JP3273972B2 - 液晶ディスプレイ基板の検査方法 - Google Patents
液晶ディスプレイ基板の検査方法Info
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Description
どとして用いられる液晶ディスプレイ基板に生じうる欠
陥を検査するための検査装置に関する。
るように大面積化しかつ高密度化する上では、行列状に
配置された画素ごとに設けられた画素電極と、各画素電
極に共通に設けられたゲート配線とソース配線および薄
膜トランジスタとを具備してなるアクティブマトリック
ス液晶ディスプレイ基板を利用したアクティブマトリッ
クス方式のものが有利であり、現在比較的小型のものか
ら実用化が進みつつある。通常、この種の液晶表示パネ
ルにあっては、アクティブマトリックス液晶ディスプレ
イ基板を製造後、アクティブマトリックス液晶ディスプ
レイ基板上にスペーサを介して透明基板などを配置し、
アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板と透明基
板との間に形成された空隙に液晶を封入することで液晶
表示パネルを製造している。
液晶テレビにおいては、画素数が25〜50万個に及ぶ
ものが多く、一部では画素数100万個以上のものも登
場している。
多数の画素とそれに対応した多数の配線を基板上に形成
するには、ダストを極度に少なく調整したクリーンルー
ムにおいて種々の成膜プロセスを行って形成しているの
であるが、画素や配線幅が極端に小さくなってくると、
製造雰囲気中に含まれるわずかなマイクロダストの存在
が、画素電極、ゲート配線、ソース配線などの断線欠陥
や短絡欠陥に直結するようになる。これらの欠陥は現在
のところ、アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基
板において、数個〜10個程度までは許容されている
が、欠陥数がそれ以上であると製品不良としているのが
現状である。
欠陥数を許容限度以下に少なくすることが極めて困難で
あるがために、画素数の大きな液晶表示パネルにあって
は、不良率が著しく高く、これが大型液晶パネルの高価
格の原因となっている。
ディスプレイ基板が完成した時点でアクティブマトリッ
クス液晶ディスプレイ基板を検査する方法として、プロ
ーバを使用して行う方法が知られているがアクティブマ
トリックス液晶ディスプレイ基板上の素子数が多すぎて
検査時間がかかりすぎ、実用的ではないものである。
晶ディスプレイ基板を用いて液晶表示パネルを製造する
場合は、アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板
の生産ライン内での検査は行わず、次の製造工程に移行
し、製造完了後の液晶表示パネルに通電して目視で各画
素が実際に作動するかどうかを調べており、この時点で
欠陥が発見されても対応困難であり、廃棄処分されるた
め、これがアクティブマトリックス液晶ディスプレイの
歩留りが非常に悪い結果の大きな原因となっている。
たもので、アクティブマトリックス方式などの液晶ディ
スプレイ基板の欠陥を液晶パネルの組立前に確実かつ迅
速に発見することができるとともに、各画素のあい昧な
動作不良による欠陥の把握を容易に行うことができる検
査方法を提供することを目的とする。
記課題を解決するために、基板上に形成された複数のゲ
ート配線と複数のソース配線と複数の画素電極とを具備
してなる薄膜トランジスタを有する液晶ディスプレイ基
板を検査する方法において、電場を印加すると光学的性
質が変化する電気光学素子を前記液晶ディスプレイ基板
に微小間隔をあけて対向配置し、前記ゲート配線とソー
ス配線に通電してディスプレイ基板の各画素電極により
電気光学素子に電場を印加するともに、電場を印加した
状態の電気光学素子に検査光を入射してこの検査光の画
素電極ごとの光学的性質の変化を受光器で捕らえ、この
受光器で捕らえた光学的変化を画素電極ごとの電圧に置
き換え、置き換えた画素電極ごとの電圧分布によって液
晶ディスプレイ基板の欠陥を検査するものである。
変化するものである。従ってこの電気光学素子を液晶デ
ィスプレイ基板上に配置して電気光学素子の各画素電極
