力を解放する。これにより、レバー２２が、操作位置から初期位置へ揺動し、さらに、離間部材１６が、接近位置から離間位置へ移動する。そして、一枚の基板装置１００の検査が終了する。

なお、続けて、他種の基板装置を検査する場合は、作業者は、下側治具３４、及び上側治具３６を他の基板装置を検査するための下側治具、及び上側治具を交換した後、他の基板装置を検査する。

（まとめ）
上記実施形態によれば、制御部３０を覆っている覆い部材３２の縁部３２Ａは、図６（Ａ）に示されるように、上方から見て、開口１４を囲でいる。このため、下側治具３４を交換する場合等に、箱部材１２の内部が開口１４によって開放された状態で、開口１４から異物等（例えば、下側治具３４を取り付ける取付具等）が箱部材１２の内部に侵入して落下しても、制御部３０の破損が抑制される。換言すれば、下側治具３４を脱着するときに、開口１４が開放され、制御部３０が開口１４から露出する場合と比して、制御部３０の破損が抑制される。

また、上記実施形態によれば、覆い部材３２の上面３２Ｂに形成された凹部３２Ｃは、上方から見て、開口１４を囲んでいる。例えば、箱部材１２の内部が開口１４によって開放されている状態で、開口１４から箱部材１２の内部に侵入して落下した異物等が、覆い部材３２の上面３２Ｂを転がっても、凹部３２Ｃによって移動が規制される。このため、覆い部材３２の上面３２Ｂに凹部３２Ｃが形成されていない場合と比して、制御部３０の破損が抑制される。

また、上記実施形態によれば、離間部材１６に着脱可能な上側治具３６が取り付けられている。このため、上側治具３６が離間部材１６に対して着脱可能とされていない場合と比して、検査装置１０の汎用性が向上する。

また、上記実施形態によれば、棒体４６は、図４に示されるように、下側治具３４が平面Ｇに置かれた状態で、機能部材４４が平面Ｇと離間する、長さを有している。換言すると、棒体４６の下端位置は、機能部材４４の下端位置と比して、下方に位置している。このため、棒体４６の下端位置が、機能部材４４の下端位置に対して上方に位置している場合と比して、下側治具３４が平面Ｇに置かれた場合に、機能部材４４の損傷が抑制される。

また、上記実施形態によれば、棒体６６は、図５に示されるように、上側治具３６が平面Ｇに置かれた状態で、通電部材６２が平面Ｇと離間する、有している。換言すると、棒体６６の下端位置は、通電部材６２の下端位置と比して、下方に位置している。このため、棒体６６の下端位置が、通電部材６２の下端位置に対して上方に位置している場合と比して、上側治具３６が平面Ｇに置かれた場合に、通電部材６２の損傷が抑制される。

また、上記実施形態によれば、棒体６６が、位置決め孔３８Ａに挿入されることで、上側治具３６が、移動して下側治具３４に対して位置決めされる。つまり、上側治具３６、及び基板装置１００が、下側治具３４に対して位置決めされる。このため、上側治具３６が下側治具３４に対して位置決めされない場合と比して、上側治具３６と基板装置１００との相対位置精度の低下が抑制される。

なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明は係る実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能であることは当業者にとって明らかである。例えば、上記実施形態では、覆い部材３２に凹部３２Ｃを形成することで、覆い部材３２の上面３２Ｂを転がる異物等の移動を規制したが、例えば、図１１に示されるように、覆い部材１３２の上面をすり鉢状にして、上面を転がる異物等の移動を規制してもよい。

また、上記実施形態では、板状の覆い部材３２が、上方から見て、制御部３０を覆っていたが、覆い部材は板状でなくてもよく、例えば、メッシュ状、ブロック状であってもよい。

また、上記実施形態では、棒体４６は、４個であったが、下側治具３４が平面Ｇに置かれた状態で、機能部材４４が平面Ｇと離間すればよく、棒体４６が、３個以下、又は５個以上であってもよい。

