JPH11174108A

JPH11174108A - 電極配線の検査装置

Info

Publication number: JPH11174108A
Application number: JP9362295A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Maeda; 博己前田
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1997-12-12
Filing date: 1997-12-12
Publication date: 1999-07-02

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】プラズマディスプレイパネル用の基板の電極
配線等の電極配線の断線、短絡の検査装置を提供する。【解決手段】基板１８０を固定して載置し、基板を所
定の検査領域に運搬するステージ１１０と、基板の電極
配線の配線方向であるＹ方向に沿って、ステージ上の基
板のＹ方向幅を跨ぐように、基板面と所定の略一定間隔
で離れて設けられ、基板のＸ方向幅の全ての範囲を移動
できる移動部１２０と、移動部にてそれぞれ所定のＹ方
向位置に固定された、電極配線の断線、短絡の有無を検
査するための、４個のプローブヘッド部１３０とを有
し、前記４個のプローブヘッド部は、Ｙ方向位置を独立
に制御可能なものであり、且つ、各プローブヘッド部
は、基板の電極配線の複数本にそれぞれ独立して電気的
に接触できる所定ピッチ間隔の複数個の端子を持つプロ
ーブカード１３３を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル用基板の背面板、前面板の電極パターン等、
電極パターンの断線、短絡を検査する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、プラズマディスプレイパネル（以
下ＰＤＰとも記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量で
あること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が
広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
一般に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、２
枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一
対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体と
するガスを封入した構造となっている。そして、これら
の電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放
電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を
行うようにしている。特に情報表示をするためには、規
則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。

【０００３】ここで、ＰＤＰの構成を、図８に示すＡＣ
型ＰＤＰの１例を挙げて説明しておく。図８はＰＤＰ構
成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス
基板８１０）、背面板（ガラス基板８２０）とを実際よ
り離して示してある。図８に示すように、２枚のガラス
基板８１０、８２０が互いに平行に且つ対向して配設さ
れており、両者は背面板となるガラス基板８２０上に互
いに平行に設けられた障壁（セル障壁とも言う）８３０
により、一定の間隔に保持されている。前面板となるガ
ラス基板８１０の背面側には、放電維持電極である透明
電極８４０とバス電極である金属電極８５０とで構成さ
れる複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、
誘電体層８６０が形成されており、更にその上に保護層
（ＭｇＯ層）８７０が形成されている。また、背面板と
なるガラス基板８２０の前面側には前記複合電極と直交
するように障壁８３０間に位置してアドレス電極８８０
が互いに平行に形成されており、更に障壁８３０の壁面
とセル底面を覆うように螢光面８９０が設けられてい
る。障壁８３０は放電空間を区画するためのもので、区
画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合
電極間に交流電圧を印加し、で放電させる構造である。
この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数
に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫
外線により螢光体８９０を発光させ、前面板を透過す
る光を観察者が視認できるものである。なお、ＤＣ型Ｐ
ＤＰにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構
造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同
じである。また、図８に示すものは、ガラス基板８２０
の一面に下地層８６７を設けその上に誘電体層７６５を
設けた構造となっているが、下地層８６７、誘電体層８
６５は必ずしも必要としない。

【０００４】このようなプラズマディスプレイパネル
（ＰＤＰ）用基板の背面板、前面板の製造工程は複雑で
長い為、製造過程で不良が発生し、製造中および製造後
に各種検査が行われている。中でも背面板、前面板の最
終的な品質を保証するものとして電極配線断線、短絡の
検査は、不可欠である。電極配線の断線、短絡の検査
は、各配線について、断線が有るか否か、隣接する配線
と短絡が有るか否かを、それぞれ各配線について調べる
もので、基本的には、所定の２箇所間に電圧をかけて、
その間での導通の有無を確認する操作を、同一配線内お
よび隣接する２配線において行うもので、検査対象の全
ての配線についてこの操作を行う。

