CN211879344U - 一种提篮内晶圆放置状态检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种提篮内晶圆放置状态检测装置，包括安装平面、控制系统、激光检测装置、检测平台和第一驱动组件，提篮内设置有至少一层的晶圆放置空间，激光检测装置包括安装支架、水平安装杆和至少三个激光光电传感器，每个激光光电传感器均可在提篮的同一层晶圆放置空间内形成检测光斑，至少三个的检测光斑在竖直和水平方向上均相互错开。本实用新型所提供的提篮内晶圆放置状态检测装置通过第一驱动组件实现激光检测装置对于提篮内的晶圆进行逐层检测，至少三个激光光电传感器用于对每一层的晶圆放置空间进行有效地检测并且判断每层晶圆的放置状态属于正常、空层、重叠或者斜置，整个检测装置成本低、结构简单以及检测判断的准确度高。

Description

一种提篮内晶圆放置状态检测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其是涉及一种提篮内晶圆放置状态检测装置。

背景技术

晶圆是指制造半导体晶体管或集成电路的衬底，是一种晶体材料，其形状为圆形所以称为晶圆。在半导体行业自动化晶圆加工设备中所用到的用于存放晶圆的提篮为卡槽多层式结构，如图1所示，该提篮10内每层均正确放置有一片晶圆12，在该提篮10内并未出现异常状态。而用于放置晶圆12的提篮10内一般由上至下设置有多层的晶圆放置层11，并且提篮10内的晶圆12都是由人工手动放置，在放置过程中难免会出现空层14、重叠15和斜置16的异常情况。如图2所示，为提篮10内的多个晶圆放置层11中分别出现了重叠15、斜置16和空层14的异常状态。在自动化加工过程中，提篮10内一旦发生一种或者多种放置异常的情况，就极易发生损伤晶圆或者损伤自动化加工设备。而每块晶圆12的价格都在几千到数万元人民币不等，若因为放置异常而造成晶圆12的报废或者自动化加工设备的损坏，都将会带来极大的经济损失。因此需要有专业的设备用于检测提篮10内晶圆12的放置状态。在自动化加工之前保证提篮10内晶圆12放置状态的准确。

现有的用于检测提篮内晶圆放置状态的设备均是通过工业视觉来进行检测。工业视觉的检测设备主要是成本较高、硬件安装空间大、需要涉及编写软件算法和建立图像模板等较为复杂的应用程序，而且在检测结构模糊时，无法对提篮内的所有晶片作出逐一的准确判断。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决现有用于检测提篮内晶圆放置状态采用工业视觉的检测设备进行检测而导致的设备成本高、硬件安装空间大、涉及的应用程序复杂以及在检测结构模糊时无法逐一精确判断晶圆放置状态的缺点，提供一种提篮内晶圆放置状态检测装置。

本实用新型解决其技术问题采用的技术方案是：一种提篮内晶圆放置状态检测装置，包括安装平面和控制系统，还包括与所述控制系统电连接的激光检测装置、用于固定提篮的检测平台和固定于安装平面上驱动所述激光检测装置或者所述检测平台在所述安装平面上升降的第一驱动组件，所述第一驱动组件与所述控制系统电连接，所述提篮内设置有至少一层的晶圆放置空间，所述激光检测装置包括安装支架、设置于所述安装支架上、与所述晶圆放置空间中的晶圆平行设置的水平安装杆和设置于所述水平安装杆上的与所述控制系统电连接的至少三个激光光电传感器，每个所述激光光电传感器均可在所述提篮的同一层所述晶圆放置空间内形成检测光斑，所述激光检测装置在同一层所述晶圆放置空间内所形成的至少三个的所述检测光斑在竖直和水平方向上均相互错开。

