JPH0763809A - 短絡欠陥検査修正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電極パターン間の短絡欠陥の位置を迅速に自
動的にかつ確実に検出することができる短絡欠陥検査修
正装置を提供する。 【構成】 コンピュータ４は、エアシリンダ２１および
ＸＹテーブル２によって１対の触針２５，２５を隣接す
る電極パターンＡ，Ｂに接触させ、その長手方向に移動
させるとともに、抵抗計１５によって触針２５，２５間
の電気抵抗値Ｒを一定のサンプリングタイムでサンプリ
ングし記憶する。そして、電気抵抗値Ｒが最小になった
位置をもって短絡欠陥Ｆの位置と判別する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は短絡欠陥検査修正装置
に関し、特に、被検査対象物の隣接する電極パターン間
に生じる短絡欠陥を検査して修正する短絡欠陥検査修正
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】最近では、各種電子機器に液晶表示パネ
ルが多く用いられつつある。しかも、液晶表示パネルに
表示される情報量が多くなってきており、表示密度の高
い液晶表示パネルが要求されている。表示密度を高める
ためには、液晶表示パネルの電極パターンを細くし、か
つ隣接するパターン間の間隔を狭くする必要があるが、
パターン間の間隔を狭めるとパターン間の短絡欠陥が生
じやすくなる。当初は、液晶パネル基板（液晶表示パネ
ルの部品であって、電極パターンが形成されたガラス基
板をいう。）をすべて検査し良品のみを使用していた
が、歩留りが低かった。

【０００３】そこで、不良品の短絡欠陥をレーザ光で焼
き切ることにより、不良品を良品に修正する方法が提案
された。この方法にあっては、まず、短絡欠陥によって
短絡されている一対の電極パターンを検出し、次いでそ
の短絡欠陥の概略位置（パターン端からの概略距離）を
検出し、レーザ光の照射点を短絡欠陥の概略位置まで自
動的に移動させる。次いで、レーザ光の照射点を短絡欠
陥に正確に合わせ、レーザ光を照射する。

【０００４】ところで、このような方法において、レー
ザ光の照射点を短絡欠陥に正確に合わせる方法には以下
に示す３つの方法があった。

【０００５】 顕微鏡で観察しながらレーザ光の照射
点を短絡欠陥に手動で合わせる。 ＣＣＤカメラおよび画像処理装置を用いて画像情報
の取込み、処理を繰返しながら短絡欠陥の位置を特定
し、レーザ光の照射点を短絡欠陥に自動的に合わせる。

【０００６】 パターン間のガラス基板に検査用のレ
ーザ光を照射し、その反射光の変化から短絡欠陥の位置
を特定し、レーザ光の照射点を短絡欠陥に自動的に合わ
せる（特願平４−２３１８５３）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、の方
法にあっては、目視による手作業であるため処理時間が
長くかかり、多数の人手を要するという問題があった。

【０００８】また、の方法にあっては、ＣＣＤカメラ
からの画像を１フレームずつ２値化処理し、短絡欠陥を
判別しながら、レーザ光の照射点を短絡欠陥に合わせて
いくので、処理時間が比較的長くかかるという問題があ
った。また、たとえばエッチング不良により生じた短絡
欠陥のように短絡欠陥の厚さが非常に薄い場合は短絡欠
陥の光の透過率が高いため、ガラス基板から短絡欠陥を
判別することができなかった。

【０００９】また、の方法にあっては、反射光量の変
化のみを判別しているため処理時間は短いが、上述のよ
うに短絡欠陥が非常に薄い場合は同様の理由で短絡欠陥
を検出することができなかった。

