KR100863986B1 - 센서기판과 이것을 이용하는 검사 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 센서기판과 이것을 이용하는 검사방법 및 장치는, 센서기판과 피검사기판을 상대적으로 1회 이동시킴으로써, 단선의 유무와 단선 부분을 특정 가능하게 하기 위한 것이다. 센서기판은 제1 방향으로 간격을 두고 제2 방향으로 연장하는 다수의 전로를 구비하는 표시용 패널의 유리기판과 같은 피검사기판의 검사에 이용된다. 센서기판은 검사신호를 전로에 접촉하지 않고 공급하는 적어도 하나의 급전전극과, 적어도 제1 방향으로 간격을 둔 다수의 수전전극으로서 각각이 전로에 공급된 검사신호를 접촉하지 않고 수용하도록 급전전극으로부터 제2 방향으로 간격을 둔 다수의 수전전극과, 상기 수전전극에서의 수신신호의 유무를 나타내는 전기신호를 출력하는 다수의 센서회로를 포함한다.

센서기판, 센서회로, 급전전극, 수전전극, 단선, 단락

Description

센서기판과 이것을 이용하는 검사 방법 및 장치{Sensor Substrate, and Inspecting Method and Apparatus Using the Sensor Substrate}

도1은 본 발명에 따른 센서기판과 피검사체의 관계를 나타낸 평면도이다.

도2는 도1의 우측면도이다.

도3은 센서기판의 하나의 실시 예를 나타낸 저면도이다.

도4는 센서회로의 하나의 실시 예를 나타낸 도면이다.

도5는 전기신호의 파형(波形)을 나타낸 도면이다.

도6은 단선의 검출방법의 하나의 예를 설명하기 위한 도면이다.

도7은 상호 단락의 검출방법의 하나의 예를 설명하기 위한 도면이다.

도8은 크로스 단락의 검출방법의 하나의 예를 설명하기 위한 도면이다.

도9는 센서기판의 다른 실시 예를 나타낸 저면도이다.

도10은 도9에 나타낸 센서기판을 이용했을 때의 크로스 단락의 하나의 실시 예를 나타낸 저면도이다.

도11은 본 발명에 따른 검사장치의 전기회로의 하나의 실시 예를 나타낸 도면이다.

도12는 도11의 회로에 의한 단선 및 단락의 검출방법의 하나의 실시 예를 설 명하기 위한 도면이다.

도13은 본 발명에 따른 검사장치의 메커니즘의 하나의 실시 예를 나타낸 정면도이다.

도14는 도13에 나타낸 검사장치의 평면도로서, 센서기판 및 반송장치의 일부 및 이것을 지지하는 부재의 일부를 생략한 평면도이다.

도15는 도13에 나타낸 검사장치의 우측면도이다.

도16은 반송장치 및 센서기판의 관계를 나타낸 확대 정면도이다.

도17은 홀더기구 및 홀더반송기구의 하나의 실시 예를 확대하여 나타낸 평면도이다.

도18은 도17의 18-18선에 따른 단면도이다.

도19는 센서기판의 다른 실시 예를 나타낸 배치도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

10: 검사장치 12: 피검사기판

14, 36: 유리판 16, 18: 전로(電路)

20, 60: 센서기판 22: 센서회로 군(群)

24, 26, 62: 급전(給電)전극 28: 수전(受電)전극

30, 32, 34: 단자 38: 센서회로

30, 40, 41, 44: 배선 42: 플랫 케이블(flat cable)

54: 단선 부분 56: 단락 패턴

58: 크로스 단선 부분 130: 프레임

132: 반송장치 136: 전달장치

138: 센터링장치 144, 146: 제1 및 제2 반송부재

148: 베이스 판 150: 조립장치

158: 반송보조장치 160: 지지부재

162: 기판홀더 164, 176: 액츄에이터

166: 상하이동기구 168: 스토퍼(stopper)

170: 홈부(凹所) 172: 로드(rod)

174: 부시(bush) 178: 센서회로

발명의 분야

본 발명은, 액정표시패널용 유리기판과 같이 다수의 배선을 구비한 피검사기판의 검사에 이용하는 센서기판과 이것을 이용하는 검사방법 및 장치에 관한 것이다.

발명의 배경

액정표시패널에 이용되는 유리기판과 같이 종횡으로 연장하는 다수의 배선 (즉, 전로(電路))을 구비한 피검사기판은 이들 배선의 단선(斷線) 및 단락(短絡)의 유무를 검사받는다. 그러한 검사에 이용하는 센서기판과 이것을 이용하는 검사방법 및 장치의 하나로서, 특허문헌1에 기재된 기술이 있다.

[특허문헌1] 일본특허공개공보 제2004-191381호

상기 종래 기술에 있어서의 센서기판은 피검사기판인 유리기판에 형성된 배선의 길이 방향으로 간격을 둔 적어도 한 쌍의 급전(給電)전극 및 수전(受電)전극을 구비하고 있다.

상기 센서기판을 이용하는 검사는 센서기판의 급전전극 및 수신되는 전극을 각각 배선의 피검사영역의 한쪽 끝 및 다른 쪽 끝에 대향시킨 상태로, 급전전극으로부터 배선을 향해 교류신호를 공급하면서, 그리고 그 검사신호를 배선을 통해 수전전극에서 수신하면서, 센서기판을 검사해야 할 다수의 배선을 가로질러 이동시킴으로써 행해진다.

배선의 이상(異常)은, 급전전극 및 수전전극이 배선과 대향하고 있음에도 불구하고, 상기 배선을 통해 검사신호가 수전전극에 수신되지 않는 경우에, 상기 배선은 단선되어 있다고 판정함으로써 행해진다.

그러나 상기 종래기술에서는 양 전극을 배선의 길이 방향으로 이격시킨 상태에서, 센서기판을 배선을 가로지르는 방향으로 이동시킨다. 따라서 상기와 같은 검사만으로는 단선의 유무는 검출할 수 있으나, 배선의 길이 방향에 있어서의 단선 부분은 검출할 수 없다.

때문에, 상기 종래기술에서는 단선 부분을 특정하기 위해, 양 전극을 단선되 어 있는 배선의 위치로 되돌리고, 검사신호의 송수신을 다시 행하면서, 양 전극의 한 쪽을 다른 쪽에 접근시켜서, 검사신호를 수전전극에 수신할 수 없는 부분을 검출하는 작업을 단선되어 있는 배선마다 행한다.

상기 종래기술에서는 배선의 길이 방향에 있어서의 단선 부분을 특정하는 공정을 단선의 유무에 대한 검사공정 외에도 행해야만 할 뿐만 아니라, 단선되어 있는 배선마다 행해야만 한다.

본 발명은, 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은, 센서기판과 피검사기판을 상대적으로 1회 이동시킴으로써 단선의 유무와 단선 부분을 특정 가능하게 하는데 있다.

본 발명에 따른 센서기판과 이것을 이용하는 검사방법 및 장치는 제1 방향으로 간격을 두고 제2 방향으로 연장하는 다수의 전로를 구비하는 표시용 패널의 유리기판과 같은 피검사기판의 검사에 이용된다.

본 발명에 따른 센서기판은 교류의 검사신호를 상기 전로에 접촉하지 않고 공급하는 적어도 하나의 급전전극과, 적어도 상기 제1 방향으로 간격을 둔 다수의 수전전극으로서 각각이 상기 전로에 유도된 교류 검사신호를 접촉하지 않고 수용하도록 상기 급전전극으로부터 상기 제2 방향으로 간격을 둔 다수의 수전전극과, 상기 수전전극에서의 수신신호의 유무를 나타내는 전기신호를 출력하는 다수의 센서회로를 포함한다.

상기 제1 방향으로 간격을 둔 적어도 두 개의 상기 급전전극이 구비되며, 또한 상기 다수의 수전전극은 각각이 상기 제1 방향으로 간격을 두고 상기 급전전극에 일대일로 대응된 적어도 하나의 수전전극 그룹으로서 각각이 대응하는 급전전극으로부터의 검사신호를 수신 가능한 다수의 수전전극을 포함하는 수전전극 그룹으로 나뉘어져 있는 것도 바람직하다.

상기 제1 방향으로 간격을 둔 다수의 상기 급전전극이 구비되며, 또한 상기 다수의 수전전극은 상기 급전전극에 일대일로 대응되어 있는 것도 바람직하다.

상기 다수의 센서회로는 상기 수전전극에 일대일로 접속되어 있는 것도 바람직하다.

상기 피검사기판은 상기 제2 방향으로 간격을 두고 상기 제1 방향으로 연장하는 다수의 제2 전로를 더 구비하며, 또한 상기 센서기판은 상기 제2 전로에 제2 검사신호를 공급하는 적어도 두 개의 제2 급전전극을 더 포함할 수 있다.

상기 제2 급전전극은 상기 제1 방향에 있어서의 상기 급전전극 및 상기 수전전극의 배치영영으로부터 벗어난 부분에 배치되어 있어도 좋다.

본 발명에 따른 검사방법은, 상기 급전전극과 상기 수전전극이 상기 제2 방향으로 간격을 두고 대향하는 상태에서, 상기와 같은 센서기판과 피검사기판을 상기 제2 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동단계와, 상기 이동단계 동안에 상기 급전전극에 교류의 검사신호를 공급하는 급전단계와, 상기 급전단계 동안에 상기 센서회로의 출력신호를 바탕으로 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 판정단계를 포함한다.

