JP3273971B2 - 液晶ディスプレイ基板の検査装置 - Google Patents

液晶ディスプレイ基板の検査装置

Info

Publication number
JP3273971B2
JP3273971B2 JP24236992A JP24236992A JP3273971B2 JP 3273971 B2 JP3273971 B2 JP 3273971B2 JP 24236992 A JP24236992 A JP 24236992A JP 24236992 A JP24236992 A JP 24236992A JP 3273971 B2 JP3273971 B2 JP 3273971B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electro
liquid crystal
optical element
light
crystal display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP24236992A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05256793A (ja
Inventor
ジェイ・ヘンリィ フランソア
Original Assignee
フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
石川島播磨重工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド, 石川島播磨重工業株式会社 filed Critical フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
Publication of JPH05256793A publication Critical patent/JPH05256793A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3273971B2 publication Critical patent/JP3273971B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネル等に用
いられる液晶ディスプレイ基板の欠陥を検査するための
検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶テレビ等に用いられる高画素数の液
晶表示パネルとして、アクティブマトリックス方式とい
われるものが実用化されている。これは、画素のそれぞ
れに薄膜トランジスタによるスイッチ回路を設けた構造
のもので、画素数が２５〜５０万個に及ぶものから１０
０万個以上のものも登場している。
【０００３】従来、そのようなアクティブマトリックス
方式の液晶表示パネルを製造するには、まず、ガラス等
の基板上に、各画素に対応する画素電極を行列状に配置
するとともに、それら各画素電極に共通するゲート配線
およびソース配線と、各画素電極に対応する薄膜トラン
ジスタとを形成することでアクティブマトリックス液晶
ディスプレイ基板(以下では液晶基板と略称する)を製造
し、次いで、その液晶基板上にスペーサを介して透明基
板を対向配置し、それら液晶基板と透明基板との間に形
成された空隙に液晶を封入する、という手法が採用され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な、多数の画素電極とそれに対応した配線および薄膜ト
ランジスタが形成される液晶基板は、ダストを極度に少
なく調整したクリーンルームにおいて種々の成膜プロセ
スを経て製造されるのであるが、高画素数の液晶基板に
おいては各画素の大きさや配線の幅が極端に小さいもの
であるので、製造雰囲気中に含まれるわずかなマイクロ
ダストの存在が画素電極やゲート配線やソース配線など
の断線欠陥や短絡欠陥に直結してしまうものである。そ
して、それらの欠陥は一つの液晶基板に対して数個〜１
０個程度までは許容されるが、現状の製造技術では特に
高画素数の液晶基板を製造する場合にあっては欠陥数を
許容限度以下に少なくすることが極めて困難であって、
不良率が著しく高いことが実状である。
【０００５】しかも、上記のような液晶基板を製造する
場合、製造された液晶基板の良否を検査することが必要
であるが、従来においては液晶基板の製造工程において
その液晶基板自体の良否を検査する有効な手段がなく、
このため、液晶表示パネルとして完成させた後にはじめ
てその液晶表示パネルに通電して目視により各画素が実
際に作動するかどうかを検査するようにしている。しか
しながら、そのようなことでは、検査により欠陥が発見
されても液晶基板に対して補修等を行うことは困難であ
って製品を廃棄処分する他なく、このことがアクティブ
マトリックス方式の液晶表示パネルの歩留り向上と製造
コスト低減を阻む一因となっている。
【０００６】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、液晶表示パネル等に用いられる液晶基板の欠陥をそ
れ自体で検査し得る有効な装置を提供することを目的と
している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、表面にゲート
配線とソース配線と画素電極と薄膜トランジスタとが形
成されてなる液晶ディスプレイ基板の欠陥を検査するた
めの装置であって、前記液晶ディスプレイ基板の表面側
に、電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学素
子を微小間隔をおいて対向配置し、その電気光学素子と
前記液晶ディスプレイ基板の各画素電極との間に電源に
より電圧を印加するとともに、前記電気光学素子の背面
に対して光源から光を照射してその反射光を受光器によ
り受光して観察するように構成され、かつ、前記電気光
学素子の背面側に、前記光源から発せられた光を電気光
学素子に向けて反射するとともに電気光学素子からの反
射光を前記受光器に向けて反射するための反射鏡を、こ
の電気光学素子の背面に沿って移動自在に設けてなるこ
とを特徴としている。
【０００８】
【作用】電気光学素子は電場を印加すると光学的性質が
変化するものであって、この電気光学素子を検査対象の
液晶基板に対して微小距離おいて対向配置してその液晶
基板上の画素電極と電気光学素子との間に電源により通
電すると、液晶基板における欠陥の有無や状況に応じて
各画素電極が発生させる電場が変化し、それに伴って電
気光学素子の光学的性質が種々に変化することになる。