により電気光学素子に電場を印加するとによって電気光
学素子の光学的性質が変化する。
の電気光学素子に検査光を入射してこの検査光の画素電
極ごとの光学的性質の変化をカメラで捕らえ、この光学
的変化を画素電極ごとの電圧に置き換え、置き換えた画
素電極ごとの電圧分布を求めると、液晶ディスプレイ基
板上の画素電極とゲート配線とソース配線あるいはその
他の部分に欠陥が生じていると、これに起因して画素の
表示ムラが生じ、これにより電圧分布に異常が生じるの
で、画素電極の表示ムラを検出することができる。
より得られた液晶ディスプレイ基板の画素電極の明暗表
示と液晶ディスプレイ基板の電圧分布とを比較して示し
たものである。図1(b)に示す電圧分布を得るには、図
2に概略構成を示す検査装置を用いる。この検査装置
は、検出光を出射する光源1を備えた照明部Aと、照明
部Aから出射された光を導く導光器Bと、前記導光器B
からの検出光が入射される電気光学素子2を備えた検出
部Cと、前記電気光学素子2からの反射光を受ける受光
器3を備えた結像部Dと、この受光器3に接続されたモ
ニタ4とを具備し、検出部Cの電気光学素子2の対向面
には、アクティブマトリックス方式などの液晶ディスプ
レイ基板5を配置できるようになっている。
パネル用に使用される公知のもので、例えば図3に示す
ように、データ信号を流すための多数のソース配線10
と走査信号を流すための多数のゲート配線11とが整列
状態で基板上に形成され、それらの間に画素電極13が
形成され、各画素電極13がスイッチング素子14(薄
膜トランジスタ)を介してソース配線10とゲート配線
11とに接続されて構成されている。
と画素電極構造とスイッチング素子の構造はいずれも種
々の構造が知られているが、いずれの種類の構造であっ
ても本発明方法に適用することができるので、液晶ディ
スプレイ基板の構造は特別には問わないものである。
0…に接続されたショーティングバー(短絡電極)、符号
16はゲート配線11…に接続されたショーティングバ
ー(短絡電極)を示している。なお、これらのショーティ
ングバー15,16は、液晶ディスプレイ基板5の製造
段階では形成されているものの、液晶ディスプレイ基板
5の製造後に液晶ディスプレイ基板上に透明基板を配置
し、それらの間に液晶を封入して液晶表示パネルを製造
するなどの後工程の段階においては切断除去されるもの
である。
膜トランジスタに悪影響を及ぼす静電気を防止するもの
であり、また、ショーティングバーの代わりに実装ドラ
イバーを設けたものであっても本発明の検査方法を適用
できるのは勿論である。
例ではハロゲンラライトからなるものであるが、光源1
としてハロゲンライトの他に、各種レーザ光などを用い
ても良い。ただし、レーザ光を検出光として用いて電気
光学素子2に照射すると、電気光学素子2の表面に細か
い光の斑点が生じ、この斑点がノイズとして検出されて
スペックルノイズと呼ばれるノイズを生じてしまうおそ
れがあるので、ハロゲンライトを用いることが好まし
い。
と光学的性能に変化を来す液晶シートあるいはポッケル
ス結晶板などからなる。図2に示す電気光学素子2は、
透明ケースの内部に液晶を封入した液晶シート8の底面
に誘電体多層膜などのような光反射体9を形成あるいは
貼設してなるものである。また、図2に符号Gで示すも
のは、電気光学素子2の上面に一体化された透明ガラス
である。
AP(Nematic CurvilinearAligned Phase 或は
PDLC或はPN−LC)などのように、液晶シート8
内に造られる電界の大きさによ り光の透過率が変化す
るものである。液晶シート8内に封入する液晶として
は、水滴状の液晶を高分子、例えば、ポリマー中に分散
させた液晶を内包する高分子の球形(ドロップレット)の
大きさを調節し、電場のオン・オフで高分子と液晶の屈
折率の一致、不一致によって透明・不透明を出現させる
形式の液晶などが好適である(PN−LC)。また、電
気光学素子2の他の例として、作用する電界の大きさに
より、反射光の偏光量が変化するポッケルス結晶を用い
ることもできる。
電界を印加すると光の透過率や反射光の偏光量などのよ
うな光学的性質が一定の割合で変化するものであれば、
前記のものに限らず、いずれのものを用いても良い。
