JP2000356664A - 電極のアレイを試験するための装置及び方法 - Google Patents
電極のアレイを試験するための装置及び方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 全ての電極がタイルの２つ対向する辺上に現
れることを必要とせず、迅速に試験を行なうことを可能
とし、隣接する電極間の短絡を検出しうる電極のアレイ
用の試験装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明は、少なくとも１つのタイル上に
配置された電極のアレイ用の試験装置に関連する。装置
は、バイアス電圧及びこの電圧と反対の電圧を用いて交
番に電極をバイアスする手段を含む。電極から来る電界
を測定するために、アンテナはタイルに対して平行に移
動可能である。本発明はまた、電極のアレイを試験する
方法に関連し、この方法では、アンテナによって測定さ
れる電界を生成するために電極は交番にバイアスされ
る。
れることを必要とせず、迅速に試験を行なうことを可能
とし、隣接する電極間の短絡を検出しうる電極のアレイ
用の試験装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明は、少なくとも１つのタイル上に
配置された電極のアレイ用の試験装置に関連する。装置
は、バイアス電圧及びこの電圧と反対の電圧を用いて交
番に電極をバイアスする手段を含む。電極から来る電界
を測定するために、アンテナはタイルに対して平行に移
動可能である。本発明はまた、電極のアレイを試験する
方法に関連し、この方法では、アンテナによって測定さ
れる電界を生成するために電極は交番にバイアスされ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル用の試験装置及びかかるパネルを試験する方
法に関連する。更に特定的には、この試験は、平型スク
リーン、特にプラズマディスプレイパネルの電極の完全
性について検査するものである。
レイパネル用の試験装置及びかかるパネルを試験する方
法に関連する。更に特定的には、この試験は、平型スク
リーン、特にプラズマディスプレイパネルの電極の完全
性について検査するものである。
【０００２】
【従来の技術】プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤ
Ｐと称する）は、平型ディスプレイスクリーンである。
ＰＤＰには大きく分けて２種類、即ち、直流式に動作を
行なうＰＤＰと交流式に動作を行なうＰＤＰとがある。
ＰＤＰは概して２つの絶縁タイル（又は基板）を含み、
各タイルは１つ以上の平行な電極のアレイを有し、タイ
ル間はガスで充填された空間によって区切られる。タイ
ルは上記アレイの電極間の交点を画成するよう接合され
る。各電極交点は基本セルを画成し、各セルには障壁に
よって部分的に区切られた１つのガス空間が対応し、セ
ルが活性化されたときにはこのガス空間の中に電気放電
が発生される。電気放電は、基本セル中のガスの電離を
生じさせ、これはセルからの光の放出を伴う。
Ｐと称する）は、平型ディスプレイスクリーンである。
ＰＤＰには大きく分けて２種類、即ち、直流式に動作を
行なうＰＤＰと交流式に動作を行なうＰＤＰとがある。
ＰＤＰは概して２つの絶縁タイル（又は基板）を含み、
各タイルは１つ以上の平行な電極のアレイを有し、タイ
ル間はガスで充填された空間によって区切られる。タイ
ルは上記アレイの電極間の交点を画成するよう接合され
る。各電極交点は基本セルを画成し、各セルには障壁に
よって部分的に区切られた１つのガス空間が対応し、セ
ルが活性化されたときにはこのガス空間の中に電気放電
が発生される。電気放電は、基本セル中のガスの電離を
生じさせ、これはセルからの光の放出を伴う。
【０００３】ＰＤＰの電極が切断されれば、スクリーン
上に黒い線が出現し、これは画像を悪化させＰＤＰを使
用不能とさせる。製造中、電極は誤った取扱いを受けれ
ばいかなる時点においても損傷されうる。最も致命的な
時点は、第１に電極がエッチングされているとき、第２
にタイルが組付けられているときである。点灯されたス
クリーン上での視覚試験は、電極の破損が非常に迅速に
検出されることを可能とするが、製造の終端においての
み選別を可能とするものである。電極を直ちに修繕する
ことを可能とするよう電極がエッチングされているとき
に、また欠陥のあるスクリーン上のＰＤＰに対して排気
及び充填しないよう組付けの直後に、タイルを試験する
ことが望ましい。
上に黒い線が出現し、これは画像を悪化させＰＤＰを使
用不能とさせる。製造中、電極は誤った取扱いを受けれ
ばいかなる時点においても損傷されうる。最も致命的な
時点は、第１に電極がエッチングされているとき、第２
にタイルが組付けられているときである。点灯されたス
クリーン上での視覚試験は、電極の破損が非常に迅速に
検出されることを可能とするが、製造の終端においての
み選別を可能とするものである。電極を直ちに修繕する
ことを可能とするよう電極がエッチングされているとき
に、また欠陥のあるスクリーン上のＰＤＰに対して排気
及び充填しないよう組付けの直後に、タイルを試験する
ことが望ましい。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、電極の連続性試
験は図１に示されるように実行される。タイル１の各電
極２は、試験されるべき電極の各端に配置される２つの
プローブ４及び５によって、例えば抵抗計といった連続
性制御器３によって試験される。かかる装置は、全ての
電極２が、それらを支持するタイルの２つ対向する辺上