【０００５】従来より、電極配線の断線、短絡を検査す
る方法としては、図５に示すように、タングステン等を
針状にした針（５１１〜５１３）２本ないし３本を用い
て、それぞれ１方向になぞりながら、断線、短絡を検査
するなぞり式が知られている。液晶表示装置（ＬＣＤ）
等の基板の検査にも用いられているものである。この方
法では、針１本のなぞる方向を１軸として、通常、針２
本の２軸ないし針３本の３軸による検査が行われてい
る。このなぞり式により、図５にその一部を示すような
所定ピッチの直線状の電極配線５４０を検査する場合の
例を説明する。針５１１が配線５４１上に、針４１２が
配線５４２上に接する場合には、導通がなければ両配線
間には短絡がなく、導通があれは両配線間には短絡があ
ると判断される。また、針５１１が配線５４１上に、針
５１２も配線５４１上に接する場合には、導通がなけれ
ば両針間で配線５４１に断線があり、導通があれ両針間
では配線には断線がないと判断できる。このような前提
のもとで、例えば、針５１１と針５１２を、配線５４１
上にともに接する状態から、それぞれ方向、方向に
同じスピードで移動させると、両針間には、配線に異常
がなければ、配線のピッチに対応した所定の電圧波形
（矩形波）が得られるが、配線に断線がある場合には、
電圧波形に異常が出る。これにより配線の断線を確認で
きる。また、例えば、針５１１が配線５４１上に接し、
針５１３が配線５４２上に接する状態から、それぞれ
方向、．向に同じスピードで移動させると、両針間の
導通に異常がなければ、所定の電圧が得られるが、隣接
する２配線に導通がある場合には、電圧に異常が出る。
これにより配線間の導通を確認できる。このような、な
ぞり式は、針先を電極パターンに接するために位置精度
は比較的ゆるくてすむが、針間のタイミングをとること
が難しく、針の圧痕が残るという問題があった。

【０００６】このため、電極配線の断線、短絡を検査す
る別の方法として、図６（ａ）に示すように、ベリリウ
ムカッパー等からなる針６１５を配線のピッチに合わせ
て６４本、１２８本ないし２５６本固定して、各針を電
極配線と接する端子としたプローブカード６１０を、固
定部６２０等により固定してプローブヘッドとしたもの
を２個ないし３個用い、所定のピッチでそれぞれ移動さ
せながら、断線、短絡を検査する検査方法が採られてい
た。尚、図６（ａ）では分かりやすくするため針の本数
は少なく図示してある。また、ここで言うプローブカー
ドとは、検査対象となる基板の電極配線の各配線に接触
するための複数の端子を固定して持つもので、全体がプ
ローブの先端部に固定され、且つ、その各端子をプロー
ブの所定の検出用の配線に繋げるための治具である。そ
して、プローブからとりはずしが可能なもので、言わば
コネクタとも言えるものである。

【０００７】このプローブカードを用いた検査方法は、
例えば、図６（ｂ）に示すような、直線状の電極配線を
所定ピッチに多数配設した場合については以下のように
行う。図６（ｂ）に示すように、はじめに、の領域の
配線の両端部を、プローブカード６１０Ａ、６１０Ｂの
針端子にて、それぞれ、接触させる。プローブカード６
１０の針Ｐ１とプローブカード６１０Ｂの針Ｐ２とがと
もに配線４１１に接触しており、各プローブカードの針
は順次隣の配線に接触している。この状態で、プローブ
カード６１０Ａの所定の１針とプローブカード６１０Ｂ
の所定の１針の、所定の２針を選択し、この２針間に電
圧をかけ、その間の電圧をチエックすることにより、該
２針間の断線ないし導通状態を知ることができる。即
ち、図６（ｂ）に示す２針Ｐ１、Ｐ２を指定すれば配線
６４１の断線の有無を確認でき、２針Ｐ１、Ｐ３を指定
すれば、隣接する配線６４１、配線６４１間の導通の有
無を確認することができる。実際には、検査する２針の
指定は、図示していない検出部により、順に変え（走査
し）て行う。そして、得られた電圧波形を処理部にて処
理して配線の断線の有無、隣接する配線間の導通の有無
を検出する。このようにして、の領域の各配線につい
て全て、配線の断線の有無、隣接する配線間の導通の有
無を検出する。次いで、の領域の各配線全てについ
は、プローブカード６１０Ａを矢印の方向に、Ｐ１がＰ
５の位置にくるまで移動させ、プローブカード６１０Ｂ
を矢印の方向に、Ｐ２がＰ６の位置にくるまで移動さ
せ、各針を配線に接するようにする。尚、プローブカー
ド６１０Ａ、６１０Ｂの移動を行う際には、一端針を配
線から離した状態とする。前述のようにして、の領域
の各配線について全て、配線の断線の有無、隣接する配
線間の導通の有無を検出する。このプローブカードを用
いた検査方法は、このようにして、２個のプローブをそ
れぞれプローブの端子数（針の数）と針間のピッチに対
応する所定のピッチでそれぞれ、配線に直交する方向
に、順送りしながら基板全域の全ての配線について検査
を行うものである。