상기 급전단계는 상기 교류의 검사신호를 다수의 급전전극에 서로 다른 타이밍으로 공급하고, 또한 상기 판정단계는 상기 급전전극에 대한 급전 타이밍과 동기화(同期化)하여 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 것도 바람직하다.

상기 판정단계는 상기 전로에 대향된 수전전극에 접속된 센서회로의 출력신호와, 상기 전로에 대향되지 않는 수전전극에 접속된 센서회로의 출력신호를 바탕으로 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 것도 바람직하다.

상기 급전단계 또는 검사신호 발생회로는 상기 제2 검사신호를 상기 제2 급전전극에 공급하고, 상기 판정단계 또는 상기 판정회로는 상기 제2 검사신호를 수신하고 있는 상기 전극에 대향된 전로를 크로스 불량이라고 판정하도록 해도 좋다.

또한 상기 판정단계는 상기 전로가 불량이라고 판정했을 때의 상기 제2 방향에 있어서의 상기 센서기판과 피검사기판과의 상대적 위치로부터 상기 전로의 불량 부분을 특정해도 좋다.

본 발명에 따른 검사장치는 상기 급전전극에 공급하는 교류의 검사신호를 발생하는 검사신호 발생회로와, 상기 급전전극과 상기 수전전극이 상기 제2 방향으로 간격을 두고 대향하는 상태에서 상기와 같은 센서기판과 피검사기판을 상기 제2 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동장치와, 상기 센서기판과 피검사기판이 상기 이동장치에 의해 이동되고 상기 교류의 검사신호가 상기 급전전극에 공급되는 동안의 상기 센서회로의 출력신호를 바탕으로, 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 판정회로를 포함한다.

상기 판정회로는 상기 전로에 대향된 수전전극에 접속된 센서회로의 출력신호와, 상기 전로에 대향되지 않는 수전전극에 접속된 센서회로의 출력신호를 바탕으로, 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 것도 바람직하다.

또한 상기 검사신호 발생회로는 상기 제2 검사신호를 상기 제2 급전전극에 더 공급하고, 상기 판정회로는 상기 제2 검사신호를 수신하고 있는 상기 전극에 대향된 전로를 크로스 불량이라고 판정해도 좋다.

또한 상기 판정회로는 상기 전로가 불량이라고 판정했을 때의 상기 제2 방향에 있어서의 상기 센서기판과 피검사기판과의 상대적 위치로부터 상기 전로의 불량부분을 특정하도록 하는 것도 바람직하다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명한다.

실시 예

[피검사기판의 실시 예]

도1 및 도2를 참조하면, 검사장치(10)는 피검사기판(12)의 검사에 이용된다. 피검사기판(12)은 액정표시패널용 유리기판과 같은 미완성의 피검사기판이며, 또한 각각이 완성 후의 액정표시패널의 유리기판으로서 작용하는 다수(도시의 예에서는 6개)의 배선영역을 갖는다.

피검사기판(12)은 가요성(可撓性)을 갖는 직사각형 유리판(14)의 각 배선영역의 한쪽 면에, 병렬로 형성된 다수의 제1 전로(16)와, 병렬로 형성된 다수의 제2 전로(18)를 갖는다. 제1 및 제2 전로(16 및 18)는 이들 사이에 배치된 투명한 절연 층(도시 생략)에 의해 전기적으로 절연되어 있다.

제1 전로(16)는 유리판(14)과 평행한 면내(面內)를 제1 방향으로 간격을 두고 제2 방향으로 연장하고 있으며, 제2 전로(18)는 유리판(14)과 평행한 면내를 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 간격을 두고 제1 방향으로 연장하고 있다.

제1 및 제2 전로(16 및 18)는 어느 것이나 도전성 배선 패턴의 일부(즉, 배선)이며, 또한 제2 전로(18)가 제1 전로(16)보다 유리판(14) 측에 형성되도록 상기 절연층을 통해 적층되어 있다.

[센서기판의 실시 예]

검사장치(10)는 센서기판(20)을 포함한다.

센서기판(20)은, 도3에 나타낸 바와 같이, 이하에 설명하는 다수의 센서회로(38)를 구비하는 센서회로 군(群)(22), 적어도 두 개의 급전전극(24 및 26), 센서회로(38)에 일대일로 대응된 다수의 수전전극(28), 센서회로(38)의 단자에 일대일로 접속된 다수의 단자(30), 및 급전전극(24 및 26)에 일대일로 접속된 적어도 두 개의 단자(32 및 34)를 직사각형 유리판(36)의 한쪽 면에 형성하고 있다.

급전전극(24 및 26)은 유리판(36)의 길이 방향(도시의 예에서는, 제1 방향)으로 긴 띠형의 형상을 갖고 있으며, 또한 유리판(36)의 폭 방향(도시의 예에서는, 제2 방향)에 있어서의 한쪽 끝에 제1 방향으로 간격을 두고 형성되어 있다.

도시의 예에서는, 급전전극(24 및 26)은 각각 제1 방향(도3에 있어서, 좌우 방향)으로 연속하는 중앙영역(24a 및 26a)과, 중앙영역(24a 및 26a)의 폭 방향의 각 가장자리로부터 제1 방향으로 간격을 두고 제2 방향(도3에 있어서, 상하 방향)으로 돌출하는 돌출부(24b 및 26b)를 갖는다.

수전전극(28)은 서로 인접하는 전극(28)이 제1 방향과 제2 방향으로 간격을 두도록, 유리판(14)의 폭 방향의 중앙영역에 지그재그형태로 형성되어 있으며, 또한 급전전극(24 또는 26)에 일대일로 대응된 두 개의 전극 그룹으로 나뉘어져 있다.

제1 방향에 있어서의 각 수전전극(28)의 위치는, 대응하는 급전전극(24 또는 26)으로부터의 검사신호를 수신 가능하도록, 대응하는 급전전극(24 또는 26)의 제1 방향에 있어서의 위치와 일치되어 있다. 도시의 예에서는, 검사신호의 송수신의 확실성을 높이기 위해서, 제1 방향에 있어서의 각 수전전극(28)의 위치는 같은 방향의 돌출부(24b 또는 26b)의 위치와 일치되어 있다.

단자(30)는 유리판(36)의 폭 방향에 있어서의 다른 쪽 끝에 제1 방향으로 간격을 두고 형성되어 있다. 단자(32 및 34)는 각각 제1 방향에 있어서의 단자(30)의 배치영역의 한쪽 끝 및 다른 쪽 끝의 바깥 영역에 형성되어 있다.

급전전극(24 및 26)은 각각 배선(39 및 40)에 의해 단자(32 및 34)에 접속되며, 각 수전전극(28)은 배선(41)에 의해 대응하는 센서회로(38)에 접속되어 있다.

각 단자(30)는, 도4를 참조하여 이하에 설명하는 바와 같이, 배선(44)에 의해 센서회로(38)의 어느 단자에 접속되어 있다. 단자(30, 32 및 34)는 가요성을 갖는 다수의 플랫 케이블(42)의 어느 배선에 접속되어 있다.

도4에 나타낸 바와 같이, 센서회로 군(22)의 각 센서회로(38)는 전계효과형 박막 트랜지스터(46)와, 한쪽 끝이 트랜지스터(46)의 소스 전극에 접속된 부하저항(48)과, 한쪽 끝이 트랜지스터(46)의 소스 전극과 부하저항(48)과의 사이에 접속된 출력 다이오드(50)를 구비한다.

센서회로(38)의 출력신호는, 이하에 설명하는 제어장치(78)에, 대응하는 급전전극(24 또는 26)에 대한 검사신호의 공급 시 순차적으로 판독되고, 제어장치(78)에서 전로(16)의 불량 여부의 판정 및 불량 부분을 특정하는데 이용된다.

트랜지스터(46)의 게이트 전극은 배선(41)에 의해 대응하는 수전전극(28)에 접속되며, 부하저항(48)의 다른 쪽 끝은 배선(44)에 의해 단자(30)에 접속되고, 출력 다이오드(50)의 다른 쪽 끝은 다른 배선(44)에 의해 단자(30)에 접속되어 있다. 이에 반해, 트랜지스터(46)의 드레인 전극은 내부배선(52)에 의해 다른 트랜지스터(46)의 드레인 전극과 공통으로 어스 전극에 접속되어 있다.

적어도 하나의 단자(30)는 어스용 단자이며, 또한 어느 배선(52)에 의해 상기 어스 전극에 접속되어 있다.

센서회로 군(22)은 급전전극(24, 26), 검출전극(28), 단자(30, 32, 34), 배선(39, 40, 41, 44)과 함께 공지된 박막 반도체 집적회로의 제조기술에 의해 유리판(36)의 아랫면에 제작할 수 있다.

피검사체(12)와 센서기판(20)은, 센서회로 군(22)이 피검사기판(12)의 전로(16, 18)가 형성된 면 측에 형성되고, 급전전극(24, 26)과 수전전극(28)이 전로(16)의 길이 방향으로 이격되도록 대향되어, 피검사기판(12)에 대해 소정의 간격 G(예를 들면, 50μm)가 유지된다.

상기 상태에서, 피검사체(12)와 센서기판(20)은 전로(16)의 길이 방향으로 상대적으로 이동된다. 피검사체(12)와 센서기판(20)의 상대적 이동은 연속적이어도 좋고, 간헐적이어도 좋다.

