KR100658258B1 - 기판 이송 모듈이 통합된 전자 빔 검사 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (71)
- 통합 검사 시스템으로서,내부에 기판 테이블이 배치된 검사 챔버 - 상기 기판 테이블은 상기 검사 챔버 내에서 수평 및 수직 방향으로 기판을 이동시키고,1차원으로 이동 가능한 제 1 스테이지,2차원으로 이동 가능한 제 2 스테이지, 및3차원으로 이동 가능한 제 3 스테이지를 포함하며, 상기 각각의 스테이지는 상기 각각의 차원으로 독립적으로 이동함 -;상기 검사 챔버의 제 1 면에 인접하게 배치된 로드락 챔버; 및상기 검사 챔버 내에 배치되며 상기 로드락 챔버와 상기 검사 챔버 사이에 상기 기판을 이송시키는 엔드 이펙터를 포함하는 통합 검사 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 각각의 스테이지는 선형적으로 이동하는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 3 스테이지의 상부면은 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 엔드 이펙터는 상기 제 2 스테이지의 상부면에 배치되고, 상기 제 3 스테이지는 상기 엔드 이펙터 주위로 상승 및 하강할 수 있는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 3 스테이지는 상기 엔드 이펙터 상에 기판을 로드하도록 하강되고 상기 엔드 이펙터로부터 상기 기판을 언로드하도록 상승되는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 엔드 이펙터는 상기 로드락 챔버와 상기 검사 챔버 사이로 상기 기판들을 이송시킬 수 있도록 상기 로드락 챔버로 연장 가능한 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 엔드 이펙터 및 상기 제 3 스테이지는 동일 수평면 상에 배치될 때 서로 맞물리는 슬롯형 단일체인 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 로드락 챔버는 적어도 2개의 지지 트레이들을 갖는 기판 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 8 항에 있어서, 상기 적어도 2개의 지지 트레이 각각은 상기 지지 트레이들의 상부면에 배치된 다수의 지지 핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 검사 챔버 아래에 배치된 프로버 저장 어셈블리를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 10 항에 있어서, 상기 검사 챔버의 제 2 면에 인접하게 배치되며 상기 프로버 저장 어셈블리와 상기 검사 챔버 사이에 하나 이상의 프로버들을 이송시키도록 배치되는 프로버 이송 어셈블리를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 11 항에 있어서, 상기 프로버 이송 어셈블리는 상기 검사 챔버와 상기 프로버 저장 어셈블리 사이에 프로버들을 이송시킬 수 있는 리프트 암을 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 11 항에 있어서, 상기 프로버 이송 어셈블리는 상기 프로버 저장 어셈블리와 상기 검사 챔버 사이에 하나 이상의 프로버들을 이송하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 11 항에 있어서, 상기 프로버 이송 어셈블리는 하나 이상의 휠들을 갖는 모듈 유닛인 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 검사 챔버의 상부면에 배치된 하나 이상의 전자 빔 검사 디바이스들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 기판 테이블 상부에 배치된 4개의 전자 빔 검사 디바이스들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 스테이지는 상기 기판 테이블을 X 축을 따라 상기 기판의 폭의 적어도 50%만큼 이동시키고, 상기 제 2 스테이지는 상기 기판 테이블을 Y 축을 따라 상기 기판의 길이의 적어도 50%만큼 이동시키는 것을 특징으로 하는 통합 검사 시스템.