【０００８】しかし、この方法の場合、例えば、後述す
る図３（ａ）や図３（ｂ）に示すような形状の電極配線
については、プローブカードを３個としても、１度で基
板全域の全ての配線の断線、短絡の検査を行うことがで
きず、検査効率が落ちるという問題があった。また、図
３（ａ）や図３（ｂ）に示す形状の電極配線はともに、
外側と内側では、即ち点線側と点線側とでは、プロ
ーブカードのプローブ全体に対する位置が異なるため、
また配線のピッチが異なるため、外側と内側では、それ
ぞれオフセット量を考慮し、且つ針ピッチの異なる別の
プローブカードを用意する必要があるが、プローブカー
ドは高価であるため、この対応はコスト的に問題が多か
った。また、プローブの針（ピン）数増加はコスト高に
つながるという問題もある。

【０００９】別に、ＰＤＰ用基板（背面板、前面板）の
電極パターンの断線、短絡を検査する別の方法として
は、図７に示すように、フレキシブルなベースフィルム
７２５上に端子用電極配線７２７が形成され配線フィル
ム（ＦＰＣとも言う、ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔ
Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）からなるプローブカード７２０を固
定した、１２８個ないし２５６個の端子をもつプローブ
ヘッド７１０を用いるもので、図５（ｂ）に示す針を用
いたプローブカード５１０と同様に、各プローブを配線
方向に直交する方向に、所定のピッチで順送り移動させ
ながら、断線、短絡を検査する配線フィルムからなるプ
ローブによる検査方法も試みられた。尚、図７（ｂ）は
図７（ａ）のＥ１側からみた図である。この方法は、図
６に示す針を端子としたプローブカードに代え、ＦＰＣ
の配線部を端子としたもので、基板の電極パターンとＦ
ＰＣの配線とを面接触させるものである。この方法の場
合は、ＦＰＣを基板の電極パターンと面接触させる際
に、接触不良の発生を防止させることが難しい上に、プ
ローブの端子用電極パターンを用いるため、針を用いた
場合に比べその位置精度は厳しく求められるようになる
ともいう問題があり、すでに限界が見えている。また、
一般には、上記針を固定したローブカードを用いた検査
方法と同様、検査の対象となる基板の電極配線の形状に
よっては、検査に手間取る問題があった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
図４に示すすべり式の検査方法の場合には、そのタイミ
ングのとり方が難しく、且つ電極パターンに圧痕跡が残
るという問題があり、図５（ｂ）に示す針を固定したブ
ローブカードを用いた検査方法の場合には、電極配線の
絵柄によっては効率的な検査がができないという問題が
あり、ＦＰＣ配線を端子としたプローブカードを用いた
検査方法においては、端子位置精度の点や、端子の接触
不良の発生ということから限界が見えている。このた
め、ますますの大型化とセルの微細化が進み、且つ、電
極配線の形状も多種となるＰＤＰ用の電極配線の断線、
短絡の検査においては、上記の検査方法とは異なる、効
率的にかつ、各種電極配線の絵柄に対応できる方法が求
められていた。本発明は、これに対応するためのもの
で、ＰＤＰ用の基板の電極配線等の電極配線の断線、短
絡の検査する検査装置であって、効率的にかつ、各種電
極配線の絵柄に対応できる検査装置を提供しようとする
ものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の電極配線の検査
装置は、プラズマディスプレイパネル用の基板上の電極
配線等、基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の有
無を検査する検査装置であって、基板を固定して載置
し、基板を所定の検査領域に運搬するステージと、基板
の電極配線の配線方向であるＹ方向に沿って、ステージ
上の基板のＹ方向幅を跨ぐように、基板面と所定の略一
定間隔で離れて設けられ、且つ、ステージとは独立し
て、基板の配線方向に略直交して基板面に沿うＸ方向に
基板のＸ方向幅の全ての範囲を移動できる移動部と、前
記移動部にてそれぞれ所定のＹ方向位置に固定された、
電極配線の断線、短絡の有無を検査するための、４個の
プローブヘッド部とを有し、前記４個のプローブヘッド
部は、それぞれ、互いに接触しない範囲で、移動部に固
定されるＹ方向位置を独立に制御可能なものであり、且
つ、各プローブヘッド部は、基板の電極配線の複数本に
それぞれ独立して電気的に接触できる所定ピッチ間隔の
複数個の端子を持つプローブカードを有し、プローブカ
ードのＸ、Ｙ位置とＸ方向とＹ方向に直交するＺ位置を
所定の範囲で調整できるものであることを特徴とするも
のである。そして、上記において、ステージには、ＸＹ
平面における回転方向を調整するための回転方向位置制
御部を備えていることを特徴とするものである。そして
また、上記におけるプローブヘッド部のプローブカード
の端子が針からなり、各針の先端部を基板の電極配線に
接触させるものであることを特徴とするものである。ま
た、上記におけるステージは、少なくとも基板の配線方
向に略直交して基板面に沿うＸ方向に移動できるもの
で、Ｘ方向に沿って、被検査基板が所定の検査領域に供
給されるものであることを特徴とするものである。ま
た、上記における移動部は、ステージのＸ方向の２つの
辺部に沿いそれぞれ設けられた、２つのＸ方向移動する
支持部により支持されて、Ｘ方向を移動するものである
ことを特徴とするものである。また、上記における移動
部は、４個のプローブヘッド部のＹ方向移動用の支持軸
となるもので、各プローブヘッド部は、サーボモータ駆
動ないしステッピングモータ駆動により位置制御され
て、移動部における所定のＹ方向位置に移動されるもの
であり、該各プローブヘッド部のプローブカードは、ス
テッピングモータ駆動により位置制御されて所定のＸ方
向位置に調整されるものであることを特徴とするもので
ある。また、該各プローブヘッド部のプローブカード
は、ＭＨモータによりＸＹ平面における回転方向（θ
軸）の位置制御がされて、所定の回転方向位置に調整さ
れるものであることを特徴とするものである。また、上
記において、基板上の基板位置を認識するための絵柄お
よび基板上の電極配線を認識するためのカメラを備えて
いることを特徴とするものであり、該基板位置を認識す
るためのカメラは、プローブヘッド部に一体となり、設
けられていることを特徴とするものである。更に、該基
板位置を認識するためのカメラを、それぞれ、４個のプ
ローブヘッド部のうちの、Ｙ方向の両端の各１個にそれ
ぞれ備えていることを特徴とするものである。