また、上記実施形態では、棒体６６は、４個であったが、上側治具３６が平面Ｇに置かれた状態で、通電部材６２が平面Ｇと離間すればよく、棒体６６が、３個以下、又は５個以上であってもよい。

また、上記実施形態では特に説明しなかったが、上方から見て、覆い部材３２が、制御部３０の全体を覆っていてもよく、制御部３０の一部を覆っていてもよい。上方から見て、覆い部材３２の縁部３２Ａが、開口１４を囲んでいればよい。

１０ 検査装置
１２ 箱部材
１４ 開口
１６ 離間部材
３０ 制御部
３２ 覆い部材
３２Ｂ 上面（上向き面の一例）
３２Ｃ 凹部
３４ 下側治具（着脱部材の一例）
３６ 上側治具（他の着脱部材の一例）
３８ 本体部（板体の一例）
３８Ａ 位置決め孔（被挿入部の一例）
３８Ｃ 上面
３８Ｄ 下面
４２ 通電部材
４４ 機能部材
４６ 棒体
５８ 本体部（他の板体の一例）
５８Ａ 上面
５８Ｂ 下面
６２ 通電部材（他の通電部材の一例）
６４ 機能部材（他の機能部材の一例）
６６ 棒体（他の棒体の一例）
１００ 基板装置（検査対象品の一例）

Claims (5)

1. 上部に開口が形成され、内部に制御部が配置されている箱部材と、
   該箱部材に着脱可能に取り付けられ、該開口を閉じる着脱部材であって、該制御部と通信可能に接続され、該着脱部材の上側に置かれた検査対象品に通電する通電部材を有する該着脱部材と、
   該箱部材の内部で、該制御部の上方に配置され、上方から見て縁部が該開口を囲み、該制御部を上方から覆う覆い部材であって、上方を向いた上向き面には、上方から見て該開口を囲む環状の凹部が形成されている該覆い部材と、
   を備える検査装置。
2. 前記着脱部材は、
   板面が上下方向を向いた板状の板体と、
   前記板体の板面であって上方を向いた上面に取り付けられている前記通電部材と、
   前記板体の板面であって下方を向いた下面に取り付けられ、前記通電部材と前記制御部とに接続される機能部材と、
   前記板体の前記下面に取り付けられ、下方向に延びている棒体と、を有し、
   前記棒体は、平面上に前記着脱部材が置かれた状態で、前記機能部材が平面と離間する、長さを有する請求項１に記載の検査装置。
3. 前記着脱部材の上方に配置され、前記着脱部材に対して接近又は離間する離間部材と、
   前記着脱部材と対向するように、前記離間部材に着脱可能に取り付けられる他の着脱部材であって、前記制御部と通信可能に接続され、前記離間部材が前記着脱部材に対して接近した接近位置に配置された状態で、前記着脱部材の上側に置かれた前記検査対象品に通電する他の通電部材を有する、前記他の着脱部材と、
   を備える請求項１又は２に記載の検査装置。
4. 前記他の着脱部材は、
   板面が上下方向を向いた板状の他の板体と、
   前記他の板体の板面であって下方を向いた下面に取り付けられている前記他の通電部材と、
   前記他の板体の下面に取り付けられ、下方向に延びている他の棒体と、
   前記他の板体の板面であって上方を向いた上面に取り付けられ、前記他の通電部材と前記制御部とに接続される他の機能部材と、を有し、
   前記他の棒体は、平面上に前記他の着脱部材が置かれた状態で、前記他の通電部材が平面と離間する長さを有する請求項３に記載の検査装置。
5. 前記着脱部材には、前記離間部材が前記着脱部材に対して離間した離間位置から前記接近位置に移動することで、前記他の棒体が挿入される被挿入部が形成され、
   前記他の棒体が前記被挿入部に挿入されることで、前記他の着脱部材における、前記他の板体の板面に沿った方向の位置が、前記着脱部材に対して決められる請求項４に記載の検査装置。