に現れることを必要とする。電極の幅は１００μｍのオ
ーダであり、各測定に対して正しい位置決めを必要とす
る。これらの測定の繰返しは、試験を非常に長いものと
する。更に、かかる装置は隣接する電極間の短絡が検出
されることを可能としない。
験は図１に示されるように実行される。タイル１の各電
極２は、試験されるべき電極の各端に配置される２つの
プローブ４及び５によって、例えば抵抗計といった連続
性制御器３によって試験される。かかる装置は、全ての
電極２が、それらを支持するタイルの２つ対向する辺上
に現れることを必要とする。電極の幅は１００μｍのオ
ーダであり、各測定に対して正しい位置決めを必要とす
る。これらの測定の繰返しは、試験を非常に長いものと
する。更に、かかる装置は隣接する電極間の短絡が検出
されることを可能としない。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、アンテナとの
容量性結合によってより迅速に電極を試験することを目
的とする。タイル（又はＰＤＰ）は、１つのタイルの電
極をバイアスするフレーム上に配置される。アンテナは
次に、電極によって生成される電界を測定するためにタ
イル（又はＰＤＰ）の上を移動する。測定される電界の
差は、電極が破損されているか否かを判定することを可
能とする。
容量性結合によってより迅速に電極を試験することを目
的とする。タイル（又はＰＤＰ）は、１つのタイルの電
極をバイアスするフレーム上に配置される。アンテナは
次に、電極によって生成される電界を測定するためにタ
イル（又はＰＤＰ）の上を移動する。測定される電界の
差は、電極が破損されているか否かを判定することを可
能とする。
【０００６】本発明は、少なくとも１つの支持タイル上
に配置される電極のアレイを試験するために用いられ、
電界を生成するよう電極をバイアスする給電手段と、上
記電極から来る電界を測定するため電極から略一定の距
離で支持タイルに対して平行に移動可能であるよう案内
手段が設けられた少なくとも１つのアンテナとを有する
試験装置を提供する。上記給電手段は、上記電極の半数
をバイアス電圧でバイアスする第１の手段と、上記電圧
の残る半数を反対のバイアス電圧でバイアスする第２の
手段とを含み、上記第１及び第２の手段は、電極を交番
にバイアスするよう設計される。
に配置される電極のアレイを試験するために用いられ、
電界を生成するよう電極をバイアスする給電手段と、上
記電極から来る電界を測定するため電極から略一定の距
離で支持タイルに対して平行に移動可能であるよう案内
手段が設けられた少なくとも１つのアンテナとを有する
試験装置を提供する。上記給電手段は、上記電極の半数
をバイアス電圧でバイアスする第１の手段と、上記電圧
の残る半数を反対のバイアス電圧でバイアスする第２の
手段とを含み、上記第１及び第２の手段は、電極を交番
にバイアスするよう設計される。
【０００７】電極を交番にバイアスすることは、試験の
読取り可能性をかなり増加させ、従って試験の速度を増
加させる。
読取り可能性をかなり増加させ、従って試験の速度を増
加させる。
【０００８】本発明は、少なくとも１つの支持タイル上
に配置される電極のアレイを試験するための試験方法を
提供し、この試験方法は、電界を発するよう電極がバイ
アスされる段階と、少なくとも１つのアンテナが上記電
極から来る電界を測定するため電極から略一定の距離で
支持タイルに対して平行に移動する段階とを含む。上記
電極の半数はバイアス電圧でバイアスされ、上記電圧の
残る半数は反対のバイアス電圧でバイアスされ、電極は
交番にバイアスされる。
に配置される電極のアレイを試験するための試験方法を
提供し、この試験方法は、電界を発するよう電極がバイ
アスされる段階と、少なくとも１つのアンテナが上記電
極から来る電界を測定するため電極から略一定の距離で
支持タイルに対して平行に移動する段階とを含む。上記
電極の半数はバイアス電圧でバイアスされ、上記電圧の
残る半数は反対のバイアス電圧でバイアスされ、電極は
交番にバイアスされる。
【０００９】
【発明の実施の形態】添付の図面を参照して以下の説明
を読むことにより、本発明の特徴及び利点がより良く理
解されよう。図２は、プラズマパネルのタイル２０用の
試験装置を示す図であり、タイル２０上の電極２１は相
互に平行でありタイル２０のいずれかの辺に交互に現れ
る。当業者によれば、かかる構成により、電極２１の幅
を接触端において広くすることが可能であることが理解
されよう。タイル２０は、電極のうちの半数が交番に各
レール２２又は２３と接触するよう、２つのレール２２
及び２３上に配置される。レール２２は或るバイアス電
位で給電され、レール２３は反対のバイアス電圧に等し
い電圧で給電される。２つのレール２２及び２３は、電
極の半数を或るバイアス電圧でバイアスし、電極の他の
半数を交番に反対のバイアス電圧を給電するための供給
手段として挙動する。望ましい実施例では、バイアス電
圧はシヌソイドであり、例えば、Ｖ＊ｓｉｎ（ωｔ）に
等しく、反対のバイアス電圧は、−Ｖ＊ｓｉｎ（ωｔ）
に等しいよう選択される。アンテナ２４は、試験される
タイルに対して平行に移動する。
を読むことにより、本発明の特徴及び利点がより良く理
解されよう。図２は、プラズマパネルのタイル２０用の
試験装置を示す図であり、タイル２０上の電極２１は相
互に平行でありタイル２０のいずれかの辺に交互に現れ
る。当業者によれば、かかる構成により、電極２１の幅
を接触端において広くすることが可能であることが理解
されよう。タイル２０は、電極のうちの半数が交番に各
レール２２又は２３と接触するよう、２つのレール２２
及び２３上に配置される。レール２２は或るバイアス電