[검사방법의 실시 예]

도6 내지 도8에 나타낸 바와 같이, 제1 방향에 있어서의 수전전극(28)의 배치 피치는 같은 방향에 있어서의 전로(16)의 배치 피치의 2배 이상(도시의 예에서는 12배)이다. 때문에, 피검사체(12)와 센서기판(20)이 상대적으로 이동되는 동안, 적어도 하나의 수전전극(28)이 하나의 전로(16)에 대향되며, 다른 적어도 하나의 수전전극(28)은 어떤 전로(16)에도 대향되지 않는다.

피검사체(12)와 센서기판(20)이 상기와 같이 상대적으로 이동되는 동안, 교류 검사신호가 급전전극(24 및 26)에 교대로 반복하여 공급된다. 이에 따라 교류 검사신호가 각 전로(16)에 유발되어, 단선, 상호 단락 및 크로스 단락의 유무와 이들 불량 부분을 특정하기 위한 검사가 반복하여 행해진다.

모든 센서회로(38)의 출력신호는 교류의 검사신호가 급전전극(24)에 공급되는 동안에 적어도 1회, 이하에 설명하는 제어장치(78)에 순차적으로 판독되어 전로(16)의 불량 여부의 판정에 이용됨과 동시에, 교류의 검사신호가 급전전극(26)에 공급되는 동안에 적어도 1회, 제어장치(78)에 순차적으로 판독되어 전로(16)의 불량 여부의 판정에 이용된다.

도5(A)는 급전전극(24)에 공급하는 교류 검사신호의 파형(波形)의 하나의 예를 나타내며, 도5(B)는 급전전극(26)에 공급하는 교류 검사신호의 파형의 하나의 예를 나타낸다.

도5(C) 내지 (G)는 센서회로(38)의 출력신호를 정류(整流)하고 파형정형(波形整形)한 후의 신호를 나타낸다. 그러나 이하의 설명에서는 이해를 용이하게 하기 위해서, 도5(C) 내지 (G)에 나타낸 신호를 간단하게 「처리신호」라 칭한다.

급전전극(24)에 공급하는 교류 검사신호와 급전전극(26)에 공급하는 교류 검사신호는, 주파수는 같으나, 공급 타이밍 즉 급전 타이밍(급전 위상)이 다르다. 그러나 급전전극(24)에 공급하는 교류 검사신호와 급전전극(26)에 공급하는 교류 검사신호는 서로 다른 주파수를 갖고 있는 것도 바람직하다.

전로(16)가 정상이라면, 상기 전로(16)에 대향된 수전전극(28)은 검사신호를 수신하고, 상기 수전전극(28)에 대응하는 센서회로(38)가 소정의 타이밍 즉 수전 타이밍(수전 위상)에서 「신호 있음」을 나타내는 신호를 출력한다.

검사신호는 전로(16)에 대향되지 않는 수전전극(28)에 수신되지 않으므로, 이들 수전전극(28)에 대응하는 센서회로(38)는 신호를 출력해야할 타이밍(즉, 수전 타이밍)에 「신호 있음」을 나타내는 신호를 출력하지 않는다. 즉, 「신호 없음」을 나타내는 신호를 출력한다.

상기 두 개의 조건에 의해, 「전로(16)의 현재 위치는 정상이다」라고 판정할 수 있다.

도5(C)는 급전전극(24)에 대응된 전극 그룹에 속하는 수전전극(28) 중, 전로(16)에 대향된 수전전극(28)의 수신신호를 처리하는 센서회로(38)의 출력신호의 처리신호를 나타낸다.

도5(D)는 급전전극(26)에 대응된 전극 그룹에 속하는 수전전극(28) 중, 전로(16)에 대향된 수전전극(28)의 수신신호를 처리하는 센서회로(38)의 출력신호의 처리신호를 나타낸다.

그러나 단선 부분을 도6에 부호 54로 나타낸 바와 같이, 전로(16a)가 단선되어 있으면, 상기 전로(16a)에 대향된 수전전극(28a)에 검사신호가 도달하지 않는다. 그 결과, 그 수전전극(28a)에 대응하는 센서회로(38)가 신호를 출력해야할 타이밍(즉, 수전 타이밍)에 도5(E)에 점선으로 나타낸 처리신호가 되는 「신호 있음」을 나타내는 신호를 출력하지 않는다(출력신호는 「신호 없음」을 나타내는 신호가 된다). 이에 따라, 「전로(16)가 단선되어 있다」라고 판정할 수 있다.

도5(E)는 급전전극(24)에 대응된 전극 그룹에 속하는 수전전극(28) 중 단선되어 있는 전로(16a)에 대향된 수전전극(28a)의 수신신호를 처리하는 센서회로(38)의 출력신호의 처리신호를 나타낸다.

단락 패턴을 도7에 부호 56으로 나타낸 바와 같이, 적어도 두개의 전로(16b, 16b)가 단락 패턴(56)에 의해 단락되어 있으면, 어느 전로(16)에도 대향되지 않고, 단락 패턴(56)에 대향된 수전전극(28b)이 검사신호를 수신한다. 그 결과, 수전전극(28b)에 대응하는 센서회로(38)가 도5(F)에 나타낸 처리신호가 되는 「신호 있음」을 나타내는 신호를 출력한다. 이에 따라, 「적어도 두 개의 전로(16b)가 상호 단락되어 있다」라고 판정할 수 있다.

단락 부분을 도8에 부호 58로 나타낸 바와 같이, 전로(16c)가 적어도 하나의 전로(18c)와 단락되어 있으면, 상기 전로(16c)에 대향된 수전전극(28c)이 신호를 수신하지 않아야 하는 타이밍(즉, 비(非) 수전 타이밍)에 전로(18c)를 경유하는 검사신호를 수신한다. 그 결과, 수전전극(28c)에 대응하는 센서회로(38)는 도5(G)에 나타낸 처리신호가 되는 「신호 있음」을 나타내는 신호를 출력한다. 이에 따라, 「전로(16c와 18c)가 크로스 단락되어 있다.」고 판정할 수 있다.

급전전극(26)에 대응된 전극 그룹에 속하는 수전전극(28)의 수신신호를 처리하는 센서회로(38)는, 「신호 있음」또는 「신호 없음」을 나타내는 신호를 출력하는 타이밍(즉, 수전 타이밍)이, 급전전극(24)에 대응된 전극 그룹에 속하는 수전전극(28)의 수신신호를 처리하는 센서회로(38)와 다를 뿐이며, 그것과 마찬가지로 작동한다.

상기와 같이, 「전로(16)가 단선, 상호 단락 또는 크로스 단락되어 있다」라는 판정은, 대응하는 수전전극에서의 수신신호가 없을 때, 대응하는 수전전극에서의 수신신호가 있음에서 없음으로 변화했을 때, 대응하는 수전전극에서의 수신신호가 없음에서 있음으로 변화했을 때, 및 이들을 조합시켰을 때를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나의 경우에 행할 수 있다.

단선되어 있는 전로(16a), 상호 단락되어 있는 전로(16b 및 16b), 크로스 단락되어 있는 전로(16c 및 18c) 등은 단선, 상호 단락 또는 크로스 단락이라고 판정했을 때의, 제1 방향에 있어서의 센서기판(20)과 피검사기판(12)의 상대적 위치, 즉 좌표 값(예를 들어, 제1 방향에 있어서의 전로(16) 또는 수전전극(28)의 위치, 즉 전로(16) 또는 수전전극(28)의 번호)으로부터 특정할 수 있다.

전로(16)의 불량 부분은 「전로가 불량이다」라고 판정되었을 때의 제2 방향에 있어서의 센서기판(20)과 피검사기판(12)의 상대적 위치(예를 들면, 제2 방향에 있어서의 수전전극(28)과 피검사기판(12) 또는 전로(16)와의 좌표 값)로부터 특정할 수 있다.

상기와 같이, 불량 전로와 그 불량 부분은, 「전로가 불량이다」라고 판정했을 때의 제2 방향에 있어서의 센서기판(20)과 피검사기판(12)의 상대적 위치로부터 특정할 수 있다.

구체적으로는 전로의 길이 방향에 있어서의 단선 부분은, 수전전극(28)에서의 수신신호가 없을 때, 수전전극(28)에서 수신해야 할 검사신호가 있음에서 없음으로 변화했을 때, 및 수전전극(28)에서의 수신신호가 없음에서 있음으로 변화했을 때를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나의 경우의 제2 방향에 있어서의 센서기판(20)과 피검사기판(12)과의 상대적 위치(즉, 좌표 값)로부터 특정할 수 있다.

[센서기판의 다른 실시 예]

도9 및 도10을 참조하면, 센서 기판(60)은 도3에 나타낸 센서기판(20)에 있어서의 급전전극(24 및 26) 대신에, 각각이 수전전극(28)에 일대일로 대응된 다수의 급전전극(62)을 제1 방향과 제2 방향으로 간격을 두도록, 유리판(14)의 폭 방향에 있어서의 한쪽 끝에 구비하고 있다.

도시의 예에서는, 제1 방향에 있어서의 급전전극(62)의 배치 피치는 같은 방 향에 있어서의 전로(16)의 배치 피치의 2배 이상(도시의 예에서는 4배)이다. 따라서 급전전극(62)은 4개씩의 전극 그룹으로 나뉘어져 있다.

이하, 각 전극 그룹의 급전전극(62)의 각각을 나타낼 때, 「제1 급전전극(62)」, 「제2 급전전극(62)」,「제3 급전전극(62)」 또는「제4 급전전극(62)」이라 칭한다.