【００１２】尚、ここで言う基板の電極配線の配線方向
とは、各配線の大部分領域を占める長手方向を意味して
いる。

【００１３】

【作用】本発明の電極配線の検査装置は、このような構
成にすることにより、ＰＤＰ用の基板の電極配線等の、
電極配線の断線、短絡の検査装置であって、効率的にか
つ、各種電極配線の絵柄に対応できる、検査装置の提供
を可能としている。また、ＰＤＰ用の大型基板にも対応
できるものとしている。具体的には、プラズマディスプ
レイパネル用の基板上の電極配線等、基板上に設けられ
た電極配線の断線、短絡の有無を検査する検査装置であ
って、基板を固定して載置し、基板を所定の検査領域に
運搬するステージと、基板の電極配線の配線方向である
Ｙ方向に沿って、ステージ上の基板のＹ方向幅を跨ぐよ
うに、基板面と所定の略一定間隔で離れて設けられ、且
つ、ステージとは独立して、基板の配線方向に略直交し
て基板面に沿うＸ方向に基板のＸ方向幅の全ての範囲を
移動できる移動部と、前記移動部にてそれぞれ所定のＹ
方向位置に固定された、電極配線の断線、短絡の有無を
検査するための、４個のプローブヘッド部とを有し、前
記４個のプローブヘッド部は、それぞれ、互いに接触し
ない範囲で、移動部に固定されるＹ方向位置を独立に制
御可能なものであり、且つ、各プローブヘッド部は、基
板の電極配線の複数本にそれぞれ独立して電気的に接触
できる所定ピッチ間隔の複数個の端子を持つプローブカ
ードを有し、プローブカードのＸ、Ｙ、Ｚ位置を所定の
範囲で調整できるものであることにより、これを達成し
ている。即ち、４個のプローブヘッド部を互いに接触し
ない範囲でＹ方向位置を独立に制御可能で、且つ、各プ
ローブヘッド部はのプローブカードのＸ、Ｙ位置とＸ方
向とＹ方向に直交するＺ位置を所定の範囲で調整できる
ことにより、更には、ステージに、ＸＹ平面における回
転方向を調整するための回転方向位置制御部を備えてい
ることにより、各種絵柄の電極配線に、効率的に対応で
きるようにしている。

