KR20000071474A - 전극 배열을 위한 시험 장치 및 관련된 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 하나 이상의 타일(20) 상에 위치된 전극(21)의 배열을 위한 시험 장치에 관한 것인데, 상기 장치는, 바이어스 전압{Vsin(ωt)} 및 이 전압과 상반하는 전압{-Vsin(ωt)}을 갖는 상기 전극(21)을 교대로 바이어싱하기 위한 수단(22, 23)과, 상기 전극(21)으로부터 생기는 전기장을 측정하기 위해 상기 타일(20)에 평행하게 이동될 수 있는 안테나(24)를 포함한다. 본 발명은 또한 상기 전극(21)의 배열을 시험하는 방법에 관한 것인데, 상기 방법에서는 상기 전극(21)이 안테나에 의해 측정된 전기장을 발생시키기 위해 교대로 바이어스된다.

Description

전극 배열을 위한 시험 장치 및 관련된 방법{TEST DEVICE FOR AN ARRAY OF ELECTRODES AND ASSOCIATED METHOD}

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 대한 시험 장치 및 상기 패턴을 시험하는 방법에 관한 것이다. 더 구체적으로, 상기 시험은 평평한 스크린, 특히 플라즈마 디스플레이 패널의 전극의 무결성(integrity)을 검사한다.

이제부터 PDP라 불리는 플라즈마 디스플레이 패널은 평평한 유형의 디스플레이 스크린이다. PDP의 2개의 큰 부류, 즉 그 동작이 DC 유형인 PDP와 그 동작이 AC 유형인 PDP가 있다. PDP는 일반적으로 2개의 절연 타일(tile)(또는 기판)을 포함하는데, 각각은 평행한 전극의 하나 이상의 배열을 구비하고 평행 전극 사이에서 가스로 채워진 공간의 범위를 정한다. 타일은 상기 배열의 전극 사이에서의 교차점을 한정하기 위해 서로 결합된다. 각 전극 교차점은 장벽에 의해 부분적으로 범위가 정해진 가스 공간이 대응하는 기본 셀을 한정하고, 전기 방전은 셀이 활성화될 때 이 가스 공간에서 발생된다. 전기 방전은 기본 셀에서의 가스의 이온화를 야기하고, 셀로부터 광의 방출을 동반한다.

PDP의 전극이 단락된다면, 영상을 손상시키고 PDP를 사용 불가능하게 만드는 블랙선(black line)이 스크린 상에 나타난다. 제조할 동안에, 전극은 취급 오류로 인해 어느 때라도 손상될 수 있다. 가장 중요한 순간은 첫째로 전극이 에칭되고 있는 중일 때와 둘째로 타일이 조립되고 있는 중일 때이다. 불 켜진 스크린 상의 시각 시험(visual test)은 전극 단락이 매우 신속히 검출되게 하지만 제조의 마지막에 분류되게 한다. 전극을 즉시 보수할 수 있기 위해 전극이 에칭되고 있는 동안과 또한 결함이 있는 스크린 상에서 PDP를 펌프하고 채우지 않기 위해 조립한 바로 후에 타일을 시험하는 것이 바람직하다.

종래에서, 전극 연속성 시험(electrode-continuity test)은 도 1에서 나타낸 바와 같이 실행된다. 타일(1)의 각 전극(2)은 예를 들어 옴미터(ohmmeter)와 같은, 연속 제어기(3)에 의해서 시험받는 전극의 각 말단에 위치된 2개의 프로브(probe)(4 및 5)를 통해 시험받게 된다. 그러한 장치는 모든 전극(2)이 이 전극을 {[sic]} 지지하는 타일의 두 반대편 상에 나타나는 것을 필요로 한다. 전극의 폭은 각 측정에 대한 정확한 위치지정을 필요로 하는, 대략 100 ㎛이다. 이러한 측정의 반복으로 시험이 매우 오래 걸리게 된다. 게다가, 그러한 장치는 이웃한 전극 사이에서 단락 회로를 검출하지 못한다.

본 발명은 안테나와 용량성으로 결합함으로써 더욱 빠르게 전극을 시험하는 것을 제안한다. 타일(또는 PDP)은 한 타일의 전극을 바이어스하는 프레임 상에 위치된다. 그 후에 안테나는 전극에 의해 발생되는 전기장을 측정하기 위해 타일(또는 PDP) 위에서 이동한다. 측정된 전기장에서의 차이 또는 차이들로서 전극이 단락되어 있는 지 또는 단락되지 않은 지를 결정하는 것이 가능하다.