【００１０】それゆえに、この発明の主たる目的は、電
極パターン間の短絡欠陥の位置を迅速かつ自動的に検出
することができ、しかも非常に薄い短絡欠陥をも確実に
検出することができる短絡欠陥検査修正装置を提供する
ことである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明は、被検査対象
物の隣接する電極パターン間に生じる短絡欠陥を検査し
て修正する短絡欠陥検査修正装置において、少なくとも
一対の触針と、レーザ光を出射するレーザ光源と、前記
一対の触針の各々を前記隣接する電極パターンに接触さ
せて該電極パターンの長手方向に移動させ、前記短絡欠
陥の位置を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段
によって検出された短絡欠陥の位置に前記レーザ光源か
らのレーザ光を照射して該短絡欠陥を修正する修正手段
と、前記隣接する電極パターンに接触させた前記一対の
触針の検出出力に基づいて前記短絡欠陥が修正されたこ
とを検査する検査手段とを備えたことを特徴としてい
る。

【００１２】また、前記一対の触針の前記電極パターン
に対する触圧を一定にするための合焦制御手段を備えて
もよい。

【００１３】

【作用】この発明に係る短絡欠陥検査修正装置にあって
は、一対の触針の各々を隣接する電極パターンに接触さ
せて電極パターンの長手方向に移動させ、たとえば触針
間の電気抵抗値が最小になる位置を検出することによっ
て短絡欠陥の位置を検出する。したがって、目視やＣＣ
Ｄカメラなどによる従来の方法では検出することができ
なかった微細な短絡欠陥でも確実にかつ迅速に検出する
ことができる。

【００１４】また、このようにして検出した位置にレー
ザ光を照射して短絡欠陥を修正した後、電極パターンに
接触させた一対の触針の検出出力に基づいてその短絡欠
陥が修正されたことを検査する。したがって、短絡欠陥
の位置の検出から修正、修正の検査に至るまで自動的に
行なうことができる。

【００１５】また、合焦制御手段によって触針の触圧を
一定にすれば、電極パターンの損傷を防止することがで
きる他、電気抵抗値を高精度で測定することができ、短
絡欠陥の位置を高精度で検出することができる。

【００１６】

【実施例】図１はこの発明の一実施例による短絡欠陥検
査修正装置の構成を示す正面図を含むブロック図、図２
はそのプローブユニット１４の構成を示す正面図を含む
ブロック図である。図１および図２において、この短絡
欠陥検査修正装置は、水平方向に移動するＸＹテーブル
２と、垂直方向に移動するＺテーブル５とを含む。被検
査対象物である液晶パネル基板１は、ＸＹテーブル２上
に載置され、ＸＹテーブル２は、コンピュータ４の指令
に応じ、ＸＹテーブルドライバ３により駆動される。Ｚ
テーブル５は、オートフォーカスユニット６、オートフ
ォーカス回路７およびＺテーブルドライバ８により、液
晶パネル基板１との距離が一定になるように制御され
る。オートフォーカスユニット６は、ここでは図示しな
いが、レーザ光を液晶パネル基板１上に照射し、その反
射光から焦点距離を検出する機能を有する。

【００１７】Ｚテーブル５には、オートフォーカスユニ
ット６の他に、液晶パネル基板１の短絡欠陥Ｆを修正す
るためのＹＡＧレーザ９と、液晶パネル基板１の表面を
拡大して観察するためのＣＣＤカメラ１０と、その光学
系である顕微鏡筒１１、落射照明ユニット１２および対
物レンズ１３と、プローブユニット１４とが搭載されて
いる。