とができる。CCDカメラを用いることにより検査領域
内を機械的に走査する必要がなくなり、処理速度が向上
する。
上面の薄膜透明電極2aとアクティブマトリックス液晶
ディスプレイ基板5との間に一定電圧を印加するための
電圧印加装置であって、本装置はソース配線およびゲー
ト配線に接続した電圧印加用の配線にはそれぞれ別個に
パルス電圧を印加でき、そのパルス電圧、パルス幅、周
期は変化させることができるものである。この電圧印加
装置7は、内部にスイッチと電源部とを備えてなるもの
で、電気光学素子2の上面の薄膜透明電極2aとアクテ
ィブマトリックス液晶ディスプレイ基板5のショーティ
ングバー15,16に図4に示すように電気的に接続さ
れ、アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板5上
の全画素電極13にゲート配線およびソース配線から電
圧を印加できるようになっている。
ならば、電圧印加装置7から±15V以内のパルス電圧
が出力可能な2個の端子からゲート側とソース側にそれ
ぞれ電流検知手段を間に持つ配線により探触子(プロー
ブ)を介して各ショーティングバー15,16に接触され
るようになっており、更にその2端子に対し一定の電圧
が印加可能な1個の端子から電気光学素子上面の薄膜透
明電極2aに配線が施されている。
査装置の詳細構造を説明するためのものである。図5に
おいて、20はベッド、21はベッド20の左側部に配
置された基板収納部(カセットラック)、22は検査ヘッ
ド、23は操作盤をそれぞれ示している。
向に案内レール25が敷設され、この案内レール25に
沿ってテーブル26が左右方向に移動できるようになっ
ている。また、このテーブル26の底部には案内レール
25に対して直角な方向にテーブル26を移動させる機
構が組み込まれており、テーブル26はベッド20上で
水平面内で左右前後方向(即ち、X,Y方向)に移動でき
るようになっている。
ブマトリックス液晶ディスプレイ基板5を複数収納した
カセット27が収納され、この基板収納部21の上部の
カセット27の開口部からアクティブマトリックス液晶
ディスプレイ基板5を順次取り出してテーブル26の上
に設置できるようになっている。
図7に示す。ただし、図2,図6,図7中の各光学機器の
配置状態は液晶パネルの設置位置または方向によって自
由にレイアウトを変えることができる。更に、図2,図
6,図7では、説明しやすいように、パネルを縦に設置
した例を示す。
2に示すような光源1と受光器3などが収納され、光源
1と受光器3はビームスプリッタ30側にそれぞれ向け
られている。ビームスプリッタ30と光源1との間には
反射ミラー31Aと調整用のレンズ31,31とフィル
タ31aとが、また、ビームスプリッタ30と受光器3
との間には調整用のレンズ32がそれぞれ設けられてい
る。
には、電気光学素子2を装着したホルダ33が設けら
れ、このホルダ33は支持軸34,34によって液晶デ
ィスプレイ基板5に対するあおり角を調節できるように
なっている。また、受光器3の前部にはズームレンズ3
5が装着され、電気光学素子2からの反射光を効率良く
受光器3に入射できるようになっている。
た検出光をビームスプリッタ30によって電気光学素子
2の上面に直角に照射し、次いで電気光学素子2の光反
射体9で反射させた後にビームスプリッタ30とレンズ
32とズームレンズ35を通過させて受光器3に入射で
きるようになっている。
出射された検出光を赤色に変換するものである。より具
体的には、種々の波長の検出光の内、赤色を中心とした
波長の光のみを選択して通過させるフィルタが用いられ
る。このように赤色を主体とした検出光を用いると、赤
色に反応しやすい電気光学素子2が赤色の光に良好に反
応して光の透過率を変化させると同時に、CCDカメラ
が赤色の光に反応しやすいので、検出光としてより好都
合である。また、熱遮断フィルタを併用することによ
り、ハロゲンライトの光源1からの赤外線を遮断するこ
とができ、光素子等の損傷を防ぐことができる。
体30Aの内部に半透明鏡30Bを埋設してなるもので
あって、半透明鏡30Bは透明体30Aの側面の対角線
に沿うように設けられている。そして、この透明体30
Aの受光器3側の側面30aは、光軸に直角な面に対し