본 발명의 주제는 하나 이상의 지지 타일 상에 위치된 전극의 배열을 위한 시험 장치로서, 상기 장치는 전극이 전기장을 발생하도록 전극을 바이어스하기 위한 공급 수단과; 상기 전극으로부터 생기는 전기장을 측정하기 위해 전극으로부터 거의 일정한 거리에서 지지 타일에 평행하게 이동될 수 있기 위한 가이딩(guiding) 수단이 제공된 하나 이상의 안테나를 포함한다. 이 공급 수단은 바이어스 전압으로 절반의 전극을 바이어스하기 위한 제 1 수단 및 반대의 바이어스 전압으로 다른 절반의 전극을 바이어스하기 위한 제 2 수단을 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 수단은 전극을 교대로 바이어스하도록 인가된다.

전극의 교대하는 바이어싱으로 인해 시험의 판독능력을 상당히 증가시키는 것이 가능하고, 따라서 시험의 속도를 증가시키는 것이 가능하다.

본 발명의 주제는 또한 하나 이상의 지지 타일에 위치된 전극의 배열을 시험하는 방법으로서, 전극이 전기장을 방출하기 위해 바이어스되고, 하나 이상의 안테나가 상기 전극으로부터 생기는 전기장을 측정하기 위해 전극으로부터의 거의 일정한 거리에서 지지 타일에 평행하게 이동되는 것을 특징으로 한다. 전극의 절반은 바이어스 전압으로 바이어스되고 전극의 또 다른 절반은 반대의 바이어스 전압으로 바이어스되고, 전극이 교대로 바이어스된다.

첨부된 도면을 참조하여 이하 상세한 설명을 통하여 본 발명은 더욱 명백하게 이해될 것이고 또 다른 특성과 이점이 나타날 것이다.

도 1은 종래 기술에 따른 시험 장치의 개략도.

도 2는 본 발명에 따른 시험 장치의 개략도.

도 3 및 도 4는 제 1 실시예에 따른 본 발명을 나타낸 도면.

도 5 및 도 6은 본 발명에서 이용된 측정 원리를 도시한 도면.

도 7은 본 발명에서 사용된 측정 회로를 도시한 도면.

도 8 및 도 9는 전극 단락이 없는 경우에 안테나에 의해 측정된 신호를 도시한 도면.

도 10은 오류가 검출될 때 도 7의 측정 회로의 내부 신호를 도시한 도면.

도 11은 2개의 안테나를 구비한 본 발명에 따른 장치를 도시한 도면.

도 12는 도 11의 장치에서 사용된 안테나의 일단부를 도시한 도면.

도 13 및 도 14는 도 11의 장치의 2개의 실시예를 도시한 도면.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명>

20: 타일 21: 전극

24: 안테나 22, 23: 공급 레일

31 내지 33: 가이딩 레일 62: 전류계

111 내지 114: 전도 레일

도 2는 플라즈마 패널 타일(20)에 대한 시험 장치를 도시하는데, 상기 플라즈마 패널 타일의 전극(21)은 상호간에 평행하고 타일(20)의 양측에 교대로 나타난다. 당업자는 그러한 구성으로 전극의 접점 단부 상에 전극(21)을 넓히는 것이 가능하다는 것을 알 수 있을 것이다. 타일(20)은 전극의 절반이 교대로 각 레일(rail)(22 또는 23)과 접촉하도록 2개의 레일(22 및 23) 상에 위치된다. 레일(22)은 바이어스 전위에서 전기적으로 공급되고, 레일(23)은 반대의 바이어스 전압과 동일한 전압으로 공급된다. 2개의 레일(22 및 23)은 전극의 절반을 하나의 바이어스 전압으로, 전극의 다른 절반을 반대 바이어스 전압으로 교대로 바이어스하기 위한 공급 수단으로서 기동한다. 바람직한 예에서, 바이어스 전압은 사인 곡선(sinusoidal)인데, 예를 들어 V*sin(ωt)와 동일하고, 반대의 바이어스 전압은 -V*sin(ωt)과 같다. 안테나(24)는 시험받는 타일에 평행하게 움직인다.

전극이 양면에 교대로 나타날 필요는 없다. 이것은 전극이 단지 한 면상에 나타나면, 교대 바이어싱을 갖는 레일을 사용하는 것이 적당하기 때문이다.

