JPH06148583A - 液晶表示パネルの表示欠陥検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 リークを発生している隣接するソースバスラ
インの検出のみならず、リーク発生位置の検出も可能に
なり、結果的に生産コストの大幅なコストダウンが可能
になる液晶表示パネルの表示欠陥検査方法を実現する。 【構成】 ソースバスライン間リークが発生しているソ
ースバスライン１０２、１０３を境にして、ソースバス
ライン１０２を含むソースバスライン１０２側のソース
バスラインにパルス信号を印加し、かつソースバスライ
ン１０３を含むソースバスライン１０３側のソースバス
ラインにこれよりも電位差の大きいパルス信号を印加し
てパネル表示面１２０を白黒階調表示させる。そうする
と、白黒階調がソースバスライン１０２、１０３に沿っ
て直線上に現れず、ノーマリホワイトの階調表示の黒レ
ベルが白レベルのソースバスライン１０２まで引き込ま
れて表示され、階調表示が崩れ、黒レベルに表示され始
める部分がリーク発生位置３０となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばスイッチング素
子として薄膜トランジスタ（以下ＴＦＴと称する）を備
えたアクティブマトリクス駆動方式の液晶表示パネルの
表示欠陥検査方法に関し、より詳しくは複数本のソース
バスラインと複数本のゲートバスラインが縦横に配設さ
れ、両バスラインの交差部にＴＦＴが両バスラインに接
続された状態で設けられたＴＦＴ側基板と、対向側基板
とを貼り合せ、表示媒体としての液晶を注入した後所定
サイズに裁断して作製される液晶表示パネルを、駆動用
ＬＩＳチップ又は駆動用ＬＩＳ付きフィルムキャリアを
実装する前に点灯させて、リーク（電流リーク）を発生
している隣接するソースバスラインおよびそのリーク発
生位置を特定（検査）する液晶表示パネルの表示欠陥検
査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルとして、最近ではスイッ
チング素子としてＴＦＴを備えたアクティブマトリクス
方式の駆動方式をとるＴＦＴ液晶表示パネルが多用され
る傾向にある。表示特性が優れている等の理由による。

【０００３】この種のＴＦＴ液晶表示パネルは、ガラス
基板上に複数本のソースバスラインと複数本のゲートバ
スラインを縦横に配設し、両バスラインの交差部にＴＦ
Ｔを両バスラインに接続した状態で設けたＴＦＴ側基板
と、対向電極が形成された対向側基板とを貼り合わせ、
続いて表示媒体としての液晶を両基板間に注入し、しか
る後、貼り合わされた状態にあるＴＦＴ側基板および対
向側基板を裁断装置で所定サイズに裁断して作製され
る。即ち、貼り合わせ工程では、マザー基板同士が貼り
合わされる。

【０００４】このようにして作製されたＴＦＴ液晶表示
パネルは、後工程で各種の検査が行われ、この検査に合
格すると実装ラインに搬送され、ここで駆動用ＬＩＳチ
ップ或は駆動用ＬＩＳチップ付きフィルムキャリアが実
装される。一方、不合格の場合は所定の修正作業が行わ
れ、再度検査を行って合格した後に実装ラインに搬送さ
れる。

【０００５】実装ラインに搬送する前の検査として、隣
接するソースバスライン間にリークが発生しているか否
かを判定する検査がある。従来、このリーク検査は、隣
接するソースバスライン間の抵抗値を順次測定して行っ
ていた。即ち、隣接するソースバスライン間にリークが
発生していると、抵抗値が所定レベルよりも低くなるの
で、これによりリークの有無を特定できる。

【０００６】このようなリークを放置すると、ＴＦＴ液
晶表示パネルを表示点灯した場合に、リーク発生部分が
表示欠陥となるので、所定の修正作業を行って、リーク
に起因する表示欠陥を解消していた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにソースバスライン間の抵抗値を測定してリーク検
査を行う、いわば電気的な検査方法では、リークを発生
している隣接するソースバスラインは特定できるもの
の、リークの発生位置までは特定することができない。

【０００８】このため、後の修正作業が難しく、修正作
業に時間を要するため生産効率の向上を図る上でネック
になっていた。また、場合によってはリークに起因する
表示欠陥が完全に修正されないまま実装ラインに搬送さ
れるおそれがあり、歩留りの低下を来していた。このよ
うな理由により、従来の検査方法では、ＴＦＴ液晶表示
パネルの生産コストが高い付くという欠点があった。