【００１８】プローブユニット１４は、図２に示すよう
に、エアシリンダ２１、スライダ２２、Ｌ字金具２３、
板ばね２４および触針２５を含む。エアシリンダ２１
は、その可動軸２１ｂがＸＹテーブル２の表面に向かっ
て垂直に伸縮するようにして設けられており、そのシリ
ンダ部２１ａが図示しない固定部材によってＺテーブル
５に固定されている。スライダ２２は部材２２ａ，２２
ｂ，２２ｃ，２２ｄで構成されており、部材２２ｃはエ
アシリンダ２１の可動軸２１ｂの先端に固定され、部材
２２ａ，２２ｂはＸＹテーブル２の表面に対して水平に
スライドし、部材２２ｄはＸＹテーブル２の表面に対し
て垂直にスライドする。したがって、部材２２ａ，２２
ｂ，２２ｄを微小距離スライドさせることにより、部材
２２ｃに対する部材２２ｄの位置をＸＹＺの３方向に微
小距離移動させることができる。Ｌ字金具２３は、その
内側に折り込まれている一方面２３ｂがＸＹテーブル２
の表面に対して水平になるようにして設けられており、
その内側に折り込まれている他方面２３ａの端部がスラ
イダ２２の一方部材２２ｄに固定されている。

【００１９】板ばね２４は、Ｌ字金具２３の水平面２３
ｂ上に設けられており、その基端部はねじ２６によって
水平面２３ｂに固定され、その先端部近傍の下面は水平
面２３ｂの裏面から螺合されたねじ２７の先端に当接
し、その先端部は水平面２３ｂ外に突出している。触針
２５は、その先端を斜め下方に向けて設けられており、
その基端部が固定金具２８によって板ばね２４の先端部
に固定されている。同一形状のプローブユニット１４
が、これに平行に設けられ、これら２個で一対をなして
いる。プローブユニット１４は２対合計４個設けられて
おり、一対はＸ方向用として用いられ、もう一対はＹ方
向用として用いられる。

【００２０】また、板ばね２４および触針２５は、Ｌ字
金具２３と電気的に絶縁されており、板ばね２４の基端
部に設けられた電気端子２９が抵抗計１５を介してコン
ピュータ４に接続されている。抵抗計１５は、一対の触
針２５，２５間の電気抵抗値Ｒを測定し、それに応じた
電気信号をコンピュータ４に出力する。また、コンピュ
ータ４は、所定のタイミングでエアシリンダ２１を駆動
させて触針２５の先端を液晶パネル基板１の隣接する電
極パターンＡ，Ｂに接触させる。触針２５の位置はスラ
イダ２２により微調整され、触針２５の電極パターン
Ａ，Ｂへの初期接触位置はねじ２７により調整され、ま
た、触圧は板ばね２４のたわみ量により決まる。

【００２１】図３はコンピュータ４の処理手順を示すフ
ローチャートである。以下、このフローチャートに沿っ
てこの短絡欠陥検査修正装置の動作を説明する。コンピ
ュータ４は、まずステップ（図ではＳと略記する。）Ｓ
１において、外部装置１６（図１）から短絡欠陥Ｆの概
略位置に関するデータを読込み、そのデータに基づいて
ＸＹテーブル２を移動させ、触針２５を短絡欠陥Ｆの概
略位置の上方に位置させる。

【００２２】次いでステップＳ２においてコンピュータ
４は、プローブユニット１４のエアシリンダ２１を駆動
させ、図４（ａ）に示すように、短絡欠陥Ｆにより短絡
されている電極パターンＡ，Ｂに触針２５，２５を接触
させる。次いでステップＳ３においてコンピュータ４
は、ＸＹテーブル２を移動させることにより、触針２
５，２５を電極パターンＡ，Ｂの長手方向（図中矢印イ
の方向）に所定の距離Ｄだけ移動させる。この間プロー
ブユニット１４と液晶パネル基板１の間隔は、オートフ
ォーカス機構によって一定に保たれるので、触針２５，
２５の電極パターンＡ，Ｂに対する触圧は、電極パター
ンＡ，Ｂを傷つけない軽微な程度に一定に保たれる。

【００２３】また、ステップＳ４においてコンピュータ
４は、触針２５，２５が電極パターンＡ，Ｂ上を移動し
ている間抵抗計１５の出力信号を一定のサンプリングタ
イムでサンプリングし、記憶する。抵抗計１５の出力信
号、すなわち触針２５，２５間の電気抵抗値Ｒは、図４
（ｂ）に示すように、触針２５，２５が短絡欠陥Ｆの両
側を通過する際に最も小さくなる。コンピュータ４は、
ステップＳ５において、電気抵抗値Ｒが最小になった位
置を短絡欠陥Ｆの位置と判別し、その位置ｘを算出す
る。

