KR101088566B1 - 대면적 기판을 테스트하기 위한 테스트 시스템 및 프로버 조립체 - Google Patents

대면적 기판을 테스트하기 위한 테스트 시스템 및 프로버 조립체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 대면적 기판용 장치 및 방법에 관한 것이다. 대면적 기판은 패턴 디스플레이 및 대면적 기판상의 디스플레이에 전기적으로 결합되는 접촉 지점을 포함한다. 장치는 대면적 기판 및/또는 접촉 지점에 대해 이동가능한 프로버 조립체를 포함하며, 다양한 대면적 기판상의 접촉 지점 및 다양한 패턴의 디스플레이를 테스트하도록 구성될 수 있다. 프로버 조립체는 또한 테스트 테이블 상에 위치 설정되는 대면적 기판의 부분 섹션을 테스트하도록 구성되며, 프로버 조립체는 테스트 테이블로부터 프로버 조립체를 제거하지 않고 상이한 디스플레이 및 접촉 지점을 구성할 수 있다.

Description

대면적 기판을 테스트하기 위한 테스트 시스템 및 프로버 조립체 {TEST SYSTEM AND PROBER ASSEMBLY FOR TESTING A LARGE AREA SUBSTRATE}
도 1은 테스트 시스템의 일 실시예의 사시도.
도 2a는 도 1에 도시된 테스트 시스템의 측면도.
도 2b는 도 2a에 도시된 테스트 테이블의 일 부분의 사시도.
도 3a는 기판 및 기판 위의 두 개의 프로버의 일 실시예의 평면도.
도 3b는 도 3a의 프로버의 테스트 위치의 일 실시예의 평면도.
도 3c는 도 3a에 도시된 프로버의 테스트 위치의 또 다른 실시예의 평면도.
도 4a는 접촉 헤드 조립체의 일 실시예의 사시도.
도 4b는 접촉 헤드 조립체의 일 실시예의 측면도.
도 4c는 도 4b의 접촉 헤드의 사시도.
도 5a는 프로버의 또 다른 실시예의 사시도.
도 5b는 프로버의 또 다른 실시예의 부분 사시도.
도 6은 접촉 헤드 조립체의 하부 부분의 사시도.
도 7a 내지 도 7h는 접촉 헤드 위치 설정의 다양한 실시예를 보여주는 도면.
도 8a는 도 5b에 도시된 프레임의 일 부분의 사시도.
도 8b는 도 5b에 도시된 프레임의 또 다른 부분의 사시도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 테스트 시스템 105 : 기판
110 : 챔버 120 : 로드 락 챔버
122 : 진공 펌프 130, 136 : 포트
135 : 밸브 150 : 가동 측벽
151 : 액츄에이터 158 : 현미경
160 : 현미경 조립체 200 : 내부 용적
205A, 205B : 프로버 210 : 테스트 테이블
212 : 상부 스테이지 214A, 114B : 프레임
215 : 슬롯 218 : 엔드 이펙터
218A 내지 218C : 핑거 222 : 상부
224 : 구동부 240 : 지지 부재
240A, 240B : 프로버 지지부 241 : 단부
290 : 테스트 영역
본 발명의 실시예는 일반적으로 기판용 테스트 시스템에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 평판 디스플레이의 제조시 대면적 기판용 통합 테스트 시스템에 관한 것이다.
때때로 능동 매트릭스형 액정 디스플레이(LCD's)로 지칭되는 평판 디스플레이는 과거의 캐쏘오드 레이 튜브에 대한 대체물로서 전 세계적으로 널리 알려졌다. LCD는 높은 화상 품질, 가벼운 중량, 낮은 전압 요구량, 및 낮은 전력 소모를 포함하여 CRT에 대한 수 개의 장점을 가지고 있다. 디스플레이는 단지 몇가지만 언급하자면, 컴퓨터 모니터, 휴대 전화 및 텔레비젼에 많이 적용된다.
하나의 타입의 능동 매트릭스 LCD는 평판 기판을 형성하기 위하여 박막 트랜지스터(TFT) 어레이 기판과 컬러 필터 기판 사이에 삽입되는 액정 재료를 포함한다. 일반적으로, TFT 기판은 각각이 화소 전극으로 결합되는 박막 트랜지스터의 어레이를 포함하며, 컬러 필터 기판은 상이한 컬러 필터 부분 및 공통 전극을 포함한다. 소정의 전압이 화소 전극으로 인가될 때, 전기장이 화소 전극과 공통 전극 사이에 형성되어, 빛이 특별한 화소에 대해 통과하는 것을 허용하도록 액정 재료가 배향된다. 사용된 기판은 통상적으로 대면적을 포함하며 많은 독립 평판 디스플레이가 대면적 기판상에 형성되어 후속적으로 최종 제조 동안 기판으로부터 분리된다.
일부 제조 공정은 각각의 평판 디스플레이에서의 화소의 작동성을 결정하기 위한 대면적 기판의 테스트를 요구한다. 전압 화상관찰(imaging), 전하 감지(sensing), 광학적 화상관찰(optical imaging) 및 전자 비임 테스트(electron beam testing)는 제조 공정 동안 결함을 모니터링하여 조정하기 위해 이용되는 일부 공정이다. 통상적인 전자 비임 테스트 공정에서 픽셀 내의 TFT 반응은 결함 정보를 제공하기 위해 모니터링된다. 전자 비임 테스트의 일 예에서, 소정의 전압은 TFT에 인가되어, 전자 비임이 조사 중에 있는 개별 화소 전극으로 향할 수 있다. 화소 전극으로부터 방출되는 2차 전자는 TFT 전압을 결정하기 위하여 감지된다.
일반적으로 프로버 조립체와 같은 테스트 장치는 대면적 기판 상의 전도 면적과 접촉함으로써 TFT로부터 전압을 감지거나 인가하기 위해 이용된다. 프로버 조립체는 기판상에 배치되는 평판 디스플레이의 특정 구성을 테스트하도록 크기가 정해지고 조정된다. 프로버 조립체는 통상적으로 기판의 치수와 동일한 크기 또는 더 큰 크기를 가지는 면적을 가지며, 프로버 조립체의 이러한 대면적은 처리, 이송, 및 저장 문제점이 발생한다. 프로버 조립체는 또한 일반적으로 평판 디스플레이 또는 제품의 하나의 특정 구성을 테스트하도록 설계되며 여기서 상이한 프로버 조립체는 제품이 상이할 때마다 요구되었다. 제조자가 통상적으로 많은 상이한 제품을 제조하기 때문에, 이는 요구되는 프로버 조립체의 개수를 증가시킬 수 있으며, 이는 다시 저장, 이송, 및 처리 문제점이 발생한다.
따라서, 위에서 설명되는 일부 문제점을 해결하는 대면적 상의 테스트을 수행하기 위한 프로버 조립체에 대한 요구가 있다.
본 명세서에서 설명되는 실시예들은 대면적 기판상의 전자 장치를 테스트하는 것에 관련된다. 일 실시예에서, 프로버 조립체가 설명된다. 프로버 조립체는 프레임, 및 프레임에 이동가능하게 결합되는 다수의 접촉 헤드를 포함하며, 각각의 접촉 헤드는 프레임에 대해 평행한 방향으로, 프레임에 대해 직교하는 방향으로, 프레임에 대해 일정한 각도로, 및 이들의 조합된 방향으로 독립적으로 배향된다.
또 다른 실시예에서, 프로버 조립체가 설명된다. 프로버 조립체는 프레임, 프레임에 이동가능하게 결합되는 다수의 접촉 헤드 조립체를 포함하며, 각각의 접촉 헤드 조립체는 하우징, 및 하부면에 배치되는 다수의 프로버 핀을 가지는 접촉 헤드를 포함하며, 각각의 접촉 헤드 조립체는 프레임의 길이에 대해 독립적으로 이동가능하며, 각각의 접촉 헤드는 하우징에 대해 이동가능하다.
또 다른 실시예에서, 장방형 대면적 기판을 테스트하기 위한 테스트 시스템이 설명된다. 테스트 시스템은 다수의 전자 장치가 위치하는 기판을 수용하기 위한 크기를 가지는 테스트 테이블, 및 기판상의 전자 장치와 선택적으로 접촉하는 다수의 접촉 헤드를 가지는 프로버 조립체를 포함하며, 프로버 조립체는 테스트 테이블의 길이를 따라 이동가능하다.
위에서 설명된 본 발명의 특징이 상세하게 이해될 수 있도록, 위에서 간단히 요약된 본 발명의 더욱 특별한 상세한 설명은 실시예들을 참조할 수 있으며, 이 실시예들 중 일부는 첨부된 도면에 도시되어 있다. 그러나, 첨부된 도면은 단지 본 발명의 통상적인 실시예를 도시하며, 따라서 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 고려되지 않으며 본 발명에 대해 다른 균등 효과를 가지는 실시예를 인정할 수 있다.
이해를 용이하게 하도록, 가능하게는 도면들에 공통적인 동일 요소를 표시하기 위하여 동일한 도면 부호가 사용되었다. 일 실시예에서 공개된 요소는 특별한 인용 없이 다른 실시예에서 유익하게 이용될 수 있다.
본 명세서에서 사용되는 용어 기판은 일반적으로 유리, 폴리메릭 재료, 또는 전자 장치가 형성되기에 적절한 다른 기판 재료로 제조되는 대면적 기판을 지칭한다. 평판 디스플레이 상에 위치하는 화소 및 TFT와 같은 테스트 전자 장치의 테스트와 관련하여 다양한 실시예가 설명된다. 대면적 기판 상에 위치되어 테스트될 수 있는 다른 전자 장치는 다른 장치 중에서 태양 전지 어레이용 광전지, 유기 발광 다이오드(OLED)를 포함한다. 테스트 절차는 전자 비임 또는 하전된 입자 이미터를 이용하여 예시적으로 설명되지만, 본 명세서에서 설명되는 소정의 실시예는 광학 장치, 전하 감지, 또는 진공 상태나 대기압 또는 대기압 근처에서 대형 기판 상의 전자 장치를 테스트하도록 구성되는 다른 테스트 장치를 이용해서도 동일하게 실행될 수 있다..
본 출원에서 설명되는 실시예는 다음에 기재된 것들 중 하나 또는 이들의 조합일 수 있는 다양한 구동부, 모터 및 액츄에이터를 인용할 수 있다: 공압 실린더, 압전 모터, 유압 실린더, 자기 구동부, 스테퍼 또는 서보 모터, 스크류형 액츄에이터, 또는 수직 운동, 수평 운동, 이들의 조합 운동을 제공하는 다른 타입의 운동 장치, 또는 설명되는 운동의 적어도 일 부분을 제공하기에 적절한 다른 장치.