进一步地，所述激光检测装置还包括设置于所述水平安装杆上的用于分别调节每个所述激光光电传感器在所述水平安装杆上水平和竖直方向上的相对位置的机械夹爪悬臂。

具体地，所述激光检测装置包括三个所述激光光电传感器，分别为第一传感器、第二传感器和第三传感器，所述晶圆放置空间内在竖直方向上分为上方区域、中间区域和下方区域，所述第一传感器在所述晶圆放置空间内所形成的第一检测光斑位于所述下方区域内，所述第二传感器在所述晶圆放置空间内所形成的第二检测光斑位于所述上方区域内，所述第三传感器在所述晶圆放置空间内所形成的第三检测光斑位于所述中间区域内，所述第二传感器在水平方向上位于所述第一传感器和所述第三传感器之间。

具体地，所述激光检测装置包括四个所述激光光电传感器，分别为左传感器、右传感器、第四传感器和第五传感器，所述晶圆放置空间内在竖直方向上分为上方区域、中间区域和下方区域，所述左传感器和所述右传感器分别位于所述水平安装杆的两侧且在所述晶圆放置空间内所形成的第四检测光斑和第五检测光斑均位于所述上方区域内，所述第四传感器和所述第五传感器均位于所述左传感器和所述右传感器之间，且所述第四传感器在所述晶圆放置空间内所形成的第六检测光斑位于所述中间区域内，所述第五传感器在所述晶圆放置空间内所形成的第七检测光斑位于所述下方区域内。

进一步地，每个所述激光光电传感器在所述晶圆放置空间内所形成的所述检测光斑的尺寸小于2mm。

进一步地，所述激光光电传感器为直接反射型激光传感器、镜面反射型激光传感器或光纤对射型传感器的一种。

进一步地，所述检测平台包括水平固定板和设置于所述水平固定板上的四个用于固定所述提篮的角块。

进一步地，所述激光检测装置还包括固定于所述安装支架上用于驱动所述水平安装杆在水平方向上靠近或者远离所述检测平台的第二驱动组件。

进一步地，所述激光检测装置固定于所述安装平面上，所述检测平台固定于所述第一驱动组件上，所述检测平台由所述第一驱动组件驱动在竖直方向上升降。

进一步地，所述检测平台固定于所述安装平面上，所述激光检测装置固定于所述第一驱动组件上，所述激光检测装置由所述第一驱动组件驱动在竖直方向上升降。

本实用新型所提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置的有益效果在于：包括激光检测装置、检测平台和第一驱动组件，通过第一驱动组件实现激光检测装置对于检测平台上提篮内的晶圆的逐层检测，该激光检测装置上设置的至少三个激光光电传感器用于对每层的晶圆放置状态进行判断，可以对于每一层的晶圆放置空间进行有效地检测并且判断每层晶圆的放置状态属于正常、空层、重叠或者斜置，整个检测装置的成本相较于工业视觉的检测设备成本低、安装空间小、结构简单、操作方便以及检测判断的准确度高。

附图说明

图1是本实用新型提供的提篮内每层晶圆放置空间内的晶圆均放置正常的正视图；

图2是本实用新型提供的提篮内多层晶圆放置空间内出现不同异常放置状态的正视图；

图3是本实用新型提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置的立体结构示意图；

图4是本实用新型提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置的激光检测装置中水平安装杆和激光光电传感器的立体结构示意图；

图5是本实用新型第一实施例所提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置的每一层晶圆放置空间内的晶圆放置异常状态以及检测光斑的示意图；

图6是本实用新型第一实施例所提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置的激光光电传感器信号组合与晶圆状态的对照表；

图7是本实用新型第二实施例所提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置的每一层晶圆放置空间内的晶圆放置异常状态以及检测光斑的示意图。