- 기판 검사 방법으로서,내부에 기판 테이블이 배치된 검사 챔버에 검사될 기판을 로드하는 단계 - 상기 기판 테이블은 상기 검사 챔버 내에서 수평 및 수직 방향으로 기판을 이동시키고,1차원으로 이동 가능한 제 1 스테이지,2차원으로 이동 가능한 제 2 스테이지, 및3차원으로 이동 가능한 제 3 스테이지를 포함하며, 상기 각각의 스테이지는 상기 각각의 차원으로 독립적으로 이동함 -;상기 기판을 검사 위치에 배치시키기 위해 상기 제 3 스테이지를 승강시키는 단계;상기 검사 챔버의 상부면에 배치된 하나 이상의 검사 디바이스들을 사용하여 상기 기판을 검사하는 단계 - 상기 제 1 및 제 2 스테이지는 X 또는 Y 방향으로 이동하여 상기 기판을 상기 하나 이상의 검사 디바이스들 아래에 배치함 -;상기 제 2 스테이지 상에 배치된 엔드 이펙터의 상부면에 상기 검사된 기판을 로드하기 위해 상기 제 3 스테이지를 하강시키는 단계;상기 엔드 이펙터를 상기 검사 챔버의 제 1 면에 인접하게 배치된 로드락 챔버로 연장시키는 단계;상기 로드락 챔버 내의 상기 기판을 언로드하는 단계; 및상기 엔드 이펙터를 수축시키는 단계를 포함하는 기판 검사 방법.
- 제 18 항에 있어서, 상기 검사 챔버의 제 2 면에 인접하게 배치된 프로버 이송 어셈블리를 사용하여 상기 이송 챔버 아래에 저장된 프로버를 이송시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
- 제 19 항에 있어서, 상기 프로버는 상기 검사 챔버 아래에 배치된 프로버 저장 어셈블리 내에 저장되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
- 제 18 항 또는 제 19 항에 있어서, 상기 제 1 스테이지는 X 방향으로 상기 기판의 폭의 적어도 50%만큼 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
- 제 18 항 또는 제 19 항에 있어서, 상기 제 2 스테이지는 Y 방향으로 상기 기판의 길이의 적어도 50%만큼 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
- 통합 전자 빔 검사 어셈블리 내에서 기판을 전자 빔 검사하는 방법으로서,3개의 차원들로 이동 가능한 기판 테이블이 내부에 배치된 검사 챔버로 검사될 기판을 로드하는 단계;상기 기판을 상기 기판 테이블 상에 배치시키는 단계;상기 기판을 검사 위치로 승강시키는 단계;상기 기판의 적어도 일부분을 전자 빔으로 검사하는 단계;상기 기판을 적어도 하나의 차원에서 상기 전자 빔에 대해 다른 위치로 이동시키는 단계;상기 기판을 상기 다른 위치에서 검사하는 단계; 및상기 검사 챔버로부터 상기 기판을 언로드하는 단계를 포함하는 기판의 전자 빔 검사 방법.
- 기판을 지지하고 이송시키는 기판 테이블로서,상기 기판을 지지하기 위한 상부면을 갖는 세그먼트 스테이지; 및상기 기판을 지지하기 위해 두 개 이상의 분리 이격된 핑거들 및 상부면을 갖는 엔드 이펙터 - 상기 엔드 이펙터는 상기 엔드 이펙터의 핑거들과 상기 세그먼트 스테이지가 서로 맞물려 동일한 수평면을 점유할 수 있도록 상기 세그먼트 스테이지 내에서 적어도 부분적으로 배치되고 이동가능하며, 상기 세그먼트 스테이지는 상기 엔드 이펙터 주위에서 승강 및 하강함 -를 포함하는 기판 테이블.