そして、電気光学素子に対して光源より光を照射してそ
の反射光を受光器により受光し、その反射光の状態を観
察することによって電気光学素子の光学的性質の変化の
状態を検知することができ、それによって、液晶基板の
欠陥の有無や状況を知り得る。
【０００９】そして、本発明の装置では、検査に際して
電気光学素子、光源、受光器はいずれも定位値に固定さ
れるが、反射鏡を電気光学素子の背面側において移動さ
せていくことによって、光源からの光をその反射鏡によ
り反射させて電気光学素子の全面に順次照射していき、
かつ、電気光学素子からの反射光を反射鏡により反射さ
せて受光器により順次受光していき、これによって液晶
基板の全面に対する検査を連続的に行う。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。図１および図２は本実施例の検査装置の主要
部分の構成図、図３はこの装置の基本構成と動作原理を
説明するための図、図４は検査対象の液晶基板の一構成
例を示す図である。
【００１１】まず、図４に示す検査対象の液晶基板につ
いて説明する。この液晶基板１は液晶表示パネル等に使
用される公知のもので、たとえばガラス等の基板２の表
面に、データ信号を流すための多数のソース配線３と走
査信号を流すための多数のゲート配線４とが整列状態で
形成されているとともに、それらソース配線３とゲート
配線４の間に画素電極５が形成され、かつ、それら画素
電極５がスイッチング素子である薄膜トランジスタ６を
介してソース配線３とゲート配線４とに接続された構成
とされている。また、符号７はソース配線３に接続され
たショーティングバー、８はゲート配線４に接続された
ショーティングバーである。これらのショーティングバ
ー７,８は、薄膜トランジスタ６に悪影響を及ぼす静電
気を防止するためのものであるとともに、後述するよう
に検査に際して各ソース配線３およびゲート配線４に電
圧を印加するためのものであるが、これらショーティン
グバー７,８は液晶基板１が完成した時点で切断除去さ
れるものである。
【００１２】本実施例の検査装置は、上記のような液晶
基板１における欠陥すなわちソース配線３やゲート配線
４や画素電極５の断線や短絡等を検査するためのもので
あり、まず、その基本構成と動作原理を図３により説明
する。図３において符号１０は検査対象の液晶基板１と
同等の大きさとされてその液晶基板１の表面側に数十μ
m程度の微小間隔をおいて対向配置される電気光学素
子、１１はその電気光学素子１０と液晶基板１の画素電
極５との間に電圧を印加するための電源、１２は電気光
学素子１０の背面(図３において上面)に対して光を照射
する光源、１３は電子光学素子１０からの反射光を受光
する受光器、１４は受光器１３による撮影画像を観察す
るためのモニタである。
【００１３】上記の電気光学素子１０は、電場が印加さ
れると光学的性能に変化をきたす液晶シートあるいはポ
ッケルス結晶板などを用いたもので、図３に示すもの
は、透明ケースの内部に液晶が封入されてなる液晶シー
ト１０aの底面に、誘電体多層膜などのような光反射体
１０bを形成あるいは貼設し、かつ、上面に薄膜透明電
極１０cを形成してなるものである。上記の液晶シート
１０aは、具体的には、ＮＣＡＰ(Ｎematic Ｃurviline
ar Ａligned Ｐhase)などのように、液晶シート１０a
内に造られる電界の大きさにより光の透過率が変化する
ものである。この場合、液晶シート１０a内に封入する
液晶としては、水滴状の液晶を高分子、例えばポリマー
中に分散させた液晶を内包する高分子の球形(ドロップ
レット)の大きさを調節し、電場のオン・オフで高分子
と液晶の屈折率の一致、不一致によって透明・不透明を
出現させる形式の液晶などが好適である。なお、電気光
学素子１０の他の例として、作用する電界の大きさによ
って反射光の偏光量が変化するポッケルス結晶を用いる
こともできるし、電場を印加すると光の透過率や反射光
の偏光量などのような光学的性質が一定の割合で変化す
るものであれば、前記のものに限らず、さらに他の電気
光学素子を用いることもできる。
【００１４】また、上記の電源１１は、電気光学素子１
０の薄膜透明電極１０cと液晶基板１のショーティング
バー７,８(図４参照)に対して電気的に接続され、液晶
基板１上の全画素電極５にソース配線３およびゲート配
線４を通じて電圧を印加できるようになっている。な
お、電源１１としては、ソース配線３とゲート配線４の
それぞれに別個にパルス電圧を印加できるとともに、そ
のパルス電圧、パルス幅、周期を自由に変化させること
ができるものが好ましい。また、上記の光源１２として
はたとえばハロゲンランプを用いることが良いが、各種
レーザ光等を用いても良い。さらに、上記の受光器１３
としてはＣＣＤカメラ等を用いると良い。
【００１５】上記の検査装置においては、電源１１によ
り液晶基板１と電気光学素子１０との間に通電すると、
液晶基板１における欠陥の有無や状況に応じて各画素電
極５が発生させる電場が変化し、それに伴って電気光学
素子１０の光学的性質が種々に変化することになる。し
たがって、電気光学素子１０に対して光源１２より照射
された光の反射光を受光器１３により受光して、その反
射光の状態をモニタ１４により観察し、かつ、その画像
データを画像処理の手法により解析することによって、
電気光学素子１０の光学的性質の変化の状態を検知する
ことができ、それに基づき、液晶基板１自体の欠陥の有
無や状況を知り得るものである。
【００１６】すなわち、たとえば、液晶基板１上の画素
電極５とゲート配線３とソース配線４あるいはその他の
部分に断線が生じていると、電源１１により通電しても
画素電極５の一部が作動せず、その結果、作動しない画
素電極５上の電気光学素子１０には光学的変化が生じる
ことがないから、このことで断線が生じていることが検
知されるのである。また、短絡欠陥がある場合には、例
えばソース配線３あるいはゲート配線５のいずれかに通
電するだけで電気光学素子１０が作動するというような
異常現象が生じ、このことで短絡欠陥が生じていること
が検知されるのである。
【００１７】ところで、上記光源１２からの光を電気光
学素子１０の背面全体に対して一度に照射でき、かつ、
電気光学素子１０の背面全体からの反射光を受光器１３
が一度に受光できる場合には、液晶基板１の全面の検査
を一括して行うことができるが、光源１２からの光の照
射範囲や受光器１３の受光範囲は自ずと限界があり、し
たがって、液晶基板１およびそれに対向配置される電気
光学素子１０の面積がある程度大きなものとなった場合
には電気光学素子１０の一部分にしか光を照射できず、
かつ、その部分からの反射光しか受光できないものであ