图中：100-晶圆提篮内晶圆放置状态检测装置、10-提篮、11-晶圆放置空间、111-上方区域、112-中间区域、113-下方区域、12-晶圆、13-正常状态、14-空层状态、15-重叠状态、16-斜置状态、20-安装平面、30-激光检测装置、31-安装支架、32-水平安装杆、33-激光光电传感器、331-第一传感器、332-第二传感器、333-第三传感器、34-检测光斑、341-第一检测光斑、342-第二检测光斑、343-第三检测光斑、344-第四检测光斑、345-第五检测光斑、346-第六检测光斑、347-第七检测光斑、35-机械夹爪悬臂、36-第二驱动组件、40-检测平台、41-水平固定板、42-角块、50-第一驱动组件。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参见图1-图6，为本实用新型第一实施例所提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置100，该检测装置100主要应用于半导体自动化加工生产线中，对于待加工的装有晶圆12的提篮10中晶圆放置状态的检测，可以对提篮10内每一层中是否放置晶圆12以及晶圆12放置是否符合标准作出精确的判断。如图1所示，提篮10内设置有至少一层的晶圆放置空间11，在本实施例中，该提篮10内由上至下一共设置有25层的晶圆放置空间11。每层的晶圆放置空间11内单独放置一块晶圆12即使符合加工要求的正常状态13。若在其中任何一层晶圆放置空间11中未放置晶圆12则视为异常状态，该异常状态为空层状态14。若在同一层晶圆放置空间11中同时放置有两块晶圆12则视为异常状态，该异常状态视为重叠状态15。若同一块晶圆12的一侧放置于位于上方的晶圆放置空间11内，另一侧放置于位于下方的晶圆放置空间11内，也视为异常状态，该异常状态视为斜置状态16。因此，本实用新型所提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置100就是用于对提篮10内的每层晶圆放置空间11进行逐一的检测，通过检测判断其内部的晶圆放置状态属于正常13、空层14、重叠15或者斜置16的状态。

进一步地，如图3所示，本实用新型所提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置100包括安装平面20、控制系统(图中未示出)、与控制系统电连接的激光检测装置30、用于固定提篮10的检测平台40和固定于安装平面20上驱动激光检测装置30或者检测平台40在安装平面20上升降的第一驱动组件50，第一驱动组件与控制系统电连接。该安装平面20用于确定该激光检测装置30与检测平台40均处于同一水平面上，并且在同一水平面上通过第一驱动组件50实现激光检测装置30对于位于检测平台40上的提篮10进行由上至下或者由下至上的逐层扫描检测，通过激光检测装置30的检测并将检测结果反馈至与其电连接的控制系统中，通过控制系统整理检测数据并生成判断结果，以显示该激光检测装置30对于提篮10中每个晶圆放置空间11内晶圆12的放置状态的判断结果。

具体地，本实用新型所提供的检测装置100中所提供的激光光电传感器33为直接反射型激光传感器、镜面反射型激光传感器或光纤对射型传感器的一种。该激光光电传感器33可以是上述激光传感器中的任意一种，只要能够在其对应的提篮10的晶圆放置空间11内形成检测光斑34即可实现检测与判断。

具体地，如图3所示，本实用新型所提供的检测装置100中，该检测平台40包括水平固定板41和设置于水平固定板41上的四个用于固定提篮10的角块42。通过水平固定板41固定支撑提篮10，并通过四个角块42限定提篮10在检测平台40上的位置以及保证该检测平台40上的提篮10在水平方向上的稳定性。

进一步地，如图3和图4所示，该检测装置100中该激光检测装置30固定于安装平面20上，检测平台40固定于第一驱动组件50上，检测平台40由第一驱动组件50驱动在竖直方向上升降。在检测装置100的操作过程中，该激光检测装置30在竖直方向上固定不动，通过第一驱动组件50实现对于检测平台40上的提篮10的升降操作。该第一驱动组件50与控制系统电连接，使得该第一驱动组件50受到控制系统的调控，由上至下或者由下至上将检测平台40一层一层的升高，每升高一层，该激光检测装置30将会对其对应的提篮10中的晶圆放置空间11进行一次激光检测，并将数据反馈至控制系统中进行判断，待控制系统中判断完成后，再次驱动第一驱动组件50对提篮50进行升高一层进行下一次的激光检测，如此循环完成整个提篮10中每一层的晶圆放置空间11的逐层检测过程。