- 제 24 항에 있어서, 상기 세그먼트 스테이지의 상부면들 및 상기 엔드 이펙터는 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 제 24 항에 있어서, 상기 세그먼트 스테이지는 상기 기판을 상기 엔드 이펙터의 상부면으로 이동시키기 위해 하강하고, 상기 기판을 상기 엔드 이펙터로부터 상기 세그먼트 스테이지의 상부면까지 이송시키기 위해 승강하는 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 제 24 항에 있어서, 제 1 수평 방향으로 이동가능한 제 1 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 제 27 항에 있어서, 제 2 수평 방향으로 이동가능한 제 2 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 제 28 항에 있어서, 상기 제 1 스테이지는 상기 제 1 수평 방향으로 상기 엔드 이펙터와 상기 세그먼트 스테이지를 이동시키고, 상기 제 2 스테이지는 상기 제 2 수평 방향으로 상기 제 1 스테이지, 상기 엔드 이펙터, 및 상기 세그먼트 스테이지를 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 제 24 항에 있어서, 상기 엔드 이펙터는 상기 기판을 제 1 위치로부터 제 2 위치까지 이동시키기 위해 상기 세그먼트 스테이지로부터 연장가능한 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 제 30 항에 있어서, 상기 제 1 위치는 내부에 상기 기판 테이블이 적어도 부분적으로 배치된 처리 챔버이고, 상기 제 2 위치는 로드락 챔버 또는 이송 챔버인 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 기판을 지지하고 이송시키는 기판 테이블로서,제 1 방향으로 이동가능한 제 1 스테이지;제 2 방향으로 이동가능한 제 2 스테이지;제 3 방향으로 이동가능한 제 3 슬롯형 스테이지; 및상기 제 2 스테이지의 상부면 상에 배치되고 상기 제 3 슬롯형 스테이지 내에서 이동가능한 엔드 이펙터를 포함하며,상기 각각의 스테이지는 상기 각각의 방향으로 독립적으로 이동하며, 상기 제 3 슬롯형 스테이지는 상기 엔드 이펙터 주위에서 승강 및 하강하는 기판 테이블.
- 제 32 항에 있어서, 상기 엔드 이펙터는 두 개 이상의 분리 이격된 핑거들을 포함하고 상기 제 3 스테이지는 상기 엔드 이펙터의 핑거들과 상기 제 3 슬롯형 스테이지가 서로 맞물려 동일 수평면을 점유하도록 끼워진 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 제 32 항에 있어서, 상기 제 3 스테이지의 상부면과 상기 엔드 이펙터의 상부면은 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 제 32 항에 있어서, 상기 제 3 스테이지는 상기 엔드 이펙터 상의 기판을 로드하기 위해 하강하고 상기 기판을 상기 엔드 이펙터로부터 언로드하기 위해 승강하는 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 제 32 항에 있어서, 상기 하강된 스테이지는 상기 기판 테이블을 X 축을 따라 상기 기판의 폭의 적어도 50 퍼센트만큼 이동시키고, 상기 승강된 스테이지는 상기 기판을 Y 축을 따라 상기 기판의 길이의 적어도 50 퍼센트만큼 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 통합 기판 검사 시스템으로서,로드락 챔버에 결합된 검사 챔버를 포함하며, 상기 로드락 챔버는 적어도 두 개의 지지 트레이들을 갖는 기판 지지부를 포함하고, 상기 지지 트레이들은 상기 지지 트레이들의 상부면에 다수의 지지 핀들을 가지며, 상기 지지 핀들은 기판을 지지하도록 구성되며, 상기 기판 지지부는 하나 이상의 기판들이 상기 검사 챔버로 이동하고 상기 검사 챔버로부터 이동하는 것을 용이하게 하도록 수직 방향으로 이동하는 통합 기판 검사 시스템.
- 제 37 항에 있어서, 상기 검사 챔버는,내부에 형성된 다수의 슬롯들을 갖는 상부 스테이지를 포함하는 기판 테이블 - 상기 각각의 슬롯은 내부에 배치된 엔드 이펙터의 핑거를 가짐 - 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 기판 검사 시스템.
- 제 38 항에 있어서, 상기 기판 테이블은,제 1 스테이지; 및제 2 스테이지 - 상기 제 1 스테이지와 상기 제 2 스테이지는 수평 방향으로 이동하고, 상기 제 1 스테이지는 상기 엔드 이펙터와 상기 상부 스테이지를 지지하며 상기 제 2 스테이지는 상기 제 1 스테이지를 지지함 - 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 기판 검사 시스템.
- 제 38 항에 있어서, 상기 엔드 이펙터는 상기 검사 챔버와 상기 로드락 챔버 사이에서 이동하며 상기 각각의 핑거는 상기 각각의 다수의 지지 핀들 사이에서 인접하게 통과하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 통합 기판 검사 시스템.