るから、大形の液晶基板１に対してはその全面に対する
検査を一括して行うことができず、部分的な検査を繰り
返して行う必要がある。
【００１８】そこで、本実施例の検査装置は、電気光学
素子１０の背面側に反射鏡を移動自在に設けることで、
大形の液晶基板に対する検査を連続的かつ効率的に行い
得るようにしたものであり、以下に、本実施例の検査装
置の具体的な構成を図１および図２を参照して説明す
る。
【００１９】図１および図２において、符号１２,１３
は図３において既に説明した光源および受光器(ＣＣＤ
カメラ)であり、２０は受光器１３に付設されたレン
ズ、２１はレンズ２０を駆動して受光器１３における焦
点を合致させるための焦点調節装置、２２は半透明鏡で
ある。また、符号２５は電気光学素子１０の背面側にお
いてその電気光学素子１０に対して平行に設けられた一
対のガイド部材、２６はそれらガイド部材２５間に設け
られて電気光学素子１０に対して平行状態を保持しつつ
ガイド部材２５に沿って移動自在とされた第１のスライ
ダ、２７はその第１のスライダ２６に取り付けられて第
１のスライダ２６の移動方向と直交する方向に移動自在
された第２のスライダである。
【００２０】そして、第１のスライダ２６上には第１の
反射鏡３０が設けられ、第２のスライダ２７上には第２
の反射鏡３１が設けられている。第１の反射鏡３０は光
源１２から発せられて半透明鏡２２により反射された光
を第２の反射鏡３１に向けて反射するように、また、第
２の反射鏡３１は第１の反射鏡３０からの光を電気光学
素子１０に向けて反射して電気光学素子１０に対して垂
直に入射させるように、それらの向きが正確に設定され
ている。そして、光源１２から上記の経路を経て電気光
学素子１０に照射された光の反射光は、上記の経路を逆
にたどって半透明鏡２２に到達し、その半透明鏡２２を
真っ直ぐに通過してレンズ２０を経て受光器１３に受光
されるようになっている。
【００２１】また、上記の第１、第２のスライダ２６,
２７には、基準位置からの変位量を検出するセンサ３
５,３６が取り付けられ、それらセンサ３５,３６の検出
信号は位置検出装置４０に入力されるようになってい
る。その位置検査装置４０としてはたとえばロータリー
エンコーダやリニアエンコーダが用いられ、センサ３
５,３６の出力信号から第１、第２の反射鏡３０,３１の
位置を検知して電気光学素子１０への光の照射位置を検
知し、それに基づき、受光器１３から照射位置までの距
離を検知して焦点調節装置２１に制御信号を出力し、そ
の焦点調節装置２１がレンズ２０を駆動して受光器１３
の焦点を合わせるようになっている。これにより、第
１、第２のスライダ２６,２７がそれぞれ移動して光の
照射位置が刻々と変化しても、受光器１３の焦点が常に
自ずと合致して鮮明な画像が得られるようになってい
る。なお、上記のセンサ３５,３６や位置検出装置４０
に代えて自動焦点機構(オートフォーカス機構)を採用す
ることも可能である。
【００２２】上記構成の検査装置では、第１、第２のス
ライダ２６,２７を同期させて移動させていくことによ
って、第１、第２の反射鏡３０,３１を電気光学素子１
０の背面に沿って移動させて光源１２からの光の照射位
置を順次変えていくことにより、液晶基板１の全面にわ
たる検査を連続的に行い得るものである。したがって、
検査対象の液晶基板１が大きなものであっても、その液
晶基板１の全面に対する検査を短時間で効率的に行うこ
とが可能であり、特に大形の液晶基板１を検査する際に
用いて好適である。
【００２３】なお、上記のような反射鏡３０,３１を用
いることなく、光源１２や受光器１３を移動自在となし
てそれらを順次移動させていくことによっても同様の検
査を行うことができるが、そのように構成した場合に
は、反射鏡３０,３１を移動させる場合に比して検査装
置全体が複雑化かつ大形化して高価なものとなってしま
うことが避けられないものである。これに対し、上記実
施例では、反射鏡３０,３１を移動させるのみで光源１
２や受光器１３は固定状態で検査を行い得るので、装置
全体の簡略化、小形化、低価格化を実現できる。
【００２４】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明の検査装
置は、電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学
素子を用い、その電気光学素子からの反射光を観察する
ように構成したので、液晶基板の製造工程においてその
液晶基板自体の欠陥を検査することが可能であり、それ
によって液晶表示パネルの歩留まりの向上、低価格化を
実現できることは勿論のこと、電気光学素子の背面側
に、光源から発せられた光を電気光学素子に向けて反射
するとともに電気光学素子からの反射光を前記受光器に
向けて反射するための反射鏡を移動自在に設けたので、
反射鏡を移動させて光源からの光を電気光学素子の全面
に順次照射していくことにより、大形の液晶基板に対す
る検査を連続的かつ効率的に行い得るという効果を奏
し、特に、大形の液晶基板を検査する際に用いて好適で
ある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例である検査装置の要部平面図で
ある。
【図２】同装置の要部側面図である
【図３】同装置の基本構成およびその動作原理を説明す
るための図である。
【図４】検査対象の液晶基板の一例を示す図である。
【符号の説明】
１ 液晶ディスプレイ基板 ２ 基板 ３ ソース配線 ４ ゲート配線 ５ 画素電極 ６ 薄膜トランジスタ １０ 電気光学素子 １１ 電源 １２ 光源 １３ 受光器 １４ モニタ ２０ レンズ ２１ 焦点調節装置 ２２ 半透明鏡 ２５ ガイド部材 ２６ 第１のスライダ ２７ 第２のスライダ ３０ 第１の反射鏡 ３１ 第２の反射鏡 ３５ センサ ３６ センサ ４０ 位置検出装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｇ０９Ｆ 9/00 ３５２ Ｇ０２Ｆ 1/136 ５００ (56)参考文献 特開 平３−142498（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−177436（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−40541（ＪＰ，Ａ) 特公 昭48−10679（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 11/00 - 11/08 G01N 21/84 - 21/958 G01R 31/00 G02F 1/13 G02F 1/1368 G09F 9/00