또한, 센서기판(60)은 도3에 나타낸 센서기판(20)의 단자(32 및 34) 대신에, 각각이 제1, 제2, 제3 및 제4 단자를 포함하는 두 그룹의 단자(64 및 64)를 포함한다. 한쪽 및 다른 쪽 그룹의 단자(64 및 64)는 각각 제1 방향에 있어서의 단자(30)의 배치영역의 한쪽 끝 및 다른 쪽 끝의 바깥 영역에 형성되어 있다.

각 그룹의 제1, 제2, 제3 및 제4의 단자는 각각 제1, 제2, 제3 및 제4 급전전극에 대응되어, 대응하는 제1, 제2, 제3 및 제4 급전전극(62)에 공통으로 접속되어 있다. 급전전극(62)은 또한 한쪽 그룹의 단자(64)에 대응된 대전극(大電極) 그룹과, 다른 쪽 그룹의 단자(64)에 대응된 대전극 그룹으로 더 나뉘어져 있다.

한쪽의 대전극 그룹의 제1 제2, 제3 및 제4 급전전극(62)은 각각 대응하는 한쪽 그룹의 제1, 제2, 제3 및 제4 단자(64)에 한쪽 그룹의 제1, 제2, 제3 및 제4 배선(66)에 의해 공통으로 접속되어 있다. 다른 쪽의 대전극 그룹의 제1, 제2, 제3 및 제4 급전전극(62)은 각각 다른 쪽 그룹의 단자(64)에 다른 쪽 그룹의 제1, 제2, 제3 및 제4의 배선(66)에 의해 공통으로 접속되어 있다.

그러나, 상기와 같이 급전전극(62)을 대전극 그룹으로 나누어 두 그룹의 단자(64)에 접속하는 대신에, 하나의 그룹의 제1, 제2, 제3 및 제4 단자(64)를 설치 하고, 제1, 제2, 제3 및 제4 급전전극(62)을 각각 상기 하나의 그룹의 제1, 제2, 제3 및 제4 단자(64)에 공통으로 접속하는 것도 바람직하다.

센서기판(60)을 이용하는 검사 시에, 피검사기판(12)과 센서기판(60)이 전로(16)의 길이 방향으로 상대적으로 이동되는 동안, 교류 검사신호가 제1, 제2, 제3 및 제4의 급전전극(62)에 일정시간 마다 순차적으로 공급된다.

검사신호를 급전전극(62)에 공급하는 순서는 임의대로지만, 예컨대 제1 방향에 있어서의 한 쪽 끝에 위치하는 전극으로부터 다른 쪽 끝에 위치하는 전극 순으로 공급할 수 있다. 이에 따라, 검사신호가 각 급전전극(62)에 간헐적으로 반복하여 공급된다.

전로(16)의 단선, 전로(16)의 상호 단락, 전로(16, 18)의 크로스 단락, 및 불량 부분의 좌표는 센서기판(20)에 있어서의 그것과 같은 방법으로 판정 또는 특정할 수 있다.

[센서기판의 또 다른 실시 예]

도9 및 도10에 나타낸 바와 같이, 센서 기판(60)은 전로(18)에 교류 검사신호를 공급하는 적어도 하나의 급전전극(68)과, 급전전극(68)에 접속된 단자(70)를 더 포함할 수 있다.

이하, 급전전극(62 및 68)을 각각 제1 및 제2 급전전극이라 하고, 제1 및 제2 급전전극에 공급하는 교류 검사신호를 각각 제1 및 제2 검사신호라 한다. 제2 급전전극(68)에 공급하기 위한 제2 검사신호는 교류 연속신호이다. 제1 및 제2 검사신호는 같은 주파수라도 좋고, 다른 주파수라도 좋다.

제2 급전전극(68)을 구비하는 센서기판(60)의 검사 시, 피검사기판(12)과 센서기판(60)이 전로(16)의 길이 방향으로 상대적으로 이동되는 동안, 제1 검사신호가 제1 급전전극으로 일정시간 마다 순차적으로 반복하여 공급됨과 동시에, 제2 검사신호가 제2 급전전극(68)에 연속해서 공급된다.

전로(16)의 단선, 전로(16)의 상호 단락, 및 불량 부분의 좌표는 센서 기판(20)에 있어서의 그것과 같은 방법으로 판정할 수 있다. 전로(16, 18)의 상호 단락은 이하와 같이 판정할 수 있다.

단락 부분을 도10에 부호 72로 나타낸 바와 같이, 전로(16d)가 적어도 하나의 전로(18d)와 단락되어 있으면, 그 전로(16d)에 대향된 수전전극(28d)이 신호를 수신하지 않아야 할 타이밍(즉, 비(非) 수신 타이밍)에 제2 검사신호를 수신한다.

상기의 결과, 단락 부분(72)이 급전전극(62)과 수전전극(28d)의 사이에 있고 급전전극(68)과 전로(16d)가 대향하고 있는 동안, 수전전극(28d)에 대응하는 센서회로(38)는 「신호 있음」을 나타내는 신호를 계속 출력한다. 이에 따라, 「전로(16d와 18d)가 단락되어 있다」라고 판정할 수 있다.

단락 부분(72)은 센서회로(38)가 「신호 있음」을 나타내는 신호를 출력하고 있을 때의 센서기판(60)과 피검사체(12)의 상대적 위치로부터 특정할 수 있다.

[검사장치의 전기회로의 실시 예]

도11을 참조하면, 검사장치(10)는 도3에 나타낸 센서기판(20)을 이용한다.

검사장치(10)는 교류 검사신호를 발생하는 검사신호 발생회로(74)와, 검사신호 발생회로(74)에 접속해야 할 급전전극(24, 26)을 전환하는 전환회로(76)와, 각종 회로 및 기계장치를 제어함과 동시에 신호를 처리하는 제어장치(78)와, 제어장치(78)에 제어되어 각종 데이터를 육안으로 볼 수 있도록 표시하는 표시장치(80)와, 하기에 설명하는 반송장치를 구동하는 구동장치(82)와, 각종 데이터를 기억하는 메모리(84)와, 제어장치(78)에 접속해야할 센서회로(38)(도3 참조)를 전환하는 전환회로(86)를 포함한다.

검사신호는 전환회로(76 및 86)에 있어서의 전환주기보다 짧은 주기를 갖는 고주파 교류 신호이다. 그러한 검사신호는 피검사체(12)와 센서기판(20)이 상대적으로 이동되는 동안, 전환회로(76)에 의해 급전전극(24, 26)에 교대로 반복하여 공급된다.

전환회로(76)는 교류의 검사신호가 급전전극(24)에 공급되어 있는 동안은 상기 급전전극(24)에 대응된 그룹에 속하는 수전전극(28)에 접속된 센서회로(38)를 순차적으로 전환하여 제어장치(78)에 접속하고, 교류의 검사신호가 급전전극(26)에 공급되어 있는 동안은 상기 급전전극(24)에 대응된 그룹에 속하는 수전전극(28)에 접속된 센서회로(38)를 순차적으로 전환하여 제어장치(78)에 접속한다.

전환회로(86)의 전환주파수는 전환회로(76)의 그것보다 높다. 전환회로(76 및 86)에 있어서의 전환은 제어장치(78)로부터 공급되는 사각형 파형의 전환신호에 의해 제어된다.

전환회로(76 및 86)의 전환주파수는 예를 들면 교류의 검사신호가 급전전극(24)에 공급되는 동안에 모든 센서회로(38)의 출력신호가 적어도 1회 제어장치(78)에 순차적으로 판독됨과 동시에, 교류의 검사신호가 급전전극(26)에 공급되는 동안 모든 센서회로(38)의 출력신호가 적어도 1회 제어장치(78)에 순차적으로 판독될 만한 값으로 할 수 있다.

제어장치(78)는 전환회로(76)를 제어해서 교류의 검사신호를 급전전극(24 또는 26)에 공급시키면서, 전환회로(86)를 제어해서 센서회로(38)의 출력신호(즉, 수신신호)를 순차적으로 수용하고, 수용한 수신신호를 센서기판과 피검사기판의 상대적 좌표와 함께 메모리(84)에 일시적으로 기억한다.

메모리(84)에 기억된 수신신호는 제어장치(78)에 있어서 전로(16)의 단선 및 단락의 유무(즉, 전로의 불량 여부)를 판정함과 동시에, 불량 부분을 특정하고, 이들 데이터를 전로마다 그리고 불량부분마다 메모리(84)에 기억하고, 표시장치(80)에 표시시키는 것 등에 이용된다.

구동장치(82)는 하기에 설명하는 반송장치를 구동시킨다. 이 반송장치는 센서회로 군(22)이 피검사기판(12)의 전로(16, 18)가 형성된 면 측이 되고, 급전전극(24, 26)과 수전전극(28)이 전로(16)의 길이 방향으로 이격되도록, 피검사체(12)와 센서기판(20)을 대향시켜서 피검사체(12)와 센서기판(20)을 피검사기판(12)에 대해 소정의 간격 G를 유지한 상태에서, 피검사체(12)와 센서기판(20)을 전로(16)의 길이 방향으로 상대적으로 이동시킨다.

도12를 참조하면, 상기 검사회로에 의한 전로의 불량 여부의 판정법에 대해 설명한다. 도12는 하나의 센서회로(38)의 출력신호에 근거하는 판정법의 흐름도를 나타내지만, 다른 센서회로(38)의 출력신호에 근거하는 판정도 마찬가지로 순차적으로 진행된다.

검사는 전로(16)의 검사해야할 영역의 한쪽 끝에서 다른 쪽 끝까지, 피검사체(12)와 센서기판(20)을 상대적으로 연속하여 이동시키면서, 교류의 검사신호를 급전전극(24 및 26)에 교대로 공급함으로써 행해진다.