- 베이스;상기 베이스에 각각 연결된 적어도 두 개의 지지 암들 - 상기 각각의 지지 암은 제 1 이동 디바이스를 하우징하기 위한 리스세된 트랙을 포함함 - ;제 1 단부에서 상기 적어도 두 개의 지지 암들에 연결된 리프트 암; 및상기 리프트 암 상에서 지지된 프로버 - 상기 프로버는 다수의 전기 콘택 패드들을 갖는 제 1 면을 포함함 -을 포함하는 프로버 이송 어셈블리.
- 제 41 항에 있어서, 상기 리프트 암은 상기 지지 암들에 수직인 방향으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 프로버 이송 어셈블리.
- 제 41 항에 있어서, 상기 리프트 암은 상기 지지 암들에 수평인 방향으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 프로버 이송 어셈블리.
- 제 42 항에 있어서, 상기 수평 방향으로 상기 리프트 암을 이동시키기 위해 상기 리프트 암에 결합된 제 2 이동 디바이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로버 이송 어셈블리.
- 제 41 항에 있어서, 상기 베이스는 다수의 휠들 또는 캐스터들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로버 이송 어셈블리.
- 제 41 항에 있어서, 상기 제 1 이동 디바이스는 선형 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로버 이송 어셈블리.
- 제 41 항에 있어서, 상기 베이스는 프레임 멤버 및 제 4 개방 면에 의해 둘러싸인 제 3 면들을 갖는 것을 특징으로 하는 프로버 이송 어셈블리.
- 제 41 항에 있어서, 상기 리프트 암은 네 개의 상호접속된 지지 암들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로버 이송 어셈블리.
- 제 48 항에 있어서, 상기 상호접속된 지지 암들은 상기 프로버들을 지지하기 위한 표면을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 프로버 이송 어셈블리.
- 대형 면적의 기판을 주위 환경으로부터 검사 시스템까지 이송시키기 위한 로드락 챔버로서,인클루져;상기 인클루져 내에 함께 결합된 적어도 두 개의 지지 트레이들 - 상기 각각의 지지 트레이는 상기 대형 면적의 기판을 수용하도록 구성된 지지 면을 가짐 - ; 및상기 인클루져의 외부에서 상기 적어도 두 개의 지지 트레이들에 결합된 리프트 메커니즘을 포함하는 로드락 챔버.
- 제 50 항에 있어서, 상기 리프트 메커니즘은 상기 지지 트레이들을 수직 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
- 제 50 항에 있어서, 상기 인클루져는,상기 주위 환경으로부터 선택적으로 밀봉된 제 1 개방부; 및검사 챔버에 결합된 제 2 개방부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
- 제 50 항에 있어서, 상기 각각의 적어도 두 개의 지지 트레이들은 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
- 제 50 항에 있어서, 상기 각각의 적어도 두 개의 지지 트레이들은 상부면에 결합된 다수의 지지 핀들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
- 대형 면적의 기판을 지지하고 이송시키는 검사 테이블로서,제 1 수평 방향으로 이동가능한 제 1 스테이지;상기 제 1 수평 방향에 직교하는 제 2 수평 방향으로 이동가능한 제 2 스테이지; 및수직 방향으로 이동가능한 세그먼트 스테이지 - 상기 스테이지들은 서로 적층되고 상기 각각의 스테이지는 상기 각각의 방향으로 독립적이고 선형적으로 이동함 -를 포함하는 검사 테이블.
- 제 55 항에 있어서, 상기 세그먼트 스테이지는 다수의 슬롯들을 포함하고, 상기 각각의 슬롯은 엔드 이펙터의 핑거를 수용하도록 구성된 것을 특징으로 하는 검사 테이블.
- 제 56 항에 있어서, 상기 세그먼트 스테이지와 상기 다수의 슬롯들 각각의 핑거는 검사 시퀀스 동안 동일한 수평면에 있는 것을 특징으로 하는 검사 테이블.