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 表面にゲート配線とソース配線と画素電
    極と薄膜トランジスタとが形成されてなる液晶ディスプ
    レイ基板の欠陥を検査するための装置であって、前記液
    晶ディスプレイ基板の表面側に、電場を印加すると光学
    的性質が変化する電気光学素子を微小間隔をおいて対向
    配置し、その電気光学素子と前記液晶ディスプレイ基板
    の各画素電極との間に電源により電圧を印加するととも
    に、前記電気光学素子の背面に対して光源から光を照射
    してその反射光を受光器により受光して観察するように
    構成され、かつ、前記電気光学素子の背面側に、この電
    気光学素子の背面に沿って一の方向に移動自在の第１の
    移動部材と該第１の移動部材上に前記一の方向に直交す
    る方向に移動自在に取り付けられた第２の移動部材とが
    設けられ、前記第１の移動部材及び第２の移動部材には
    それぞれ第１の反射鏡及び第２の反射鏡が設けられ、前
    記第１の反射鏡は前記光源から発せられた光を前記第２
    の反射鏡を介して前記電気光学素子に向けて反射すると
    ともに電気光学素子からの反射光を前記第２の反射鏡を
    介して前記受光器に向けて反射するように構成され、さ
    らに、位置検出装置によって前記第１及び／又は第２の
    反射鏡の位置を検知するように構成されたことを特徴と
    する液晶ディスプレイ基板の検査装置。
JP24236992A 1991-09-10 1992-09-10 液晶ディスプレイ基板の検査装置 Expired - Fee Related JP3273971B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US757,452 1991-09-10
US07/757,452 US5444385A (en) 1991-09-10 1991-09-10 Testing apparatus for liquid crystal display substrates