てθだけ傾斜されている。このように透明体30Aを傾
斜させることで透明体30Aの受光器側の側面30aか
ら受光器3に入射するおそれの高い側面30aでの反射
光をレンズ32で集光した場合に絞り36で遮断でき、
受光器3側に入射しないようにすることができる。
示し、この制御部40の内部には受光器3に電気的に接
続されたA/D変換器41とイメージプロセッサ42と
ドライブサーキット43とCPU44とが組み込まれて
いて、イメージプロセッサ42にはディスプレイ4が接
続され、CPU44には操作盤23が接続されている。
強さを相当電圧に変換し、その強さを表示するととも
に、相当電圧の大小に応じてアクティブマトリックス液
晶ディスプレイ基板5の欠陥数と位置および種類をモニ
タ4に表示するためのものである。欠陥数の表示に際し
ては、一画素の寸法を入力することにより、相当電圧分
布にマスキングし、判定することによりその後割り出す
ことができる。
て図3に示す液晶ディスプレイ基板5を検査する場合に
ついて、図8に示すフローに従って説明する。
ンにおいては、マスク作成工程、薄膜作成工程、レジス
ト工程、露光工程、エッチング工程、洗浄工程、イオン
注入工程などの種々の工程を経て基板上にソース配線1
0とゲート配線11と画素電極13とスイッチング素子
14とショーティングバー15,16を形成して液晶デ
ィスプレイ基板5が製造される。この生産ラインを図8
に示すようにステップS1とする。
あっては、ソース配線10とゲート配線11と画素電極
13とスイッチング素子14とショーティングバー1
5,15,16,16とを形成してなる方形状の領域を1
枚の基板上に複数個(この実施例では4個)形成してなる
ものを用いる。
イ基板5は、ステップS2においてカセットに収納され
たまま検査装置の基板収納部21に搬送されてセットさ
れる。
レイ基板5は、ステップS3において基板収納部21か
ら取り出されてテーブル26上に設置される。
を設置したならば、ステップS4において液晶ディスプ
レイ基板5をテーブル26の上面に真空チャックなどの
固定手段により固定する。
案内レール25に沿って移動させて(X軸方向移動)走
査ヘッド22の対向面まで移動させ、ステップS6にお
いて更にテーブル26を前後左右に微少距離移動させて
走査ヘッド2の下方においてテーブル26を規定の位置
に正確に位置決めする。
に設けられているホルダ33を移動させて電気光学素子
2をアクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板5に
接近させる。この際、液晶ディスプレイ基板5の位置合
わせを行い、微小な空隙を確保する。ここでの位置合わ
せは、液晶ディスプレイ基板5と電気光学素子2を平行
にするように位置合わせする。
クス液晶ディスプレイ基板5のショーティングバー1
5,16に電圧印加装置7の電極を接続する。
側をゲート側に対し、正の電圧になるように徐々に電圧
値を上げてゆき、ソース配線10とゲート配線11間の
リーク電流を電流検出手段を用いてモニタする。リーク
電流が検知されればソース配線10とゲート配線11の
短絡(クロスショートと称する。)が発生していると判断
する。リーク電流がない場合は、ステップS9に移る。
クロスショートが発生したアクティブマトリックス液晶
ディスプレイ基板5については、ステップS81におい
て補修装置で補集するか、廃棄処分とする。
いる電気光学素子上面の電極と、ステップS9において
ゲート側とソース側に配線された電極との間にバイアス
電圧を負荷する。このバイアス電圧は基準電圧(例え
ば、接地レベル)に対し、最大数百ボルトの交流電圧ま
たは直流電圧を適当なモードで印加し、欠陥検査を行
う。この操作により、電気光学素子上面の薄膜透明電極
2aとアクティブマトリックス液晶ディスプレイ基 板5
上の画素電極との間に電場が発生する。ここで電気光学
素子2の底面に形成された光反射体9が誘電体多層膜で
ある場合は、光反射体9が前記電場に影響を及ぼすこと
がない。この点において光反射体9がAlなどの金属製
であると、電 気光学素子2に作用する電場に影響を与
え、検査精度に悪影響を及ぼすおそれがある。
ついて詳細に説明する。電気光学素子2として、先に説