【００１４】また、プローブヘッド部のプローブカード
の端子が針からなり、各針の先端部を基板の電極配線に
接触させるものであることにより、プローブカードの位
置精度管理に高い精度を必要としない構造としている。
また、基板上の基板位置を認識するための絵柄および基
板上の電極配線を認識するためのカメラを備えているこ
とにより、更には、該基板位置を認識するためのカメラ
は、プローブヘッド部に一体となり、設けられており、
特に４個のプローブヘッド部のうちの、Ｙ方向の両端の
各１個にそれぞれ備えていることにより、基板の位置や
配線部の位置を確認でき、これにもとづき、各プローブ
カードの位置を制御できるものとしている。また、プロ
ーブカードは高額であるが、１つの同じ端子ピッチ（針
ピッチ）のプローブカードで、種々の絵柄にオフセット
量を調整することにより、従来の図５に示すような検査
方法に比べ、ローコスト化が図れる。更に、上記のよう
に各プローブカードを移動できるため、電極配線の端子
部から電極配線の表示部先端までの全域について検査が
可能となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の電極配線の検査装置の実
施の形態を挙げて説明する。図１は実施の形態の１例の
概略平面図で、図２は、図１のＡ１−Ａ２からみた概略
断面図で、図３は基板の配線状態と、各プローブヘッド
のプローブカードの位置を示した図で、図４はプローブ
ヘッド部の概要を分かり易く示した斜視図である。尚、
図３においては、形状を分り易くするために配線の数は
極度に少なくしてあるが、その数は通常、数百本に及
ぶ。また、図１〜図３中、Ｙ方向は配線の方向を示し、
Ｘ方向は配線に直交する基板面に沿う方向、Ｚ方向はＸ
Ｙ面に直交する方向を示している。図１〜図４中の点線
矢印は、各部の移動できる方向を示したものである。図
１、図２中、１００は検査装置、１１０はステージ、１
１１はステージ支持部、１１３は回転駆動部、１１５は
レール、１２０は移動部、１２１は支持部、１２３、１
２５はレール、１２７はモータ、１２９はネジ部、１３
０、１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ、１３０Ｄはプロー
ブヘッド部、１３３、１３３Ａ、１３３Ｂ、１３３Ｃ、
１３３Ｄはプローブカード、１３４は針、１３６は固定
部、１３７は（Ｚ移動用）レール、１３８はＸ移動部、
１３９はＹ移動部、１５０はベンチ、１８０は基板、１
９０は基板供給位置、１９５は検査ブースである。図
１、図２に示す装置は、ＰＤＰ用の背面基板用の電極配
線を設けた基板の、配線の断線、短絡の有無を検査する
検査装置であり、基板１８０を固定して載置し、基板を
所定の検査領域に運搬するステージ１１０と、基板１８
０の電極配線の配線方向であるＹ方向に沿って、ステー
ジ１１０上の基板１８０のＹ方向幅を跨ぐように、基板
面と所定の略一定間隔で離れて設けられ、且つ、ステー
ジ１１０とは独立して、基板１８０の配線方向に略直交
して基板面に沿うＸ方向に基板のＸ方向幅の全ての範囲
を移動できる移動部１２０と、移動部１２０にてそれぞ
れ所定の位置に固定された、電極配線の断線、短絡の有
無を検査するための、４個のプローブヘッド部１３０と
を有している。

【００１６】装置１００の移動部１２０は、その両端を
支持部１２１に支持され、ステージ１１０のＸ方向の２
つの辺部に沿いそれぞれ設けられた、２つレール１２５
に沿い、Ｘ方向を移動するものである。駆動はモータ１
２７により、ネジ部１２９の回転により行うが、リニア
モータ等に限定はされない。