同理，本实用新型所提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置100中，还可以是将检测平台40固定于安装平面20上，激光检测装置30固定于第一驱动组件50上，激光检测装置30由第一驱动组件50驱动在竖直方向上升降。在该方案中，检测平台40相对于安装平面20处于始终固定的状态，通过第一驱动组件50驱动激光检测装置30进行由上至下或者由下至上的逐层激光检测，同样可以实现对于提篮10中每层晶圆放置空间11的逐层检测，在此不再赘述。

进一步地，如图3和图4所示，本实用新型所提供的检测装置100中的激光检测装置30包括安装支架31、设置于安装支架31上、与晶圆放置空间11中的晶圆12平行设置的水平安装杆32和设置于水平安装杆32上的至少三个激光光电传感器33。在本实施例汇总，该激光检测装置30通过安装支架31直接固定于安装平面20上，即该水平安装杆32相对于安装平面20的竖直高度固定不变。而该水平安装杆32上设置至少三个激光光电传感器33，通过三个激光光电传感器33的组合反馈数据至控制系统中，即可实现对于每一层晶圆放置空间11内的晶圆放置状态的判断。对应的，为了更为精确的判断该层晶圆放置空间11内的晶圆12是属于左边倾斜或者右边倾斜两种不同的斜置状态16，可以通过增加激光光电传感器33以实现判断。

本实用新型所提供的激光检测装置30中，该水平安装杆32上的每个激光光电传感器33均可在提篮10的同一层晶圆12放置空间11内形成检测光斑34，激光检测装置30在同一层的晶圆放置空间11内所形成的至少三个检测光斑34在竖直和水平方向上均相互错开。一般在提篮10中的每层晶圆放置空间11为了能够满足手工放置晶圆12的需求，每层晶圆放置空间11的高度为3-4个晶圆12的厚度。如图5所示，该激光检测装置30将每层晶圆放置空间11分为了上中下三个检测区域。如图5中，具有上下两个相邻的晶圆放置空间11，每个晶圆放置空间11在竖直方向上分为上方区域111、中间区域112和下方区域113。而该激光检测装置30中的激光光电传感器33中所发出的激光均在在晶圆放置空间11内形成检测光斑34，该检测光斑34不仅在晶圆放置空间11的三个不同高度的检测与其内，同时在水平方向上也分别位于不同的位置，以通过三个不同的检测光斑34在竖直和水平方向上均相互错开，从而可以通过检测光斑34的反馈数据得知晶圆12的具体放置状态。

进一步地，如图4所示，该激光检测装置30还包括设置于水平安装杆32上的用于分别调节每个激光光电传感器33在所述水平安装杆32上水平和竖直方向上的相对位置的机械夹爪悬臂35。在本实施例中，该机械夹爪悬臂35固定于水平安装杆32上，并且具有三个独立的竖直安装板，每个竖直安装板对应固定一个激光光电传感器33的在竖直方向上和水平方向上的位置，使得三个激光光电传感器33所透射的激光可以分别位于同一层晶圆放置空间11的上中下三层不同的区域内，同时在水平方向也可以相互间隔开。通过该机械夹爪悬臂35可以有效地调节每个激光光电传感器33的相对位置，以使得该激光光电传感器33所透射的激光可以形成有效地检测光斑34。

具体地，如图3所示，本实用新型所提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置100中，该激光检测装置30还包括固定于安装支架31上用于驱动水平安装杆32在水平方向上靠近或者远离检测平台40的第二驱动组件36。该第二驱动组件36用于调节该激光检测装置30与检测平台40之间水平方向的相对距离，该第二驱动组件36与控制系统电连接，通过第二驱动组件36调节水平距离，用于保证在提篮10的晶圆放置空间11上所形成的检测光斑34的尺寸和位置符合控制系统的检测和判断需求。

本实用新型所提供的检测装置100中，该第一驱动组件50和第二驱动组件36分别为在竖直方向上的驱动部件和在水平方向上的驱动部件。两个驱动部件仅仅是设置方向上的不同，而所具有的结构基本一致，均包括了丝杆、导轨、滑块以及驱动电机，其所实现的功能是相同的。在本实施例中，该第一驱动组件50是用于驱动检测平台40在竖直方向上的逐层升降，该第二驱动组件36是用于驱动激光检测装置30在水平方向上靠近或者远离检测平台40。