- 제 56 항에 있어서, 상기 세그먼트 스테이지와 상기 다수의 슬롯들 각각의 핑거는 이송 시퀀스 동안 다른 수평면에 있는 것을 특징으로 하는 검사 테이블.
- 제 55 항에 있어서, 상기 대형 면적의 기판은 소정의 길이와 폭을 가지며 상기 검사 테이블은 상기 기판을 상기 검사 테이블의 상부면 상에서 지지하는 것을 특징으로 하는 검사 테이블.
- 제 59 항에 있어서, 상기 제 1 스테이지는 상기 대형 면적의 기판을 상기 제 1 수평 방향으로 상기 기판의 폭의 적어도 50 퍼센트만큼 이동시키는 것을 특징으로 하는 검사 테이블.
- 제 59 항에 있어서, 상기 제 2 스테이지는 상기 대형 면적의 기판을 상기 제 2 수평 방향으로 상기 기판의 길이의 적어도 50 퍼센트만큼 이동시키는 것을 특징으로 하는 검사 테이블.
- 기판을 지지하고 이송시키기 위한 기판 테이블로서,처리 영역 내에 배치되고 상기 기판을 지지하기 위한 상부면을 갖는 스테이지; 및두 개 이상의 이격된 핑거들 및 제 1 위치와 제 2 위치 - 상기 제 2 위치는 상기 핑거들이 상기 처리 영역으로 기판을 이송시키거나 상기 처리 영역으로부터 기판을 이송시키기 위해 상기 처리 영역 외부로 연장하는 위치임 - 에서 상기 스테이지 위로 상기 기판을 지지하기 위한 실질적으로 평탄한 표면을 갖는 엔드 이펙터를 포함하는 기판 테이블.
- 제 62 항에 있어서, 제 3 위치를 더 포함하고, 상기 제 3 위치에서는 상기 기판 테이블에는 상기 엔드 이펙터가 상기 기판을 상기 스테이지의 상부면으로 이송시키는 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 제 63 항에 있어서, 상기 제 3 위치에서는 상기 엔드 이펙터가 상기 스테이지에 대해 이동하고 상기 스테이지가 고정된 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 제 63 항에 있어서, 상기 스테이지가 상기 스테이지에 대해 이동하고 상기 엔드 이펙터가 고정된 것을 특징으로 하는 기판 테이블.
- 대형 기판을 처리하고 이송시키기 위한 시스템으로서,처리 영역 내에 배치되고, 상기 기판을 지지하기 위한 상부면을 갖는 스테이지; 및적어도 두 개의 이격된 핑거들을 갖는 엔드 이펙터를 포함하고,상기 엔드 이펙터는 상기 스테이지를 향하고 상기 스테이지로부터의 기판 이송 위치를 형성하는 제 1 위치 및 상기 적어도 상기 대형 기판을 상기 처리 영역 내로 또는 외부로 이송시키도록 상기 처리 영역으로부터 로드락 챔버 또는 이송 챔버 중 하나로 연장하는 대형 기판 처리 및 이송 시스템.
- 제 66 항에 있어서, 상기 처리 영역은 밀봉가능한 챔버를 형성하는 것을 특징으로 하는 대형 기판 처리 및 이송 시스템.
- 제 66 항에 있어서, 상기 처리 영역은 전자 빔 검사 챔버인 것을 특징으로 하는 대형 기판 처리 및 이송 시스템.
- 제 66 항에 있어서, 상기 제 1 위치에서는 상기 엔드 이펙터가 상기 스테이지에 대해 수직 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 대형 기판 처리 및 이송 시스템.
- 제 66 항에 있어서, 상기 제 1 위치에서는 상기 스테이지가 상기 엔드 이펙터에 대해 수직 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 대형 기판 처리 및 이송 시스템.
- 제 66 항에 있어서, 상기 스테이지 또는 상기 적어도 두 개의 핑거들 중 하나는 수직으로 이동하고, 상기 적어도 두 개의 핑거들은 상기 제 2 위치를 향해 수평으로 이동하는 것을 특징으로 하는 대형 기판 처리 및 이송 시스템.
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