【０００９】本発明はこのような従来技術の課題を解決
するものであり、リークを発生している隣接するソース
バスラインの検出のみならず、リーク発生位置の検出も
可能になり、結果的に生産コストの大幅なコストダウン
が可能になる液晶表示パネルの表示欠陥検査方法を提供
することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示パネル
の表示欠陥検査方法は、複数本の信号線と複数本の走査
線が縦横に配設され、該信号線と該走査線が交差する部
分にスイッチが設けられたスイッチ側基板と、対向側基
板とを貼り合せ、液晶を注入した後所定サイズに裁断し
て作製される液晶表示パネルを、駆動用ＬＩＳチップ又
は駆動用ＬＩＳ付きフィルムキャリアを実装する前に検
査する液晶表示パネルの表示欠陥検査方法において、隣
接する該信号線にプローブをコンタクトして、該信号線
にそれぞれ異なる電位のパルス信号を順次印加し、且つ
該走査線にプローブをコンタクトして、該走査線に該信
号線とは別にパルスを印加して該スイッチをＯＮ、ＯＦ
Ｆし、電位差を与えた部分を白黒階調表示させる工程
と、白黒階調表示された部分を光学的に検査し、隣接す
る該信号線に存在するリーク位置を特定する工程とを含
んでおり、そのことにより上記目的が達成される。

【００１１】また、本発明の液晶表示パネルの表示欠陥
検査方法は、複数本の信号線と複数本の走査線が縦横に
配設され、該信号線と該走査線が交差する部分にスイッ
チが設けられたスイッチ側基板と、対向側基板とを貼り
合せ、液晶を注入した後所定サイズに裁断して作製され
る液晶表示パネルを、駆動用ＬＩＳチップ又は駆動用Ｌ
ＩＳ付きフィルムキャリアを実装する前に検査する液晶
表示パネルの表示欠陥検査方法において、隣接する該信
号線間の抵抗を測定し、リークが発生している隣接する
該信号線を特定する工程と、該信号線にプローブをコン
タクトして、リークが発生している隣接する該信号線を
境にして、異なる電位のパルスを印加し、且つ該走査線
にプローブをコンタクトして、該走査線に該信号線とは
別にパルスを印加して該スイッチをＯＮ、ＯＦＦし、電
位差を与えた部分を白黒階調表示させる工程と、白黒階
調表示された部分を光学的に検査し、隣接する該信号線
に存在するリーク位置を特定する工程とを含んでおり、
そのことにより上記目的が達成される。

【００１２】隣接する３本以上の前記信号線に同じ電位
のパルスを与えて前記白黒階調表示工程を行えば、カラ
ー液晶表示パネルの表示欠陥検査が行える。

【００１３】

【作用】隣接する信号線間の抵抗を測定すれば、隣接す
る信号線間にリークが発生しているか否かを特定でき
る。

【００１４】続いて、リークが発生している隣接する信
号線に異なる電位差のパルスを印加し、走査線に信号線
とは別にパルスを印加してスイッチをＯＮ、ＯＦＦする
と、電位差を与えた部分で画面が白黒の階調表示にな
る。

【００１５】リークが存在すると、この階調表示が信号
線に沿って直線状に現れず、ノーマイホワイトで白表示
の部分に黒表示が途中から現れ、画面が乱れるので、例
えばＣＣＤカメラや光学顕微等デバイスを用いてこの階
調表示部分を光学的に検査すれば、リークを発生してい
る信号線およびその位置を特定できる。

【００１６】

【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。

【００１７】図１は本発明液晶表示パネルの表示欠陥検
査方法が適用されるＴＦＴ液晶表示パネル（以下被検査
用パネルと称する）を示す。この被検査用パネル１は、
ＴＦＴ側基板１０と対向側基板２０とを貼り合わせて作
製される。両基板１０、２０間には表示媒体としての液
晶が注入されている。なお、ＴＦＴ側基板１０の縦横寸
法は対向側基板２０の縦横寸法よりも大きくなってい
る。

【００１８】ＴＦＴ側基板１０の表面には、複数本のゲ
ートバスライン１１０、１１０…が図上横方向に配設さ
れ、これと直交する縦方向に複数本のソースバスライン
１００、１００…が配設されている。ゲートバスライン
１１０、１１０…およびソースバスライン１００、１０
０…の端部は対向側基板２０から突出している。

【００１９】ゲートバスライン１１０とソースバスライ
ン１００とが交差する部分には、図示しないＴＦＴが設
けられている。ＴＦＴはゲートバスライン１１０および
ソースバスライン１００にそれぞれ接続されている。更
に、ＴＦＴには図示しない絵素電極が接続されている。