피검사체(12)와 센서기판(20)을 상대적으로 이동시키기에 앞서, 전로(16)에 대향되어 있는 수전전극(28)을 특정하여, 정규 전로에 대향하고 있는 수전전극(28)을 결정하는 처리가 행해진다.

상기 작업은, 센서기판(20)을 전로(16)의 검사영역의 한쪽 끝에 위치시킨 상태에 있어서, 교류의 검사신호를 급전전극(24 및 26)에 교대로 공급하고, 이 때 검사신호를 수신한 수전전극(28)을 확인함으로써 행해진다. 그 수전전극(28)의 적어도 제1 방향에 있어서의 좌표 값은 정규 전로의 좌표 위치로서 메모리(84)에 기억된다.

이어서, 제어장치(78)는 하나의 센서회로(38)의 출력신호를 수용함과 동시에, 그 때의 제1 방향에 있어서의 센서기판(20) 및 피검사기판(12)의 상대적 위치, 즉 좌표 값을 확인하고, 수용한 신호를 확인한 상대적 위치와 함께 메모리에 기억한다(단계 100).

제1 방향에 있어서의 센서기판(20) 및 피검사기판(12)의 상대적 위치는 예를 들면 제1 방향에 있어서의 전로(16) 혹은 수전전극(28)의 위치, 즉 전로 또는 수전전극의 번호와 제2 방향에 있어서의 수전전극(28) 및 피검사기판(12)의 상대적 위치, 즉 좌표 값으로 할 수 있다.

이어서, 제어장치(78)는, 급전타이밍이 A이고 수전 타이밍이 A인지, 급전타이밍이 B이고 수전타이밍이 B인지, 어느 쪽에 해당하는지의 여부를 판정한다(단계 101).

타이밍(A 및 B)은 각각 급전전극(24 및 26)에 교류의 검사신호를 공급하는 타이밍이다. 이것은 교류의 검사신호가 급전전극(24 및 26)에 교대로 공급되는 것에 기인한다. 따라서, 단계 101에 의해 원 시점의 급전과 수전 타이밍의 관계가 판정된다.

단계 101에 있어서의 판정의 결과, Yes(급전과 수전의 타이밍이 일치)인 경우, 제어장치(78)는 그 전로가 정규 전로인지 여부를 판정한다(단계 102). 상기 단계 102에 의해, 원 시점이 정규 전로에 대향된 수전전극(28)에 접속된 센서회로(38)의 출력신호를 판정해야할 타이밍인지 여부에 대해 판정된다.

단계 102에 있어서의 판정의 결과, Yes(정규 전로에 대향된 수전전극(28)에 접속된 센서회로(38)의 출력신호의 판정 타이밍, 즉 정규 전로의 판정 타이밍)인 경우, 제어장치(78)는 「신호 있음」이 입력되어 있는지 여부를 판정한다(단계 103). 상기 단계 103에 의해, 전로(16)의 단선의 유무가 확인된다.

단계 103에 있어서의 판정의 결과, Yes(「신호 있음」이 입력되어 있음)인 경우, 제어장치(78)는 정규 전로의 현재 부분은 정상이라고 판정하고, 다음 신호의 수용 및 좌표 값의 확인 등의 처리로 이동하기 위해 단계100으로 되돌아간다.

단계 103에 있어서의 판정의 결과, No(「신호 있음」의 입력 없음)인 경우, 제어장치(78)는 「정규 전로가 단선되어 있다」라고 판정하여, 단선되어 있다는 뜻을 상기 단선 부분의 좌표 값과 함께 메모리(84)에 기록한 후, 단계 100으로 되돌 아간다(단계 104).

단계 102에 있어서의 판정의 결과, No(정규 전로의 위치가 아니다)인 경우, 제어장치(78)는 「신호 있음」이 입력되었는지 여부를 판정한다(단계 105). 상기 단계 105에 의해, 전로(16)의 상호 단락이 확인된다.

단계 105에 있어서의 판정의 결과, Yes(「신호 있음」이 입력되어 있음)인 경우, 제어장치(78)는 상호 단락이라고 판정하고, 그러한 뜻을 상기 상호 단락 부분의 좌표 값과 함께 메모리(84)에 기억한 후, 단계 100으로 되돌아가서, 다음 센서회로(38)의 출력신호의 수용, 좌표 값의 확인 등의 처리로 이동한다(단계 106).

단계 105에 있어서의 판정의 결과, No(「신호 있음」이 입력되어 있지 않음)인 경우, 제어장치(78)는 「현재의 부분은 정상이다」라고 판정하여, 단계 100으로 되돌아간다.

단계 101에 있어서의 판정의 결과, No(급전 타이밍과 수전타이밍이 일치하지 않음)인 경우, 제어장치(78)는 「신호 있음」이 입력되었는지 여부를 판정한다(단계 107).

상기 단계 107에 의해 급전과 수전의 타이밍이 일치하지 않음(정규 전로의 위치가 아님)에도 불구하고, 「신호 있음」이 입력되어 있는지 여부, 즉 전로(16)가 크로스 단락되어 있는지 여부에 대한 판정이 행해진다.

단계 107에 있어서의 판정의 결과, Yes(「신호 있음」이 입력되어 있음)인 경우, 제어장치(78)는 크로스 단락되어 있다는 뜻을 상기 크로스 단락 부분의 좌표 값과 함께 메모리(84)에 기억한 후, 단계 100으로 되돌아가서, 다음 신호의 수용 및 좌표 값의 확인 등의 처리로 이동한다(단계 108).

단계 107에 있어서의 판정의 결과, No(「신호 있음」이 입력되어 있지 않음)인 경우, 제어장치(78)는 「현재의 부분은 정상이다」라고 판정하여, 단계 100으로 되돌아간다.

전로(16)의 이상 부분은 다수의 부분에 이르는 경우가 있다. 따라서 피검사기판(12)과 센서기판(20)이 상대적으로 이동되는 동안, 전로의 이상 부분이 발견되더라도 상기와 같은 검사는 피검사기판(12)과 센서기판(20)을 전로의 피검사영역의 한쪽 끝에서 다른 쪽 끝까지 이동시키면서, 그 동안 반복하여 행해진다.

[검사장치의 메커니즘의 실시 예]

도13 내지 도18을 참조하면, 검사장치(10)는 상기 검사장치(10)의 각종 기계장치를 지지하는 지지대로서 작용하는 프레임(130)과, 피검사기판(12)을 좌우 방향으로 반송하는 반송장치(132), 피검사기판(12)으로부터의 전기신호를 검출하는 검출헤드, 즉 센서기판(20), 피검사기판(12)을 전달하는 한 쌍의 전달장치(136), 및 한쪽 전달장치(136)에 수용된 표시용 패널(12)을 센터링하는 센터링장치(138)를 더 포함한다.

프레임(130)은 센서기판(20)으로부터의 전기신호를 바탕으로 전로의 단선 및 단락, 불량 부분(좌표 값) 등을 확인하여 기억하는 테스터부(140)와 검사장치(10)에 구비된 각종 기계장치를 제어하는 제어부(142)를 수납하고 있다.

반송장치(132)는 상하 방향(Z방향)으로 간격을 두고 좌우 방향(X방향)으로 평행하게 연장하는 한 쌍의 제1 반송부재(144)와, 상하 방향으로 간격을 두고 좌우 방향으로 평행하게 연장하는 한 쌍의 제2 반송부재(146)를 포함한다. 제1 및 제2 반송부재(144 및 146)는 각각 제1 및 제2 반송부를 형성한다.

제1 및 제2 반송부재(144 및 146)의 각각은 공기의 분사 및 흡인에 의해 평판형 부재를 소정의 높이 위치에 유지하거나 유지하면서 반송하는 공지된 장치이다. 상기와 같은 반송부재는 Presser Vacuum Plate(PV플레이트)와 같은 상품명으로 시판되고 있다.

제1 반송부재(144)는 공기를 피검사기판(12)을 향해 분사함과 동시에 피검사기판(12)의 반송공간의 공기를 흡인함으로써 피검사기판(12)을 센서기판(20)으로부터 아래쪽으로 이격된 제1 반송위치에 유지하면서 반송하도록, 반송장치(132)에 의한 피검사기판(12)의 반송방향에 있어서의 상류 측에 위치되어 있다.

제2 반송부재(146)는 공기를 피검사기판(12)을 향해 분사함과 동시에 피검사기판(12)의 반송공간의 공기를 흡인함으로써 피검사기판(12)을 센서기판(20)으로부터 아래쪽으로 약간 이격된 제2 반송위치에 유지하면서 반송하도록, 피검사기판(12)의 반송방향에 있어서의 하류 측에 배치되어 있다.

제1 반송위치는 반송되는 피검사기판(12)이 센서기판(20)으로부터 크게 이격되어, 피검사기판(12)이 센서기판(20)의 아랫면과 평행하게 반송되는 위치이다. 센서기판(20)의 아랫면과 제1 반송위치와의 간격은 센서기판(20)으로부터 제2 반송위치까지의 치수에, 하기에 설명하는 플랫 케이블(42)의 두께치수에 50μm를 더한 값 이상의 치수, 예를 들면 100μm이상으로 할 수 있다.

제2 반송위치는 제1 반송위치보다 센서기판(20)에 가까운 위치로서 피검사기판(12)이 센서기판(20)의 아랫면과 평행하게 반송되는 위치이다. 센서기판(20)의 아랫면과 제2 반송위치와의 간격은 피검사기판(12)이 센서기판(20)으로부터 50μm정도 이격되는 위치로 할 수 있다.