【００２４】触針２５，２５を電極パターンＡ，Ｂから
離間させた後コンピュータ４は、ステップＳ６において
ＸＹテーブル２を移動させＹＡＧレーザ９の照射点に短
絡欠陥Ｆを位置させ、ステップＳ７においてＹＡＧレー
ザ９からレーザ光を出射させて短絡欠陥Ｆを焼き切る。

【００２５】次いでステップＳ８においてコンピュータ
４は、再度触針２５，２５を電極パターンＡ，Ｂに接触
させて電気抵抗値Ｒを読取り、短絡欠陥Ｆが完全に除去
されたか否かを判別する。短絡欠陥Ｆの除去が不十分で
あると判別した場合は上述の作業を繰返す。また、短絡
欠陥Ｆの除去が十分であると判別した場合は、その短絡
欠陥Ｆについての修正作業を終了し、次の短絡欠陥Ｆま
たは次の液晶パネル基板１に上述の作業を繰返す。

【００２６】

【発明の効果】以上のように、この発明にあっては、一
対の触針の各々を隣接する電極パターンに接触させて移
動させ、たとえば触針間の電気抵抗値が最小になる位置
を検出することによって短絡欠陥の位置を検出するの
で、目視やＣＣＤカメラなどによる従来の方法では検出
することができなかった微細な短絡欠陥でも確実にかつ
迅速に検出することができる。

【００２７】また、検出した位置にレーザ光を照射して
短絡欠陥を修正し、一対の触針により修正結果を検査す
るので、短絡欠陥の位置検出からその修正、修正の検査
に至るまで自動的に行なうことができる。

【００２８】また、合焦制御手段によって触針の電極パ
ターンに対する触圧を一定にすれば、電極パターンの損
傷を防止することができる他、電気抵抗値を精度よく測
定することができ、短絡欠陥の位置を高精度で検出する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例による短絡欠陥検査修正装
置の構成を示す、正面図を含むブロック図である。

【図２】図１に示した短絡欠陥検査修正装置のプローブ
ユニットの構成を示す、正面図を含むブロック図であ
る。

【図３】図１に示した短絡欠陥検査修正装置のコンピュ
ータの処理手順を示すフローチャートである。

【図４】短絡欠陥の位置を検出する方法を説明するため
の図である。

【符号の説明】

１ 液晶パネル基板 ２ ＸＹテーブル ４ コンピュータ ５ Ｚテーブル ６ オートフォーカスユニット ９ ＹＡＧレーザ １４ プローブユニット １５ 抵抗計 ２１ エアシリンダ ２５ 触針 Ａ，Ｂ 電極パターン Ｆ 短絡欠陥

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査対象物の隣接する電極パターン間
   に生じる短絡欠陥を検査して修正する短絡欠陥検査修正
   装置において、 少なくとも一対の触針と、 レーザ光を出射するレーザ光源と、 前記一対の触針の各々を前記隣接する電極パターンに接
   触させて該電極パターンの長手方向に移動させ、前記短
   絡欠陥の位置を検出する位置検出手段と、 前記位置検出手段によって検出された短絡欠陥の位置に
   前記レーザ光源からのレーザ光を照射して該短絡欠陥を
   修正する修正手段と、 前記隣接する電極パターンに接触させた前記一対の触針
   の検出出力に基づいて前記短絡欠陥が修正されたことを
   検査する検査手段とを備えたことを特徴とする、短絡欠
   陥検査修正装置。
2. 【請求項２】 前記一対の触針の前記電極パターンに対
   する触圧を一定にするための合焦制御手段を備えたこと
   を特徴とする、請求項１に記載の短絡欠陥検査修正装
   置。