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05256793A JPH05256793A (ja) 1993-10-05
JP3273971B2 true JP3273971B2 (ja) 2002-04-15

Family

ID=25047882

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24236992A Expired - Fee Related JP3273971B2 (ja) 1991-09-10 1992-09-10 液晶ディスプレイ基板の検査装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5444385A (ja)
JP (1) JP3273971B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1307469C (zh) * 2002-11-29 2007-03-28 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 背光模组测试工具

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08292406A (ja) * 1995-04-24 1996-11-05 Advantest Corp Ｌｃｄパネル検査装置
US5870205A (en) * 1996-12-03 1999-02-09 Eastman Kodak Company Method and apparatus for correcting light non-uniformity in an LCD photographic printer
US5754305A (en) * 1996-12-03 1998-05-19 Eastman Kodak Company Method and apparatus for correcting light non-uniformity in an LCD photographic printer
JP3468755B2 (ja) * 2001-03-05 2003-11-17 石川島播磨重工業株式会社 液晶駆動基板の検査装置
SG142160A1 (en) * 2001-03-19 2008-05-28 Semiconductor Energy Lab Method of manufacturing a semiconductor device
JP4507559B2 (ja) * 2003-10-30 2010-07-21 奇美電子股▲ふん▼有限公司 液晶ディスプレイのアレイ基板の検査装置および検査方法
CN101078666B (zh) * 2006-05-26 2010-09-01 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 反射式显示设备检测装置及方法
US9035673B2 (en) * 2010-01-25 2015-05-19 Palo Alto Research Center Incorporated Method of in-process intralayer yield detection, interlayer shunt detection and correction
US8384405B2 (en) * 2011-04-20 2013-02-26 Tdk Corporation Method for performing burn-in test

