JP7221026B2 - インピーダンス測定装置 - Google Patents
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Description
また、請求項2記載のインピーダンス測定装置は、請求項1記載のインピーダンス測定装置において、前記グランド層の電位は、当該インピーダンス測定装置の内部基準電位である。
2a 第1供給用コネクタ
2b 第2供給用コネクタ
3a 第1検出用コネクタ
3b 第2検出用コネクタ
4 信号源
6 電圧検出回路
6a,6b 入力部
6d 第1バッファ回路
6e 第2バッファ回路
9 回路基板
DUT 測定対象
GP グランド層
Im 測定用電流
P1 第1配線パターン
P2 第2配線パターン
PLc1 第1供給プローブ
PLc2 第2供給プローブ
PLp1 第1検出プローブ
PLp2 第2検出プローブ
V1 正弦波電圧信号
Vm 両端間電圧
WP1 第1配線層
WP2 第2配線層
Z インピーダンス
Claims (3)
- 信号源から測定対象に電圧を印加した際に当該測定対象に流れる測定用電流と、当該測定用電流が流れることによって当該測定対象の両端間に発生する両端間電圧とに基づいて当該測定対象のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置であって、
第1検出プローブを介して前記測定対象の一方の電極に接続される第1検出用コネクタ、第2検出プローブを介して前記測定対象の他方の電極に接続される第2検出用コネクタ、および一対の入力部間に入力される電圧に基づいて前記両端間電圧を検出する電圧検出回路が実装されると共に、前記第1検出用コネクタと前記一対の入力部のうちの一方の入力部とを接続する第1配線パターンおよび前記第2検出用コネクタと前記一対の入力部のうちの他方の入力部とを接続する第2配線パターンが形成された回路基板を備え、
前記回路基板は、グランド層、および当該グランド層を挟んで形成された一対の配線層を少なくとも含む多層配線基板で構成され、
前記第1配線パターンのうちの前記第1検出用コネクタの近傍部位と前記一方の入力部の近傍部位とを除く主たる部位は前記一対の配線層のうちの一方の配線層に形成され、
前記第2配線パターンのうちの前記第2検出用コネクタの近傍部位と前記他方の入力部の近傍部位とを除く主たる部位は、前記一対の配線層のうちの他方の配線層に形成されると共に、前記回路基板を平面視した状態において前記第1配線パターンの前記主たる部位の全体とほぼ重なる特定部位を含んでいるインピーダンス測定装置。 - 前記グランド層の電位は、当該インピーダンス測定装置の内部基準電位である請求項1記載のインピーダンス測定装置。
- 前記電圧検出回路は、前記一方の入力部に入力端子が接続された第1バッファ回路、および前記他方の入力部に入力端子が接続された第2バッファ回路を備えて構成され、
前記第1バッファ回路が前記一方の配線層に実装されると共に前記一方の入力部の前記近傍部位は当該一方の配線層に形成され、
前記第2バッファ回路が前記他方の配線層に実装されると共に前記他方の入力部の前記近傍部位は、当該他方の配線層に形成され、かつ前記回路基板を平面視した状態において前記第1配線パターンの前記一方の入力部の前記近傍部位とほぼ重なるように形成されている請求項1または2記載のインピーダンス測定装置。
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JP2020076602A JP2020076602A (ja) | 2020-05-21 |
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2018
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