明した液晶シートを用いた場合、電場が印加されない状
態では図9に示すように球形液晶分子は無秩序な方向を
向いて光を散乱し光を通過させない状態となっている
が、図10に示すように電場が印加された状態では、球
形中の液晶分子が同一方向に向いて光を通過するように
なる。また、高分子分散型液晶に対する電圧を変化させ
ると透明電極が直線的に変化する領域を持ち、この線形
性を利用して電圧の変化を透過光量の変化として捕らえ
ることができる。更に、画素電極13と電気光学素子2
上部の薄膜透明電極2aとの間には、この直線領域に対
応する電圧でバイアス電圧を印加している。
ば、前記画素電極13…と電気光学素子2上面の薄膜透
明電極2a間に電圧を印加することにより発生された電
場を受けた電気光学素子2は、各画素電極13により電
場が変化すれば光の透過量がそれに応じて変化するよう
になる。
光を導光器Bを介して電気光学素子2に照射するととも
に、電気光学素子2を通過して光反射体9に反射されて
再び電気光学素子2を通過してきた光の強さを受光器3
によって計測する。ここで導光器Bによって検出光を電
気光学素子2の上面に直角に入射するならば、電気光学
素子2の内部での液晶分子の光を通過するか遮断するか
の方向性が電気光学素子2の厚さ方向になっているため
に、導光器Bによって電気光学素子2の上面に検出光を
垂直に入射することが特に重要である。
が受けた光を制御部40で演算して相当電圧を算出す
る。この相当電圧の値が特定できたならば、しきい値を
基に各画素に発生している相当電圧をチェックし、ステ
ップS11において画像の明暗または相当電圧値で画素
の良否を判定する。アクティブマトリックス液晶ディス
プレイ基板5の採否を決めるには、指定基準を設け、例
えば100万画素の液晶表示素子においていくつの欠陥
が許容されるか否かの値を決めておけば、使用者が処理
画像のデータからアクティブマトリックス液晶ディスプ
レイ基板5の採否を判断できる。
器3を介しての相当電圧が、ばらつく場合の判定につい
て説明する。
暗に対応させて表示したものが図1(a)、図11(a)、図
12(a)、図13(a)である。これらの各図では、受光器
3を介して各画素毎に得られる相当電圧が、高いものか
ら順に色分けして図示されている。色の濃いものが画素
電圧が高く、色の薄いものが画素電圧が低いものであ
り、種々の電圧の画素が混在している各モデルをそれぞ
れ示している。図1(b)、図11(b),図12(b),図13
(b)にこれらの状態で得られる画素電圧とその個数 の関
係、即ち、画素電圧分布を示す。これらの各図で最も色
の濃い画素が正常な画素であり、これらの正常な画素の
電圧レベルが各図の1点鎖線で示すVSレベルのもので
ある。
合のモデルであって、VSレベル以外にも多数のレベル
に画素電圧が発生している。図11(a)は総ての画素に
異常がない状態を示す。この場合の画素電圧分布は図1
1(b)に示すようにVSレベルに全て集中するピークが
得られる。図12(a)は左から2列目の下側4個の画素
に異常が生じた場合のモデルであってVSレベル以外の
レベルにも画素電圧のピークが発生している。図13
(a)は種々の色ムラを生じた場合の他のモデルであって
VSレベル以外にも多数のレベルに画素電圧が分布して
いる。
プレイ基板5の検査を行う場合の一例のフローを示すも
のである。
レイ基板5の画像を4種類続けて入力し、ステップP2
において画像の蓄積と平均化によりノイズ削減を行う。
ステップP1の測定を数回繰り返し行い、それぞれの画
像データを画像記憶装置に加算してゆくとともに、蓄積
したデータを測定回数で割ることにより平均化がなさ
れ、装置自身が有するノイズを低減することができる。
ステップP1モードとは、液晶ディスプレイに加える空
間的なパターンを意味し、+モードと−モードとではち
ょうど反転したパターンになっている。図14のAとC
では+モード、BとDでは−モードで液晶ディスプレイ
を駆動して4種類の画像を取り込む。AとBおよびCと
Dとの比較で不良画素の検出を行い、AとCおよびBと
Dとの比較で装置が持つドリフト等の誤差原因を取り除
くことができる。
よる平均操作を行う。空間フィルタによる平均操作は画
質を和らげる操作である。画素電極の形が複雑であった