位で給電され、レール２３は反対のバイアス電圧に等し
い電圧で給電される。２つのレール２２及び２３は、電
極の半数を或るバイアス電圧でバイアスし、電極の他の
半数を交番に反対のバイアス電圧を給電するための供給
手段として挙動する。望ましい実施例では、バイアス電
圧はシヌソイドであり、例えば、Ｖ＊ｓｉｎ（ωｔ）に
等しく、反対のバイアス電圧は、−Ｖ＊ｓｉｎ（ωｔ）
に等しいよう選択される。アンテナ２４は、試験される
タイルに対して平行に移動する。
【００１０】電極はいずれかの辺に交番に現れる必要は
ない。これは、電極が片側にのみ現れる場合は、交番に
バイアスしてレールを使用することが適当であるからで
ある。
ない。これは、電極が片側にのみ現れる場合は、交番に
バイアスしてレールを使用することが適当であるからで
ある。
【００１１】直流電圧を含む任意の形式のバイアス電圧
を用いることが可能であるが、すると低周波寄生信号を
フィルタ除去することが困難となる。単一のバイアス電
圧を使用することが可能であり得るが、すると容量のば
らつきを非常に正確に測定することとなり、これはプラ
ズマディスプレイパネルの場合は非常に長く、解釈する
のが困難となる。電極上のシヌソイド信号を交番させる
ことは、動作の簡単さを測定の非常に良い読み出し可能
性と組み合わせることを可能とする。
を用いることが可能であるが、すると低周波寄生信号を
フィルタ除去することが困難となる。単一のバイアス電
圧を使用することが可能であり得るが、すると容量のば
らつきを非常に正確に測定することとなり、これはプラ
ズマディスプレイパネルの場合は非常に長く、解釈する
のが困難となる。電極上のシヌソイド信号を交番させる
ことは、動作の簡単さを測定の非常に良い読み出し可能
性と組み合わせることを可能とする。
【００１２】図３及び４は、本発明によってプラズマデ
ィスプレイパネルを試験するために使用される台を示す
図である。台は、２つの給電レール２２及び２３と、２
つの案内レール３１及び３２とを支持するベッド３０を
含む。給電レール２２及び２３は、試験されるべきタイ
ル２０用の支持体としても用いられる。アンテナ２４を
支持するガントリー３３は、試験されるべきタイルに対
して並進的に平行に移動することが可能であるよう案内
レールに接続される。ガントリー３３の移動は、例えば
ステッパモータ（図示せず）を用いて行われる。望まし
くは、アンテナ２４は、アンテナ２４の高さがタイル２
０に対して調整されることを可能とする調整要素３４及
び３５によってガントリー３３に接続される導電性ワイ
ヤーである。台が一定の厚さのタイルを試験するためだ
けに使用される場合は、調整要素３４及び３５は省かれ
てもよい。
ィスプレイパネルを試験するために使用される台を示す
図である。台は、２つの給電レール２２及び２３と、２
つの案内レール３１及び３２とを支持するベッド３０を
含む。給電レール２２及び２３は、試験されるべきタイ
ル２０用の支持体としても用いられる。アンテナ２４を
支持するガントリー３３は、試験されるべきタイルに対
して並進的に平行に移動することが可能であるよう案内
レールに接続される。ガントリー３３の移動は、例えば
ステッパモータ（図示せず）を用いて行われる。望まし
くは、アンテナ２４は、アンテナ２４の高さがタイル２
０に対して調整されることを可能とする調整要素３４及
び３５によってガントリー３３に接続される導電性ワイ
ヤーである。台が一定の厚さのタイルを試験するためだ
けに使用される場合は、調整要素３４及び３５は省かれ
てもよい。
【００１３】図５は、本発明において用いられる試験原
理を示す図である。アンテナ２４はタイル２０に対して
平行に移動し、従ってタイルによって支持される電極２
１と平行に移動する。もちろん、平行度の誤差は常にあ
りうるが、これはアンテナ２４の移動がタイル２０の平
面に対して略平行に維持されていれば問題とはならな
い。電極２１によって生成されアンテナ２４によって捕
捉される電界のモデル化は、各電極２１とアンテナ２４
との相互作用を、タイル２０の絶縁体、アンテナ２４を
囲む絶縁体５５、及びアンテナ２４とタイル２０との間
の空気からなる誘電体を有するコンデンサ５０乃至５４
として扱うことに等しい。かかるモデル化は図６に示さ
れる。
理を示す図である。アンテナ２４はタイル２０に対して
平行に移動し、従ってタイルによって支持される電極２
１と平行に移動する。もちろん、平行度の誤差は常にあ
りうるが、これはアンテナ２４の移動がタイル２０の平
面に対して略平行に維持されていれば問題とはならな
い。電極２１によって生成されアンテナ２４によって捕
捉される電界のモデル化は、各電極２１とアンテナ２４
との相互作用を、タイル２０の絶縁体、アンテナ２４を
囲む絶縁体５５、及びアンテナ２４とタイル２０との間
の空気からなる誘電体を有するコンデンサ５０乃至５４
として扱うことに等しい。かかるモデル化は図６に示さ
れる。
【００１４】上述の例では、５つのコンデンサ５０乃至
５４のみが考慮に入れられる。実際、ワイヤを用いて生
成されるアンテナでは、５０乃至１００個のコンデンサ
が考慮に入れられねばならず、その個数はアンテナ２４
の寸法、電極２１並びに電極２１とアンテナ２４との間
の隙間の寸法及び間隔に依存する。図６の電気的モデル
は、コンデンサ５０乃至５４のうちの半数の片方の極板
に夫々接続される２つの電圧源６０及び６１を示す。電
圧源６０及び６１は、反対の符号の２つの電圧を供給す
る。コンデンサ５０乃至５４の他の極板はアンテナ２４
に接続される。２つの隣接する電極２１間に生じうる短
絡を検出するためには、電圧源６０のうちの１つと直列
に配置される電流計６２を用いて電流を測定すればよ
い。アンテナ２４は増幅器６３の入力に接続され、増幅
器６３の出力は制御回路６４に接続され、これに関する
図式的な例は図７に詳細に示されている。
５４のみが考慮に入れられる。実際、ワイヤを用いて生
成されるアンテナでは、５０乃至１００個のコンデンサ
が考慮に入れられねばならず、その個数はアンテナ２４
の寸法、電極２１並びに電極２１とアンテナ２４との間
の隙間の寸法及び間隔に依存する。図６の電気的モデル
は、コンデンサ５０乃至５４のうちの半数の片方の極板
に夫々接続される２つの電圧源６０及び６１を示す。電
圧源６０及び６１は、反対の符号の２つの電圧を供給す
る。コンデンサ５０乃至５４の他の極板はアンテナ２４
に接続される。２つの隣接する電極２１間に生じうる短
絡を検出するためには、電圧源６０のうちの１つと直列
に配置される電流計６２を用いて電流を測定すればよ
い。アンテナ２４は増幅器６３の入力に接続され、増幅
器６３の出力は制御回路６４に接続され、これに関する
図式的な例は図７に詳細に示されている。
【００１５】制御回路６４は、増幅器６３における増幅
の後にアンテナ２４から信号を受信する入力を有する。
制御回路６４の入力に対応する入力を有する帯域通過フ
ィルタ７０は、アンテナ２４によってピックアップされ
た寄生信号を除去し、フィルタリングされた信号を出力
上に送出する。当業者は、バイアス信号がシヌソイドで
あれば（周波数が単純なフィルタリングを可能とするよ
う選択されていれば）、直流及び低周波（幹線）寄生成
分は容易に除去されうることに気づくであろう。２つの
入力及び１つの出力を有するミクサ７１は、一方の入力
に、バイアス電圧のうちの１つに比例する電圧、例えば
ｓｉｎ（ωｔ）を受信する。ミクサ７１の他方の入力
は、帯域通過フィルタ７０の出力に接続される。ミクサ
の出力上に送出される信号は、その入力上に存在する信
号の積に対応する。
の後にアンテナ２４から信号を受信する入力を有する。
制御回路６４の入力に対応する入力を有する帯域通過フ
ィルタ７０は、アンテナ２４によってピックアップされ
た寄生信号を除去し、フィルタリングされた信号を出力
上に送出する。当業者は、バイアス信号がシヌソイドで
あれば（周波数が単純なフィルタリングを可能とするよ
う選択されていれば）、直流及び低周波（幹線）寄生成
分は容易に除去されうることに気づくであろう。２つの
入力及び１つの出力を有するミクサ７１は、一方の入力
に、バイアス電圧のうちの１つに比例する電圧、例えば
ｓｉｎ（ωｔ）を受信する。ミクサ７１の他方の入力
は、帯域通過フィルタ７０の出力に接続される。ミクサ
の出力上に送出される信号は、その入力上に存在する信
号の積に対応する。
【００１６】低域通過フィルタ７２は、ミクサ７１の出
力に接続される１つの入力と、１つの出力とを有する。
カットオフ周波数は、バイアス電圧の周波数よりも低い
が、アンテナ２４によってピックアップされる信号を変
調する包絡線の周波数よりも高い周波数に対応する。低
域通過フィルタ７２の出力は、アンテナ２４によってピ
ックアップされる電界の包絡線に比例する信号を送出す
る。比較器７３は、出力上に包絡線の符号を表わす信号
を送出するよう、低域通過フィルタ７２によって出力さ
れる信号をゼロボルトと比較する。パルス発生器７４
は、比較器７３の出力に接続される入力と、包絡線が符
号を変化させるたびにパルスを送出する出力とを有す
る。
力に接続される１つの入力と、１つの出力とを有する。
カットオフ周波数は、バイアス電圧の周波数よりも低い
が、アンテナ２４によってピックアップされる信号を変
調する包絡線の周波数よりも高い周波数に対応する。低
域通過フィルタ７２の出力は、アンテナ２４によってピ
ックアップされる電界の包絡線に比例する信号を送出す
る。比較器７３は、出力上に包絡線の符号を表わす信号
を送出するよう、低域通過フィルタ７２によって出力さ
れる信号をゼロボルトと比較する。パルス発生器７４
は、比較器７３の出力に接続される入力と、包絡線が符
号を変化させるたびにパルスを送出する出力とを有す
る。
【００１７】カウンタ７５は、リセット入力と、クロッ
ク入力と、計数出力とを有する。リセット入力は、包絡
線が符号を変化させるたびにカウンタがゼロにリセット
されるよう、パルス発生器７４の出力に接続される。ク
ロック信号Ｃはクロック入力上に与えられる。良い計数
分解能を有するために、高いクロック信号周波数が選択
されることが望ましい。カウンタ７５は、包絡線信号の
符号の２回の変化の間の時間を測定する。比較器７６
は、カウンタ７５の計数出力に接続される入力と、計数
が所定の値Ｄmaxよりも高い場合は２進のアクティブな
誤り信号を与える出力とを有する。
ク入力と、計数出力とを有する。リセット入力は、包絡
線が符号を変化させるたびにカウンタがゼロにリセット
されるよう、パルス発生器７４の出力に接続される。ク
ロック信号Ｃはクロック入力上に与えられる。良い計数
分解能を有するために、高いクロック信号周波数が選択
されることが望ましい。カウンタ７５は、包絡線信号の
符号の２回の変化の間の時間を測定する。比較器７６
は、カウンタ７５の計数出力に接続される入力と、計数
が所定の値Ｄmaxよりも高い場合は２進のアクティブな
誤り信号を与える出力とを有する。
【００１８】２進信号は、様々な方法で処理されうる。
２進の誤り信号を用いるための１つの簡単且つ有効な方
法は、上記誤り信号がアクティブとなるたびに、ガント
リー３３に取り付けられたマーク付け装置を作動させる
ことを含む。このようにして得られた結果は、欠陥のあ
る電極を正確に識別することを可能とする。明らかに、
この誤り信号を処理するための他の方法が考えられる。
２進の誤り信号を用いるための１つの簡単且つ有効な方
法は、上記誤り信号がアクティブとなるたびに、ガント
リー３３に取り付けられたマーク付け装置を作動させる
ことを含む。このようにして得られた結果は、欠陥のあ
る電極を正確に識別することを可能とする。明らかに、
この誤り信号を処理するための他の方法が考えられる。
【００１９】図８及び９は、電極が破損されていない場
合に帯域通過フィルタ７０の出力において存在する電極
の曲線の部分を示す図である。図８は、タイルの端部に
対応する。包絡線信号８０は、アンテナがパネルの一端
にあるとき、一方向に分布された電極に当たるため、減
衰されたシヌソイドに対応する。減衰は、電極を双方向
に連続的に考慮に入れることによって生ずる。減衰は３
つの周期に亘って示されているが、実際は、減衰は１０
乃至２０周期に亘って生じうる。一周期は、反対の符号
の電圧でバイアスされた２つの連続する電極の上を一定
速度でアンテナ２４が通過することに対応する。図９
は、タイルの中央で測定された曲線に対応し、包絡線信
号８０は一定の振幅を有する。包絡線信号８０は、ｘを
タイル２０の一端に対するアンテナ２４の位置とし、ｆ
（ｘ）を減衰関数とし、δをアンテナが同一極性の２つ
の電極間の距離を（一定速度で）進行する時間とする
と、ｆ（ｘ）＊ｓｉｎ（ｔ／δ）の形で書くことができ
る。
合に帯域通過フィルタ７０の出力において存在する電極
の曲線の部分を示す図である。図８は、タイルの端部に
対応する。包絡線信号８０は、アンテナがパネルの一端
にあるとき、一方向に分布された電極に当たるため、減
衰されたシヌソイドに対応する。減衰は、電極を双方向
に連続的に考慮に入れることによって生ずる。減衰は３
つの周期に亘って示されているが、実際は、減衰は１０
乃至２０周期に亘って生じうる。一周期は、反対の符号
の電圧でバイアスされた２つの連続する電極の上を一定
速度でアンテナ２４が通過することに対応する。図９
は、タイルの中央で測定された曲線に対応し、包絡線信
号８０は一定の振幅を有する。包絡線信号８０は、ｘを
タイル２０の一端に対するアンテナ２４の位置とし、ｆ
（ｘ）を減衰関数とし、δをアンテナが同一極性の２つ
の電極間の距離を（一定速度で）進行する時間とする
と、ｆ（ｘ）＊ｓｉｎ（ｔ／δ）の形で書くことができ
る。
【００２０】図１０を参照して、いかにして電極の破損
が検出されるか説明する。図１０（Ａ）は、破損がな
く、アンテナがタイル２０の中央にある場合にフィルタ
７０によって出力される測定された信号１００を示す図
である。測定された信号１００は、Ｋ＊ｓｉｎ（ωｔ）
＊ｓｉｎ（ｔ／δ）の波形の信号である。測定された信
号１００は上述のような包絡線８０の形を想定する。し
かしながら、電極が破損していれば、これは破損が生じ
ている位置に対応するコンデンサ５２のキャパシタンス
の比較的大きな減少をもたらす。減少されたキャパシタ
ンスを有するコンデンサ５２の影響は、アンテナ２４が
ちょうどその上にある場合に最大となる。従って、曲線
１０１及び１０２によって示されるように変形された包
絡線を有する信号を測定することが可能である。曲線１
０１は給電される端部に近い破損した電極に対応し、曲
線１０２は給電される端部から遠い破損した電極に対応
する。破損した電極では、包絡線はもはや一定のデュー
ティサイクルを有さない。
が検出されるか説明する。図１０（Ａ）は、破損がな
く、アンテナがタイル２０の中央にある場合にフィルタ
７０によって出力される測定された信号１００を示す図
である。測定された信号１００は、Ｋ＊ｓｉｎ（ωｔ）
＊ｓｉｎ（ｔ／δ）の波形の信号である。測定された信
号１００は上述のような包絡線８０の形を想定する。し
かしながら、電極が破損していれば、これは破損が生じ
ている位置に対応するコンデンサ５２のキャパシタンス
の比較的大きな減少をもたらす。減少されたキャパシタ
ンスを有するコンデンサ５２の影響は、アンテナ２４が
ちょうどその上にある場合に最大となる。従って、曲線
１０１及び１０２によって示されるように変形された包
絡線を有する信号を測定することが可能である。曲線１
０１は給電される端部に近い破損した電極に対応し、曲
線１０２は給電される端部から遠い破損した電極に対応
する。破損した電極では、包絡線はもはや一定のデュー
ティサイクルを有さない。
【００２１】図１０（Ｂ）は、曲線１０１及び１０２に
対応する場合のフィルタ７２によって出力される信号を
示す図である。実線で示される曲線は曲線１０１に関連
し、一点鎖線で示される曲線は曲線１０２に関連する。
図１０（Ｃ）は、比較器７３が信号１０１を受信すると
きに出力される信号に対応する曲線を示す。パルス発生
器７４は次に、図１０（Ｄ）に示されるようにパルスを
与える。当業者は、ここでは電極の破損がパルスの欠除
によって検出されることに気づくであろう。図１０
（Ｅ）は、各パルスにおいてゼロにリセットされカウン
タ７５の出力を表わす計数曲線１０３を示すと共に、計
数閾値Ｄmaxを示す。図１０（Ｆ）の曲線は、計数がＤm
axよりも高い場合にアクティブである２進の誤り信号を
示す図である。
対応する場合のフィルタ７２によって出力される信号を
示す図である。実線で示される曲線は曲線１０１に関連
し、一点鎖線で示される曲線は曲線１０２に関連する。
図１０（Ｃ）は、比較器７３が信号１０１を受信すると
きに出力される信号に対応する曲線を示す。パルス発生
器７４は次に、図１０（Ｄ）に示されるようにパルスを
与える。当業者は、ここでは電極の破損がパルスの欠除
によって検出されることに気づくであろう。図１０
（Ｅ）は、各パルスにおいてゼロにリセットされカウン
タ７５の出力を表わす計数曲線１０３を示すと共に、計