【００２０】このような構成の被検査用パネル１は、具
体的には以下の手順で作製される。まず、表面にゲート
バスライン１１０、１１０…、ソースバスライン１０
０、１００…、ＴＦＴおよび絵素電極等が形成されたガ
ラス基板と、対向面側に対向電極等が形成されたガラス
基板とを貼り合わせ、続いて両ガラス基板間に液晶を注
入する。続いて、貼り合わされた状態にある両ガラス基
板を裁断装置で所定サイズに裁断する。これにより、Ｔ
ＦＴ側基板１０と対向側基板２０との間に液晶が注入さ
れた被検査用パネル１が作製される。

【００２１】このようにして作製された被検査用パネル
１は、検査工程に搬送され、ここでソースバスライン１
００のリーク検査が行われる。以下にこの検査方法を説
明する。

【００２２】まず、上記従来例同様の抵抗検査を行い、
ソースバスライン間のリークが発生している隣接するソ
ースバスライン１００、１００を検出する。図示例で
は、隣接するソースバスライン１０２、１０３間にリー
クが発生している。

【００２３】続いて、ソースバスライン１０２、１０３
を含むソースバスライン１００、１００…にプローブを
接触させ、プローブに接続された電源回路（いずれも図
示せず）を介してソースバスライン１００、１００…に
パルス信号を印加する。

【００２４】ここで、ソースバスライン間リークが発生
しているソースバスライン１０２、１０３を境にして、
その両側に位置するソースバスライン１００、１００…
に印加されるパルス信号の電位は異なってる。即ち、図
示例では、ソースバスライン１０２およびソースバスラ
イン１０２側に位置するソースバスライン１００、１０
０…に±４．０Ｖのパルスが印加され、ソースバスライ
ン１０３およびソースバスライン１０３側のソースバス
ライン１００、１００…に、例えば±５．０Ｖのパルス
が印加されるようになっている。

【００２５】このとき、全てのゲートバスライン１１
０、１１０にも同様にして、ソースバスライン１００、
１００に印加されたパルス信号とは異なる走査用のパル
スを印加する。これにより、被検査用パネル１に設けら
れたＴＦＴをオン、オフさせ、被検査用パネル１をソー
スバスライン１０２、１０３を境にして白黒の階調表示
させる。

【００２６】図２は被検査用パネル１をこのような白黒
階調表示させた場合の表示結果を示す。また、図３は隣
接するソースバスライン１０２、１０３間にリークが発
生していない被検査用パネル１を、ソースバスライン１
０２、１０３を境にして同様の電位差を与えて白黒階調
表示させた場合の表示結果を示す。

【００２７】図２および図３から、まず電位差を与えて
白黒階調表示させると、パネル表示面１２０には、高電
位の部分が黒表示され、低電位の部分が白表示されるこ
とがわかる。そして、ソースバスライン１０２、１０３
間にリークが発生していない被検査用パネル１では、ソ
ースバスライン１０２、１０３で白黒階調表示がソース
バスラインに沿って規則正しく現れて表示されている。
即ち、ソースバスライン１０２の位置に対応する画面部
では、ソースバスライン１０２の全長にわたって白レベ
ル表示され、ソースバスライン１０３の位置に対応する
画面部では、ソースバスライン１０３の全長にわたって
黒レベル表示されている。

【００２８】これに対して、図２では、白黒階調がソー
スバスライン１０２、１０３に沿って直線上に現れず、
ノーマリホワイトの階調表示の黒レベルが白レベルのソ
ースバスライン１０２まで引き込まれて表示され、階調
表示が崩れている。即ち、本来全長にわたって白レベル
であるべきソースバスライン１０２の途中から黒レベル
が現れて階調表示が崩れている。この階調表示の崩れ
は、リークによって本来の信号電圧が印加されていない
ことに起因する。従って、黒レベルに表示され始める部
分がリーク発生位置３０となる。

【００２９】それ故、このような白黒階調表示が行われ
る画面をＣＣＤカメラや光学顕微鏡等の光学的デバイス
を用いて検査すれば、リーク位置３０を正確に検出する
ことが可能になる。検出されたリーク位置３０には、マ
ーキングが施され、或は被検査用パネル１の所定の基準
位置に対するＸ−Ｙ直交座標軸上における座標位置とし
て記憶手段に格納され、後工程の修正工程でこのような
情報に従ってリーク、即ちリークに起因する表示欠陥が
迅速、確実に修正される。

【００３０】リークに起因する表示欠陥が修正された被
検査用パネル１は、その後、実装工程に搬送され、ここ
で駆動用ＬＩＳチップ又は駆動用ＬＩＳ付きフィルムキ
ャリアが実装される。