り、画像にノイズが乗っていたりすると隣接した画素を
判別しにくくなるが、そのような誤判別を避けるために
画像をわずかに空間平均して画素の中心を判別しやすく
する。
マップとのマスク処理を行う。マスク処理は画像のどの
領域が実際の画素に相当するかを判別する処理で、画素
マップはマスク処理で判別した画素が実際の液晶ディス
プレイのどの位置に対応するのかを示すデータである。
この処理によってどの画素にどれ位の電圧が加わってい
るかの対応がとられる。
ヒストグラムの作成を行い画素電圧分布を作成する。
位置分析を行うとともに、分散分析により電圧ムラの判
定を行う。例えば図13(b)の場合、画素に加えている
はずの電圧VSの位置と電圧ヒストグラムの重心との位
置が異なっていることから、表示ムラによる不良が判定
される。また、ヒストグラム分布の分散の値を正常な場
合と比較することによっても判定が可能である。
素電圧分布を正常とし、他は異常とすることで液晶ディ
スプレイ基板5の表示ムラによる良不良の判定を行うこ
とができる。
の重心位置を分析して検出し、この重心位置の変位に応
じて液晶ディスプレイ基板5の良不良の判定を行うよう
にしても良い。即ち、画素電圧部の重心がVSレベルを
基準としてそれからどの程度変位した場合に不良とみな
すかをあらかじめ設定しておけば、重心位置の検出によ
り良不良の判定ができる。
基板5の欠陥数が許容範囲以内であることが判明すれ
ば、検査終了したアクティブマトリックス液晶ディスプ
レイ基板5を次の生産ラインにステップS12で搬送す
る。
プレイ基板5の欠陥数が許容範囲外になったものにあっ
ては、補修できるものはステップS13でリペア装置に
送るか、ステップS14でカッティング装置とデポジッ
ト装置に送って補修を行い、補修後にステップS12の
生産ラインに戻すことができる。
れたものは、ステップS15で廃棄処分とする。
マトリックス液晶ディスプレイ基板5の状態において従
来の最終検査に近い状態を再現し、欠陥を検出するもの
であり、欠陥を修復するのにも液晶パネル組立前なの
で、比較的容易にできる上、不良基板を後の工程に投入
しなくて済むのでインラインにおける歩留り向上に役立
つ。また、画素電極自体は作動するものの、画素の色ム
ラを生じている場合であっても、画素電圧分布をとり、
その分布状態や重心を検査することで画素の良不良の判
定ができる。
が検査可能で後の液晶パネル組立時など静電気が特に発
生する工程に静電気防止の効果を保持したまま受け渡す
ことができる。
装したもの、あるいは、駆動回路を実装したものあるい
は駆動回路を有した基板あるいは短絡電極がない基板に
おいても検査可能であり、汎用性を有している。
ティブマトリックス液晶ディスプレイ基板上の画素電極
の寸法に制約を受けることなく設定することができ、汎
用性があり、信頼性が高く、製作費用が易いという利点
を有している。
ス液晶ディスプレイ基板5について検査を行うならば、
電気的にアクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板
5の欠陥の位置と数と種類を表示できるので、極めて簡
単にアクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板5の
検査を行うことができる。
電圧に一括変換して欠陥を判定するので、短時間で速く
検査ができる。例えば、本発明者らが電気光学素子とし
て液晶シートを用いて実際に試作した検査装置を用い、
10インチのアクティブマトリックス液晶ディスプレイ
基板の検査を行ったところ、液晶シートの分解能は50
μm以下で、かつ、1時間に12枚以上の割合でアクテ
ィブマトリックス液晶ディスプレイ基板5の取り扱いを
含め(機械的律速を含めて)検査を行うことができた。
気光学素子2の上面に垂直に入射させることができるの
で、電気光学素子2として液晶を用いた場合は液晶が高
い分解能で検出光を効率良く通過させるか遮断するの
で、検出時の分解能を十分に高めることができる。
より、複数枚のアクティブマトリックス液晶ディスプレ
イ基板5を一度に複数枚検査するようにするならば、処
理枚数の増加は容易である。
素子を検査するべきアクティブマトリックス液晶ディス