数閾値Ｄmaxを示す。図１０（Ｆ）の曲線は、計数がＤm
axよりも高い場合にアクティブである２進の誤り信号を
示す図である。
【００２２】図１０（Ｇ）乃至（Ｊ）中に示される曲線
は、包絡線１０２の場合に対応する。ここでは、誤り
は、包絡線１０２のゼロ交差のシフトによって検出され
ることがわかる。ここでは、誤り信号は、単一の破損し
た電極に対して２回アクティブである。当業者は、破損
が給電端から非常に遠ければ、特にある距離だけ離れた
破損した電極の影響による全ての生じうる位相ジッタを
軽減するために閾値Ｄmax上に誤りの余裕を与えること
が必要であるため、かかるシステムでは破損を検出する
のが容易ではないことに気づくであろう。
は、包絡線１０２の場合に対応する。ここでは、誤り
は、包絡線１０２のゼロ交差のシフトによって検出され
ることがわかる。ここでは、誤り信号は、単一の破損し
た電極に対して２回アクティブである。当業者は、破損
が給電端から非常に遠ければ、特にある距離だけ離れた
破損した電極の影響による全ての生じうる位相ジッタを
軽減するために閾値Ｄmax上に誤りの余裕を与えること
が必要であるため、かかるシステムでは破損を検出する
のが容易ではないことに気づくであろう。
【００２３】台３０の１つの欠点は、組付けの後に２つ
のタイルの電極を試験することが所望であるときに、プ
ラズマパネルを取り扱うことが必要とされることであ
る。更に、着脱可能なレールを用いること、及び、プラ
ズマパネルの最大の長さに対応する辺を有する方形の台
を用いることが必要とされる。
のタイルの電極を試験することが所望であるときに、プ
ラズマパネルを取り扱うことが必要とされることであ
る。更に、着脱可能なレールを用いること、及び、プラ
ズマパネルの最大の長さに対応する辺を有する方形の台
を用いることが必要とされる。
【００２４】図１１は、２つの垂直な向きに配置される
電極に対して給電することを可能とするために、対をな
す相互に平行な４つの給電レール１１１乃至１１４を有
する測定台１１０を示す図である。台はまた、夫々がア
ンテナホルダ１１９及び１２０を支持する２つのガント
リー１１７及び１１８を案内する２つの案内レール１１
５及び１１６を含む。各アンテナホルダ１１９及び１２
０は、小型アンテナを支持し、各アンテナは処理回路を
有する。
電極に対して給電することを可能とするために、対をな
す相互に平行な４つの給電レール１１１乃至１１４を有
する測定台１１０を示す図である。台はまた、夫々がア
ンテナホルダ１１９及び１２０を支持する２つのガント
リー１１７及び１１８を案内する２つの案内レール１１
５及び１１６を含む。各アンテナホルダ１１９及び１２
０は、小型アンテナを支持し、各アンテナは処理回路を
有する。
【００２５】図１２は、先細形状の小型アンテナの端部
を示す図である。アンテナの端部は、絶縁体１２２によ
って囲まれた金属コア１２１を含み、この結合体は更に
接地された金属スクリーン１２３によって囲まれる。か
かるアンテナは、小さな領域の中にあるものに対しての
み感度を有する。小型アンテナは、約１０個の電極を考
慮に入れる。更に、アンテナは図１３及び１４に示され
るようにタイルの端部へ移動され、それにより、破損の
位置に関わらず、破損が常に少なくとも１つのアンテナ
上でコンデンサの消去として出現する。
を示す図である。アンテナの端部は、絶縁体１２２によ
って囲まれた金属コア１２１を含み、この結合体は更に
接地された金属スクリーン１２３によって囲まれる。か
かるアンテナは、小さな領域の中にあるものに対しての
み感度を有する。小型アンテナは、約１０個の電極を考
慮に入れる。更に、アンテナは図１３及び１４に示され
るようにタイルの端部へ移動され、それにより、破損の
位置に関わらず、破損が常に少なくとも１つのアンテナ
上でコンデンサの消去として出現する。
【００２６】もちろん、本発明の範囲を逸脱することな
く多くの他の形状が可能である。測定された信号の解析
は、完全に異なった方法で実行されうる。例えば、信号
をディジタル化し、現象の正確なモデル化を用いた数値
的な処理を実行することが可能である。当業者は、形状
がかなり異なる２つ以上のアンテナを使用することが可
能であると理解するであろう。給電手段はレールである
必要はなく、他の種類の接点によって置換されうる。案
内手段は、アンテナが試験されるべき電極に対して平行
に移動することを可能とするかぎり、図示されるものと
全く異なるものであってもよい。また、本発明はプラズ
マスクリーンタイルを試験することについて説明されて
きたが、本発明は例えば液晶スクリーンタイルといった
電極のアレイを含む全ての種類のタイルを試験するため
に使用されうる。
く多くの他の形状が可能である。測定された信号の解析
は、完全に異なった方法で実行されうる。例えば、信号
をディジタル化し、現象の正確なモデル化を用いた数値
的な処理を実行することが可能である。当業者は、形状
がかなり異なる２つ以上のアンテナを使用することが可
能であると理解するであろう。給電手段はレールである
必要はなく、他の種類の接点によって置換されうる。案
内手段は、アンテナが試験されるべき電極に対して平行
に移動することを可能とするかぎり、図示されるものと
全く異なるものであってもよい。また、本発明はプラズ
マスクリーンタイルを試験することについて説明されて
きたが、本発明は例えば液晶スクリーンタイルといった
電極のアレイを含む全ての種類のタイルを試験するため
に使用されうる。
【図１】従来技術による試験装置を概略的に示す図であ
る。
る。
【図２】本発明による試験装置を概略的に示す図であ
る。
る。