본 명세서에서 설명되는 다양한 부품은 수평 및 수직 평면에서의 독립적인 운동을 할 수 있다. 수직은 수평 평면에 대해 직교하는 운동으로서 정의되며 Z 방향으로서 지칭될 것이다. 수평은 수직 평면에 대해 직교하는 운동으로서 정의되며 X 또는 Y 방향으로서 지칭되며 X 방향은 Y 방향에 대해 직교하는 운동이며, Y 방향은 X 방향에 대해 직교하는 운동이다. X, Y, 및 Z 방향은 독자에게 도움을 주기 위해 도면에서 요구될 때 포함되는 방향 표지(insets)에 의해 추가로 한정될 것이다.
도 1은 대면적 기판상에 위치하는 전자 장치의 작동성을 테스트하도록 조절된 테스트 시스템(100)의 일 실시예의 사시도이며, 예를 들면 대면적 기판은 약 2200 mm X 약 2600 mm 까지의, 그리고 이를 초과하는 치수를 가진다. 테스트 시스템(100)은 테스트 챔버(110), 로드 락 챔버(120), 및 다수의 테스트 컬럼(115)(도 1에 7개가 도시됨)을 포함하며, 테스트 컬럼은 박막 트랜지스터(TFT)와 같은, 대면적 기판 상에 위치하는 전자 장치를 테스트하는 전자 비임 컬럼으로서 예시적으로 설명된다. 후방 산란되는 전자를 감지하기 위한 다수의 감지 장치(도시안됨)는 테스트 챔버(110)의 내부 용적 내에서 테스트 컬럼(115)에 인접하여 위치한다. 테스트 시스템(100)은 통상적으로 세정실 환경 내에 위치할 수 있으며 테스트 시스템(100)으로 및 테스트 시스템으로부터 하나 또는 그보다 많은 대면적 기판(105)을 운송하는 이송기 시스템 또는 로보틱 장비(robotic equipment)와 같은 기판 처리 장비를 포함하는 제조 시스템의 일 부분일 수 있다. 일 실시예에서, 테스트 시스템(100)은 또한 기판이 테스트 챔버(110)에 배치될 때 대면적 기판 상의 관심 영역을 관측하기 위해 테스트 챔버(110)의 상부 표면에 결합되는 현미경 조립체(160)를 포함한다.
테스트 챔버(110)의 내부는 적어도 로드 락 챔버(120)와 테스트 챔버(110) 사이의 밸브(135)를 통하여 접근가능하다. 내부는 또한 하나 또는 그보다 많은 가동 측벽(150)에 의해 접근될 수 있으며, 이 가동 측벽 각각은 하나 이상의 액츄에이터(151)를 포함하여 가동 측벽(150)의 개방 및 폐쇄 또는 이들의 조합을 용이하게 한다. 가동 측벽(150)은 테스트 챔버(110)의 내부의 보수 및 검사를 위한 접근을 제공하여, 테스트 챔버(110)의 내부로 및 테스트 챔버의 내부로부터의 프로버 조립체(도시안됨)와 같은, 하나 또는 그보다 많은 테스트 장치의 전달을 용이하게 한다. 가동 측벽(150)은 오링, 개스킷 등을 이용하여 폐쇄될 때 테스트 챔버(110)에 대한 진공 밀봉을 제공하도록 구성된다. 또 다른 실시예(도시안됨)에서, 테스트 챔버(110)의 상부면은 내부로의 접근을 위해 개방 및 폐쇄되도록 및/또는 하나 또는 그보다 많은 테스트 장치의 전달을 용이하게 하도록 조정될 수 있다. 적어도 테스트 챔버(110)의 상부면은 힌지 결합될 수 있어, 상승 및 하강, 측방향 운동하거나 이들의 조합 운동을 할 수 있도록 한다. 대면적 기판을 테스트하기 위한 전자 비임 테스트 시스템의 다양한 구성의 일 예가 2006년 3월 14일에 출원되고 2006년 11월 2일에 미국 특허 공보 제 2006/0244467호로서 공고된 미국 특허 제 11/375,625호, 2005년 7월 27일에 출원되고 2006년 2월 23일에 미국 특허 공보 제 2006/0038554호로서 공고된 미국 특허 제 11/190,320호, 및 제목이 " 통합 기판 이송 모듈을 구비한 전자 비임 테스트 시스템 "이고 2004년 12월 21일에 발행된 미국 특허 제 6,833,717호에 기재되어 있으며, 이들은 본 명세서에서 참조로서 병합된다.
로드 락 챔버(120)는 대기 환경으로부터 선택적으로 밀봉가능하여 통상적으로 하나 또는 그보다 많은 진공 펌프(122)에 결합되고, 테스트 챔버(110)는 로드 락 챔버(120)의 진공 펌프로부터 분리되는 하나 또는 그보다 많은 진공 펌프(122)에 결합될 수 있다. 대면적 기판을 테스트하기 위한 전자 비임 테스트 시스템의 다양한 구성의 일 예는 2004년 3월 14일에 출원된 미국 특허 공보 제 2006/0244467호, 및 2004년 12월 21일에 발행된 미국 특허 제 6,833,717호에 기재되었으며, 이들은 본 명세서에서 참조로서 병합된다.
일 실시예에서, 로드 락 챔버(120)는 유입 포트(130)를 통하여 세정실 환경으로부터 대면적 기판(105)를 수용하여, 로드 락 챔버(120)로부터 밸브(135)를 통하여 테스트 챔버(110)로의 기판의 이송을 용이하게 하고, 반대 방식으로 대면적 기판을 세정실 환경으로 복귀시키도록 구성된다. 또 다른 실시예에서, 대면적 기판(105)은 유입 포트(130)를 통하여 테스트 시스템(100)으로 유입되고, 그러고나서 로드 락 챔버(120)로부터 밸브(135)를 통하여 테스트 챔버(110)로 이송되고, 대면적 기판은 테스트 챔버(110)의 마주하는 단부에 결합되는 포트(136)를 통하여 세정실 환경으로 회수된다. 이와 달리, 하나 또는 그보다 많은 로드 락 챔버는 테스트 챔버(110)의 Y 축선 또는 Y 방향에 대해 직교 방향으로 결합되어 " U "형 처리 시스템 또는 " Z "형 처리 시스템(도시안됨)을 형성할 수 있다. 테스트 챔버(110)의 다른 실시예 및 기판 유입/배출 장치의 다양한 실시예는 이전에 참조로서 병합된 미국 특허 공보 제 2006/0244467호에서 더욱 충분히 기재되어 있다.
로드 락 챔버(120)는 적어도 두 개의 대면적 기판의 이송을 용이하게 하도록 구성된 이중 슬롯 로드 락 챔버일 수 있다. 이중 슬롯 로드 락 챔버의 예가 이전에 참조로서 병합된 미국 특허 제 6,833,717호, 및 2005년 12월 8일에 출원된 미국 특허 공보 제 2006/0273815호, 및 2007년 4월 12일에 출원된 미국 특허 출원 제 60/911,496호에 기재되어 있으며, 이들은 모두 본 명세서에서 참조로서 병합된다.
본 명세서에서 기술된 실시예는 상술된 바와 같이 대면적 기판 상의 전자 장치의 작동성을 테스트하기 위해 테스트 시스템(100)에서 사용되도록 구성된다. 전자 장치의 시험을 용이하게 하기 위해 사용된 프로버 조립체는 테스트 챔버(110)로의 프로버 조립체의 이송을 최소화하기 위해 다중 대면적 기판상의 다양한 디스플레이 레이아웃에 적합하게 형성될 수 있도록 구성된다. 따라서 프로버 이송의 최소화는 시스템에 대한 더 큰 처리량을 가능하게 한다. 지금부터 테스트 시스템(100)에서 이용할 수 있는 두 개의 전형적인 프로버 조립체가 기술될 것이다.
도 2a는 도 1에 도시된 테스트 시스템(100)의 측면도이다. 테스트 챔버(110)는 기판(105)이 배치되는, 로드 락 챔버(120)에 결합된다. 테스트 챔버(110)는 내부 용적(200)을 포함하는데, 내부 용적은 프레임(214A)(일측만이 도시됨)에 배치되어 이를 따라 이동할 수 있는 테스트 테이블(210), 프로버(205A 및 205B)와 같은 두 개의 프로버 조립체를 포함한다. 프로버(205A, 205B)는 테스트 테이블(210)의 마주하는 측부(여기에서 단지 240A만 도시됨) 상에서 프로버 지지부(240A, 240B)에 적어도 부분적으로 지지되어 이를 따라 이동할 수 있다. 테스트 테이블(210)은 프레임(214A)과 테스트 테이블(210) 사이에 결합되는 구동부(도시안됨)에 의해 프레임(214A)을 따라 내부 용적(200)의 길이 전체에 걸쳐 이동가능하다. 프로버(205A, 205B)는 프로버(205A, 205B) 및 프로버 지지부(240A, 240B) 중 하나 또는 모두에 결합되는 다수의 구동부(224)에 의해 프로버 지지부(240)의 길이를 따라 이동가능하다. 또 다른 실시예(도시안됨)에서, 내부 용적(200)은 두 개보다 많은 프로버 조립체를 포함하도록 구성되며, 여기서 적어도 하나의 프로버 조립체는 테스트 절차를 위해 사용되거나 준비될 수 있으며, 다른 프로버 조립체는 내부 용적(200)에 저장된다.
일 실시예에서, 테스트 테이블(210)은 서로 적층되는 3개의 실질적인 평면 스테이지를 포함한다. 하나의 양태에서, 각각의 3개의 스테이지는 X, Y, 및 Z 방향과 같은, 직교 축선을 따라 독립적으로 운동한다. 상부 스테이지(212)는 테스트 동안 기판(105)을 지지하도록 구성되고 엔드 이펙터(214)의 다수의 핑거(finger; 도 2b에 도시됨)를 수용하기 위해 그 사이에 슬롯을 가지는 다수의 패널을 포함한다. 일 실시예에서, 상부 스테이지(212)는 적어도 Z 방향으로 운동하고 엔드 이펙터(214)는 이로부터 측방향(Y 방향)으로 연장하여 기판을 로드 락 챔버(120)로 그리고 로드 락 챔버로부터 이송한다. 엔드 이펙터 및 테스트 테이블의 상세한 구성은 앞에서 참조로서 병합된 미국 특허 공보 제 2006/0244467호에서 찾아 볼 수 있다.