【００１７】プローブヘッド部１３０のプローブカード
１３３としては、図４や図６（ａ）に示す端子が針から
なり、各針の先端部を基板の電極配線に接触させるもの
が好ましいが、特にこれに限定はされない。検査原理に
ついては、図６に示すものと同じであるが、本装置１０
０は、各プローブカード１３３Ａ〜１３３Ｄの位置をそ
れぞれ独立に調整できる。ステージ１１０は、少なくと
も基板１８０の配線方向に略直交するＸ方向に移動でき
るもので、本装置１００においては、検査対象となる基
板１８０は、基板供給位置１９０にてステージ１１０上
に載せられ、レール１１５上を走行し、検査を行う検査
プース１９５内へと運ばれて検査される。尚、必要に応
じ、検査対象となる基板の供給位置や、検査後の基板の
排出位置を図１に示す位置と変えても良い。例えば、図
１に於いて検査ブース１９５の右側に基板供給位置を設
け、検査良品は検査後基板供給位置に戻し、検査不良品
は、検査ブース１９５の左側に排出するようにしても良
い。

【００１８】４個のプローブヘッド部１３０は、それぞ
れ、互いに接触しない範囲で、移動部１２０に固定され
るＹ方向位置を独立に制御可能であり、且つ、各プロー
ブヘッド部１３０は、基板１８０の電極配線の複数本に
それぞれ独立して電気的に接触できる所定ピッチ間隔の
複数個の端子を持つプローブカード１３３を有し、プロ
ーブカード１３３のＸ、Ｙ、Ｚ位置を所定の範囲で調整
できるものである。移動部１２０は、４個のプローブヘ
ッド部１３０のＹ方向移動用の支持軸となるもので、各
プローブヘッド部１３０は、サーボモータ駆動ないしス
テッピングモータ駆動により位置制御されて、移動部１
２０における所定のＹ方向位置に移動される。図１に示
す装置ではレール１２３に沿い、各プローブカード１３
３は移動走行する。また、各プローブヘッド部１３０の
プローブカード１３３は、プローブヘッド部１３０に取
り付けられたステッピングモータ（図示していない）駆
動により位置制御されて所定のＸ方向位置に調整され
る。また、各プローブヘッド部１３０のプローブカード
１３３は、プローブヘッド部１３０に取り付けられたＭ
Ｈモータ（図示していない）によりＸＹ平面における回
転方向（θ軸）の位置制御がされて、所定の回転方向位
置に調整されるものである。

【００１９】ステージ１１０には、ＸＹ平面における回
転方向を調整するための回転方向位置制御部（回転方向
駆動部１１３）を備えている。また、ステージ１１０
は、図示していないが、真空引き用の吸着溝を設けて基
板１８０を吸着固定している。

【００２０】また、図示していないが、プローブヘッド
部１３３Ａ、１３３Ｄには、基板１８０上の基板位置を
認識するための絵柄および基板上の電極配線を認識する
ためのカメラをそれぞれ備えている。これにより、基板
１８０の配線の位置と各プローブカードとの位置関係を
精確に把握でき、各プローブカードを精確に制御して検
査を行える。

【００２１】ここで、プローブヘッド部１３０の構造
と、各部の動作を理解するために、図４に、その１例の
概略構成を挙げて説明する。図４には、プローブヘッド
部１３０の各部の動作、即ち各部の移動制御を分かり易
くするためにプローブカード１３３をＸ方向、Ｙ方向、
Ｚ方向、回転方向（θ方向）に移動制御するモータ等の
駆動部を省略して示してある。プローブカード１３３は
Ｚ移動用レール１３７に沿いＺ方向に移動制御される。
Ｚ移動用レール１３７は、Ｘ移動部１３８に連結され、
Ｘ移動部１３８のＸ方向移動に伴い、プローブカード１
３３と一体となってＸ方向に移動制御される。また、Ｙ
移動部１３９は、Ｘ移動部１３８、Ｚ移動用レール１３
７やプローブカード１３３と一体の状態で、移動部１２
０のレール１２３に沿いＹ方向に移動制御される。これ
らの移動制御により、プーロブカード１３３は、そのＸ
方向、Ｙ方向、Ｚ方向の各位置を制御できる。尚、各方
向の移動制御は図示していないステッピングモータやサ
ーボモータにより行うことができる。Ｚ移動用レール１
３７は矢印の方向に図示していないＭＨモータにより回
転移動でき、その位置を制御できるものであり、結局、
プーロブカード１３３は、そのＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方
向、回転方向の各位置を制御できる。