具体地，如图5所示，在提篮10的每层晶圆放置空间11的高度为4-6.5mm，而每个晶圆12的厚度在1.3-1.6mm之间，因此为了更好的准确检测到晶圆12在晶圆放置空间11内的具体放置状态，必须将激光光电传感器33所透射在晶圆放置空间11内的检测光斑34的尺寸控制在小于2mm，从而避免激光检测出现判断错误。

进一步地，如图3-5所示，本实用新型第一实施例中所提供的激光检测装置30包括三个激光光电传感器33，分别为第一传感器331、第二传感器332和第三传感器333，第一传感器331在晶圆放置空间11内所形成的第一检测光斑341位于下方区域113内，第二传感器332在晶圆放置空间11内所形成的第二检测光斑342位于上方区域111内，第三传感器333在晶圆放置空间11内所形成的第三检测光斑343位于中间区域112内，第二传感器332在水平方向上位于第一传感器331和第三传感器333之间。在本实用新型所提供的第一实施例中，该第二传感器332位于第一传感器331和第三传感器333之间，并且第二传感器332也位于整个晶圆放置空间11的上层区域111内，出于晶圆放置空间11的中心处，因此可以通过该第二传感器332的设置有效地判断该晶圆放置空间11内是否有倾斜放置的晶圆12。而第一传感器331和第三传感器333则是用于检测正常和重叠的作用。现结合附图3和图4的激光检测装置30的立体结构示意图与图5中的检测状态示意图以及图6中的激光光电传感器信号组合与晶圆状态对照表对检测装置100的检测与判断方式进行详细解释。

该第一传感器331所形成的第一检测光斑341位于下方区域113内，第一传感器331的主要作用是检测提篮10的晶圆放置空间11内是否正常放置有晶圆12，若第一传感器331的第一检测光斑341处有晶圆12，则在对应的图6的对照表中第三列“传感器3正常片检测”一列中显示1，反之则显示0。

该第二传感器332所形成的第二检测光斑342位于上方区域111内，第二传感器332的主要作用是检测提篮10的晶圆放置空间11内是否有斜置的晶圆12，若该第二传感器332的第二检测光斑342处有晶圆12，则在对应的图6的表中第一列“传感器1斜置片检测”一列中显示1，反之则显示0。

该第三传感器333所形成的第三检测光斑343位于中间区域112内，第三传感器333的主要作用是检测提篮10的晶圆放置空间11内是否有两个晶圆12重叠，若该第三传感器333的第三检测光斑343处有晶圆12，则在对应的图6的表中第二列“传感器2重叠片检测”一列中显示1，反之则显示0。

上述三个激光光电传感器33同时作用在同一层的提篮10的晶圆放置空间11内进行检测并反馈数据至控制系统中形成了图6的表中所显示的一行数据，即表中的一行“信号组合N”，在第一驱动组件50驱动下，检测平台40在竖直方向上逐层上升，在每一层的移动过程中，该激光检测装置30反馈一组数据至表中形成信号组合1-信号组合8中的8组数据。再通过控制系统对于激光检测装置30中同一个信号组合中的3个反馈数据进行分析之后判断晶圆状态为空层14、正常13、重叠15或者斜置16。

如图6的表格中信号组合1中所显示的数据为0,0,0，则可以确定该检测区域内上中下三个区域内均未检测到检测光斑34，因此该区域内没有晶圆12，从而判断该晶圆放置空间11内为空层状态14。

如图6的表格中信号组合2中所显示的数据为0,0,1，则可以确定该检测区域内的上方区域111和中间区域112中均未检测到检测光斑34，仅在下方区域113中检测到第一检测光斑341，因此该区域内有且只有一块晶圆12，从而判断该晶圆放置空间11内为正常状态13。