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2311903A1 (de) * 1973-03-09 1974-09-12 Siemens Ag Verfahren und einrichtung zur ortung von kurzschluessen in mehrlagenverdrahtungen
US3889053A (en) * 1973-10-30 1975-06-10 Westinghouse Electric Corp Contactless test system
JPS5556330A (en) * 1978-10-19 1980-04-25 Hitachi Cable Fuse
US4242635A (en) * 1979-01-26 1980-12-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Apparatus and method for integrated circuit test analysis
JPS5658893A (en) * 1979-10-19 1981-05-22 Oki Electric Ind Co Ltd Booking machine
US4368523A (en) * 1979-12-20 1983-01-11 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device having redundant pairs of address buses
NL181528C (nl) * 1980-01-12 1987-09-01 Sumitomo Electric Industries Inrichting voor het meten van een spanning of van een elektrisch veld met gebruikmaking van licht.
US4355278A (en) * 1980-08-06 1982-10-19 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Method for testing and analyzing surface acoustic wave interdigital transducers
US4444801A (en) * 1981-01-14 1984-04-24 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for correcting transparent defects on a photomask
DE3111393A1 (de) * 1981-03-23 1982-09-30 WEE Elektronik Entwicklungs-Gesellschaft mbH, 6980 Wertheim Verfahren und einrichtung zum orten von kurzschluessen in leiterplatten, verdrahtungen, leitungen, kabeln oder dergleichen
JPS586127A (ja) * 1981-07-03 1983-01-13 Hitachi Ltd フオトマスク欠陥修正方法とその装置
JPS58109859A (ja) * 1981-12-24 1983-06-30 Sumitomo Electric Ind Ltd 光による電圧・電界測定器
US4507605A (en) * 1982-05-17 1985-03-26 Testamatic, Incorporated Method and apparatus for electrical and optical inspection and testing of unpopulated printed circuit boards and other like items
JPS58203443A (ja) * 1982-05-24 1983-11-26 Hitachi Ltd ホトマスクの白点欠陥修正用組成物
JPS59111197A (ja) * 1982-12-17 1984-06-27 シチズン時計株式会社 マトリクス型表示装置の駆動回路
US4542333A (en) * 1983-05-05 1985-09-17 Ppg Industries, Inc. Method and apparatus utilizing magnetic field sensing for detecting discontinuities in a conductor member associated with a glass sheet
US4523847A (en) * 1983-07-07 1985-06-18 International Business Machines Corporation Frequency modulation-polarization spectroscopy method and device for detecting spectral features
AU4117585A (en) * 1984-03-19 1985-10-11 Kent State University Light modulating material comprising a liquid crystal dispersion in a synthetic resin matrix
US4618819A (en) * 1984-03-27 1986-10-21 The University Of Rochester Measurement of electrical signals with subpicosecond resolution
ATE80955T1 (de) * 1984-06-20 1992-10-15 Gould Inc Laserverfahren zur photomaskenreparatur.
US4631576A (en) * 1984-11-13 1986-12-23 Hazeltine Corporation Nonuniformity correction system for color CRT display
US4776022A (en) * 1985-04-09 1988-10-04 Aoi Systems, Inc. System for printed circuit board defect detection
US4636403A (en) * 1985-04-29 1987-01-13 At&T Technologies, Inc. Method of repairing a defective photomask
US4825201A (en) * 1985-10-01 1989-04-25 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Display device with panels compared to form correction signals
US4758092A (en) * 1986-03-04 1988-07-19 Stanford University Method and means for optical detection of charge density modulation in a semiconductor
DE3683053D1 (de) * 1986-10-23 1992-01-30 Ibm Verfahren zur kontaktfreien pruefung von platinen fuer integrierte schaltungen unter atmosphaerischen bedingungen.
US4819038A (en) * 1986-12-22 1989-04-04 Ibm Corporation TFT array for liquid crystal displays allowing in-process testing
US4910458A (en) * 1987-03-24 1990-03-20 Princeton Applied Research Corp. Electro-optic sampling system with dedicated electro-optic crystal and removable sample carrier
JPS63308572A (ja) * 1987-06-10 1988-12-15 Hamamatsu Photonics Kk 電圧検出装置
EP0299432B1 (en) * 1987-07-13 1994-06-08 Hamamatsu Photonics K.K. A voltage detecting device
KR960006869B1 (ko) * 1987-09-02 1996-05-23 도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤 프로우브 장치에 의한 전기특성 검사방법
US4944576A (en) * 1988-03-21 1990-07-31 Hughes Aircraft Company Film with partial pre-alignment of polymer dispersed liquid crystals for electro-optical devices, and method of forming the same
US4875006A (en) * 1988-09-01 1989-10-17 Photon Dynamics, Inc. Ultra-high-speed digital test system using electro-optic signal sampling
US4862075A (en) * 1988-09-01 1989-08-29 Photon Dynamics, Inc. High frequency test head using electro-optics
US5037683A (en) * 1988-09-26 1991-08-06 W. R. Grace & Co.-Conn. High strength laminated film for chub packaging
US5017755A (en) * 1988-10-26 1991-05-21 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of repairing liquid crystal display and apparatus using the method
JP2567952B2 (ja) * 1989-09-05 1996-12-25 株式会社日立製作所 Ｌｓｉ補修配線方法
US4983911A (en) * 1990-02-15 1991-01-08 Photon Dynamics, Inc. Voltage imaging system using electro-optics