일 실시예에서, 테스트 시스템(100)은 Y 방향으로 도면에서 도시된 바와 같이, 단일 방향 축선을 따라 테스트 절차를 통하여 그 위에 위치하는 전자 장치를 가지는 대면적 기판(105)을 이송하도록 구성된다. 특히, 기판(105)은 기판상의 다수의 테스트 컬럼(115)의 지정가능한 영역(addressable area)에 의해 형성된 테스트 영역(290)을 통하여 단일 방향 축선으로 운동한다. 다른 실시예에서, 테스트 절차 및/또는 사전-테스트 또는 사후-테스트는 X 및 Y 축선을 따른 조합 운동을 포함한다. 예를 들면, 기판(105)은 상부 스테이지(212) 및 엔드 이펙터(218)들 중 하나 또는 둘다에 의해 이동하여 테스트 전에 기판 위치의 오정렬을 정정할 수 있다. 다른 실시예에서, 테스트 절차는 테스트 컬럼(115) 및 테스트 테이블(210)들 중 하나 또는 둘다에 의해 제공되는 Z 방향 운동을 포함할 수 있다.
기판(105)은 기판 폭 또는 기판 길이를 따라 테스트 시스템(100)으로 도입될 수 있다. 테스트 시스템에서 기판(105)의 Y 방향 운동은 시스템 치수가 기판(105)의 폭 또는 길이 치수 보다 약간 더 클 수 있도록 한다. 단일 방향 축선을 따른 지지 테이블의 운동은 또한 X 방향으로 지지 테이블을 운동시키기 위해 요구되는 구동부를 제거 또는 최소화한다. 로드 락 챔버(120) 및 테스트 챔버(110)의 높이는 단일 방향 운동의 결과로서 최소화될 수 있다. 테스트 시스템의 최소 폭과 조합된 감소된 높이는 로드 락 챔버(120) 및 테스트 챔버(110)에 더 작은 용적을 제공한다. 이러한 감소된 용적은 로드 락 챔버(120) 및 테스트 챔버(110) 내의 펌프 다운(pump-down) 및 벤팅(venting) 시간을 감소시키고, 이로써 테스트 시스템(100)의 생산량을 향상시킨다.
테스트 챔버(110)는 또한 현미경 조립체(160)를 포함할 수 있는 상부(222)를 포함하며, 현미경 조립체는 상부(222)에 형성된 관찰 포트(159) 위에 이동가능하게 위치설정되는 현미경(158)을 포함한다. 관찰 포트(159)는 유리, 플라스틱, 석영 또는 다른 투명한 재료로 제조되는 투명 스트립이며, 테스트 챔버(110)의 내부 용적(200) 내에 선택적으로 존재할 수 있는 부압을 견디도록 구성된다. 일 실시예에서, 현미경(158) 및 현미경 조립체(160) 중 하나 또는 둘다는 기판이 관찰 포트(159) 아래 위치설정될 때 기판 상의 관심 면적을 관찰하기 위해 수평(X 방향)으로 운동한다. 특정 실시예에서, 현미경(158)은 필드의 깊이에 대한 조정을 허용하도록 포커스 모듈(도시안됨)을 포함한다.
일 실시예에서, 프로버(205A, 205B)는 하나 또는 그보다 많은 가동 측벽(150)(도 1)을 통하여 테스트 테이블(210)로 제공된다. 프로버(205A, 305B)는 수동적으로, 또는 세정실 환경으로부터 테스트 테이블(210)로 프로버 홀로 또는 함께 이송하도록 하는 프로버 이송 장치(도시안됨)에 의해 테스트 테이블(210)로 이송될 수 있다. 일 실시예에서, 하나 또는 두 개보다 많은 프로버는 내부 용적(200) 내의 저장을 위해서 또는 시험 절차에서 이용하기 위해서 테스트 챔버에 제공될 수 있다. 프로버(205A, 205B)는 테스트 테이블(210)의 마주하는 측부들을 따라 프로버 지지부(240)에 의해 적어도 부분적으로 지지된다. 프로버(205A, 205B)는 프로버 지지부(240A, 240B)의 길이를 따라 수평(Y 방향)으로 운동하도록 구성되며, 기판(105) 상에 위치하는 전자 장치를 테스트하도록 구성된다.
도 2b는 도 2a에 도시된 테스트 테이블(210)의 일 부분의 사시도이다. 기판(105)은 테스트 테이블(210)의 상부 스테이지(212) 상에 위치된다. 프로버(205A, 205B)는 기판(105) 위의 프로버 지지부(240)의 상부면 상에서 보여진다. 프로버(205A, 205B)는 프로버 지지부(240A, 240B)와 각각의 프로버(205A, 205B)의 마주하는 측부 사이에 결합되는 다수의 구동부(224)에 의해 프로버 지지부(240A, 240B)의 길이를 따라 운동한다. 일 실시예에서, 프로버(205A, 205B)는 각각 두 개의 구동부(224)를 포함하며(도면에는 단지 하나가 도시됨), 두 구동부는 프로버 지지부(240A, 240B)를 따라 운동하도록 구성된다. 각각의 프로버(205A, 205B)에 결합되는 구동부(224)는, 프로버 지지부(240A, 240B)의 길이를 따라 각각의 프로버를 운동시키기 위해 실질적으로 동일한 기동력 및/또는 실질적으로 동일한 행정 속도(travel rate)를 제공하기 위해 동기화 및/또는 모니터링된다. 또 다른 실시예에서, 구동부(224)는 수평(Y 방향) 운동뿐만 아니라 수직(Z 방향) 운동도 제공한다. 이러한 실시예에서, 프로버(205A, 205B)는 프로버 지지부(240A, 240B)의 상부면으로부터 이격될 수 있다.
각각의 구동부(224)는 또한 기판(105)들 사이, 기판(105) 상에 위치하는 디스플레이들(도시안됨) 사이, 및/또는 기판(105) 상에 위치하는 접촉 패드(도시안됨)들 사이에서의 정렬을 향상시키기 위해 개별적으로 작동될 수 있다. 구동부는 프로버(205A, 205B), 및/또는 프로버(205A, 205B) 상에 배치되는 접촉 헤드 조립체(318)에 대한, 기판(105), 및/또는 디스플레이 및 그 위에 위치하는 접촉 패드의 정렬을 강화할 수 있다. 프로버(205A, 205B)는 구동부(224)에 대한 조정 정보(coordinate information)를 제공하는 제어기에 결합된다. 제어기는 또한 개별 접촉 헤드 조립체(318)에 대한 조정 정보를 제공하여 접촉 헤드 조립체(318)의 운동을 용이하게 한다. 제어기는 또한 각각의 프로버(205A, 205B)에 전기적으로 결합되어 접촉 헤드 조립체(318) 상에 배치되는 다수의 프로버 핀(도시안됨)으로 신호를 제공하도록 또는 상기 다수의 프로버 핀으로부터 신호를 감지하도록 한다. 제어기와 전력 공급부(도시안됨) 사이의 소정의 와이어 또는 커넥터는 프로버 지지부(240A, 240B) 및/또는 테스트 테이블(210)의 길이를 따른 프로버(205A, 205B)의 운동을 용이하게 하는 케이블 트레이(342)에 의해 지지될 수 있다.
일 실시예에서, 구동부(224)는 프로버(205A, 205B)가 아이들 위치, 기판 이송 위치, 및 프로버 지지부(240A, 240B) 및/또는 테스트 테이블(210)의 길이를 따른 테스트 위치 사이에서 운동하는 것을 가능하게 한다. 이송 위치의 일 예로서, 프로버(205A 및 205B)는 프로버 지지부(240A 및 240B)를 따른 소정의 위치에 있을 수 있으며, 구동부(224)의 Z 방향 운동은 프로버(205A, 205B)에 상승을 제공하여 기판(105) 및/또는 상부 스테이지(212)로부터 프로버(205A, 205B)를 이격시키며 이는 기판(105)이 방해받지 않고 상승 및 이송될 수 있게 한다. 이송 위치의 또 다른 예에서, 프로버(205A, 205B)는 프로버 지지부(240A, 240B)의 말단부에 있는 아이들 위치로 이동될 수 있다. 예를 들면, 프로버(205A, 205B)에 결합되는 구동부(224)는 작동되어 하나 또는 두 개의 프로버(205A, 205B)가 기판(105)으로부터 떨어져 배치되도록 단부(241)로 이동한다. 프로버(205A, 205B)가 기판(105)으로부터 이격 및/또는 멀어지면, 엔드 이펙터(214)는 로드 락 챔버(120)(도 2a)로의 이송을 위해 기판(105)을 상부 스테이지(212)로부터 상승시킬 수 있어 테스트되어야 하는 기판이 테스트 테이블(210)로 이송될 수 있다.
도 3a는 기판(105) 및 프로버 지지 부재(240A, 240B)에 의해 기판(105) 위에 지지되는 두 개의 프로버(205A, 205B)의 일 실시예의 평면도이다. 기판(105)은 이송되어 테스트 챔버(110) 내에 수용되는 테스트 테이블(210) 상에 위치설정될 수 있거나, 기판(105)은 이송되어 기판(105)을 지지하여 기판(105)을 선형으로 운동시키도록 하는 소정의 스테이지 또는 테스트 테이블 상에 위치설정될 수 있다. 하나의 적용예에서, 테스트 테이블(210)은 기판(105)을 지지하여 기판(105)을 선형으로 운동시킬 수 있는 소정의 스테이지 또는 지지부일 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 테스트 테이블(210)은 정지되어 있을 수 있으며 기판(105)은 직선 방향으로 테스트 테이블(210)에 대해 운동하도록 구성될 수 있다. 소정의 적용예에서, 테스트 절차가 진공 장치를 요구하지 않을 때 테스트 챔버(110) 및/또는 로드 락 챔버(120)는 선택적일 수 있다.