DC 전압을 포함하는 바이어스 전압의 임의의 형태를 사용하는 것이 가능하지만, 그 때는 저 주파수 기생 신호(low-frequency parasitic signal)를 필터링하는 것이 어렵게 된다. 단일 바이어스 전압을 사용하는 것이 가능할 수 있지만, 그 때는 이것이 정전 용량에서의 변화를 매우 정확하게 측정하는 것과 같아서, 플라즈마 디스플레이 패널의 경우에서 시간이 많이 걸리고 해석하기 어렵게 된다. 전극 상의 사인 곡선 신호의 교번은 측정치의 매우 좋은 판독능력과 겸하여 동작의 간단성을 갖게 한다.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 타일을 시험하기 위해 사용된 테이블의 실시예를 도시한다. 테이블은 2개의 공급 레일(22 및 23) 및 2개의 가이드 레일(31 및 32)을 지지하는 베드(30)를 포함한다. 공급 레일(22 및 23)은 또한 시험받는 타일(20)을 위한 지지대의 역할을 한다. 안테나(24)를 지지하는 받침대(33)는 시험받는 타일에 병진 운동으로 평행하게 이동할 수 있기 위해서 가이드 레일에 연결된다. 받침대(33)의 이동은 예를 들어, 스테퍼 모터(stepper motor)(도시되지 않음)의 도움으로 달성된다. 바람직하게, 안테나(24)는 안테나(24)의 높이가 타일(20)에 대해 조정되게 하는 조정 요소(34 및 35)에 의해 받침대(33)에 연결된 전도 배선이다. 조정 요소(34 및 35)는 테이블이 두께가 고정된 것으로 한정된 타일을 단지 시험하기 위하여 사용된 경우에 생략될 수 있다.

도 5는 본 발명에서 이용된 시험 원리를 도시한 도면이다. 안테나(24)는 타일(20)에 평행하게 이동하고 따라서 타일에 의해 지지되는 전극(21)에 평행하게 이동한다. 물론, 평행의 오차는 항상 있을 수 있는데, 이것은 안테나(24)의 이동이 타일(20)의 평면에 대체로 평행하게 남아있다면 문제가 없다. 전극(21)에 의해 발생되고 안테나(24)에 의해 포착된 전기장의 모델링은 안테나(24)와 각 전극(21)의 상호작용을 하나의 커패시터(50 내지 54)로서 다루는 것과 같은데, 이 커패시터의 유전체는 타일(20)의 절연층, 안테나(24)를 둘러싼 절연체(55) 및 안테나(24)와 타일(20) 사이의 공기로 이루어져 있다. 그러한 모델링은 도 6에서 도시된다.

기술된 예에서, 단지 5개의 커패시터(50 내지 54)가 고려된다. 실제적으로, 배선을 사용하여 생성되는 안테나로 인해, 50개 내지 100개의 커패시터가 고려되어야 하는데, 그 숫자는 안테나(24)의 크기, 전극(21)의 크기와 간격 및 전극(21)과 안테나(24) 사이의 갭의 크기와 간격에 달려있다. 도 6에서의 전기 모델은 커패시터(50 내지 54) 중 절반의 한 극판에 각각 연결된 2개의 전압 소스(60 및 61)를 보여준다. 전압 소스(60 및 61)는 반대 부호의 2개의 전압을 전송한다. 커패시터(50 내지 54)의 다른 극판은 안테나(24)에 연결된다. 2개의 이웃한 전극(21) 사이에서 가능한 단락 회로를 검출하기 위해, 그것은 전압 소스 중 하나(60)와 직렬로 위치된 전류계(62)의 도움으로 단지 전류를 측정하는 문제에 불과하다. 안테나(24)는 증폭기(63)의 입력에 연결되고, 증폭기의 출력은 제어 회로(64)에 연결되며, 제어 회로의 도식적인 예가 도 7에서 세부적으로 도시된다.

제어 회로(64)는 증폭기(63)에서의 증폭 후에 안테나(24)로부터 신호를 수신하는 입력을 갖는다. 대역 통과 필터의 입력이 제어 회로(64)의 입력에 해당하는 대역 통과 필터(bandpass filter)(70)는 안테나(24)에 의해 포착된 기생 신호를 제거하여 출력 상의 필터된 신호를 전송한다. 당업자는 바이어스 신호가 사인 곡선(간단한 필터링이 가능하도록 선택된 주파수)이라고 한다면, DC이며 저 주파수인 (주요부) 기생 성분이 쉽게 제거된다는 것을 알 것이다. 2개의 입력과 1개의 출력을 갖는 혼합기(71)는 바이어스 전압 중 하나, 예를 들어 sin(ωt)에 비례하는 전압을 입력 중 한 입력 상에서 수신한다. 혼합기(71)의 또 다른 입력은 대역 통과 필터(70)의 출력에 연결된다. 혼합기의 출력에 전송된 신호는 혼합기의 입력에 제공된 신호들의 적(product)에 해당한다.