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1307469C (zh) * 2002-11-29 2007-03-28 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 背光模组测试工具

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05256793A (ja) 1993-10-05
US5444385A (en) 1995-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3273972B2 (ja) 液晶ディスプレイ基板の検査方法
JP3199481B2 (ja) 液晶ディスプレイ基板の検査装置
JP3275103B2 (ja) アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の検査方法
JPH05256792A (ja) 液晶ディスプレイ基板の検査装置
JPH05264461A (ja) 液晶ディスプレイ基板の検査装置
JPH0627479A (ja) 単純マトリクス回路パネルを自動的に検査修理する方法及び装置
JP3273971B2 (ja) 液晶ディスプレイ基板の検査装置
US20150377708A1 (en) Optical system and array substrate detecting device
JP3378795B2 (ja) 表示装置の検査装置および検査方法
KR0168440B1 (ko) 전자광학을 이용한 전압 영상시스템
KR950006502A (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
US5615039A (en) Electro-optical element and its manufacturing method
KR20100029695A (ko) 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법
JP3273973B2 (ja) アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の検査装置およびその検査方法並びに検査装置用電気光学素子
JP4071331B2 (ja) 液晶駆動基板の検査装置及びその検査方法
JPH08101404A (ja) Ｔｆｔ基板の欠陥検出方法および欠陥検査装置
JPH08248372A (ja) フラットパネルディスプレイの検査方法
JP3479171B2 (ja) 液晶駆動基板の検査方法
JP3479170B2 (ja) 液晶駆動基板の検査方法
JP2931505B2 (ja) マトリクス型表示装置に用いられるカラーフィルタの検査装置及び検査方法
JP4710732B2 (ja) 基板及びその分断方法、電気光学装置及びその製造方法、ならびに電子機器
JP3287872B2 (ja) カラーフィルターの検査方法
JP3533946B2 (ja) 液晶表示パネルの検査装置及び液晶表示パネルの検査方法
JPH05303068A (ja) ディスプレイ基板の検査装置及びその検査方法
TWM467880U (zh) 用於對受測試電子器件進行電氣檢驗之裝置及包含電光調變器及調變器底座之電光調變器總成

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20010508

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20011225

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R370 Written measure of declining of transfer procedure

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090201

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100201

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100201

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110201

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees