JP6576176B2 - プローブユニットおよび基板検査装置 - Google Patents

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本発明は、プローブピンとプローブピンを支持する支持部とを備えたプローブユニット、およびそのプローブユニットを備えた基板検査装置に関するものである。
この種のプローブユニットとして、下記特許文献1において出願人が開示したプローブユニットが知られている。このプローブユニットは、一対のコンタクトプローブ、および各コンタクトプローブが固定されるプローブ保持部を備えて構成されている。各コンタクトプローブは、プローブピンと、リンク機構で構成されてプローブピンを先端部で保持する保持具とをそれぞれ備えて構成されている。このプローブユニットでは、各コンタクトプローブが固定されているため、一対のプローブピンを共に移動させて、1つのプロービング対象に対して各プローブピンを一度にプロービングさせることが可能となっている。この場合、このプローブユニットでは、各保持具の先端部の前方側から2つのプローブピンを見たときに、各プローブピンがV字をなすように各プローブピンが配置されており(図15参照)、この構成により、プローブピンの先端部を互いに近接させることが可能となっている。
特開2006−330006号公報(第5−6頁、第1図)
ところが、上記のプローブユニットには、改善すべき以下の課題がある。すなわち、このプローブユニットでは、正面視したときにV字をなすように各プローブピンが配置されているため、正面視したときの各プローブピンの横幅(各プローブピンによって占有される幅方向のスペース)が各プローブピンの基端部に向かうに従って広くなっている。このため、このプローブユニットでは、基板におけるパッドやランドの近傍に部品が配設されていたり、凹部(キャビティ)が形成された基板の凹部の底面における壁面の近傍にパッドやランドが設けられたりする場合において、それらのパッドやランドをプロービング対象としてプロービングを行うときに、不都合が生じるおそれがある。具体的には、図15に示すように、凹部(キャビティ)101を有する基板100における壁部104の近傍にパッド103が設けられている場合において、そのパッド103に2つのプローブ301をプロービングさせようとしたときには、2つのプローブ301のうちの1つのプローブ301(同図における右側のプローブ301)が壁部104に接触することがあり、このときには、パッド103に対する各プローブ301のプロービングが困難となるおそれがある。
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、2つのプローブピンによって占有されるスペースを減少させ得るプローブユニットおよび基板検査装置を提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項1記載のプローブユニットは、一対のプローブピンと、当該各プローブピンを支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、前記支持部は、第1本体部および当該第1本体部から延出する帯状の第1のアーム部をそれぞれ有して前記各プローブピンをプロービング対象にプロービングさせる際のプロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置されると共に当該各第1のアーム部の先端部に一方の前記プローブピンが固定された一対の第1板体と、第2本体部および当該第2本体部から延出する帯状の第2のアーム部をそれぞれ有して前記プロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置されると共に当該各第2のアーム部の先端部に他方の前記プローブピンが固定された一対の第2板体と、前記各第1本体部および前記各第2本体部を保持する保持部とを備え、いずれかの前記アーム部には、前記プローブピンが挿通可能な挿通部が形成され、前記いずれかのアーム部以外の他の前記アーム部に固定されている前記プローブピンは、前記挿通部に挿通させられた状態で固定されている。
請求項2記載のプローブユニットは、請求項1記載のプローブユニットにおいて、前記各プローブピンは、前記各アーム部における各々の基端部から各々の前記先端部に向かう当該各アーム部の各延在方向の合成方向に沿って前記各プローブピンの先端部が並ぶように配置されている。
請求項3記載のプローブユニットは、請求項2記載のプローブユニットにおいて、前記支持部は、前記プロービングの向きとは逆向きへの前記プローブピンの直動または近似的な直動を許容する四節リンク機構を構成し、前記各アーム部は、前記先端部側に第1貫通孔がそれぞれ形成されると共に前記基端部側に第2貫通孔がそれぞれ形成されて、前記各第1貫通孔と前記各第2貫通孔との間の各中間部が前記四節リンク機構を構成する各リンクとして機能すると共に、前記各第1貫通孔の形成部位および前記各第2貫通孔の形成部位が前記四節リンク機構を構成するジョイントとして機能するように構成され、前記挿通部は、前記第1貫通孔で構成されている。