피검사기판(12)이 제1 반송위치로부터 제2 반송위치로 반송되는 반송로는 피검사기판(12) 자체가 휘어지는 만곡반송로로서 작용한다.

상기와 같이 피검사기판(12)을 제1 또는 제2 반송위치에 유지하면서 반송하기위해서는, 예컨대 공기의 분사량 및 흡인량을 상하 반송부재에서 서로 다르게 하는 것이 바람직하다.

상측의 제1 반송부재(144)의 하류쪽 끝의 아랫면과, 하측의 제2 반송부재(146)의 상류쪽 끝의 윗면은 서로 마주보고 있다. 또한, 상측의 제1 및 제2 반송부재(144 및 146)는 센서기판(20)이 양측 사이에 위치하도록 좌우 방향으로 간격을 두고 있다.

상기의 결과, 피검사기판(12)은 이것이 제1 반송부재(144)에 따른 기판 반송로로부터 제2 반송부재(146)에 따른 기판 반송로로 이행할 때, 도16에 나타낸 바와 같이, 제1 반송위치로부터 제2 반송위치에, 즉 센서기판(20)으로부터 멀리 떨어진 위치로부터 센서기판(20)에 접근한 위치로 휘어진다.

하측의 제1 및 제2 반송부재(144 및 146)는 피검사기판(12)의 반송 방향으로 연장하도록 프레임(130) 위에 설치된 베이스 판(148)에 설치되어 있다. 이에 반해, 상측의 제1 및 제2 반송부재(144 및 146)는 프레임(130) 위에 설치된 문형(門型)의 조립장치(150)에 설치되어 있다.

조립장치(150)는 센서기판(20)을 사이에 두고 전후 방향으로 간격을 두고 좌우 방향으로 연장하는 상태로 프레임(130)에 설치된 한 쌍의 지지부재(152)와, 양 지지부재(152)를 연결하는 다수의 연결부재(154)와, 이들 연결부재(154)의 각각에 결합된 다수의 결합부재(156)를 구비하고 있다.

도시의 예에서는, 연결부재(154)는 5개 설치되어 있으며, 결합부재(156)는 3개 설치되어 있다. 상측의 제1 및 제2 반송부재(144 및 146)의 각각은 결합부재(156)에 설치되어 있다. 나머지 결합부재(156)에는 센서기판(20)이 설치되어 있다.

또한, 반송장치(132)는 피검사기판(12)을 이것의 가장자리부에 접촉하여 공동으로 홀딩하는 한 쌍의 홀더기구와, 이들 홀더기구에 각각 대응되어 대응하는 홀더기구를 좌우 방향으로 동기화하여 이동시키는 한 쌍의 홀더이동기구를 포함한다.

홀더기구 및 홀더이동기구로 이루어진 두 그룹의 기구는 피검사기판(12)의 반송로를 사이에 두고 전후 방향으로 간격을 두고 있으며, 또한 프레임(130) 위에 배치되어 있다. 이들 홀더기구 및 홀더이동기구는 제1 및 제2 반송부재(144 및 146)에 의한 피검사기판(12)의 반송을 보조하는 반송보조장치(158)를 구성하고 있다.

각 홀더기구는 피검사기판(12)의 반송로의 바깥쪽을 좌우 방향으로 연장하는 지지부재(160)와, 피검사기판(12)의 전후 방향에 있어서의 가장자리부에 접촉 가능하도록 지지부재(160)에 좌우 방향으로 간격을 두고 지지된 다수의 기판홀더(162) 와, 기판홀더(162)를 피검사기판(12)의 가장자리부의 이동로로 출입시키도록 지지부재(160)를 전후 방향으로 이동시키는 액츄에이터(164)를 포함한다.

한쪽 홀더기구의 각 기판홀더(162)는 다른 쪽 홀더기구의 기판홀더(162)의 하나와 전후 방향에 대향되고, 다른 쪽 홀더기구의 기판홀더(162)의 하나와 함께 전후 방향에 대향하는 기판홀더의 그룹 또는 쌍을 형성하고 있다.

각 기판 홀더(162)는 이것을 상하 방향으로 이동시키는 상하이동기구(166)에 의해 지지부재(160)에 설치되어 있다. 도시의 예에서는, 각 상하이동기구(166)는 상하 방향으로 연장하는 상태로 지지부재(160)에 설치된 리니어 레일(즉, 고정자)(166a)(도18 참조)과, 리니어 레일(166a)에 상하이동 가능하도록 결합된 가동체(즉, 가동자)(166b)(도18 참조)를 구비하는 리니어 모터이다.

각 기판홀더(162)는 리니어 모터의 가동체(166b)에 설치되어 있다. 각 기판홀더(162)의 최하단 위치는 리니어 모터의 리니어 가이드(166a)에 설치된 스토퍼(168)(도18 참조)에 의해 제한된다. 각 기판홀더(162)는 전후 방향에 대한 이동에 수반하여 피검사기판(12)의 가장자리부를 수용하는 가로 V자형의 홈부(170)(도18 참조)를 갖는다.

액츄에이터(164)는 도시의 예에서는, 전후 방향으로 신축하는 공기압 또는 유압식 실린더 기구이다. 액츄에이터(164)는 상기 실린더 본체에 있어서 홀더이동기구에 지지되어 있으며, 또한 피스톤 로드(rod)에 있어서 지지부재(160)에 결합되어 있다.

각 홀더기구는 또한 지지부재(160)로부터 피검사기판의 가장자리부와 반대 측으로 연장하는 다수의 로드(172)와, 상기 로드(172)가 전후방향으로 이동 가능하도록 관통하는 부시(bush)(174)를 포함한다. 각 홀더기구는 부시(174)에 있어서 홀더이동기구에 지지되어 상기 홀더이동기구에 의해 좌우 방향으로 이동된다.

홀더이동기구는 피검사기판(12)의 반송로를 사이에 두고 전후 방향으로 간격을 둔 한 쌍의 액츄에이터(176)를 구비한다. 액츄에이터(176)는 도시의 예에서는 좌우 방향으로 연장하는 상태로 프레임(130)에 설치된 리니어 레일(즉, 고정자)(176a)과, 리니어 레일(176a)에 좌우 방향으로 이동 가능하도록 결합된 리니어 가이드(즉, 가동자)(176b)를 구비하는 리니어 모터이다. 액츄에이터(164) 및 부시(174)는 리니어 가이드(176b)에 지지되어 있다.

반송보조장치(158)는 도14에 있어서 왼쪽 끝의 대기위치에서 대기한다. 이 대기위치에 있어서 기판홀더(162)는 피검사기판(12)의 반송로로부터 이격되어 있다.

상기 대기위치에 있어서, 반송보조장치(158)는 액츄에이터(164)에 의해 지지부재(160)를 피검사기판(12)을 향해 이동시킨다. 이에 따라 기판홀더(162)는 피검사기판(12)의 반송로에 이동되어 전달장치(136) 위의 피검사기판(12)을 홀딩하고 상기 피검사기판(12)을 수용한다.

피검사기판(12)을 수용하면, 반송보조장치는 피검사기판(12)을 기판홀더(162)로 홀딩한 상태에서, 액츄에이터(176)에 의해 도14에 있어서 왼쪽에서 오른쪽으로 이동되고, 이에 따라 피검사기판(12)을 도14에 있어서 오른쪽 끝으로 반송한다. 상기 위치에서, 기판홀더(162)는 피검사기판(12)의 반송로의 바깥으로 이동 되어 피검사기판(12)을 해제한다.

반송보조장치(158)에 의한 기판의 홀딩 및 해제는 양 홀더기구가 대향하는 기판홀더(162)의 그룹을 피검사기판(12)의 가장자리부의 이동로로 출입시키도록 서로 모이고 멀어지는 방향으로 이동시킴으로써, 행해진다. 이에 따라 기판 홀더(162)에 의한 피검사기판의 홀딩 및 그 해제가 확실하게 행해진다.

피검사기판(12)의 반송종료 후, 반송보조장치(158)는 대기위치로 되돌려진다.

피검사기판(12)의 반송도중에, 각 기판홀더(162)는 이것이 제1 반송부재(144)에 따른 기판 반송로로부터 제2 반송부재(146)에 따른 기판 반송로로 이행할 때, 제1 반송위치로부터 제2 반송위치로의 피검사기판(12)의 휘어짐에 따라 상하이동기구(166)에 의해 상승된다. 이에 따라 피검사기판(12)은 확실하게 휘어진다.

도16에 나타낸 바와 같이, 각 플랫 케이블(42)은 그 한쪽 끝에 있어서 센서기판(20)의 아랫면의 최상류측의 끝에 고정되어 있으며, 또한 다른 쪽 끝을 센서기판(20)과 이것의 상류측에 위치하는 상측의 반송부재(144)와의 사이를 통해서 센서기판(20)의 위쪽으로 끌어내어져 있다. 각 플랫 케이블(42)의 다른 쪽 끝은 도14에 나타낸 테스터부(140)에 접속된다.

한쪽 전달장치(136)와 센터링장치(138)는 반송장치(132)에 의한 기판 반송로의 최상류측에 배치되어 있으며, 다른 쪽 전달장치(136)는 반송장치(132)에 의한 기판 반송로의 최하류측에 배치되어 있다.