기판(105)은 디스플레이(330N)로서 도면에 도시된 바와 같이, 일반적으로 장방형이며 통상적으로 하나 또는 그보다 많은 평판 장치 또는 액정 디스플레이를 형성하기 위한 대면적을 포함한다. 각각의 디스플레이(330N)는 통상적으로 각각의 디스플레이(330N)의 외주변에 인접하여 위치되는 접촉 패드(323, 327)와 같은, 다수의 전도성 면적을 포함한다. 접촉 패드(323, 327)는 단일의 전도성 접촉 지점일 수 있거나, 각각의 디스플레이(330N)의 외측 에지에 대해 통상적으로 평행하게 배열되는, 때때로 패드 블록으로서 지칭되는 다수의 전도성 접촉 지점일 수 있다. 접촉 패드(323, 327)의 다른 예는 디스플레이(330N)의 주변에 인접하여 위치하는 쇼팅 바아(shorting bar)일 수 있다.
접촉 패드(323, 327)는 일반적으로 인접한 디스플레이(330N) 상에 전자 장치와 전기 소통되며 각각의 디스플레이(330N)에 인접하여 형성 또는 위치될 수 있다. 각각의 접촉 패드(323, 327)는 최종 제조시 미세 와이어(fine wire) 연결을 위한 결합 지점을 제공하도록 구성될 수 있지만 또한 각각의 디스플레이(330N)의 작동성을 테스트하기 위해 이용될 수도 있다. 예를 들면, 디스플레이의 테스트 동안, 접촉 패드(323, 327)는 각각의 프로버(250A, 250B)에 결합되는 다수의 접촉 헤드 조립체(318)와 선택적으로 전기 소통되도록 한다. 접촉 패드(323, 327)는 각각의 디스플레이(330N) 상의 TFT로부터 신호를 인가하거나 감지하는, 접촉 헤드 조립체(318) 상에 배치되는 다수의 프로버 핀(425)(도 4b 내지 도 4c)을 위한 인터페이스를 제공한다. 신호는 와이어 또는 케이블에 의해 각각의 프로버 핀(425)에 전기적으로 결합되는 프로버(250A, 250B)에 결합되는 제어기에 의해 제공되거나 또는 이러한 제어기로 송신될 수 있다. 접촉 패드는 각각 접촉 패드(323) 및 접촉 패드(327)와 같이, 실질적으로 Y 축선을 따라, 및/또는 실질적으로 기판(105)의 X 축선을 따라 제공될 수 있다.
일 실시예에서, 각각의 디스플레이(330N)는 4개의 에지를 포함하는 주변부를 포함하며, 각각의 접촉 패드(323, 327)는 디스플레이(330N)의 주변부의 약간 외측에 인접하여 위치된다. 접촉 패드(323, 327)는 주변부의 에지 또는 에지들에 대해 실질적으로 평행할 수 있거나, 디스플레이 에지 또는 에지들로부터 각도를 형성할 수 있다. 예를 들면, 접촉 패드는 로(row) 또는 컬럼(column)으로 이루어진 다수의 접촉 지점일 수 있으며, 접촉 패드의 로/컬럼이 디스플레이의 에지와 평행하지 않은 분야에서는 로/컬럼이 디스플레이(330N)의 에지로부터 각도를 형성할 수 있다. 접촉 패드(323, 327)가 디스플레이(330N)의 상부 코너를 따라 도시되지만, 접촉 패드는 디스플레이(330N)의 임의의 코너 또는 측부 상에 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 하나 또는 두 개의 프로버(205A, 205B)는 다수의 접촉 헤드 조립체(318)를 포함하여 기판(105) 폭(X 방향)의 컬럼에 있는 모든 디스플레이(330N)를 동시에 테스트하도록 한다. 예를 들면, 프로버(205A 또는 205B)는 4개의 접촉 헤드 조립체(318)를 포함할 수 있어 디스플레이(3301)에 인접한 접촉 패드(327)과 접촉하도록 한다. 또 다른 예에서, 프로버(205A, 205B)는 4개의 접촉 헤드 조립체(318)를 포함할 수 있어 디스플레이(3301)에 인접한 접촉 패드(323)과 접촉하도록 한다. 또 다른 실시예에서, 프로버(205A, 205B)는 컬럼 내의 모든 접촉 패드(323 및 327)와 접촉하는 다수의 접촉 헤드 조립체(318)를 포함한다. 이러한 예에서, 프로버(205A, 205B)는 8개의 접촉 헤드 조립체(318), 또는 접촉 패드(323 및 327)와 접촉하도록 구성되는 형상을 가지는 4개의 접촉 헤드 조립체(318)를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 프로버(205A, 205B)는 기판 폭(X 방향)의 컬럼에 있는 각각의 디스플레이(330N)에 결합되는 다수의 접촉 패드(323, 327)와 접촉하기 위한 소정의 개수의 다수의 접촉 헤드 조립체를 포함한다. 예를 들면, 각각의 프로버(205A, 205B)는 컬럼 내의 디스플레이(330N)를 테스트하기 위해 8개의 접촉 헤드 조립체(318)를 포함할 수 있다. 또 다른 예에서, 각각의 프로버(205A, 205B)는 6개의 접촉 헤드 조립체(318)를 포함할 수 있어 컬럼이 6개의 디스플레이(330N) 및/또는 6개의 접촉 패드 위치를 포함하는 배치에서 디스플레이(330N)를 시험하도록 한다.
기판(105)은 디스플레이로서 지칭될 수 있는 임의의 개수 또는 형상의 제품을 포함할 수 있으며, 제품은 각각의 디스플레이를 위한 임의의 대응하는 접촉 패드 구성을 포함할 수 있다. 이러한 예에서, 기판(105)은 8개의 40인치 디스플레이(3301 3302) 및 8개의 32인치 디스플레이(3303, 3304)를 포함한다. 각각의 디스플레이(330N)는 접촉 패드(323), 접촉 패드(327), 또는 이들의 조합물을 가질 수 있다. 프로버(205A, 205B)는 다양한 디스플레이 및/또는 접촉 패드 형상에 맞게 조절됨으로써 이러한 제품 형상 및 다른 제품 형상을 테스트하도록 구성된다.
기판(105)은 기판의 표면적을 효율적으로 이용하도록 구성되는 임의의 개수 및 레이아웃의 디스플레이(330N)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 제조자는 다양한 디스플레이 및 접촉 패드 구성을 가지는 다중 기판(105)을 생산할 수 있다. 예를 들면, 기판(105)은 도시된 8개의 디스플레이(330N), 15개의 디스플레이(330N), 6개의 디스플레이(330N), 하나의 크기의 8개의 디스플레이(330N) 및 다른 크기의 8개의 디스플레이(330N), 또는 하나의 크기의 다수의 디스플레이(330N) 및 하나 또는 그보다 많은 다른 크기의 다수의 디스플레이(330N)를 포함할 수 있다.
기판(105) 상의 제품 구성과 관계없이, 각각의 디스플레이(330N)는 각각의 디스플레이(330N)에 인접한 접촉 패드(323, 327)를 포함할 수 있다. 디스플레이(330N) 및/또는 접촉 패드(323, 327)는 일부 기판과 도 3a에 도시된 바와 같이 X 및 Y 축선에서 실질적으로 정렬되지 않는다. 대신, 디스플레이(330N)는 기판의 표면적을 효율적으로 이용하기 위해 다소 엇갈리게 배열된다. 일 예가 도 3a를 참조하여 설명된다.
도시된 바와 같이, 컬럼 1 및 2(디스플레이(3301 및 3302))는 X 및 Y 축선에 대해 실질적으로 정렬될 수 있으며, 실질적으로 정렬되는 접촉 패드(323, 327)를 가질 수 있다. 그러나, 컬럼 3 및 4(디스플레이(3303 및 3304))의 간격 및/또는 배열은 Y 방향에 대해 컬럼 1 및 2와 정렬되지 않는다. 이와 같이 변화하는 배열에 프로버(205A, 205B)를 맞추기 위해, 프로버(205A, 205B)는 다양한 디스플레이(330N)의 배열에 맞게 조절하기 위해 적어도 프레임(303)의 길이를 따라 운동을 제공하는 가동 접촉 헤드 조립체(318)를 포함한다. 가동 접촉 헤드 조립체(318)는 또한 상이한 디스플레이 및 접촉 패드 구성을 가지는 기판들 사이의 조정을 허용한다. 본 명세서에서 설명된 실시예는 동일한 또는 상이한 기판 상의 상이한 구성을 조정하기 위한 다수의 접촉 헤드 조립체(318)를 가지는 프로버를 제공함으로써 기판의 구별 또는 기판의 테스트를 용이하게 한다. 프로버(205A, 205B)의 적응가능성(adaptability)은, 통상적으로 테스트 챔버의 상당한 벤팅 및 펌프 다운 시간을 요구하는, 프로버 이송을 최소화 또는 제거함으로써 테스트 챔버가 제조과정에 남아 있는 것을 가능하게 한다.
각각의 프로버(205A, 205B)는 일반적으로 프로버 지지부(240A, 240B)들 사이의 영역에 걸치는 적어도 하나의 프레임(303)을 포함한다. 프레임(303)은 일체형 구조물 또는 패스너, 볼트, 스크류, 용접, 또는 이들의 조합에 의해 서로 결합되는 다수의 구조적 형상일 수 있다. 일 실시예에서, 프레임은 단면이 구조적 형상이며, 프레임의 적어도 일 부분이 관형 종방향 통로를 형성할 수 있다. 프레임(303)은 금속, 강성 또는 반강성 플라스틱, 또는 이들의 조합물과 같은 경량 재료로 제조될 수 있다. 일 실시예에서, 프레임(303)은 알루미늄 재료를 포함한다.
접촉 헤드 조립체(318)가 접촉 패드(323, 327)를 통하여 디스플레이(330N)에 전기적으로 결합될 때, 기판(105) 상의 전자 장치로 신호를 제공하거나 상기 전자 장치로부터 신호를 수신하기 위하여 제어기가 준비될 수 있다. 테스트 테이블(210)은 전자 비임 컬럼(electron beam column), 하전된 입자 이미터, 전하 감지 장치, 광학 장치, 전하 결합 장치, 카메라 및 기판(105) 상의 전자 장치의 작동성을 테스트하도록 할 수 있는 다른 장치일 수 있는 테스트 컬럼(도시안됨)의 정성적으로 지정가능한 영역(addressable area)에 의해 형성된 테스트 영역(290)을 통하여 상부 스테이지(212)를 운동하도록 작동될 수 있다. 테스트 영역(290)은 기판이 테스트 영역(290)을 통하여 운동할 때 기판(105)의 길이 또는 폭을 테스트하기에 충분한, 정성적으로 지정가능한 영역을 기판 위에 제공하도록 구성된다. 일 실시예에서, 테스트 영역(290)은 X 방향으로 약 1950 mm 내지 약 2250 mm와 Y 방향으로 약 240 mm 내지 약 290 mm 사이의 면적을 포함한다. 또 다른 실시예에서, 테스트 영역(290)은 X 방향으로 약 1920 mm 내지 약 2320 mm와 Y 방향으로 약 325 mm 내지 약 375 mm 사이이다. 테스트 컬럼에 의해 제공되는 테스트 면적 상의 부가 정보는 앞에서 참조로서 병합된 미국 특허 공보 제 2006/0244467호에 기재되어 있다.