저역 필터(72)는 혼합기(71)의 출력에 연결된 입력, 및 출력을 갖는다. 차단 주파수는 바이어스 전압의 주파수보다 낮지만 안테나(24)에 의해 포착된 신호를 변조하는 포락선(envelope)의 주파수보다 높은 주파수에 해당한다. 저역 필터(72)의 출력은 안테나(24)에 의해 포착된 전기장의 포락선에 비례하는 신호를 전달한다. 비교기(73)는 포락선의 부호를 나타내는 신호를 출력 상에 전달하기 위해 0 V를 저역 필터(72)에 의하여 출력된 신호와 비교한다. 펄스 발생기(74)는 비교기(73)의 출력에 연결된 입력 및 포락선이 부호를 변경할 때마다 펄스를 전달하는 출력을 갖는다. 계수기(75)는 리셋팅 입력, 클록 입력 및 계수 출력을 갖는다. 포락선이 부호를 변경할 때마다 계수기가 0으로 리셋되도록 리셋팅 입력은 펄스 발생기(74)의 출력에 연결된다. 클록 신호(C)는 클록 입력 상에 전달된다. 고 클록 신호 주파수는 알맞은 계수 분해능(resolution)을 갖기 위해서 선택되는 것이 바람직할 것이다. 계수기(75)는 포락선 신호의 2개의 부호 변경 사이의 시간을 측정한다. 비교기(76)는 계수기(75)의 계수 출력에 연결된 데이터 입력, 및 계수가 미리 결정된 값(Dmax)보다 높은 경우 2진 능동 오류 신호(binary active error signal)를 전달하는 출력을 갖는다.

2진 신호는 다양한 방법으로 처리될 수 있다. 2진 오류 신호를 사용하는 하나의 간단하고 효과적인 방법은 상기 오류 신호가 활성적일 때마다, 받침대(33)에 부착된 마킹 장치를 작동하는 것에 있다. 따라서 얻어진 결과는 정확한 방법으로 결함이 있는 전극을 확인하는 것이 가능하다. 명백하게, 이 오류 신호의 또 다른 처리 방법이 강구될 수 있다.

도 8 및 도 9는 전극이 단락되지 않을 때 대역 통과 필터(70)의 출력에 제공된 전압 곡선의 부분을 도시한다. 도 8은 타일의 단부에 해당한다. 포락선 신호(80)는, 안테나가 패널의 일단부 상에 놓일 때 일방 통행의 방법으로 분포되어 있는 전극으로 되기 때문에, 감쇠 사인 곡선에 해당한다. 감쇠는 두 방향의 방법으로 전극을 연속적으로 고려하는 것으로부터 비롯된다. 실무적인 이유에서, 감쇠가 3개의 구간에 걸쳐 도시되고 있지만, 실제로, 감쇠는 10개 내지 20개의 구간마다 지속한다. 한 구간은, 반대 부호의 전압으로 바이어스되는 2개의 연속적인 전극 위에서 일정 속도로 안테나(24)의 통과(passage)에 대응한다. 도 9는 타일의 중앙에서 측정되는 곡선에 대응한다 - 그 때 포락선 신호(80)는 일정 진폭이다. 포락선 신호(80)는 f(x)*sin(t/δ)의 형태로 기록될 수 있는데, x는 타일(20)의 일단부에 대한 안테나(24)의 위치이고, f(x)는 감쇠 함수이고, δ는 안테나가 동일한 극성의 2개의 전극 사이의 거리를 (일정 속도로) 이동하는데 드는 시간이다.