如图6的表格中信号组合3中所显示的数据为0,1,0以及信号组合4中所显示的数据为0,1,1，则可以确定该检测区域内上方区域111未检测到第二检测光斑342，即不存在斜置的晶圆12，而中间区域112检测到第三检测光斑343即可确定该晶圆放置空间11内的中间区域112中有晶圆12，此时，无论下方区域113中如信号组合3中检测到第一检测光斑341或者是信号组合4中未检测到第一检测光斑341均可以判断该晶圆放置空间11内为重叠状态15。

如图6的表格中信号组合5中所显示的数据为1,0,0，信号组合6中所显示的数据为1,0,1，信号组合7中所显示的数据为1,1,0，信号组合8中所显示的数据为1,1,1，则可以确定该检测区域内上方区域111检测到第二检测光斑342，此时，如论是中间区域112和下方区域113中是否检测到第一检测光斑341或者第三检测光斑343，该区域内肯定存在晶圆12倾斜放置的情况，因此可以判断该晶圆放置空间11内为斜置状态16。

如图7，为本实用新型第二实施例所提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置100中每一层晶圆放置空间11内的晶圆12放置异常状态以及检测光斑的示意图。该第二实施例与第一实施例的不同在于，该激光检测装置30中设置有四个激光光电传感器，并且四个激光光电传感器在晶圆放置空间11中会形成四个检测光斑。

具体地，该激光检测装置30包括四个激光光电传感器33，分别为左传感器、右传感器、第四传感器和第五传感器，左传感器和右传感器分别位于水平安装杆32的两侧且在晶圆放置空间11内所形成的第四检测光斑344和第五检测光斑345均位于上方区域111内，第四传感器和第五传感器位于左传感器和右传感器之间，且第四传感器在晶圆放置空间11内所形成的第六检测光斑346位于中间区域112内，第五传感器在晶圆放置空间11内所形成的第七检测光斑347位于下方区域113内。在本实施例中，该第四传感器所形成的第六检测光斑346位于中间区域112内，则表示该第四传感器与第一实施例中的第三传感器333的作用一致，在此不再赘述其检测和判断过程。该第五传感器所形成的第七检测光斑347位于下方区域113内，则表示该第五传感器与第一实施例中的第一传感器331的作用一致，在此不再赘述其检测和判断过程。

在本实施例中，该左传感器和右传感器所起到的作用与第一实施例中的第二传感器332的作用相同，主要是用于检测该晶圆放置空间11内是否存在晶圆12倾斜放置的情况。因此，无论是左传感器或者是右传感器检测到第四检测光斑344或者第五检测光斑345均表示该晶圆放置空间11内为斜置状态16。而第二实施例与第一实施例的不同在于，通过两个传感器对倾斜放置的状态进行检测，可以进一步地判断位于该晶圆放置空间11内的晶圆12是属于左向倾斜还是右向倾斜，因此可以更为精确的判断斜置状态16的具体方式。

本实用新型所提供的一种提篮内晶圆放置状态检测装置100包括激光检测装置30、检测平台40和第一驱动组件50，通过第一驱动组件50实现激光检测装置30对于检测平台40上提篮10内的晶圆12的逐层检测。该激光检测装置30上设置的至少三个激光光电传感器33用于对每层的晶圆12放置状态进行判断，相较于传统的视觉检测相比，可以无需光源打光，即可实现激光检测，从而简化了检测装置100的整体结构以及占用空间。

本实用新型所提供的检测装置100可以对于每一层的晶圆放置空间11进行有效地检测并且判断每层晶圆12的放置状态属于正常、空层、重叠或者斜置，仅需对激光检测装置30所反馈的数据进行简单的排列组合即可判断出晶圆的放置状态，较传统的视觉检测中复杂的软件算法以及建立图像模板等软件程序来说也简化了控制系统的程序算法。