테스트 작업이 컬럼 당 4개의 디스플레이(330N)를 테스트하기 위해 설명되지만, 컬럼 당 임의의 개수의 디스플레이(330N)가 부가 접촉 헤드 조립체(318)를 부가함으로써 테스트될 수 있다. 부가적으로, 더 많은 개수의 접촉 헤드 조립체(318)는 각각의 프로버(205A, 205B)에 결합될 수 있으며 테스트를 위해 요구되지 않는 소정의 접촉 헤드 조립체(318)는 프레임(303)의 길이를 따라 저장 또는 파킹한다. 일 예에서, 각각의 프로버(205A, 205B)는 프레임(303)의 길이를 따라 이동가능한 6개의 접촉 헤드 조립체(318)를 포함할 수 있으며, 컬럼 당 4개의 디스플레이(330N)를 테스트하는 경우, 두 개의 접촉 헤드 조립체(318)는 테스트와 간섭되지 않도록 프레임(303)을 따라 파킹할 수 있다. 6개의 접촉 헤드 조립체(318)는 요구되지 않는 접촉 헤드 조립체를 저장 또는 파킹함으로써 컬럼 당 최고 6개 또는 그보다 적은 디스플레이(330N)의 테스트를 가능하게 한다. 컬럼 당 4개의 디스플레이(330N)를 테스트하는 경우, 테스트 절차에 요구되지 않는 접촉 헤드 조립체가 테스트되는 디스플레이(330N)의 면적의 외부에 파킹될 수 있다. 예를 들면, 미사용 접촉 헤드 조립체(318)는 컬럼 내의 디스플레이(330N)의 주변의 외부에 위치설정될 것이다. 이러한 위치는 기판(105)의 에지를 따를 수 있거나, 접촉 헤드 조립체(318)는 컬럼 내의 디스플레이(330N)의 지정가능한 영역을 방해하지 않는 임의의 위치일 수 있다.
일 실시예에서, 프로버(205A, 205B)는 이동가능한 접촉 헤드 조립체(318)를 가짐으로써 상이한 기판 디스플레이 및 접촉 패드 배열에 맞게 조정되거나 구성될 수 있다. 예를 들면, 프로버(205A) 및/또는 프로버(205B)가 도 3a에 도시된 바와 같은 제 1 기판과 같이, 제 1 기판을 테스트하도록 구성될 수 있다. 제 1 기판(105)이 테스트되고 나면, 제조자는 제 1 기판(105)과 실질적으로 유사한 디스플레이 및 접촉 패드 구성을 가지는 하나 또는 그보다 많은 기판을 준비시킬 수 있다. 이 경우, 프로버(205A) 및/또는 프로버(205B)는 재구성하지 않고 제 1 기판(105)에 유사한 각각의 기판의 테스트 동안, 테스트 챔버(110) 내에 남아 있을 수 있다. 프로버(205A, 205B)는 테스트되는 기판의 배열에 대한 최소한의 조정을 필요로 할 수는 있지만, 접촉 헤드 조립체의 피치는 실질적으로 동일하게 남을 수 있다.
그러나, 제 1 기판(105)과 유사한 디스플레이 및 접촉 패드 구성을 가지는 하나 또는 그보다 많은 기판의 시험 후, 제조자는 제 1 기판(105)의 레이아웃과 다른 상이한 디스플레이 및 접촉 패드 구성을 가지는 또 다른 기판을 대기시킬 수 있다. 이러한 경우, 챔버가 제어기로부터 개별 접촉 헤드 조립체(318)로의 신호에 의해 진공 하에서 유지되는 동안, 접촉 헤드 조립체(318)는 테스트되는 기판을 위해 구성될 수 있다. 프로버(205A 및/또는 205B)는 테스트 챔버(110)에 남아 있을 수 있어, 세정실 환경으로 시험 챔버의 개방, 벤팅 및 펌프 다운 시간을 무효화한다.
도 3b는 프로버(205A, 205B)의 테스트 위치의 일 실시예의 부분적 평면도이다. 도시된 바와 같이, 프로버(205B)는 컬럼 4 내의 디스플레이(3304)를 테스트하기 위한 테스트 위치에 있으며, 프로버(205A)는 컬럼 3 내의 디스플레이(3303)를 테스트하기 위한 테스트 위치에 있다. 컬럼 4 내의 디스플레이(3304)를 테스트하기 위해, 프로버(205B)의 접촉 헤드 조립체(318) 상의 프로버 핀(도 4b 내지 도 4c) 및 접촉 패드(327)는 서로 접촉하게 된다. 이러한 접촉은 접촉 헤드 조립체(318) 및 테스트 테이블(210)의 상부 스테이지 중 하나 또는 둘다의 수직(Z 방향) 운동에 의해 제공될 수 있다. 일 실시예에서, 상부 스테이지(212)의 상부에 지지되는, 기판(105)은 프로버(205B)에 결합되는 프로버 핀들과 접촉 패드(327) 사이의 접촉을 용이하게 하기 위해 수직으로(Z 방향으로) 운동한다.
이러한 예에서, 프로버(205B)는 컬럼(4)에 인접한 위치(디스플레이(3304))에 대해 Y 방향으로 프로버(205B)에 결합되는 구동부(224)를 작동시킴으로써 테스트할 준비가 될 수 있다. 프로버(205A)는 또한 컬럼 3에 인접한 위치(디스플레이(3303))일 수 있다. 프로버(205A, 205B)가 각각 컬럼 3 및 4에 인접할 때, 각각의 프로버(205A, 205B)에 결합되는 구동부(224)가 정지될 수 있다. 프로버(205A, 205B)와 기판(105), 또는 디스플레이(3303-4) 사이의 어떠한 정렬 보정도 필요할 때에는 구동부(224)를 작동시킴으로써 보정될 수 있다. 프로버(205B)는 컬럼 4에 인접하여 위치설정될 수 있으며, 이러한 위치에서는 프로버(205B)의 어떠한 부분도, 기판(105)이 테스트 영역(290)을 통과할 때 디스플레이(3304)의 테스트를 방해할 수 있는, 디스플레이(3304)와의 겹침이 일어나지 않는다. 제 위치에 있을 때, 프로버(205A, 205B) 상의 접촉 헤드 조립체(318)는 기판(105) 상의 접촉 패드(323 및/또는 327)에 대해 접촉 헤드 조립체(318)의 접촉 헤드의 정렬 및 위치 설정을 용이하게 하도록 각각의 프레임(303) 상에서 측방향(X 방향)으로 운동할 수 있다. 접촉 헤드 조립체(318)의 접촉 헤드는 프로버(205B)에 대해 도시된 바와 같이 프레임(303)에 대해 평행한 위치로, 또는 프로버(205A)에 대해 도시된 바와 같이 프레임(303)에 대해 직교하는 위치로 더 작동될 수 있다. 접촉 헤드 조립체(318)의 접촉 헤드가 제 위치에 오게 되면, 접촉 패드(323, 327)는 접촉 헤드 조립체(318)의 접촉 헤드 상의 프로버 핀과 접촉하게 되며, 테스트 테이블(210) 및 기판(105)을 테스트 영역(290)을 통하여 수평으로(Y 방향) 이동시킴으로써 테스트 절차가 개시될 수 있다.
도 3c는 프로버(205A)의 테스트 위치의 또 다른 실시예의 평면도이다. 도시된 바와 같이, 컬럼 3 및 4에 위치하는 디스플레이(3303-4)는 테스트 영역(290)을 통하여 이동하였으며 컬럼 1 및 2에 위치하는 디스플레이(3301-2)는 테스트 영역(290)을 통과할 준비가 되어 있다. 도시되지 않았지만, 프로버(205B)는 컬럼 1 및 2 중 하나 또는 둘다에 위치하는 디스플레이(330N)를 테스트하기 위해 이용될 수 있지만, 이러한 예에서, 프로버(205B)는 컬럼 1 및 2에 위치하는 디스플레이(3301-2)를 테스트하기 위해 이용되지 않을 수 있다. 이러한 예에서, 프로버(205B)는 후속하는 테스트와 간섭되지 않도록 테스트 영역(290)의 외부에 위치될 수 있다.
컬럼 2의 디스플레이(3302)를 테스트를 위해 준비하기 위해, 프로버(205A)의 접촉 헤드 조립체(318)는 접촉 패드(327) 위에 위치된다. 도시되지 않았지만, 접촉 헤드 조립체(318)가 접촉 패드(323) 위에 위치설정되거나, 접촉 헤드 조립체(318)들 사이와 접촉 패드(323 및 327)의 조합과의 접촉을 허용하도록 프로버(205A)가 위치설정되고 구성될 수 있다. 컬럼 2 내의 디스플레이(3302)를 테스트하기 위해, 프로버(205B)의 접촉 헤드 조립체(318) 상의 프로버 핀 및 접촉 패드(323)는 서로 접촉하게 된다. 이러한 접촉은 접촉 헤드 조립체(318) 및 테스트 테이블(210)의 상부 스테이지(212) 중 하나 또는 둘 다의 수직(Z 방향) 운동에 의해 제공될 수 있다. 일 실시예에서, 상부 스테이지(212)의 상부면 상에 지지되는 기판(105)은 접촉 패드(323)와 프로버(205A)에 결합되는 프로버 핀들 사이의 접촉을 용이하게 하기 위해 수직(Z 방향)으로 운동된다. 접촉 헤드 조립체(318)를 경유하여 프로버(205A)에 결합되는 프로버 핀과 접촉 패드(323) 사이에 전기 소통이 설정되면, 기판(105)은 다수의 테스트 컬럼(도시안됨) 아래 테스트 영역(290)을 통하여 이동될 수 있다. 컬럼 1의 디스플레이(3301)는 위에서 설명되는 바와 같이 유사하게 테스트할 준비가 될 수 있으며 간결성을 위해 도시되지 않았다.