【００２２】次いで、装置１００を用いて図３に示すよ
うな形状の配線を有するガラス基板を検査する場合につ
いて、その動作の１例を簡単に説明しておく。先ず、移
動部１２０を第１の位置Ｐ１０に固定した状態で、点線
、、、の位置にプローブヘッド１３０Ａ、１３
０Ｂ、１３０Ｃ、１３０Ｄを合わせ、各プローブヘッド
に対応するプローブカード１３３Ａ、１３３Ｂ、１３３
Ｃ、１３３ＤのＸ、Ｙ、Ｚ方向位置および回転方向（θ
軸）位置を調整し、図６（ｂ）に示すのと同様に、端子
（針）が配線と電気的に接するようにする。尚、にお
ける位置とにおける位置では、また、における位置
とにおける位置では、１つの配線でもそのＸ方向位置
が異なるため、この異なるＸ方向のオフセット量を各プ
ローブヘッド毎にそれぞれ調整する。この調整は、前述
したように、図４に示すＸ移動部１３８の移動により行
う。この状態で、図６（ｂ）に示す方法と同様にして、
の位置との位置の間のプローブカードの端子（針）
が接している各配線については、それぞれ断線、短絡の
有無が確認できる。また、の位置との位置のプロー
ブカードの端子（針）が接している各配線についても、
それぞれ断線、短絡の有無が確認できる。同様に、の
位置のプローブカードの端子（針）が接している各配線
との位置のプローブカードの端子（針）が接している
各配線と短絡の有無についても確認できる。このように
して第１の位置Ｐ１０における測定（検査）を終了した
後、各プローブカードのＺ方向位置を変えて、配線から
離れるようにしてから、図６（ｂ）の方法と同様に、配
線のピッチ、プローブカードの端子（針）ピッチに対応
した所定のピッチで、移動部１２０を配線方向に直交す
るＸ方向に沿い、第２の位置（図示していない）へと順
送りする。第２の位置においても、第１の位置Ｐ１０に
おける場合と同様に、プローブカード１３３Ａ、１３３
Ｂ、１３３Ｃ、１３３ＤのＸ、Ｙ、Ｚ方向位置および回
転方向（θ軸）位置を調整し、端子（針）が配線と電気
的に接するようにし、第１の場合と同様にプローブカー
ドの端子（針）が接している各配線の断線、短絡の有無
を検査する。この操作を繰り返し、ガラス基板全域の配
線について、断線、短絡の有無を確認できる。

【００２３】図３（ｂ）に示すような形状の配線有する
ガラス基板を検査する場合は、移動部１２０におけるプ
ローブヘッド１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ、１３０Ｄ
のＹ方向位置を、それぞれ、、、として上記と
同様にして検査できる。

【００２４】

【発明の効果】本発明は、上記のように、効率的に且
つ、各種電極配線の絵柄に対応できる、電極配線の断
線、短絡を検査する検査装置の提供を可能とした。特
に、ますますの大型化とセルの微細化が進み、且つ、電
極配線の形状も多種となるＰＤＰ用の電極配線の断線、
短絡の検査において有効で、結果、ＰＤＰ用の基板の量
産に対応できるものとしている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電極配線の検査装置の実施の形態の１
例を示した概略平面図