請求項4記載の基板検査装置は、請求項1から3のいずれかに記載のプローブユニットと、当該プローブユニットの前記各プローブピンを介して入出力する電気信号に基づいて検査対象を検査する検査部とを備えている。
請求項1記載のプローブユニット、および請求項4記載の基板検査装置では、いずれかのアーム部に形成した挿通部にそのアーム部以外の他のアーム部に固定されているプローブピンが挿通させられている。このようにプローブピンを固定したことにより、各アーム部を、各々の先端部が平面視状態において互いに重なり合うように配置することができるため、各プローブピンの基端部側同士を十分に近接させることができる。この結果、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、プローブユニットを正面視したときに各プローブピンの横幅(各プローブピンによって占有される幅方向のスペース)を各プローブピンの基端部側においても狭くすることができる。したがって、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、例えば、凹部を有する基板における凹部を構成する壁部の近傍にプロービング対象が設けられている場合においても、壁部に各プローブピンを接触させることなく、各プローブピンをプロービング対象に確実にプロービングさせることができる。
請求項2記載のプローブユニット、および請求項4記載の基板検査装置では、各アーム部における各々の基端部から各々の先端部に向かう各アーム部の各延在方向の合成方向に沿って各プローブピンの先端部が並ぶように各プローブピンが配置されている。このように各プローブピンを配置することにより、プローブユニットを正面視したときに横方向(合成方向Bに直交する方向)に沿って各先端部が並ぶように各プローブピンを配置する構成と比較して、プローブユニットを正面視したときの各プローブピンの横幅をさらに(例えば、いずれかのプローブピンの直径に相当する分だけ)狭くすることができる。
請求項3記載のプローブユニット、および請求項4記載の基板検査装置では、各アーム部の各先端部側に第1貫通孔がそれぞれ形成されると共に各基端部側に第2貫通孔がそれぞれ形成されて、各アーム部の各中間部がリンクとして機能すると共に、各貫通孔の形成部位がジョイントとして機能する四節リンク機構が支持部によって構成されている。このため、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、プロービングの際に四節リンク機構によって各プローブピンにおける先端部の直動または近似的直動が許容される結果、各プローブピンの先端部がプロービング対象の表面上を移動することによる傷の発生を確実に防止することができる。また、このプローブユニットおよび基板検査装置では、プローブピンを挿通させる挿通部が第1貫通孔で構成されている、つまり第1貫通孔を挿通部として用いている。このため、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、挿通部としての孔や切り欠きを第1貫通孔とは別に形成する必要がないため、各アーム部の構成をその分簡略化することができる。
基板検査装置200の構成を示す構成図である。 プローブユニット1の斜視図である。 プローブユニット1の平面図である。 プローブユニット1の正面図である。 プローブユニット1の分解斜視図である。 第1板体31aの平面図である。 第1板体31bの平面図である。 第2板体32aの平面図である。 第2板体32bの平面図である。 保持部33を不図示にしたプローブユニット1の平面図である。 第1アーム部51a,51b、第2アーム部52a,52bおよびプローブピン11,12の側面断面図である。 基板検査装置200の動作を説明する説明図である。 プローブユニットの第2の構成例を示す側面断面図である。 プローブユニットの第3の構成例を示す側面断面図である。 従来のプローブユニットの構成を説明する説明図である。
以下、プローブユニットおよび基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
最初に、基板検査装置の一例としての基板検査装置200の構成について説明する。図1に示す基板検査装置200は、検査対象(例えば、同図および図12に示す基板100)を検査する基板検査装置であって、基板固定台201、移動機構202、測定部203、操作部204、記憶部205、制御部206、および一対のプローブユニット1を備えて構成されている。
基板固定台201は、検査対象の基板100を載置可能に構成されると共に、図外のクランプによって基板100を固定可能に構成されている。
移動機構202は、制御部206の制御に従い、基板固定台201に固定されている基板100の表面に沿った方向(XY方向)、および基板100に接離する方向(Z方向)にプローブユニット1を移動させて、プロービング対象としての基板100のパッド103(図12参照)にプローブユニット1におけるプローブピン11,12の先端部をプロービングさせるプロービング処理を実行する。
測定部203は、制御部206の制御に従い、基板100のパッド103にプロービングさせられているプローブユニット1のプローブピン11,12を介して入出力する電気信号に基づき、被測定量(例えば、パッド103に接続されている図外の導体パターンの抵抗値)を測定する測定処理を実行する。
操作部204は、各種のスイッチやキーを備えて構成され、これらが操作されたときに操作信号を出力する。記憶部205は、プロービング対象の(プローブユニット1のプローブピン11,12をプロービングさせるべき)パッド103の位置を示す位置データを記憶する。また、記憶部205は、基板100(基板100に形成されている図外の導体パターン)の検査に用いる抵抗値の基準値を記憶する。
制御部206は、移動機構202および測定部203を制御する。また、制御部206は、測定部203と共に検査部として機能して、測定部203によって測定された抵抗値に基づいて基板100を検査する。
プローブユニット1は、図2〜図4に示すように、一対のプローブピン11,12と、各プローブピン11,12を支持する支持部21とを備えて構成されている。
プローブピン11,12は、図2〜図4に示すように、先端部(図2,4における下端部)が尖った円柱状にそれぞれ形成されている。このプローブピン11,12は、移動機構202(図1参照)によってプローブユニット1が移動させられたときにプロービング対象(例えば、図12に示す基板100のパッド103)に先端部がプロービング(接触)させられる。
支持部21は、プローブピン11,12を支持可能に構成されている。具体的には、支持部21は、図2〜図5に示すように、一対の第1板体31a,31b(以下、区別しないときには「第1板体31」ともいう)、一対の第2板体32a,32b(以下、区別しないときには「第2板体32」ともいう)、および保持部33を備えて構成されている。
第1板体31aは、図6に示すように、第1本体部41aおよび第1アーム部51aを備えて構成されている。また、第1板体31aは、例えば金属等の導電性を有する材料で板状に形成されている。また、第1本体部41aには、保持部33のネジ62(図5参照)を挿通させる挿通孔Oiが形成されている。また、第1アーム部51aは、図6に示すように、第1本体部41aから延出する帯状に形成されている。また、第1アーム部51aの先端部51atには、第1貫通孔H1faが形成され、先端部51atの基端部51arには、第2貫通孔H1saが形成されている。また、第1アーム部51aにおける第1貫通孔H1faの形成位置よりもさらに先端側には、プローブピン11を固定する固定孔Ofが形成されている。
第1板体31bは、図7に示すように、第1本体部41b(以下、第1板体31aの第1本体部41aと第1本体部41bとを区別しないときには「第1本体部41」ともいう)および第1アーム部51b(以下、第1板体31aの第1アーム部51aと第1アーム部51bとを区別しないときには「第1アーム部51」ともいう)を備えて構成されている。また、第1板体31bは、第1板体31aを構成する材料と同じ材料で板状に形成されている。また、第1本体部41bには、保持部33のネジ62を挿通させる挿通孔Oiが形成されている。また、第1アーム部51bは、同図に示すように、第1本体部41bから延出する帯状に形成されている。また、第1アーム部51bの先端部51bt(以下、第1アーム部51aの先端部51atと先端部51btとを区別しないときには「先端部51t」ともいう)には、第1貫通孔H1fbが形成され、先端部51btの基端部51br(以下、第1アーム部51aの基端部51arと基端部51brとを区別しないときには「基端部51r」ともいう)には、第2貫通孔H1sbが形成されている。また、第1アーム部51bにおける第1貫通孔H1fbの形成位置よりもさらに先端側には、プローブピン11を固定する固定孔Ofが形成されている。
また、第1板体31a,31bは、図2,11に示すように、プローブピン11,12をプロービングさせる際のプロービングの向き(両図における下向き)に沿って互いに離間して各板面同士が対向する状態で配置されている。また、第1板体31a,31bは、図11に示すように、プローブピン11を支持している。この場合、プローブピン11は、第1板体31aにおける第1アーム部51bの固定孔Ofに基端部(同図における上端部)が固定されると共に、第1板体31bにおける第1アーム部51aの固定孔Ofに中間部(基端部と先端部との間の部分)が固定されている。
第2板体32aは、図8に示すように、第2本体部42aおよび第2アーム部52aを備えて構成されている。また、第2板体32aは、第1板体31aを構成する材料と同じ材料で板状に形成されている。また、第2本体部42aには、保持部33のネジ62を挿通させる挿通孔Oiが形成されている。また、第2アーム部52aは、同図に示すように、第2本体部42aから延出する帯状に形成されている。また、第2アーム部52aの先端部52atには、第2貫通孔H2faが形成され、第2アーム部52aの基端部52arには、第2貫通孔H2saが形成されている。また、第2アーム部52aにおける第2貫通孔H2faの形成位置よりもさらに先端側には、プローブピン12を固定する固定孔Ofが形成されている。
第2板体32bは、図9に示すように、第2本体部42b(以下、第2板体32aの第2本体部42aと第2本体部42bとを区別しないときには「第2本体部42」ともいう)および第2アーム部52b(以下、第2板体32aの第2アーム部52aと第2アーム部52bとを区別しないときには「第2アーム部52」ともいう)を備えて構成されている。また、第2板体32bは、第1板体31aを構成する材料と同じ材料で板状に形成されている。また、第2本体部42bには、保持部33のネジ62を挿通させる挿通孔Oiが形成されている。また、第2アーム部52bは、同図に示すように、第2本体部42bから延出する帯状に形成されている。また、第2アーム部52bの先端部52bt(以下、第2アーム部52aの先端部52atと先端部52btとを区別しないときには「先端部52t」ともいう)には、第2貫通孔H2fbが形成され、第2アーム部52bの基端部52br(以下、第2アーム部52aの基端部52arと基端部52brとを区別しないときには「基端部52r」ともいう)には、第2貫通孔H2sbが形成されている。また、第2アーム部52bにおける第2貫通孔H2fbの形成位置よりもさらに先端側には、プローブピン12を固定する固定孔Ofが形成されている。
また、第2板体32a,32bは、図2,11に示すように、プローブピン11,12をプロービングさせる際のプロービングの向き(両図における下向き)に沿って互いに離間して各板面同士が対向する状態で配置されている。また、第2板体32a,32bは、図11に示すように、プローブピン12を支持している。この場合、プローブピン12は、第2板体32aにおける第2アーム部52bの固定孔Ofに基端部(同図における上端部)が固定されると共に、第2板体32bにおける第2アーム部52aの固定孔Ofに中間部(基端部と先端部との間の部分)が固定されている。
保持部33は、図5に示すように、複数の保持材料61およびネジ62を備えて構成されている。この場合、保持部33は、板面を水平にした(プロービングの向きに直交させた)状態における各第1板体31の各第1本体部41および各第2板体32の各第2本体部42を各保持材料61で挟み込んでネジ62を締め込むことで第1板体31および第2板体32を保持する(図4参照)。
また、このプローブユニット1では、例えば、図2,10,11に示すように、各第1アーム部51の各先端部51tおよび各第2アーム部52の各先端部52tが上下方向において互いに離間した状態で重なり合う(先端部51tと先端部52tとが交互に重なり合う)ように配置されると共に、プローブピン12が第1アーム部51aの第1貫通孔H1fa(挿通部に相当する)に挿通させられた状態で各第2アーム部52に固定されている。
また、このプローブユニット1では、図10に示すように、各基端部51rから各先端部51tに向かう各第1アーム部51の延在方向A1、および各基端部52rから各先端部52tに向かう各第2アーム部52の延在方向A2の合成方向Bに沿ってプローブピン11,12の先端部が並ぶように(図4に示すように、プローブユニット1を正面視したときにプローブピン11の先端部が手前側に位置しつつ両プローブピン11,12の先端部が重なり合うように)プローブピン11,12が配置されている。
各第1アーム部51、第2アーム部52、およびプローブピン11,12を上記したように配置したことで、このプローブユニット1では、図4に示すように、プローブユニット1を正面視した状態において、プローブピン11,12の基端部(同図における上端部)側を互いに近接させることができる。このため、このプローブユニット1では、同図に示すように、プローブユニット1を正面視した状態におけるプローブピン11,12の横幅(プローブピン11,12によって占有される幅方向のスペース)が、プローブピン11,12の基端部側においても狭くなっている。
また、このプローブユニット1では、板状にそれぞれ形成した各第1板体31および各第2板体32の板面を水平にした状態で、各第1板体31の各第1本体部41および各第2板体32の各第2本体部42を各保持材料61で挟み込むことで各第1板体31および各第2板体32を保持している。このような構成では、各第1板体31および各第2板体32の水平度の調整が容易なため、各第1板体31における各第1アーム部51の各先端部51t、および各第2板体32の各第2アーム部52の各先端部52tによって支持されているプローブピン11,12の先端部の上下方向(プロービング方向)の位置合わせを正確かつ容易に行うことが可能となっている。
また、このプローブユニット1では、第1アーム部51a,51bに第1貫通孔H1fa,H1fbおよび第2貫通孔H1sa,H1sb(以下、第1貫通孔H1fa,H1fbおよび第2貫通孔H1sa,H1sbを区別しないときには「貫通孔H」ともいう)を形成したことで、各貫通孔Hの形成部位の剛性が、第1アーム部51a,51bにおける他の部位の剛性よりも十分に低下し、これによって各貫通孔Hの形成部位において弾性変形がし易くなっている。このため、プローブユニット1では、第1アーム部51a,51bの中間部51ai,51bi(図6,7参照:各貫通孔Hの間の部位であって、以下、区別しないときには「中間部51i」ともいう)がリンク(節)として機能すると共に、各貫通孔Hの形成部位がジョイント(関節または支点)として機能する四節リンク機構(四節回転機構)が、支持部21(具体的には、各中間部51i、各貫通孔Hの形成部位、保持部33およびプローブピン11)によって構成される。
同様にして、第2アーム部52a,52bに第1貫通孔H2fa,H2fbおよび第2貫通孔H2sa,H2sb(以下、第1貫通孔H2fa,H2fbおよび第2貫通孔H2sa,H2sbを区別しないときには「貫通孔H」ともいう)を形成したことで、各貫通孔Hの形成部位の剛性が、第2アーム部52a,52bにおける他の部位の剛性よりも十分に低下し、これによって各貫通孔Hの形成部位において弾性変形がし易くなっている。このため、プローブユニット1では、第2アーム部52a,52bの中間部52ai,52bi(図8,9参照:各貫通孔Hの間の部位であって、以下、区別しないときには「中間部52i」ともいう)がリンクとして機能すると共に、各貫通孔Hの形成部位がジョイントとして機能する四節リンク機構が、支持部21(具体的には、各中間部52i、各貫通孔Hの形成部位、保持部33およびプローブピン12)によって構成される。
上記した四節リンク機構が構成されることにより、このプローブユニット1では、プローブピン11,12の先端部に対してプロービングの向きとは逆向き(図2,11における上向き)に力が加わったときには、プローブピン11,12の先端部が直動または近似的直動する(先端部の直動または近似的直動が許容される)。
次に、基板検査装置200を用いて検査対象としての基板100を検査する方法、およびその際の基板検査装置200の各部の動作について、図面を参照して説明する。なお、基板100には、図12に示すように、凹部101(キャビティ)が形成され、凹部101の底面102には、導体パターンに接続されているプロービング対象としてのパッド103が設けられているものとする。
まず、図1に示すように、基板固定台201に基板100を載置し、次いで、図外のクランプによって基板100を固定する。続いて、操作部204を操作して検査の開始を指示する。この際に、操作部204が操作信号を出力し、制御部206が操作信号に従って検査処理を実行する。この検査処理では、制御部206は、記憶部205から位置データを読み出して、記憶部205は、プロービング対象のパッド103の位置を位置データに基づいて特定する。
次いで、制御部206は、移動機構202を制御して、プロービング処理を実行させる。このプロービング処理では、移動機構202は、基板固定台201に固定されている基板100の表面に沿った方向に各プローブユニット1を移動させて、プロービング対象のパッド103の上方に各プローブピン11,12の各先端部を位置させる。続いて、移動機構202は、図12に示すように、基板100に近接する向き(下向き)に各プローブユニット1を移動させて、プロービング対象としての基板100のパッド103に各プローブピン11,12をプロービングさせる。なお、同図では、一方のプローブユニット1のプローブピン11,12だけを図示している。
ここで、このプローブユニット1では、上記したように、合成方向Bに沿って各プローブピン11,12が並ぶように、各プローブピン11,12が配置されている。このため、図12に示すように、基板100の凹部101を構成する壁部104の近傍にパッド103が設けられている場合においても、壁部104にプローブピン11,12を接触させることなく(壁部104にプローブピン11,12を十分に近づけて)、プローブピン11,12をパッド103にプロービングさせることが可能となっている。