プレイ基板に対向配置し、アクティブマトリックス液晶
ディスプレイ基板の画素電極に通電して電気光学素子の
光学的性質を変え、その状態の電気光学素子を通過した
光の変化を受光器で捕らえてその画素電圧分布を比較す
ることでアクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板
の良不良の判定を行うことができるので、単に画素電極
が作動するか作動しないかの判断によるものではなく、
画素電極が作動していても作動状態にムラがある状態を
も検知することができ、より正確かつ確実に液晶ディス
プレイ基板の検査ができる効果がある。
明暗状態の一例を示す説明図である。図1(b)は図1(a)
に示す画素電極に対応して得られる電圧分布を示すグラ
フである。
例の主要部の概略構成を示す構成図である。
クス液晶ディスプレイ基板の一部拡大図である。
る。
る。
である。
の断面図である。
断面図である。
極の明暗状態の第2の例を示す説明図である。図11
(b)は図11(a)に示す画素電極に対応して得られる電圧
分布を示すグラフである。
極の明暗状態の第3の例を示す説明図である。図12
(b)は図12(a)に示す画素電極に対応して得られる電圧
分布を示すグラフである。
極の明暗状態の第4の例を示す説明図である。図13
(b)は図13(a)に示す画素電極に対応して得られる電圧
分布を示すグラフである。
のフロー図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 基板上に形成された複数のゲート配線と
複数のソース配線と複数の画素電極とを具備してなる薄
膜トランジスタを有する液晶ディスプレイ基板を検査す
る方法において、 電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学素子を
前記液晶ディスプレイ基板に微小間隔をあけて対向配置
し、前記ゲート配線とソース配線に通電して液晶ディス
プレイ基板の各画素電極により電気光学素子に電場を印
加するともに、電場を印加した状態の電気光学素子に検
査光を入射してこの検査光の画素電極ごとの光学的性質
の変化を受光器で捕らえ、この受光器で捕らえた光学的
変化を画素電極ごとの電圧に置き換えて液晶ディスプレ
イ基板の電圧分布の画像を得る操作を印加電圧の極性が
正の場合と負の場合のそれぞれの場合で複数回行って複
数の画像の電圧分布データを得、置き換えた画素電極ご
との電圧分布をヒストグラムにして、その電圧ヒストグ
ラムをもとに液晶ディスプレイ基板の良不良を判定する
ことを特徴とする液晶ディスプレイ基板の検査方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US757,460 | 1991-09-10 | ||
US07/757,460 US5465052A (en) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | Method of testing liquid crystal display substrates |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH05273139A JPH05273139A (ja) | 1993-10-22 |
JP3273972B2 true JP3273972B2 (ja) | 2002-04-15 |
Family
ID=25047919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24237392A Expired - Fee Related JP3273972B2 (ja) | 1991-09-10 | 1992-09-10 | 液晶ディスプレイ基板の検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5465052A (ja) |
JP (1) | JP3273972B2 (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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