【００３１】なお、上記実施例では、抵抗検査を行って
ソースバスライン間リークが発生している隣接するソー
スバスラインを特定した後に、白黒階調表示させる工程
を行うことにしたが、抵抗検査を行わず、直接白黒階調
表示を行うことにしても構わない。この場合は、上記同
様のプローブを利用して、隣接するソースバスライン間
に順次直接異なる電位差のパルス信号を印加し、かつＴ
ＦＴを上記同様にＯＮ、ＯＦＦして白黒階調表示を行わ
せればよい。

【００３２】また、ＴＦＴ液晶表示パネルがカラー表示
パネルである場合は、白黒階調表示させるために最低で
もソースバスライン３本以上に同じパルス（ソース電
圧）を印加する必要がある。

【００３３】また、上記実施例では、スイッチング素子
としてＴＦＴを用いたアクティブマトリクス駆動方式の
ＴＦＴ液晶表示パネルに本発明を適用する場合について
説明したが、他のスイッチング素子を用いた液晶表示パ
ネルについても同様に適用することが可能である。

【００３４】

【発明の効果】以上の本発明液晶表示パネルの表示欠陥
検査方法は、液晶表示パネルを白黒階調表示させるの
で、隣接する信号線間にリークが発生している場合は、
この部分でノーマリホワイトの階調表示の黒レベルが白
レベルの信号線まで引き込まれて表示され、階調表示が
崩れるので、ＣＣＤカメラや光学顕微鏡等の光学的デバ
イスを用いて光学的な検査を行うことより、リークが発
生している隣接する信号線の検出のみならず、リーク位
置の検出も可能になる。

【００３５】従って、後の修正作業を迅速、確実に行う
ことが可能になり、また、リークに起因する表示欠陥が
完全に修正されないまま実装ラインに搬送されることが
ないので、歩留りの向上および生産コストの大幅な低減
が可能になる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明方法が適用されるＴＦＴ液晶表示パネル
の部分平面図。

【図２】ソースバスライン間にリークがある場合の白黒
階調表示状態を示すパネル表示図。

【図３】ソースバスライン間にリークがない場合の白黒
階調表示状態を示すパネル表示図。

【符号の説明】

１ 被検査用パネル １０ ＴＦＴ側基板 ２０ 対向側基板 ３０ リーク発生位置 １００ ソースバスライン １０２、１０３ ソースバスライン間リークが発生して
いる隣接するソースバスライン １１０ ゲートバスライン １２０ パネル表示面

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数本の信号線と複数本の走査線が縦横
   に配設され、該信号線と該走査線が交差する部分にスイ
   ッチが設けられたスイッチ側基板と、対向側基板とを貼
   り合せ、液晶を注入した後所定サイズに裁断して作製さ
   れる液晶表示パネルを、駆動用ＬＩＳチップ又は駆動用
   ＬＩＳ付きフィルムキャリアを実装する前に検査する液
   晶表示パネルの表示欠陥検査方法において、 隣接する該信号線にプローブをコンタクトして、該信号
   線にそれぞれ異なる電位のパルス信号を順次印加し、且
   つ該走査線にプローブをコンタクトして、該走査線に該
   信号線とは別にパルスを印加して該スイッチをＯＮ、Ｏ
   ＦＦし、電位差を与えた部分を白黒階調表示させる工程
   と、 白黒階調表示された部分を光学的に検査し、隣接する該
   信号線に存在するリーク位置を特定する工程とを含む液
   晶表示パネルの表示欠陥検査方法。
2. 【請求項２】 複数本の信号線と複数本の走査線が縦横
   に配設され、該信号線と該走査線が交差する部分にスイ
   ッチが設けられたスイッチ側基板と、対向側基板とを貼
   り合せ、液晶を注入した後所定サイズに裁断して作製さ
   れる液晶表示パネルを、駆動用ＬＩＳチップ又は駆動用
   ＬＩＳ付きフィルムキャリアを実装する前に検査する液
   晶表示パネルの表示欠陥検査方法において、 隣接する該信号線間の抵抗を測定し、リークが発生して
   いる隣接する該信号線を特定する工程と、 該信号線にプローブをコンタクトして、リークが発生し
   ている隣接する該信号線を境にして、異なる電位のパル
   スを印加し、且つ該走査線にプローブをコンタクトし
   て、該走査線に該信号線とは別にパルスを印加して該ス
   イッチをＯＮ、ＯＦＦし、電位差を与えた部分を白黒階
   調表示させる工程と、 白黒階調表示された部分を光学的に検査し、隣接する該
   信号線に存在するリーク位置を特定する工程とを含む液
   晶表示パネルの表示欠陥検査方法。
3. 【請求項３】 隣接する３本以上の前記信号線に同じ電
   位のパルスを与えて前記白黒階調表示工程を行う請求項
   １又は請求項２記載の液晶表示パネルの表示欠陥検査方
   法。