JP2013057951A - 導電性構造部、特に薄膜トランジスタ型液晶ディスプレイの非接触式コンタクト形成のための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板1上に形成される少なくとも1つの導電性構造部3の検査に必要とされる電界を、基板1に形成するための装置であって、電界が、導電性構造部3の機械的接触なしでの励起によって形成され、電気的な信号9が基板ホルダー5を介して導電性構造部3へ入力される、装置において、基板ホルダー5が別個のフラット電極を有しており、フラット電極には、電気的信号9が励起のために印加され、さらに、基板ホルダー5は電気的に中性であるように構成する。
【選択図】図1
Description
a)従来の高価で基板固有のコンタクト形成機構が完全に省かれる。このことは一方ではユーザーに対して著しい節約効果をもたらす。なぜなら製品の入換えにおいても基板コンタクト形成部の機械的な組み替えや変更なしで実施できるからである。同様にコストのかかるコンタクト形成装置のメンテナンスや保存も省くことができる。さらに製造コストに関する改善も得られる。
b)正面側のコンタクト形成面を接触させる必要はもはやなくなる。このことはコンタクト形成面で生じ得る汚染や破壊の効果的な低減に結び付く。このことは特に有利である。なぜならこのコンタクト形成面は通常は後からの特にLCDスクリーンの組合わせの際に利用されるからである。
c)設計仕様における多大な融通性、なぜならテスト又は短絡構造を必ずしも準備する必要がないからである。このようにして、基板面の有効利用が最適に達成できるようになる。
Claims (11)
- 基板(1)上に形成される少なくとも1つの導電性構造部(3)の検査に必要とされる電界を、基板(1)に形成するための装置であって、
前記電界が、前記導電性構造部(3)の機械的接触なしでの励起によって形成され、
電気的な信号(9)が基板ホルダー(5)を介して導電性構造部(3)へ入力される、装置において、
前記基板ホルダー(5)が別個のフラット電極を有しており、該フラット電極には、電気的信号(9)が励起のために印加され、さらに、前記基板ホルダー(5)は電気的に中性であるように構成されていることを特徴とする装置。 - 前記電気的な信号(9)は、導電性構造部(3)に容量結合される、請求項1記載の装置。
- 前記基板ホルダー(5)は、基板(1)の下方に位置付けされ、さらに電気的信号(9)が前記基板(1)を貫通して入力されている、請求項1または2記載の装置。
- 前記基板ホルダー(5)は、当該基板ホルダー(5)から電気的に絶縁されたベース(7)上に位置付けされている、請求項3記載の装置。
- 前記基板(1)は液晶ディスプレイ(LCD)のスクリーンガラス基板であり、前記導電性構造部(3)はTFT電極(薄膜トランジスタ電極)の導体路である、請求項1または2記載の装置。
- 少なくとも1つのセンサ電極が小さな間隔をおいて前記基板(1)表面上に配置され、前記センサ電極は容量結合を用いて電界強度を測定する、請求項1または2記載の装置。
- 基板(1)上に形成される少なくとも1つの導電性構造部(3)の検査に必要とされる電界を、基板(1)に形成するための方法であって、
前記電界が、前記導電性構造部(3)の機械的接触なしでの励起によって形成され、
電気的な信号(9)が基板ホルダー(5)を介して導電性構造部(3)へ入力される、方法において、
前記基板ホルダー(5)が別個のフラット電極を有しており、該フラット電極には、電気的信号(9)が励起のために印加され、さらに、前記基板ホルダー(5)は電気的に中性であることを特徴とする方法。 - 前記電気的な信号(9)は、導電性構造部(3)に容量結合される、請求項7記載の装置。
- 前記基板ホルダー(5)は、基板(1)の下方に位置付けされ、さらに電気的信号(9)が前記基板(1)を貫通して入力されている、請求項7または8記載の装置。
- 前記基板ホルダー(5)は、当該基板ホルダー(5)から電気的に絶縁されたベース(7)上に位置付けされている、請求項9記載の装置。
- 少なくとも1つのセンサ電極が小さな間隔をおいて基板(1)表面上を案内され、電界強度が容量結合を用いて測定される、導電性構造部(3)の非接触式検査のための請求項7又は8記載の方法。
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