모든 디스플레이(330N)를 테스트한 후, 기판(105)은 테스트 챔버(110)로부터 로드 락 챔버(120)로 이송될 수 있다. 상이한 디스플레이 및/또는 접촉 패드 패턴을 가지는 기판은 테스트 및 테스트 챔버(110)로의 이송을 위해 대기할 수 있다. 기판의 이송 동안, 또는 테스트 전에, 프로버 조립체의 하나 또는 둘 다는 테스트 챔버(110)가 진공으로 유지되는 동안 테스트를 위해 준비될 수 있다.
도 4a는 프로버(205B)의 프레임(303)으로 결합되는 접촉 헤드 조립체(318)의 일 실시예의 사시도이다. 접촉 헤드 조립체(318)는 프레임(303)에 대해 이동가능한 하우징(405)을 포함하고 하우징(405)은 하우징(405)에 대해 이동가능한 접촉 헤드(402)를 포함한다. 접촉 헤드(402)는 기판(105) 상의 다수의 접촉 패드(323 및/또는 327)와 접촉하기 위한 다수의 프로버 핀(도시안됨)을 포함하며 접촉 헤드(402)는 피벗점(408)에서 하우징(405)에 이동가능하게 결합한다. 하우징(405)은 또한 프레임(303)의 일 부분인 인터페이스(415)를 가로질러 선형으로 하우징(405)을 이동시키는 캐리지(410)에 결합된다. 인터페이스(415)는 접촉 헤드 조립체가 프레임(303)을 가로질러 측방향으로 운동할 때 접촉 헤드 조립체(318)를 위한 가이드일 수 있으며, 세라믹 스트립 및/또는 엔코더 테이프를 포함할 수도 있다.
접촉 헤드 조립체(318)의 측방향 운동을 용이하게 하도록, 접촉 헤드 조립체(318)는 프레임(303)으로 결합되는 액츄에이터(도면에 도시안됨)에 결합되는 벨트(412A)에 결합된다. 다른 벨트(412B, 412C)는 또한 도면에 도시되지 않은 다른 접촉 헤드 조립체(318)에 결합되는 것으로 도시되어 있다. 접촉 헤드 조립체(318)에 결합되는 벨트(412A)는 X 방향으로 이동하여 하우징(405)을 프레임(303)에 대해 이동시킨다. 또한 프레임은 하우징(405)을 통하여 접촉 헤드(402)로 결합되는 케이블(411)을 지지하기 위해 케이블 트레이(409)를 포함한다. 케이블(411)은 접촉 헤드(402)에 배치되는 프로버 핀(도시안됨)의 각각에 대한 미세 와이어 연결을 포함하는 리본 케이블일 수 있으며, 또한 프로버(205B) 상에 이용되는 다른 전기 연결도 포함할 수 있다.
도 4b는 접촉 헤드 조립체(318)의 일 실시예의 개략도이다. 접촉 헤드(402)는 다수의 프로버 핀(425)을 포함하는 하부면(429)을 가지는 바디를 포함한다. 다수의 프로버 핀은 하나 또는 그보다 많은 포고 핀(pogo pin), 하나 또는 그보다 많은 니들 핀, 및 이들의 조합물일 수 있다. 다수의 프로버 핀(425)은 기판에 위치하는 전자 장치의 가동성(operability)을 테스트하기 위해 기판(105)(도 3a 내지 도 3c) 상에 위치하는 다수의 접촉 패드(323, 327)와 접촉하도록 구성된다.
각각의 프로버 핀(425)은 제어기로부터 각각의 디스플레이(330N) 상의 장치로 신호 또는 신호들을 제공하고 각각의 디스플레이(330N)로부터의 신호 또는 신호들을 감지하고, 이러한 신호(들)를 제어기로 제공하도록 한다. 일 실시예에서, 프로버 핀(425)은 하나의 신호가 다수의 프로버 핀(425) 각각으로 또는 다수의 프로버 핀 각각으로부터 소통될 수 있도록 제어기에 함께 선택적으로 전기적으로 연결된다. 또 다른 실시예에서, 다수의 프로버 핀(425) 각각은 제어기에 독립적으로 선택적으로 전기적으로 결합될 수 있으며, 여기서 다수의 신호는 다수의 프로버 핀(425)으로 또는 다수의 프로버 핀으로부터 개별적으로 소통된다. 선택적인 결합 및 분리(coupling and decoupling)는 제어기로부터의 입력에 의해 제공될 수 있다. 프로버 핀(425)은 또한 정전기를 방전할 뿐만 아니라 하나 또는 그보다 많은 신호를 선택적으로 송신 및 수신하도록 구성될 수 있다.
일 실시예에서, 각각의 프로버 핀(425)은 패치 보드 조립체(patch board assembly)(450)에 의해 제어기와 소통되는 패턴 제너레이터 출력부(pattern generator output)로 연결될 수 있다. 개별적인 패치 보드는 프로버 핀 할당부로의 출력을 제어하기 위해 이용될 수 있으며 특별한 디스플레이 타입을 위해 구성될 수 있다. 따라서, 상이한 디스플레이 타입의 테스트는 테스트되는 디스플레이를 위해 구성되는 특별한 패치 보드를 선택하는 것을 포함할 수 있다.
접촉 헤드 조립체(318)는 또한 하우징(405) 및 프레임(303)(도 4a)에 대한 접촉 헤드(402)의 운동을 용이하게 하는, 하우징(405)의 하부면으로부터 연장하는 가동 부재(420)를 포함한다. 일 실시예에서, 가동 부재(420)는 접촉 헤드(402)에 결합되어 프레임(303)에 대한 접촉 헤드(402)의 회전 운동을 용이하게 한다. 가동 부재(420)는 도 6 및 도 7a 내지 도 7h를 참조하여 설명되는 바와 같이, 하우징(405) 내에 배치되는 편향 부재와 접촉함으로써, 적어도 부분적으로, 제공되는 힘에 반응하여 적어도 화살표(D) 방향으로 이동가능할 수 있다.
일 실시예에서, 접촉 헤드(402)는 도 4a를 참조하여 위에서 설명되는 바와 같이 하우징(405)에 대해 이동가능할 수 있으며, 하우징(405)에 대해 수직 및/또는 회전되게 이동가능할 수 있다. 하나의 양상에서, 접촉 헤드(402)는 모터(418)(점선으로 표시됨)에 의해 하우징(405)으로 결합된다. 모터(418)는 화살표(A) 방향으로 적어도 수직 운동을 제공하지만, 또한 하우징(405)에 대한 각도 방위(angular orientation)로 접촉 헤드(402)를 이동시킬 수도 있다. 접촉 헤드(402)의 수직 운동은 기판(105)(도 3a 내지 도 3c) 상에 위치하는 접촉 패드들(323, 327) 사이에 접촉을 제공하기 위해 이용될 수 있으며 각도방향 운동은 기판(105) 및/또는 접촉 패드(323, 327)에 대한 접촉 헤드(402)의 강화된 정렬을 제공할 수 있다. 하우징(405)에 대한 접촉 헤드(402)의 각도방향 운동은 하우징(405) 및/또는 프레임(303)(도 4a)에 대한 입사 각도(angle of incidence)를 제공하도록 피벗점(408)에서 회전 운동 또는 방사형 운동일 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 하우징(405)에 대한 접촉 헤드(402)의 각도방향 운동은 화살표(B)로 표시된 방향일 수 있으며, 이는 기판(105)의 수평면에 대한 접촉 헤드(402)의 정렬을 강화할 수 있다.
도 4c는 도 4b의 접촉 헤드(402)의 사시도이다. 접촉 헤드(402)는 프로버 핀(425)의 하나 또는 그보다 많은 로(row)를 가지는 하부면(429)을 포함한다. 프로버 핀(425)은 도시된 바와 같이 로로 배치될 수 있거나, 프로버 핀(425)은 하부면(429) 상에 임의의 적절한 패턴으로 배치될 수 있다. 접촉 패드(323, 327)(도 3a 내지 도 3c)로부터 신호를 감지하거나 제공할 수 있도록 개별적인 프로버 핀(425)이 선택될 수 있거나 전체 로가 선택될 수 있다. 대안적으로, 하부면(429)은 단지 하나의 프로버 핀(425) 로를 포함할 수 있다.
도 5a는 프로버(205B)의 또 다른 실시예의 사시도이다. 프로버(205B)는 프레임(303) 및 6개의 접촉 헤드 조립체(318)를 포함한다. 프로버(205B)는 또한 벨트에 의해 접촉 헤드 조립체(318)에 결합되는, 프레임(303)에 배치되는 다수의 모터(505)를 포함한다. 프레임(303)은 또한 프레임(303)에 대해 평행한 위치 및 프레임(303)에 대해 수직한 위치로 및 상기 위치들로부터 접촉 헤드 조립체(318)의 접촉 헤드의 배향의 스위칭을 용이하게 하는 다수의 스텝부(508A 내지 508B)를 포함한다. 프레임(303)은 프레임(303)을 따라 다수의 접촉 헤드 조립체(318)의 이동 범위를 형성하는 길이(L1)를 포함한다. 프레임은 또한 대면적의 길이 또는 폭(도시안됨) 보다 약간 작거나 동일할 수 있는 길이(L2)를 포함한다. 일 실시예에서, 길이(L1) 및 길이(L2)의 차이일 수 있는 부분(506)은 접촉 헤드 조립체(318) 저장 영역을 형성한다. 이러한 실시예에서, 각각의 접촉 헤드 조립체(318)는 기판의 테스트 또는 이송과 간섭되지 않도록 부분(506) 내에서 기판의 길이 또는 폭의 외부에 위치설정될 수 있다.
도 5b는 프로버(205B)의 또 다른 실시예의 부분 사시도이다. 프로버(205B)는 제 1 부분(515A) 및 제 2 부분(515B)을 가지는 프레임(303)을 포함한다. 제 1 부분(515A)은 벨트(412A 내지 412C) 및 케이블 트레이(409)를 포함하며, 제 2 부분(515B)은 인터페이스(415) 및 스텝부(508A 내지 508B)(도면에는 508A만 도시됨)를 포함하는, 접촉 헤드 조립체 운동 부분을 포함한다. 제 1 부분(515A)은 또한 벨트(412A 내지 412C) 및 케이블 트레이(409)를 수용하는 커버(509)를 포함할 수 있다.