続いて、移動機構202は、予め決められた距離だけプローブユニット1を下向きにさらに移動させた時点で移動を停止する。このプローブユニット1では、上記したように、プローブピン11,12における先端部の直動または近似的直動を許容する四節リンク機構が構成されているため、プローブピン11,12の先端部が基板100における凹部101の底面102に接触してからプローブユニット1の移動が停止するまでの間では、最初の接触位置に位置した状態が維持される。このため、このプローブユニット1では、プローブピン11,12の先端部がパッド103の表面上を移動することによる傷の発生を確実に防止することが可能となっている。
一方、制御部206は、基板100のパッド103にプローブピン11,12がプロービングさせられている状態で、図外の信号供給部を制御して検査用の電気信号を出力させる。次いで、制御部206は、測定部203を制御して、測定処理を実行させる。この測定処理では、測定部203は、各プローブピン11,12を介して入出力する電気信号に基づき、パッド103に接続されている図外の導体パターンの抵抗値を測定する。
続いて、制御部206は、記憶部205から抵抗値の基準値を読み出して、測定部203によって測定された抵抗値と基準値とを比較し、導体パターンの良否(断線や短絡)を検査する。次いで、制御部206は、図外の表示部に検査結果を表示させると共に、記憶部205に検査結果を記憶させる。
この場合、この基板検査装置200では、上記したように、プロービング対象のパッド103に各プローブピン11,12を確実にプロービングさせることが可能となっている。このため、この基板検査装置200では、基板100の検査を正確に行うことが可能となっている。
このように、このプローブユニット1および基板検査装置200では、第1アーム部51a(いずれかのアーム部)に形成した第1貫通孔H1fa(挿通部)にプローブピン12(いずれかのアーム部以外の他のアーム部に固定されているプローブピン)が挿通させられている。このようにプローブピン12を固定したことにより、各第1アーム部51および各第2アーム部52を、各々の先端部51tと各々の先端部52tとが平面視状態において互いに重なり合うように配置することができるため、プローブピン11,12の基端部側同士を十分に近接させることができる。この結果、このプローブユニット1および基板検査装置200によれば、プローブユニット1を正面視したときにプローブピン11,12の横幅(プローブピン11,12によって占有される幅方向のスペース)をプローブピン11,12の基端部側においても狭くすることができる。したがって、このプローブユニット1および基板検査装置200によれば、例えば、基板100の凹部101を構成する壁部104の近傍にパッド103が設けられている場合においても、壁部104にプローブピン11,12を接触させることなく、プローブピン11,12をパッド103に確実にプロービングさせることができる。
また、このプローブユニット1および基板検査装置200では、各第1アーム部51および各第2アーム部52における各々の基端部51r,52rから各々の先端部51t,52tに向かう各第1アーム部51および各第2アーム部52の各延在方向A1,A2の合成方向Bに沿って各先端部が並ぶようにプローブピン11,12が配置されている。このようにプローブピン11,12を配置することにより、プローブユニット1を正面視したときに横方向(合成方向Bに直交する方向)に沿って各先端部が並ぶようにプローブピン11,12を配置する構成と比較して、プローブユニット1を正面視したときのプローブピン11,12の横幅をさらに(例えば、プローブピン11,12のいずれかの直径(詳しくは、太い方のプローブピンと重なった状態における細い方のプローブピンの直径、同径のときは、いずれか一方の直径)に相当する分だけ)狭くすることができる。
また、このプローブユニット1および基板検査装置200では、各第1アーム部51の各先端部51t側および各基端部51r側、並びに各第2アーム部52の各先端部52t側および各基端部52r側に貫通孔Hがそれぞれ形成されて、各第1アーム部51の各中間部51iおよび各第2アーム部52の各中間部52iがリンクとして機能すると共に、各貫通孔Hの形成部位がジョイントとして機能する四節リンク機構が支持部21によって構成される。このため、このプローブユニット1および基板検査装置200によれば、プロービングの際に四節リンク機構によってプローブピン11,12における先端部の直動または近似的直動が許容される結果、プローブピン11,12の先端部がプロービング対象としてのパッド103の表面上を移動することによる傷の発生を確実に防止することができる。また、このプローブユニット1および基板検査装置200では、プローブピン12を挿通させる挿通部が第1貫通孔H1faで構成されている、つまり第1貫通孔H1faを挿通部として用いている。このため、このプローブユニット1および基板検査装置200によれば、挿通部としての孔や切り欠きを貫通孔Hとは別に形成する必要がないため、第1アーム部51や第2アーム部52の構成をその分簡略化することができる。