【図３】本発明の第１の実施例を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施例を示す図である。
【図５】本発明において用いられる測定原理を示す図で
ある。
ある。
【図６】本発明において用いられる測定原理を示す図で
ある。
ある。
【図７】本発明において用いられる測定回路を示す図で
ある。
ある。
【図８】電極が破損していない場合にアンテナによって
測定される信号を示す図である。
測定される信号を示す図である。
【図９】電極が破損していない場合にアンテナによって
測定される信号を示す図である。
測定される信号を示す図である。
【図１０】誤りが検出された場合の図７の測定回路の内
部信号を示す図である。
部信号を示す図である。
【図１１】２つのアンテナを有する本発明による装置を
示す図である。
示す図である。
【図１２】図１１の装置において用いられるアンテナの
一端を示す図である。
一端を示す図である。
【図１３】図１１の装置の一つの実施例を示す図であ
る。
る。
【図１４】図１１の装置の他の実施例を示す図である。
２０ タイル ２１ 電極 ２２，２３ 給電レール ２４ アンテナ ３０ ベッド ３１，３２ 案内レール ３３ ガントリー ３４，３５ 調整要素 ５０−５４ コンデンサ ６０，６１ 電圧源 ６２ 電流計 ６３ 増幅器 ６４ 制御回路 ７０ 帯域通過フィルタ ７１ ミクサ ７２ 低域通過フィルタ ７３ 比較器 ７４ パルス発生器 ７５ カウンタ １１１乃至１１４ 給電レール １１５，１１６ 案内レール １１７，１１８ ガントリー １１９，１２０ アンテナホルダ １２１ 金属コア １２２ 絶縁体 １２３ 金属スクリーン
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｎ 17/04 Ｈ０４Ｎ 17/04 Ｚ
Claims (12)
- 【請求項１】 少なくとも１つの支持タイル（２０）上
に配置される電極（２１）のアレイを試験するために用
いられ、 電界を生成するよう電極をバイアスする給電手段（２
２，２３）と、 上記電極（２１）から来る電界を測定するため電極（２
１）から略一定の距離で支持タイル（２０）に対して平
行に移動可能であるよう案内手段（３１乃至３３）が設
けられた少なくとも１つのアンテナ（２４）とを有する
試験装置であって、 上記給電手段は、上記電極の半数をバイアス電圧（Ｖｓ
ｉｎ（ωｔ））でバイアスする第１の手段（２２）と、
上記電圧の残る半数を反対のバイアス電圧（−Ｖｓｉｎ
（ωｔ））でバイアスする第２の手段（２３）とを含
み、 上記第１及び第２の手段は、電極を交番にバイアスする
よう設計されることを特徴とする装置。 - 【請求項２】 上記少なくとも１つのアンテナ（２４）
と上記タイル（２０）との間の距離を調整する手段（３
４，３５）を含むことを特徴とする、請求項１記載の装
置。 - 【請求項３】 上記アンテナ（２４）は、上記タイル
（２０）に平行なワイヤーであることを特徴とする、請
求項１又は２記載の装置。 - 【請求項４】 平行な対をなす４つの導電性レール（１
１１乃至１１４）と、少なくとも２つのアンテナとを含
むことを特徴とする、請求項１又は２記載の装置。 - 【請求項５】 上記アンテナは先細形状を有しその端部
は電極のアレイに平行な平面上で移動することを特徴と
する、請求項４記載の装置。 - 【請求項６】 供給電圧はシヌソイド電圧であることを
特徴とする、請求項１乃至５のうちいずれか一項記載の
装置。 - 【請求項７】 上記給電手段は、電極を通って流れる電
流を測定する手段（６２）を含むことを特徴とする、請
求項１乃至６のうちいずれか一項記載の装置。 - 【請求項８】 少なくとも１つの支持タイル（２０）上
に配置される電極（２１）のアレイを試験するための、 電界を発するよう電極（２１）がバイアスされる段階
と、 少なくとも１つのアンテナ（２４）は上記電極（２１）
から来る電界を測定するため電極（２１）から略一定の
距離で支持タイル（２０）に対して平行に移動する段階
とを含む試験方法であって、 上記電極の半数はバイアス電圧（Ｖｓｉｎ（ωｔ））で
バイアスされ、上記電圧の残る半数は反対のバイアス電
圧（−Ｖｓｉｎ（ωｔ））でバイアスされ、 電極は交番にバイアスされることを特徴とする方法。 - 【請求項９】 供給電圧はシヌソイド電圧であることを
特徴とする、請求項８記載の方法。 - 【請求項１０】 電極を通って流れる電流が測定される
ことを特徴とする、請求項８又は９記載の方法。 - 【請求項１１】 電極が破損していれば、破損した電極
の位置が求められることを特徴とする、請求項８乃至１
０のうちいずれか一項記載の方法。 - 【請求項１２】 ２つのアンテナは電極に対して給電す
るために使用されるタイルの端部の近傍へ移動されるこ
とを特徴とする、請求項８乃至１１のうちいずれか一項
記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9904376 | 1999-04-06 | ||
| FR9904376A FR2792076B1 (fr) | 1999-04-06 | 1999-04-06 | Dispositif de test d'un reseau d'electrodes et procede associe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000356664A true JP2000356664A (ja) | 2000-12-26 |
Family