제 2 부분(515B)은 또한 길이(L1)(도 5a)를 따른 채널(518)을 포함한다. 채널(518)은 접촉 헤드 조립체(318)에 결합되는 가동 부재(420)용 통로를 제공하도록 구성된다. 채널(518)은 스텝부(508A)에 결합되어 스텝부(508A) 내의 다수의 정지부(520)와 가동 부재(420) 사이의 접촉을 용이하게 한다. 아래에서 설명되는 바와 같이, 각각의 정지부(520)는 접촉 헤드(402)의 배향의 스위칭을 용이하게 하도록 채널(518)의 평면 위에서 연장되게 구성된다.
도 6은 접촉 헤드 조립체(318)의 하부의 사시도이다. 접촉 헤드 조립체(318)는 피벗점(408)에서 회전가능한 스위칭 연장부(622)에 정적으로 결합되는 접촉 헤드(402)를 포함한다. 스위칭 연장부(622)는 도 5b에 도시된 하나 또는 그보다 많은 정지부(520) 및 프레임(303)의 길이를 따라 다른 정지부에서 접촉하도록 구성되는, 도 4b에 도시된 바와 같은 가동 부재(420)를 포함한다. 접촉 헤드(402)는 프레임(303)에 대해 실질적으로 평행한 위치 "A" 및 프레임(303)에 대해 실질적으로 수직한 위치 "B"(점선으로 도시됨)로부터 이리저리 선택적으로 스위칭될 수 있다. 위치 "A" 및 "B"는 센서(628)와 스위칭 연장부(622)의 접촉에 의해 모니터링될 수 있다.
스위칭 연장부(622)는 하측부(630)를 포함하며, 하측부로부터 가동 부재(420)가 연장한다. 스위칭 연장부(622)는 또한 하측부(630)와 대향되는 상측부로부터 연장하는 핀(635)을 포함하며, 상기 핀의 일 부분이 도 6에 도시되어 있다. 핀(635)은 하우징(405)이 프레임(303)의 길이를 따라 움직일 때 편향 부재(620)과 접촉하도록 한다. 핀(635)은 가동 부재(420)가 정지부(520)와 접촉할 때 접촉 헤드(402)의 스위칭을 용이하게 하도록 한다.
도 7a 내지 도 7h는 프로버(205A, 205B) 상에 위치설정되는 접촉 헤드의 다양한 실시예의 개략도이다. 접촉 헤드(402)는 스위칭 연장부(622)에 결합하며 스위칭 연장부로부터 핀(635)이 연장하여 편향 부재(620)와 접촉하는데, 이러한 편향 부재는 스프링 또는 인장력을 제공하도록 하는 다른 장치일 수 있다. 프레임(303)은 또한 개략적으로 도시되며 다수의 정지부(520)를 포함한다. 정지부(520)는 프레임(303)의 길이를 따라 소정의 원하는 위치에 배치될 수 있다. 명확하게 도시되지는 않았지만, 스위칭 연장부(622)는 정지부(520)와 접촉하도록 하는 가동 부재(420)(도 4b, 도 5b 및 도 6)를 포함하나, 도면의 개략적인 속성상 그리고 명확성을 위해 스위칭을 개념적으로 설명하기 위하여 핀(635)이 정지부(520)와 접촉하는 것으로 도시될 것이다. 일 실시예에서, 정지부(520)는 프레임(303)의 길이의 중앙에 또는 상기 중앙 근처, 및 프레임(303)의 대향 단부와 같은, 중앙으로부터 이격된 위치에 위치설정된다.
하우징(405)은 벨트(도 4a 및 도 5b)에 의해 프레임(303)을 따라 X 방향으로 운동하도록 구성되며 접촉 헤드(402)는 피벗점(408)에서 프레임(303)에 평행한 위치, 또는 프레임(303)에 대해 직교하거나 외팔보 형태로 배치되는(cantilevered) 위치 사이에서 회전하도록 구성된다. X 방향 운동은 외팔보 형태로 배치되는 위치로부터 평행하게 배치되는 위치로, 또는 그 반대로 접촉 헤드(402)를 이동시킴으로써 접촉 헤드(402)의 배향을 변경시킨다. 접촉 헤드(402)의 방향적 배향의 변화는 테스트 챔버 내에서 진공 하에서 제공될 수 있어, 프로버 셋업을 위한 벤팅 및/또는 펌프 다운 시간을 최소화한다. 예를 들면, 도 7a에 도시된 바와 같이 외팔보 형태로 배치된 위치로부터 접촉 헤드(402)를 이동시키기 위하여, 하우징(405)은 X 방향으로 작동하여, 스위칭 연장부(622)의 단부, 특히 가동 부재(420)(도 4b, 도 5b, 및 도 6)는 도 7b에 도시된 바와 같은 정지부(520)를 접촉한다. 핀(635)은 또한 접촉 헤드(402)의 운동을 용이하게 하도록 편향 부재(620)와 소통된다.
편향 부재(620)가 핀(635)에 의해 압축될 때까지 하우징(405)의 X 방향 운동이 계속된다. 편향 부재(620)가 되튀어 접촉 헤드(402)가 도 7d에 도시된 바와 같이 편향 부재(620)에 의해 평행한 위치로 압박하는 지점으로 접촉 헤드(402)가 재배향될 때까지 X 방향 운동이 계속된다.
접촉 헤드(402)의 위치설정을 역전시키기 위해, 하우징(405)은 도 7f에 도시된 바와 같이 정지부(520)에 대해 X 방향으로 작동된다. 편향 부재(620)가 도 7g에 도시된 바와 같이 핀(635)에 의해 적어도 부분적으로 압축될 때까지 X 방향 작동이 계속된다. 편향 부재(620)가 되튀어 접촉 헤드(402)가 도 7h에 도시된 바와 같이 편향 부재(620)에 의해 외팔보 형태로 배치된 위치로 압박되는 지점으로 접촉 헤드(402)가 재배향될 때까지 작동이 계속된다.
도 8a는 도 5b에 도시된 프레임(303)의 일 부분의 사시도이다. 프레임(303)의 스텝부(508A)는 채널(518)의 평면 위로 연장하는 3개의 정지부(525A 내지 525C)를 가지는 것으로 도시된다. 정지부(525A 내지 525C)는 가동 부재(420)(도 4b, 도 5b, 및 도 6)를 위한 경성 정지부(hard stop)를 제공함으로써 접촉 헤드(도시안됨)의 스위칭을 용이하게 한다. 각각의 정지부(525A 내지 525C)는 채널(518) 위의 상이한 높이로 상승되어 특정 접촉 헤드 조립체(318) 상의 일부 가동 부재(420)와의 접촉은 용이하게 하면서도, 다른 접촉 헤드 조립체 상의 다른 가동 부재(420)는 가동 부재(420)와의 접촉 없이 통과하도록 한다.
도 5a를 다시 참조하면, 프레임(303)은 도 5a에 도시된 바와 같이 6개의 접촉 헤드 조립체(318)를 포함할 수 있으며 3개의 접촉 헤드 조립체(318)는 길이(L2)의 1/2을 따라 이동가능할 수 있다. 일 실시예에서, 접촉 헤드는 부분(506)에서 외팔보 형태로 배치된 위치에 파킹될 수 있으며 스텝부(508B)에서 평행한 배향으로 스위칭될 수 있다. 접촉 헤드가 스위칭될 때, 접촉 헤드 조립체(318)가 스텝부(508A)를 향하여 작동될 때까지 접촉 헤드 조립체가 평행한 배향으로 프레임(303)에 대해 이동가능하다. 예를 들면, 도 8a를 참조하면, 최외각 또는 제 1 접촉 헤드 조립체(318)(도면에 도시안됨)는 스텝부(508A)로 접근하는 +X 방향으로 프레임(303)을 따라 평행한 배향으로 이동될 수 있다. 최외각 접촉 헤드 조립체(318)의 가동 부재(420)(도 4b, 도 5b, 및 도 6)는 정지부(525B 및 525C) 위로 통과하거나 지나치도록 구성된다. 그러나, 정지부(525A)는 최외각 접촉 헤드 조립체(318)의 가동 부재(420)와 접촉하기 위한 높이여서, 접촉 헤드 조립체(318)의 하우징이 도 7e 내지 도 7h를 참조하여 설명되는 바와 같이 +X 방향으로 연속적으로 가압될 때 접촉 헤드가 평행한 배향으로부터 외팔보 형태 또는 직교 배향으로 스위칭되는 것을 용이하게 한다.
또한, 제 2(중간) 및 제 3(최내각) 접촉 헤드 조립체(318)는 평행한 배향으로 접촉 헤드를 가지며 +X 방향으로 운동할 수 있어 스텝부(508A)에서 외팔보 형태의 배향으로 선택적으로 배향될 수 있다. 제 2 접촉 헤드 조립체(318)의 가동 부재(420)는 정지부(525C) 위로 통과되거나 지나치도록 구성되고 +X 방향으로의 연속적인 압박에 의해 스위칭을 용이하게 하도록 정지부(525B)와 접촉하며, 제 3 접촉 헤드 조립체(318)의 가동 부재(420)는 +X 방향으로의 연속적인 압박에 의해 스위칭을 용이하게 하도록 정지부(525C)와 접촉하도록 구성된다. 프레임(303)은 스텝부(508A)에 대해 실질적으로 대칭인 반면, 도면에 도시되지는 않았지만, 프레임(303)은 대향 단부에서 두 개의 스텝부(508A)를 포함하며, 프레임(303)의 대향 반부 상에 배치되는 3개의 접촉 헤드 조립체(318) 상의 접촉 헤드가 이 도면에 도시된 바와 같이 -X 방향으로 하우징(405)의 작동에 의해 스위칭될 수 있다. 또한 대향하는 스텝부(508A)는 프레임(303)의 대향하는 반부 상에 배치되는 최외각, 중간, 및 최내각 접촉 헤드 조립체(318)를 위한 스위칭 지점을 제공하도록 구성되는 대칭적인 정지부를 포함한다. 또한, 각각의 정지부(525A 내지 525C)는 접촉 헤드의 배향의 스위칭 및 회전이 용이하게 되도록 가동 부재(420)에 대해 충분한 여역을 제공하도록 구성되는 절개 영역(550)을 포함한다.
도 8b는 도 5b에 도시된 프레임(303)의 일 부분의 사시도이다. 프레임(303)은 프레임(303)의 반부를 한정하는 중앙선(540)을 포함한다. 6개의 접촉 헤드 조립체(318)의 경우, 3개의 접촉 헤드 조립체(318)는 중앙선(540)의 좌측으로 프레임(303) 상에 배치되며, 3개의 접촉 헤드 조립체(318)는 중앙선(540)의 우측에 배치된다. 프레임(303)은 또한 접촉 헤드 조립체(318) 상에 배치되는 접촉 헤드의 배향을 용이하게 스위칭하도록 구성되는 스텝부(508B)도 포함한다.