도 10의 도움을 빌어, 이제 전극 단락이 어떻게 검출되는지를 설명할 것이다. 도 10a는 단락이 없고 안테나가 타일(20)의 중앙에 놓일 때 필터(70)에 의해 출력되어 측정된 신호(100)를 도시한다. 측정된 신호(100)는 K*sin(ωt)*sin(t/δ)의 파형의 신호이다. 전술된 바와 같이, 측정된 신호(100)는 포락선(80)의 형태를 나타낸다. 그러나, 언젠가 전극이 단락된다면, 이것은 단락이 발생한 위치에 해당하는 커패시터(52)의 정전 용량에서 비교적 큰 감소가 생긴다. 감소된 정전 용량의 커패시터(52)의 영향은 안테나(24)가 커패시터 위에 놓일 때 최대가 된다. 그러므로, 신호의 포락선이 곡선(101 및 102)에 의해 나타낸 것과 같이 변형되는 신호를 측정하는 것이 가능하다. 곡선(101)은 에지에 근접하게 있는 단락 전극에 대응하고, 곡선(102)은 에지로부터 멀리 떨어져 있는 단락 전극에 대응한다. 단락 전극에서, 포락선은 더 이상 일정한 듀티(duty) 주기를 갖지 않는다.

도 10b는 곡선(101 및 102)에 대응하는 경우에서 필터(72)에 의해 출력된 신호를 도시한다. 이 후, 실선으로 도시된 곡선은 곡선(101)에 관한 것이고 일점 쇄선으로 도시된 곡선은 곡선(102)에 관한 것이다. 도 10c는 비교기가 곡선(101)의 신호를 수신할 때 비교기(73)에 의해 출력된 신호에 대응하는 곡선을 도시한다. 그 때 펄스 발생기(74)는 도 10d에 나타낸 바와 같은 펄스를 전달한다. 당업자는 전극 단락이 펄스의 부재로 인해 여기서 검출된다는 것을 안 것이다. 도 10e는 한 편으로는 각 펄스에 0으로 리셋되고 계수기(75)의 출력을 나타내는 곡선(103) 및, 다른 한편으로 계수 임계값(Dmax)을 도시한다. 도 10f에서의 곡선은 계수가 Dmax보다 높을 때 활성화되는 2진 오류 신호를 도시한다.

도 10g 내지 도 10j에서 도시된 곡선은 포락선(102)의 경우에 해당한다. 여기서, 오류가 포락선(102)의 제로 교점(zero crossing)으로의 이동에 의해 검출된다는 것을 알 수 있다. 여기서 오류 신호는 단일한 단락된 전극에 대해 2배로 활성화된다. 당업자는, 이 단락이 공급 단부로부터 매우 멀리 떨어진다면, 특히 어떤 일정한 거리를 떨어진 단락된 전극의 영향으로 인해 임의의 가능한 위상 지터(phase jitter)를 완화하기 위해 임계값(Dmax) 상의 오류의 마진(margin)을 제공하는 것이 요구되기 때문에, 그러한 시스템으로 쉽게 검출할 수 없다는 것을 알 수 있을 것이다.

도 5의 테이블의 하나의 결점은 테이블이 조립 후에 2개의 타일의 전극을 시험하는 것이 바람직할 때 플라즈마 패널이 처리되게 하는 것을 필요로 한다는 것이다. 게다가, 이 테이블은 이동가능한 레일의 사용과 플라즈마 패널의 최대 길이에 대응하는 면을 갖는 사각형의 테이블의 사용을 필요로 한다.

도 11은 2개의 수직의 방위를 따라 놓인 전극을 제공할 수 있기 위해서, 쌍으로 서로 평행하게 있는 4개의 공급 레일(111 내지 114)을 갖는 측정 테이블(110)을 도시한다. 또 테이블은 2개의 받침대(117 및 118)를 가이드하는 역할을 하는 2개의 가이드 레일(115 및 116)을 포함하며, 받침대 각각은 안테나 홀더(119 및 120)를 지지한다. 각 안테나 홀더(119 및 120)는 자신을 지지하는 받침대(117 및 118)를 따라 병진 운동으로 가이드된다. 각 안테나 홀더(119 및 120)는 소형 안테나를 지지하며, 각 안테나는 자체 처리 회로를 구비한다. 도 12는 팁(tip)의 형태로 소형 안테나의 단부의 일예를 도시한다. 안테나의 단부는 절연체(122)로 둘러싸인 금속 코어(121)로 이루어져 있으며, 그 조합물은 접지에 연결된 금속 스크린(123)으로 둘러싸인다. 그러한 안테나는 좁은 영역 내에 놓여있는 것에만 민감하다. 소형 안테나는 대략 10개의 전극을 고려할 것이다. 게다가, 도 13 및 도 14에서 도시된 바와 같이, 안테나가 타일의 단부에 이동되어, 단락의 위치가 어디에 있든지 하나 이상의 안테나에 대하여 커패시터의 제거로 단락이 항상 나타나게 된다.