각 전달장치(136)는 반송장치(132) 및 반송용 로봇(도시 생략)에 대한 피검사기판(12)의 전달을 행하도록 다수의 승강 핀(180)을 승강기구(도시 생략)를 통해 승강시켜서 피검사기판(12)을 승강시키는 공지된 장치이다.

각 전달장치(136)는 승강 핀(180)을 하강시킨 상태에서 대기하고, 승강 핀(180)을 상승시킴으로써, 로봇, 작업자 또는 반송장치(132)로부터 피검사기판(12)을 수용하고, 승강 핀(180)을 하강시킴으로써 피검사기판(12)을 반송장치(132), 로봇 또는 작업자에게 전달한다.

센터링장치(138)는 다수의 센터링 핀(182)을 이동기구(도시 생략)에 의해 한쪽 전달장치(136)에 수용된 피검사기판(12)의 중심을 향해 이동시키고, 이에 따라 피검사기판(12)의 센터링을 행하는 공지된 장치이다. 상기 센터링 장치(138)에 의해 피검사기판(12)은 프리얼라인먼트(pre alignment)된다.

센터링장치(138)는 전달장치(136)가 피검사기판(12)의 전달을 행할 때 센터링 핀(182)을 벌리고(대기하고) 있으며, 피검사기판(12)의 센터링을 행할 때, 센터링 핀(182)을 중심 측으로 이동시킨다.

검사장치(10)는 이하와 같이 작동한다.

각 기판홀더(162)는 피검사기판(12)의 전달 및 센터링을 행해도 무방한 위치로 옮겨진다.

상기 상태에 있어서, 피검사기판(12)이 로봇 또는 사람 손에 의해, 도14에서의 왼쪽 끝에 배치된 전달장치(136)의 위쪽으로 반송된다. 이 상태에서 상기 전달장치(136)가 승강 핀(180)을 상승시켜서 피검사기판(12)을 승강 핀(180)에 수용한 다.

이어서, 센터링장치(138)가 센터링 핀(182)을 서로 모이는 방향으로 이동시켜서 피검사기판(12)의 센터링을 행한 후, 센터링 핀(182)을 서로 멀어지는 방향으로 이동시킨 상태로 대기한다.

그리고, 운송장치(132)가 반송보조장치(158)를 피검사기판(12)을 향해 이동시켜서, 상기 피검사기판(12)을 기판홀더(162)로 홀딩한다. 이때까지, 기판홀더(162)는 소정의 높이 위치, 예를 들면 스토퍼(168)에 맞닿는 위치로 이동된다.

다음에, 반송장치(132)가 상기 상태에서 피검사기판(12)을 반송보조장치(158)를 통해 도14에 있어서 왼쪽에서 오른쪽으로 반송한다.

피검사기판(12)은 반송보조장치(158)에 의한 반송도중에 제1 반송부재(144)에 의해서도 반송된다. 이에 따라, 피검사기판(12)은 센서기판(20)으로부터 크게 이격되어 있는 제1 반송위치에 유지된 상태로 반송된다.

다음에, 피검사기판(12)의 반송은 반송보조장치(158) 및 제1 반송부재(144)에 의한 반송으로부터 반송보조장치(158)와 제1 및 제2 반송부재(144 및 46)에 의한 반송을 거쳐, 반송보조장치(158) 및 제2 반송부재(146)에 의한 반송으로 이행된다.

이에 따라, 피검사기판(12)은 앞서 기술한 만곡 반송로에서 휘어지면서, 반송보조장치(158) 및 제2 반송부재(146)에 의해 센서기판(20)에 접근된 제2 반송위치에 유지된 상태로 반송된다.

상기 만곡 반송로는 좌우 방향에 있어서의 센서기판(20)의 배치위치에 대응 하는 영역의 적어도 일부를 포함하는 부분으로서 급전전극(24 및 26)과 수전전극(28)의 배치위치 보다 상류측 부분에 형성되어 있다. 따라서 플랫 케이블(42)이 센서회로(38)의 배치위치 보다 상류측의 센서기판(20)의 부분에 접속되어 있는 것과 더불어, 피검사기판(12)은 이것이 플랫 케이블(42)에 접촉하지 않고 만곡 반송로 및 그 이후의 반송로를 반송한다.

각 기판홀더(162)는 이것이 상기 만곡 반송로를 이동할 때, 피검사기판(12)의 만곡변형에 뒤따르도록 상하이동기구(166)에 의해 상승된다. 이에 따라, 피검사기판(12)은 만곡 반송로에 있어서 확실하게 휘어진다.

제2 반송위치는 피검사기판(12)을 센서회로(38)와 평행하게 반송하는 평행 반송로를 형성한다. 이 평행 반송로는 피검사기판(12)의 전로(16)가 센서기판(20)의 급전전극(24 및 26) 그리고 수전전극(28)의 아래쪽에 도달하는 위치보다 앞의 위치로부터 형성된다.

평행 반송로가 상기 위치에 형성되기 때문에, 피검사기판(12)의 전로(16)는, 이것이 센서기판(20)의 급전전극(24 및 26)및 수전전극(28)의 아래쪽에 도달하기 전에 급전전극(24 및 26)및 수전전극(28)과 평행하게 변위되어, 상기 상태로 급전전극(24 및 26) 및 수전전극(28)의 아래쪽을 이동한다.

상기의 결과, 피검사기판(12)의 각 전로(16)는 이것이 센서기판(20)의 급전전극(24 및 26)과 수전전극(28)의 아래쪽을 이동할 때, 센서기판(20)의 급전전극(24 및 26) 및 수전전극(28)에 정확하게 대향한다.

피검사체(12)의 각 전로(16)는, 센서기판(20)의 급전전극(24 및 26) 및 수전 전극(28)의 아래쪽을 이동하는 동안, 검사신호를 이용하는 상기와 같은 검사가 반복하여 행해진다.

이어서, 피검사기판(12)이 도14에 있어서 오른쪽 끝에 배치된 전달장치(136)의 위쪽으로 반송되면, 반송장치(132)에 의한 반송이 정지되고, 그 전달장치(136)가 승강 핀(180)을 상승시켜서 반송된 피검사기판(12)을 수용한다.

그 후, 반송장치(132)는 대기위치 및 대기상태로 되돌려진다. 전달장치(136)에 수용된 피검사기판(12)은 그 후 로봇 또는 사람 손에 의해 상기 전달장치(136)로부터 제거된다.

반송장치(132)를 통해 피검사기판(12)을 반송하는 동안, 기판 홀더(162)의 각 그룹은 피검사기판(12)을 이것의 가장자리부에 접촉하여 공동으로 홀딩한다. 이에 따라, 적어도 센서기판(20)의 배치위치에 대응하는 부분에서, 피검사기판(12)의 이동위치가 변화하거나, 피검사기판(12)의 가장자리부가 중앙영역에 대해 변위하는 것이 방지된다.

제1 및 제2 반송부재(144 및 146)는 피검사기판(12)을 소정의 높이 위치에 유지한 상태로 상기 피검사기판(12)을 반송하고, 전후 방향으로 대향하는 기판홀더(162)는 피검사기판(12)을 홀딩한 상태로 상기 피검사기판(12)을 반송한다.

그러나, 제1 및 제2 반송부재(144, 146)는 피검사기판(12)을 소정의 높이 위치에 유지하는 기능을 구비할 뿐이며, 상기 피검사기판(12)에 반송력을 부여하는 기능을 구비하고 있지 않아도 된다. 이 경우, 피검사기판(12)에 대한 반송력은 기판홀더(162)에 의해 부여된다.

따라서, 제1 및 제2 반송부재(144 및 146)와 반송보조장치(158)를 이용하는 반송장치(132) 대신에, 제1, 제2 반송부재(144, 146) 및 반송보조장치(158)의 어느 한쪽을 이용하는 반송장치와 같이 다른 구조 및 기능을 갖는 반송장치라도 좋다.

예컨대, 피검사기판(12)을 제1 및 제2 반송부재(144 및 146)에 의해 소정의 높이 위치에 유지하는 대신에 다수의 롤러 또는 한개 이상의 무단 벨트를 이용한 유지수단 또는 반송수단에 의해 소정의 높이 위치에 유지해도 좋다.

센서기판(20 및 60)은 급전전극(24, 26), 수전전극(28), 단자(30, 32, 34), 센서회로(38) 등을 하나의 유리판(36)에 설치한 것일 필요는 없다. 예를 들면, 도19에 나타낸 바와 같이, 급전전극(24, 26), 수전전극(28), 단자(30, 32, 34), 센서회로(38) 등을 다수의 유리판(36)으로 분할하여 설치하고, 이들의 적절한 부재(184)에 지지시키는 것도 바람직하다.

본 발명은 상기 실시 예에 한정되지 않으며, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

본 발명에 있어서는, 적어도 하나의 급전전극과 제1 방향으로 간격을 둔 다수의 수전전극을 전로의 길이 방향으로 이격시킨 상태에서, 센서기판과 피검사기판을 서로 대향시켜서 전로의 길이 방향으로 상대적으로 이동시키고, 그 동안 교류의 검사신호를 급전전극으로부터 전로를 향해서 공급함과 동시에 전로에 유도되어 흐르는 검사신호를 수전전극에 수용한다.

전로가 단선되어 있으면, 검사신호가 전로에 대향되어 있는 수전전극에 도달하지 않기 때문에, 그 전로가 단선되어 있음을 나타내는 「신호 없음」이라는 이상신호가 센서회로로부터 출력된다. 이에 따라, 「전로가 단선되어 있다」라고 판정할 수 있다.