접촉 헤드 조립체의 접촉 헤드가 도 8a를 참조하여 상술된 바와 같이 직교 배향으로 스위칭되면, 접촉 헤드 조립체(318)는 접촉 헤드 조립체(318)가 중앙선(540)의 어느 측부에 배치되었는가에 따라, 스텝부(508B)를 향하여 -X 방향 또는 +X 방향으로 이동될 수 있다. 도 8a에 도시된 바와 같이, 정지부(527C)는 정지부(525A)와 동일한 높이일 수 있으며 접촉 헤드가 평행한 배향으로 용이하게 스위칭하도록 최내각 접촉 헤드 조립체(318)를 위한 정지부를 제공하도록 구성된다. 가동 부재(420)는 정지부(527C)로의 접촉 헤드의 이동을 허용하도록 정지부(527A, 527B) 위를 통과하도록 또는 지나치도록 구성된다. 정지부(527A 및 527B)는 각각 정지부(525A 및 525B)에 유사하게 형성되어 중간 및 최외각 접촉 헤드 조립체(318) 각각을 위한 정지부를 제공한다. X(접촉 헤드 조립체가 배치되는 반부에 따라 +X 또는 -X) 방향으로의 하우징 및 중간 헤드 조립체(318)의 연속적인 이동은 도 7a 내지 도 7d에 설명된 바와 같이 접촉 헤드가 직교 배향으로부터 평행한 배향으로 변화하도록 강제한다.
본 명세서에서 설명된 실시예는 테스트 챔버가 통상적으로 대기압 또는 대기압 근처인 세정실 환경으로 개방되면서 테스트 챔버(110) 내의 테스트 작업에서 이용하기 위한 두 개 이상의 프로버의 로딩을 제공한다. 본 명세서에서 설명되는 다양한 실시예는 테스트 작업시 이용 및/또는 저장을 위해 테스트 챔버(110)에 두 개 이상의 프로버를 제공하여 벤팅 및 펌프 정지 시간을 최소화함으로써 처리량을 증가시킨다. 프로버는 테스트 챔버(110)가 진공으로 유지되는 동안 상이한 기판 디스플레이 및/또는 접촉 패드 배열체를 위해 원격으로 구성될 수 있다.
상술된 것은 본 발명의 실시예들에 관한 것으로, 본 발명의 다른 실시예 및 추가 실시예가 본 발명의 범위로부터 이탈하지 않고 발명될 수 있으며 본 발명의 범위는 다음의 청구범위에 의해 결정된다.
본 발명의 다양한 실시예는 테스트 작업시 이용 및/또는 저장을 위해 테스트 챔버(110)에 두 개 이상의 프로버를 제공하여 벤팅 및 펌프 다운 시간을 최소화함으로써 처리량을 증가시킨다.

Claims (32)

  1. 기판상의 전자 장치에 접촉하기 위한 프로버 조립체로서,
    상기 기판의 폭보다 더 긴 길이를 가지는 프레임, 및
    상기 프레임의 길이를 따라 이동가능하게 결합되는 복수의 접촉 헤드를 포함하며,
    상기 접촉 헤드 각각은 상기 프레임에 대한 상기 접촉 헤드의 독립적인 피벗 운동을 위해 스위칭 연장부를 구비하고, 상기 프레임이 복수의 모터를 구비하며, 상기 복수의 모터 중 하나 이상이 벨트를 통해 상기 복수의 접촉 헤드 중 하나 이상에 작동 가능하게 결합되는,
    프로버 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 접촉 헤드 각각은 상기 접촉 헤드의 하부면에 결합되는 복수의 프로버 핀을 포함하는,
    프로버 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임이 관형 부재를 포함하고, 상기 관형 부재의 대향 단부에 상기 복수의 모터 중 2개 이상의 모터가 배치되는,
    프로버 조립체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 접촉 헤드 각각은 상기 프레임에 대해 평행한 방향으로 배향되며, 상기 프레임에 대해 평행한 방향으로 배향되는 동안 하나 이상의 모터에 의하여 이동가능한,
    프로버 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 접촉 헤드 각각은 상기 프레임에 대해 직교 방향으로 배향되며, 상기 프레임에 대해 직교 방향으로 배향되는 동안 하나 이상의 모터에 의하여 이동가능한,
    프로버 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    각각의 접촉 헤드는 핀을 포함하고,
    상기 프레임은 복수의 정지부를 가지는 하나 이상의 스텝부를 포함하며,
    상기 정지부는 하나 이상의 접촉 헤드의 배향을 상기 프레임에 대해 스위칭하기 위해 상기 핀을 수용하도록 구성되는,
    프로버 조립체.
  7. 프로버 조립체로서,
    프레임, 및
    상기 프레임에 이동가능하게 결합되어 상기 프레임의 길이를 따라 독립적으로 이동가능한 복수의 접촉 헤드 조립체를 포함하며,
    상기 접촉 헤드 조립체 각각은,
    하우징, 및
    복수의 프로버 핀이 하부면에 배치되는 가동(moveable) 접촉 헤드를 가지며,
    상기 가동 접촉 헤드는, 상기 가동 접촉 헤드가 상기 하우징에 대해 축을 중심으로 피벗 운동할 수 있게 하는 스위칭 연장부에 결합되며, 상기 피벗 운동은 다른 접촉 헤드에 대해 독립적으로 이루어지며,
    상기 프레임은 벨트에 의해 상기 가동 접촉 헤드들 중 하나 이상에 작동 가능하게 결합되는 하나 이상의 모터를 구비하는,
    프로버 조립체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 가동 접촉 헤드 각각은, 상기 가동 접촉 헤드가 상기 프레임의 길이에 평행하게 정렬되는 위치로 그리고 상기 가동 접촉 헤드가 상기 프레임의 길이에 수직하게 정렬되는 위치로 독립적으로 피벗 가능한,
    프로버 조립체.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 프레임이 채널에 인접하여 배치되는 복수의 정지부를 포함하며,
    각각의 정지부는 상기 가동 접촉 헤드 각각에 배치되는 핀을 수용하도록 구성되어, 상기 하우징이 상기 채널을 따라 이동할 때, 상기 하우징에 대한 상기 가동 접촉 헤드의 방향을 재배향시키는,
    프로버 조립체.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 프레임은 6개 이상의 접촉 헤드 조립체를 포함하는,
    프로버 조립체.
  11. 대면적 기판을 테스트하기 위한 테스트 시스템으로서,
    복수의 전자 장치가 배치되는 기판을 수용하기 위한 크기를 가지는 테스트 테이블, 및
    상기 기판 상의 상기 전자 장치와 선택적으로 접촉하는 복수의 독립된 접촉 헤드를 가지는 프로버 조립체를 포함하며,
    상기 프로버 조립체는 종방향 부재를 구비하는 프레임을 포함하며,
    상기 종방향 부재는 상기 테스트 테이블의 길이를 따라 상기 프로버 조립체를 이동시키기 위해 상기 종방향 부재의 각 단부에 모터를 구비하며,
    상기 종방향 부재에는 상기 프레임에 대한 접촉 헤드의 스위칭을 위하여 복수의 정지부가 형성되며,
    상기 복수의 접촉 헤드는 상기 테스트 테이블의 길이에 수직한 방향으로 상기 접촉 헤드를 이동시키기 위하여 하나 이상의 모터에 결합되는,
    테스트 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 복수의 접촉 헤드 각각은 서로 독립적으로 이동하는,
    테스트 시스템.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 복수의 접촉 헤드 각각은 상기 프레임에 대해 평행한 배향과 상기 프레임에 대해 외팔보 형태로 배치된 배향 사이의 임의의 배향으로 배치될 수 있는,
    테스트 시스템.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 복수의 접촉 헤드 각각은 상기 프레임의 길이에 대해 평행한 위치 및 상기 프레임의 길이에 대해 외팔보 형태로 배치된 위치로 이동가능한,
    테스트 시스템.
  15. 제 11 항에 있어서,
    모터에 의해 상기 테스트 테이블에 이동가능하게 결합되는 두 개 이상의 프로버 조립체를 더 포함하는,
    테스트 시스템.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 테스트 테이블이 배치되는 챔버; 및
    상기 챔버의 상부면에 결합되는 복수의 테스트 컬럼; 을 더 포함하는,
    테스트 시스템.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 테스트 테이블은 복수의 테스트 컬럼에 인접한 테스트 경로를 따르는 제1 방향으로 이동가능하며, 상기 프로버 조립체가 상기 테스트 테이블에 선택적으로 결합하여 상기 프로버 조립체가 상기 테스트 테이블과 함께 상기 제1 방향으로 이동하는,
    테스트 시스템.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 프로버 조립체는 상기 테스트 테이블의 이동에 관계없이 상기 제1 방향으로 이동하는,
    테스트 시스템.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 테스트 테이블은 제1 방향으로 이동가능하며, 상기 프로버 조립체는 상기 테스트 테이블과 함께 또는 상기 테스트 테이블과 관계없이 상기 제1 방향으로 선택적으로 이동하며, 상기 복수의 접촉 헤드 각각은 상기 제1 방향에 대해 수직하는 제2 방향으로 이동하는,
    테스트 시스템.
  20. 제1항에 있어서,
    상기 프레임이 인터페이스를 포함하고, 각각의 접촉 헤드 조립체가 상기 인터페이스에 이동가능하게 결합되는 캐리지를 가지는 하우징을 포함하는,
    프로버 조립체.
  21. 제20항에 있어서,
    각각의 접촉 헤드 조립체는 편향 부재에 결합되는 핀을 더 포함하여, 상기 프레임에 대해 상기 접촉 헤드 조립체의 배향을 스위칭하는,
    프로버 조립체.
  22. 제16항에 있어서,
    상기 복수의 테스트 컬럼 각각은 전자 비임 컬럼을 포함하는,
    테스트 시스템.
  23. 제3항에 있어서,
    상기 관형 부재의 대향 단부에 있는 하나 이상의 모터가 테스트 시스템에 배치되는 프로버 지지부에 작동 가능하게 결합되어, 상기 프레임을 상기 프로버 지지부에 대해 이동시키는,
    프로버 조립체.
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