なお、プローブユニットおよび基板検査装置は、上記の構成に限定されない。例えば、上記のプローブユニット1では、第1アーム部51aに形成された挿通部としての第1貫通孔H1faにプローブピン12を挿通させているが、挿通部を設けるアーム部と、その挿通部に挿通させるプローブピンとの組み合わせや、各第1アーム部51および各第2アーム部52の上下方向(プロービング方向)の配置位置は任意に変更することができる。一例として、図13に示すように、上下方向において、第2アーム部52a,52bが第1アーム部51a,51bの間に位置するように配置し、プローブピン12を第1アーム部51aの貫通孔Hに挿通させる構成を採用することができる。また、他の一例として、図14に示すように、第1アーム部51aが第2アーム部52a,52bの間に位置し、第1アーム部51bが第2アーム部52bの上方に位置するように配置し、プローブピン11を第2アーム部52aの貫通孔Hおよび第2アーム部52bの貫通孔Hの双方に挿通させる構成を採用することもできる。
また、貫通孔Hを挿通部として用いる(挿通部を貫通孔Hで構成した)例について上記したが、貫通孔Hとは別に挿通部としての挿通孔や切り欠きを形成する構成を採用することもできる。
1 プローブユニット
11,12 プローブピン
21 支持部
31a,31b 第1板体
32a,32b 第2板体
33 保持部
41a,41b 第1本体部
42a,42b 第2本体部
51a,51b 第1アーム部
51ar,51br,52ar,52br 基端部
51ai,51bi,52ai,52bi 中間部
51at,51bt,52at,52bt 先端部
52a,52b 第2アーム部
100 基板
103 パッド
203 測定部
206 制御部
H1fa,H1fb,H2fa,H2fb 第1貫通孔
H2sa,H2sb,H1sa,H1sb 第2貫通孔

Claims (4)

  1. 一対のプローブピンと、当該各プローブピンを支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、
    前記支持部は、第1本体部および当該第1本体部から延出する帯状の第1のアーム部をそれぞれ有して前記各プローブピンをプロービング対象にプロービングさせる際のプロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置されると共に当該各第1のアーム部の先端部に一方の前記プローブピンが固定された一対の第1板体と、第2本体部および当該第2本体部から延出する帯状の第2のアーム部をそれぞれ有して前記プロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置されると共に当該各第2のアーム部の先端部に他方の前記プローブピンが固定された一対の第2板体と、前記各第1本体部および前記各第2本体部を保持する保持部とを備え、
    いずれかの前記アーム部には、前記プローブピンが挿通可能な挿通部が形成され、
    前記いずれかのアーム部以外の他の前記アーム部に固定されている前記プローブピンは、前記挿通部に挿通させられた状態で固定されているプローブユニット。
  2. 前記各プローブピンは、前記各アーム部における各々の基端部から各々の前記先端部に向かう当該各アーム部の各延在方向の合成方向に沿って前記各プローブピンの先端部が並ぶように配置されている請求項1記載のプローブユニット。
  3. 前記支持部は、前記プロービングの向きとは逆向きへの前記プローブピンの直動または近似的な直動を許容する四節リンク機構を構成し、
    前記各アーム部は、前記先端部側に第1貫通孔がそれぞれ形成されると共に前記基端部側に第2貫通孔がそれぞれ形成されて、前記各第1貫通孔と前記各第2貫通孔との間の各中間部が前記四節リンク機構を構成する各リンクとして機能すると共に、前記各第1貫通孔の形成部位および前記各第2貫通孔の形成部位が前記四節リンク機構を構成するジョイントとして機能するように構成され、
    前記挿通部は、前記第1貫通孔で構成されている請求項2記載のプローブユニット。
  4. 請求項1から3のいずれかに記載のプローブユニットと、当該プローブユニットの前記各プローブピンを介して入出力する電気信号に基づいて検査対象を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
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