整个检测装置100的成本相较于工业视觉的检测设备具有全套的工业相机和光源来说，仅需至少三个激光光电传感器即可完成检测，极大程度的降低了检测装置100的成本、也缩小了检测装置100在整个半导体加工生产线中的安装空间、结构简单、操作方便以及检测判断的准确度高，同时该检测装置的调试周期更短，更加快速便利的应用于半导体加工生产线中。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种提篮内晶圆放置状态检测装置，包括安装平面和控制系统，其特征在于，还包括与所述控制系统电连接的激光检测装置、用于固定提篮的检测平台和固定于安装平面上驱动所述激光检测装置或者所述检测平台在所述安装平面上升降的第一驱动组件，所述第一驱动组件与所述控制系统电连接，所述提篮内设置有至少一层的晶圆放置空间，所述激光检测装置包括安装支架、设置于所述安装支架上、与所述晶圆放置空间中的晶圆平行设置的水平安装杆和设置于所述水平安装杆上的与所述控制系统电连接的至少三个激光光电传感器，每个所述激光光电传感器均可在所述提篮的同一层所述晶圆放置空间内形成检测光斑，所述激光检测装置在同一层所述晶圆放置空间内所形成的至少三个的所述检测光斑在竖直和水平方向上均相互错开。

2.如权利要求1所述的一种提篮内晶圆放置状态检测装置，其特征在于，所述激光检测装置还包括设置于所述水平安装杆上的用于分别调节每个所述激光光电传感器在所述水平安装杆上水平和竖直方向上的相对位置的机械夹爪悬臂。

3.如权利要求2所述的一种提篮内晶圆放置状态检测装置，其特征在于，所述激光检测装置包括三个所述激光光电传感器，分别为第一传感器、第二传感器和第三传感器，所述晶圆放置空间内在竖直方向上分为上方区域、中间区域和下方区域，所述第一传感器在所述晶圆放置空间内所形成的第一检测光斑位于所述下方区域内，所述第二传感器在所述晶圆放置空间内所形成的第二检测光斑位于所述上方区域内，所述第三传感器在所述晶圆放置空间内所形成的第三检测光斑位于所述中间区域内，所述第二传感器在水平方向上位于所述第一传感器和所述第三传感器之间。

4.如权利要求2所述的一种提篮内晶圆放置状态检测装置，其特征在于，所述激光检测装置包括四个所述激光光电传感器，分别为左传感器、右传感器、第四传感器和第五传感器，所述晶圆放置空间内在竖直方向上分为上方区域、中间区域和下方区域，所述左传感器和所述右传感器分别位于所述水平安装杆的两侧且在所述晶圆放置空间内所形成的第四检测光斑和第五检测光斑均位于所述上方区域内，所述第四传感器和所述第五传感器均位于所述左传感器和所述右传感器之间，且所述第四传感器在所述晶圆放置空间内所形成的第六检测光斑位于所述中间区域内，所述第五传感器在所述晶圆放置空间内所形成的第七检测光斑位于所述下方区域内。

5.如权利要求1所述的一种提篮内晶圆放置状态检测装置，其特征在于，每个所述激光光电传感器在所述晶圆放置空间内所形成的所述检测光斑的尺寸小于2mm。

6.如权利要求1所述的一种提篮内晶圆放置状态检测装置，其特征在于，所述激光光电传感器为直接反射型激光传感器、镜面反射型激光传感器或光纤对射型传感器的一种。

7.如权利要求1所述的一种提篮内晶圆放置状态检测装置，其特征在于，所述检测平台包括水平固定板和设置于所述水平固定板上的四个用于固定所述提篮的角块。

8.如权利要求1所述的一种提篮内晶圆放置状态检测装置，其特征在于，所述激光检测装置还包括固定于所述安装支架上用于驱动所述水平安装杆在水平方向上靠近或者远离所述检测平台的第二驱动组件。

9.如权利要求1-8任一项所述的一种提篮内晶圆放置状态检测装置，其特征在于，所述激光检测装置固定于所述安装平面上，所述检测平台固定于所述第一驱动组件上，所述检测平台由所述第一驱动组件驱动在竖直方向上升降。

10.如权利要求1-8任一项所述的一种提篮内晶圆放置状态检测装置，其特征在于，所述检测平台固定于所述安装平面上，所述激光检测装置固定于所述第一驱动组件上，所述激光检测装置由所述第一驱动组件驱动在竖直方向上升降。

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