물론, 많은 대안적인 형태가 본 발명의 범주로부터 벗어나는 것 없이도 가능하다. 측정된 신호의 분석은 완전히 상이한 방법으로 실행될 수 있다. 예를 들어, 신호를 디지털화하고 현상의 정확한 모델링을 최대한 사용하는 수치 처리를 실행하는 것이 가능하다. 당업자는 형태가 상당히 변경될 수 있는 2개 이상의 안테나를 사용하는 것도 가능하다는 것을 또한 알 수 있을 것이다. 공급 수단은 레일이 될 필요가 없고 임의의 다른 유형의 접촉에 의해 대체될 수 있다. 가이딩 수단은, 이 수단이 시험받는 전극에 대해 안테나 또는 안테나들의 평행한 이동을 가능하게 하는 한, 도시된 가이딩 수단과는 완전히 상이할 수 있다. 또한, 본 발명은 플라즈마 스크린 타일을 시험하기 위해 기술되었고 - 본 발명이 전극의 배열을 포함하는 임의의 유형의 타일, 예를 들어, 액정 스크린 타일을 시험하기 위해 사용될 수 있다는 것은 두 말할 나위도 없다.

Claims (12)

1. 하나 이상의 지지 타일(20) 상에 위치된 전극(21)의 배열에 대한 시험 장치로서,

   - 전극이 전기장을 발생시키도록 상기 전극을 바이어스하기 위한 공급 수단(22, 23)과,

   - 상기 전극(21)으로부터 생기는 전기장을 측정하기 위해 상기 전극(21)으로부터 거의 일정한 거리에서 상기 지지 타일(20)에 평행하게 이동될 수 있기 위한 가이딩 수단(31 내지 33)이 제공되는 하나 이상의 안테나(24)를 포함하는, 상기 전극 배열 시험 장치에 있어서,

   상기 공급 수단은 한 바이어스 전압{Vsin(ωt)}으로 상기 전극 중 절반의 전극을 바이어스하기 위한 제 1 수단(22)과 반대의 바이어스 전압{-Vsin(ωt)}으로 상기 전극 중 다른 절반의 전극을 바이어스하기 위한 제 2 수단(23)을 포함하고, 및 상기 제 1 및 제 2 수단은 교대로 상기 전극을 바이어스하도록 하는 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 하나 이상의 안테나(24)와 상기 타일(20) 사이의 거리를 조정하기 위한 수단(34, 35)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2항에 있어서, 상기 안테나(24)는 상기 타일(20)에 평행한 배선이 있는 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 장치.
4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 쌍으로 평행하게 있는 4개의 전도 레일(111 내지 114)과 둘 이상의 안테나를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 장치.
5. 제 4항에 있어서, 상기 안테나는 팁(tip)이 있는데, 상기 안테나의 일단부는 상기 전극의 상기 배열에 평행한 평면에서 이동하는 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 장치.
6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 공급 전압은 사인 곡선의 전압인 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 장치.
7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 공급 수단은 상기 전극을 통해 흐르는 전류를 측정하기 위한 수단(62)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 장치.
8. 하나 이상의 지지 타일(20) 상에 위치된 전극(21)의 배열을 시험하는 방법으로서, 상기 전극(21)이 전기장을 방출하도록 하기 위해 바이어스되고, 및 하나 이상의 안테나(24)가 상기 전극(21)으로부터 생기는 전기장을 측정하기 위해 상기 전극(21)으로부터의 거의 일정한 거리에 상기 지지 타일(20)에 평행하게 이동되는 상기 전극 배열 시험 방법에 있어서,

   상기 전극의 절반은 바이어스 전압{Vsin(ωt)}으로 바이어스되고 상기 전극의 다른 절반은 상기 반대의 바이어스 전압{-Vsin(ωt)}으로 바이어스되고, 및 상기 전극은 교대로 바이어스되는 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 방법.
9. 제 8항에 있어서, 상기 공급 전압은 사인 곡선의 전압인 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 방법.
10. 제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 전극을 통해 흐르는 전류는 측정되는 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 방법.
11. 제 8항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서, 전극이 단락되는 경우 상기 단락 전극이 위치되는 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 방법.
12. 제 8항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서, 2개의 안테나는 상기 전극을 공급하도록 사용되는 상기 타일의 상기 안테나의 단부 근처로 이동되는 것을 특징으로 하는 전극 배열 시험 방법.