전로의 길이 방향에 있어서의 단선 부분은, 수전전극에서의 수신신호가 없을 때, 수전전극에서 수신해야 할 검사신호가 있음에서 없음으로 변화했을 때, 및 수전전극에서의 수신신호가 없음에서 있음으로 변화했을 때를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나의 경우의 제2 방향에 있어서의 센서기판과 피검사기판과의 상대적 위치(즉, 좌표 값)로부터 특정할 수 있다.

상기와 같이 본 발명에 의하면, 센서기판과 피검사기판을 상대적으로 1회 이동시킴으로써 단선의 유무와 단선 부분을 특정할 수 있다.

센서기판이 제1 방향으로 간격을 둔 적어도 두 개의 급전전극을 구비하고, 다수의 수전전극이 제1 방향으로 간격을 두고 급전전극에 일대일로 대응된 적어도 두 개의 수전전극 그룹으로서, 각각이 대응하는 급전전극으로부터의 교류 검사신호를 수신 가능한 다수의 수전전극을 포함하는 수전전극 그룹에 속하도록 나뉘어져 있거나, 급전전극에 일대일로 대응되어 있는 경우, 교류 검사신호를 다수의 급전전극에 서로 다른 타이밍으로 공급하고, 급전전극에 대한 급전 타이밍과 동기화하여 전로의 불량 여부를 판정할 수 있다.

마찬가지로, 센서기판이 제1 방향으로 간격을 둔 다수의 급전전극을 구비하고, 다수의 수전전극이 급전전극에 일대일로 대응되어 있는 경우도, 교류의 검사신호를 다수의 급전전극에 서로 다른 타이밍으로 공급하고, 급전전극에 대한 급전 타이밍과 동기화하여 전로의 불량 여부를 판정할 수 있다.

상기와 같이 하면, 어느 것이나, 특정 전로에 검사신호가 공급되지 않는 타이밍임에도 불구하고, 그 특정 전로에 대향하는 수전전극이 검사신호를 수신하는 경우가 있다. 이 경우, 그 특정 전로는 다른 전로와 단락되어 있기 때문에, 전로 상호의 단락 및 단락 부분을 용이하게 특정할 수 있다.

피검사기판이 상기와 같은 전로와 교차하는 다수의 제2 전로를 구비하고, 센서 기판이 상기 제2 전로에 제2 검사신호를 공급하는 적어도 하나의 제2 급전전극을 더 포함하는 경우, 제2 검사신호를 수전전극에서 수신하는 경우가 있다. 이 경우, 제2 검사신호를 수신하는 수전전극과 대향하는 전로는 제2 전로와 단락되어 있으므로, 그 전로의 크로스 단락 및 그 단락 부분을 용이하게 특정할 수 있다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것을 볼 수 있다.

Claims (15)

1. 제1 방향으로 간격을 두고 제2 방향으로 연장하는 다수의 전로를 구비하는 피검사기판의 검사에 이용되는 센서기판으로서,

   교류의 검사신호를 상기 전로에 접촉하지 않고 공급하는 적어도 하나의 급전전극;

   적어도 상기 제1 방향으로 간격을 둔 다수의 수전전극으로서, 각각이 상기 전로에 유도된 교류의 검사신호를 접촉하지 않고 수용하도록 상기 급전전극으로부터 상기 제2 방향으로 간격을 둔 다수의 수전전극; 및

   상기 수전전극에서의 수신신호의 유무를 나타내는 전기신호를 출력하는 다수의 센서회로;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서기판.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 방향으로 간격을 둔 적어도 두 개의 상기 급전전극이 구비되어 있으며,

   상기 다수의 수전전극은, 각각이 상기 제1 방향으로 간격을 두고 상기 급전전극에 일대일로 대응된 적어도 두 개의 수전전극 그룹으로서, 각각이 대응하는 급전전극으로부터의 검사신호를 수신 가능한 다수의 수전전극을 포함하는 수전전극 그룹으로 나뉘어져 있는 것을 특징으로 하는 센서 기판.
3. 제1항에 있어서, 상기 제1 방향으로 간격을 둔 다수의 상기 급전전극이 구비되어 있으며,

   상기 다수의 수전전극은 상기 급전전극에 일대일로 대응되어 있는 것을 특징으로 하는 센서 기판.
4. 제1항에 있어서, 상기 다수의 센서회로는 상기 수전전극에 일대일로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 센서 기판.
5. 제1항에 있어서, 상기 피검사기판은 상기 제2 방향으로 간격을 두고 상기 제1 방향으로 연장하는 다수의 제2 전로를 더 구비하고,

   상기 센서 기판은 상기 제2 전로에 제2 검사신호를 공급하는 적어도 하나의 제2 급전전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서기판.
6. 제5항에 있어서, 상기 제2 급전전극은 상기 제1 방향에 있어서의 상기 급전전극 및 상기 수전전극의 배치영역에서 벗어난 부분에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 센서기판.
7. 제1항 내지 6항의 어느 한 항에 기재된 센서기판을 이용하여 피검사기판을 검사하는 방법으로서,

   상기 급전전극과 상기 수전전극이 상기 제2 방향으로 간격을 둔 상태로, 상기 센서기판과 상기 피검사기판을 대향시켜서 상기 제2 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동단계;

   상기 이동단계 동안에 상기 급전전극에 검사신호를 공급하는 급전단계; 및

   상기 급전단계 동안에 상기 센서회로의 출력신호를 바탕으로 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 판정단계;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 피검사기판의 검사방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 판정단계는, 상기 전로에 대향된 수전전극에 접속된 센서회로의 출력신호와, 상기 전로에 대향되지 않는 수전전극에 접속된 센서회로의 출력신호를 바탕으로, 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 것을 특징으로 하는 검사방법.
9. 제7항에 있어서, 상기 판정단계는 상기 전로가 불량이라고 판정했을 때의 상기 제2 방향에 있어서의 상기 센서기판과 피검사기판의 상대적 위치로부터 상기 전로의 불량부분을 더 특정하는 것을 특징으로 하는 검사방법.
10. 제2항 또는 제3항에 기재된 센서기판을 이용하여 피검사기판을 검사하는 방법으로서,

    상기 급전전극과 상기 수전전극이 상기 제2 방향으로 간격을 둔 상태로, 상기 센서기판과 상기 피검사기판을 대향시켜서 상기 제2 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동단계;

    상기 이동단계 동안에 상기 급전전극에 검사신호를 공급하는 급전단계; 및

    상기 급전단계 동안에 상기 센서회로의 출력신호를 바탕으로 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 판정단계를 포함하고,

    상기 급전단계는 상기 검사신호를 다수의 급전전극과 서로 다른 타이밍으로 공급하고,

    상기 판정단계는 상기 급전전극에 대한 급전 타이밍과 동기화하여 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 것을 특징으로 하는 검사방법.
11. 제5항 또는 제6항에 기재된 센서기판을 이용하여 피검사기판을 검사하는 방법으로서,

    상기 급전전극과 상기 수전전극이 상기 제2 방향으로 간격을 둔 상태로, 상기 센서기판과 상기 피검사기판을 대향시켜서 상기 제2 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동단계;

    상기 이동단계 동안에 상기 급전전극에 검사신호를 공급하는 급전단계; 및

    상기 급전단계 동안에 상기 센서회로의 출력신호를 바탕으로 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 판정단계를 포함하고,

    상기 급전 단계는 상기 제2 검사신호를 상기 제2 급전전극에 공급하고,

    상기 판정 단계는 상기 제2 검사신호를 수신하고 있는 상기 전극에 대향된 전로를 크로스 불량이라고 판정하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사방법.
12. 제1항 내지 6항의 어느 한 항에 기재된 센서기판;

    상기 급전전극에 공급하는 검사신호를 발생하는 검사신호 발생회로;

    상기 급전전극과 상기 수전전극이 상기 제2 방향으로 간격을 둔 상태에서, 상기 센서기판과 상기 피검사기판을 대향시켜서 상기 제2 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동장치; 및

    상기 센서기판과 피검사기판이 상기 이동장치에 의해 이동되고 상기 검사신호가 상기 급전전극에 공급되는 동안 상기 센서회로의 출력신호를 바탕으로 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 판정회로;

    를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 판정회로는 상기 전로에 대향된 수전전극에 접속된 센서회로의 출력신호와, 상기 전로에 대향되지 않는 수전전극에 접속된 센서회로의 출력신호를 바탕으로 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
14. 제12항에 있어서, 상기 판정회로는 상기 전로가 불량이라고 판정했을 때의 상기 제2 방향에 있어서의 센서기판과 피검사기판의 상대적 위치로부터 상기 전로의 불량부분을 더 특정하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
15. 제5항 또는 제6항에 기재된 센서기판;

    상기 급전전극에 공급하는 검사신호를 발생하는 검사신호 발생회로;

    상기 급전전극과 상기 수전전극이 상기 제2 방향으로 간격을 둔 상태에서, 상기 센서기판과 상기 피검사기판을 대향시켜서 상기 제2 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동장치; 및

    상기 센서기판과 피검사기판이 상기 이동장치에 의해 이동되고 상기 검사신호가 상기 급전전극에 공급되는 동안 상기 센서회로의 출력신호를 바탕으로 상기 전로의 불량 여부를 판정하는 판정회로를 포함하고,

    상기 검사신호 발생회로는 상기 제2 검사신호를 상기 제2 급전전극에 더 공급하고,

    상기 판정회로는 상기 제2 검사신호를 수신하고 있는 상기 전극에 대향된 전로를 크로스 불량이라고 판정하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.

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