ID=9544153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000092136A Pending JP2000356664A (ja) | 1999-04-06 | 2000-03-29 | 電極のアレイを試験するための装置及び方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000356664A (ja) |
| KR (1) | KR20000071474A (ja) |
| CN (1) | CN1269511A (ja) |
| FR (1) | FR2792076B1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2832545B1 (fr) * | 2001-11-21 | 2004-01-16 | Dgtec | Procede de controle de conformite electrique de pistes conductrices pour ecrans plats et dispositif pour eefectuer ce controle |
| ATE510224T1 (de) * | 2006-11-16 | 2011-06-15 | Siemens Ag | Sensorelement, vorrichtung und verfahren zur inspektion einer leiterbahnstruktur, herstellungsverfahren für sensorelement |
| CN103513152B (zh) * | 2013-09-24 | 2016-04-27 | 浙江诺尔康神经电子科技股份有限公司 | 一种多电极测试方法及其装置 |
| KR102387464B1 (ko) | 2017-10-12 | 2022-04-15 | 삼성전자주식회사 | 배선 회로 테스트 장치 및 방법과, 그 방법을 포함한 반도체 소자 제조방법 |
| CN116511102B (zh) * | 2023-07-04 | 2023-09-05 | 中国工程物理研究院流体物理研究所 | 一种压电陶瓷元件耐压检测装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DD243121A1 (de) * | 1985-11-28 | 1987-02-18 | Akad Wissenschaften Ddr | Verfahren und vorrichtung zur pruefung von gasfuellungen |
| JPH0619404B2 (ja) * | 1988-06-17 | 1994-03-16 | 共栄制御機器株式会社 | 液晶電極基板の通電検出装置 |
| CA2049616C (en) * | 1991-01-22 | 2000-04-04 | Jacob Soiferman | Contactless test method and system for testing printed circuit boards |
| JPH04315447A (ja) * | 1991-04-15 | 1992-11-06 | Sharp Corp | トランジスタ検査装置及びトランジスタ検査方法 |
| US5175504A (en) * | 1991-06-17 | 1992-12-29 | Photon Dynamics, Inc. | Method and apparatus for automatically inspecting and repairing a simple matrix circuit panel |
| US5387788A (en) * | 1991-12-04 | 1995-02-07 | Photon Dynamics, Inc. | Method and apparatus for positioning and biasing an electro-optic modulator of an electro-optic imaging system |
| US5256975A (en) * | 1992-06-01 | 1993-10-26 | Digital Equipment Corporation | Manually-operated continuity/shorts test probe for bare interconnection packages |
-
1999
- 1999-04-06 FR FR9904376A patent/FR2792076B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-03-24 KR KR1020000014950A patent/KR20000071474A/ko not_active Application Discontinuation
- 2000-03-29 JP JP2000092136A patent/JP2000356664A/ja active Pending
- 2000-03-29 CN CN 00105509 patent/CN1269511A/zh active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2792076B1 (fr) | 2001-05-04 |
| CN1269511A (zh) | 2000-10-11 |
| FR2792076A1 (fr) | 2000-10-13 |
| KR20000071474A (ko) | 2000-11-25 |
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