【図２】本発明の電極配線の検査装置の実施の形態の１
例の概略断面図

【図３】基板の配線状態と、各プローブヘッドのプロー
ブカードのＹ方向位置等を説明するための図

【図４】プローブヘッド部の概要を分かり易く示した斜
視図

【図５】すべり式検査方法を説明するための図

【図６】従来のプローブカードを用いた検査方法を説明
するための図

【図７】ＦＰＣをブローブカードとしたプローブヘッド
部を説明するための図

【図８】ＰＤＰを説明するための斜視図

【符号の説明】

１００検査装置１１０ステージ１１１ステージ支持部１１３回転駆動部１１５レール１２０移動部１２１支持部１２３、１２５レール１２７モータ１２９ネジ部１３０、１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ、１３０Ｄ
プローブヘッド部１３３、１３３Ａ、１３３Ｂ、１３３Ｃ、１３３Ｄ
プローブカード１３４針１３６固定部１３７（Ｚ移動用）レール１３８Ｘ移動部１３９Ｙ移動部１５０ベンチ１８０基板１９０基板供給位置１９５検査ブース３１０、３１５ガラス基板３２０、３２５配線５１１、５１２、５１３針５１１Ａ針先端５２０処理部５２５信号線５３０基板５４１、５４２、５４３配線６１０、６１０Ａ、６１０Ｂプローブカード６１５針（端子）６１５Ａ針先端部６４０、６４１、６４２配線７１０プローブヘッド７１５、７１７固定部７２０プローブカード７２５ベースフィルム７２７配線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プラズマディスプレイパネル用の基板上
の電極配線等、基板上に設けられた電極配線の断線、短
絡の有無を検査する検査装置であって、基板を固定して
載置し、基板を所定の検査領域に運搬するステージと、
基板の電極配線の配線方向であるＹ方向に沿って、ステ
ージ上の基板のＹ方向幅を跨ぐように、基板面と所定の
略一定間隔で離れて設けられ、且つ、ステージとは独立
して、基板の配線方向に略直交して基板面に沿うＸ方向
に基板のＸ方向幅の全ての範囲を移動できる移動部と、
前記移動部にてそれぞれ所定のＹ方向位置に固定され
た、電極配線の断線、短絡の有無を検査するための、４
個のプローブヘッド部とを有し、前記４個のプローブヘ
ッド部は、それぞれ、互いに接触しない範囲で、移動部
に固定されるＹ方向位置を独立に制御可能なものであ
り、且つ、各プローブヘッド部は、基板の電極配線の複
数本にそれぞれ独立して電気的に接触できる所定ピッチ
間隔の複数個の端子を持つプローブカードを有し、プロ
ーブカードのＸ、Ｙ位置とＸ方向とＹ方向に直交するＺ
位置を所定の範囲で調整できるものであることを特徴と
する電極配線の検査装置。
【請求項２】請求項１において、ステージには、ＸＹ
平面における回転方向を調整するための回転方向位置制
御部を備えていることを特徴とする電極配線の検査装
置。
【請求項３】請求項１ないし２におけるプローブヘッ
ド部のプローブカードの端子が針からなり、各針の先端
部を基板の電極配線に接触させるものであることを特徴
とする電極配線の検査装置。
【請求項４】請求項１ないし３におけるステージは、
少なくとも基板の配線方向に略直交して基板面に沿うＸ
方向に移動できるもので、Ｘ方向に沿って、被検査基板
が所定の検査領域に供給されるものであることを特徴と
する電極配線の検査装置。
【請求項５】請求項１ないし４における移動部は、ス
テージのＸ方向の２つの辺部に沿いそれぞれ設けられ
た、２つのＸ方向移動する支持部により支持されて、Ｘ
方向を移動するものであることを特徴とする電極配線の
検査装置。
【請求項６】請求項１ないし５における移動部は、４
個のプローブヘッド部のＹ方向移動用の支持軸となるも
ので、各プローブヘッド部は、サーボモータ駆動ないし
ステッピングモータ駆動により位置制御されて、移動部
における所定のＹ方向位置に移動されるものであること
を特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項７】請求項６において、各プローブヘッド部
のプローブカードは、ステッピングモータ駆動により位
置制御されて所定のＸ方向位置に調整されるものである
ことを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項８】請求項７において、各プローブヘッド部
のプローブカードは、ＭＨモータによりＸＹ平面におけ
る回転方向（θ軸）の位置制御がされて、所定の回転方
向位置に調整されるものであることを特徴とする電極配
線の検査装置。
【請求項９】請求項１ないし８において、基板上の基
板位置を認識するための絵柄および基板上の電極配線を
認識するためのカメラを備えていることを特徴とする電
極配線の検査装置。
【請求項１０】請求項９において、基板位置を認識す
るためのカメラは、プローブヘッド部に一体となり、設
けられていることを特徴とする電極配線の検査装置。
【請求項１１】請求項１０において、基板位置を認識
するためのカメラを、それぞれ、４個のプローブヘッド
部のうちの、Ｙ方向の両端の各１個にそれぞれ備えてい
ることを特徴とする電極配線の検査装置。