KR101416882B1 - 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 관한 것으로, 프로브 검사장치의 스테이지 상면에 고정된 엘시디 글라스의 회로 패턴에 전기적 신호를 인가하여 회로 상태를 측정하기 위한 프로브 핀의 컨텍 유무를 간편한 방법으로 신속 정확하게 확인할 수 있도록 한 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템을 제공함에 그 목적이 있다.
이를 위해, 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템은, 프로브 검사장치의 스테이지 상면에 구비되며, 특정 저항 값을 갖는 도체성 금속재질로 이루어져 체크를 위한 프로브 핀이 선택적으로 접촉되되 금속판 또는 글라스 표면에 에칭을 통해 이루어진 금속막이 형성된 패드 및; 상기 피드에 접촉되는 프로브 핀과 케이블을 매개로 연결되어, 각 프로브 핀의 접촉 여부를 확인하도록 이루어지되, 상기 프로브 핀의 접촉 여부 확인을 위한 소정 전원을 장치에 공급하는 전원부와, 각 프로브 핀과 연결된 각각의 케이블이 장착되는 다수 개의 케이블 연결단자와, 각 프로브 핀과 연계된 상기 케이블 연결단자 측에 상기 전원부로부터의 전압을 선택적으로 인가할 수 있도록 상기 다수 개의 케이블 연결단자와 대응되게 구비되는 다수 개의 스위치부와, 상기 스위치부의 조작에 따른 해당 케이블 연결단자 측으로의 전압 인가 시 전류 흐름을 시각적으로 확인할 수 있도록 각각의 스위치부와 대응되게 형성되는 다수 개의 LED 램프와, 각 케이블 연결단자 측으로의 전압 인가 시 해당 케이블 연결단자 측에 흐르는 전류 값을 측정하기 위한 디지털 전압계(DVM)를 포함하는 컨텍 확인장치;로 구성된다.

Description

프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템{PROBE PIN CONTACT CHECK SYSTEM OF PROBE TEST APPARATUS}

본 발명은 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판디스플레이 제품의 검사공정에서 스테이지 상면에 고정된 글라스의 회로 패턴에 전기적 신호를 가하여 회로 상태를 측정하는 프로브 핀의 상태를 신속하면서도 용이하게 검사할 수 있도록 한 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display)에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display: LCD)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 전계 방출 디스플레이 소자(Field Emission Display: FED) 등이 포함된다.

이러한 평판디스플레이의 제조에 있어서는 하부 기판의 제조공정과, 상부 기판의 제조공정, 그리고 하부 기판과 상부 기판의 합착공정 등의 공정이 진행되게 된다.

이에 대해 보다 상세히 설명하면, 하부 기판을 제조하기 위한 글래스 원판 상에 다수의 셀들을 형성하고, 이 셀에 다수의 수평 라인과 수직 라인들을 매트릭스 형태로 서로 교차하도록 형성하며, 수평 라인과 수직 라인의 교차부마다 투명한 화소 전극을 포함하는 화소 셀들을 형성한다.

그리고, 화소 셀들에는 수평 라인과 수직 라인 및 화소 전극에 접속되는 박막 트랜지스터를 형성한다.

또, 상기 글래스 원판에 형성된 다수의 셀들은 검사공정을 거친 후 스크라이빙 공정에 의해 절단이 되며, 이렇게 글래스 원판에서 절단된 다수의 셀, 즉 하부 기판 각각은 상부 기판의 제조공정에서 완성된 상부 기판과 합착되고, 화소 셀들을 구동하기 위한 구동회로 및 여러 가지 요소들이 조립됨으로써 하나의 평판디스플레이가 완성되게 된다.

이때, 상술한 바와 같은 평판디스플레이의 제조공정 중, 상기 글래스 원판에 형성된 다수의 셀에 대한 검사공정에서는 프로브 장치를 이용하여 회로패턴에 전기적인 테스트 신호를 인가함으로써 회로의 상태를 검사하게 된다.

일예로, 도 1에 도시된 바와 같은 엘시디 글라스 구성도를 참조하여 설명하면, 상기 글라스(1)는 4개의 분판으로 구성되되, 각 분판에는 휴대폰이나 TV 등에 적용되는 패널(Panel)(2)들이 형성되며, 각 패널(2)에는 테그(TEG)(3)가 존재하게 된다. 또한 상기 테그(3)에는 트랜지스터, 저항, 캐패시터 등으로 구성된 디바이스(Device)(4)들이 한 개의 모듈(Nodule)(5)로 구성되며, 상기 모듈(5)들이 모여 상기 테그(3)를 구성하게 되는 것이다.

통상적으로, 상기 모듈(5)로 구성되어 프로프 핀이 접촉되는 패드(Pad)의 개수에 따라 상기 프로브 핀의 개수가 결정되게 되는데, 이때 상술한 바와 같은 소자들의 전기적 특성을 측정하기 위해서는 정확한 프로브 핀 컨텍을 필요로 하게 된다.

여기에서, 종래에 상기 프로브 핀 컨텍의 정상여부를 판단하는 방법으로는 Leakage 측정방법 및 Pin 평탄도 확인방법이 사용되는데, 그 중 Pin 평탄도 확인방법으로는 후술하는 세 가지 방법이 주로 이용된다.

즉, 상기 프로브 핀을 측정 케이블에 연결한 후 카메라를 통해 프로브 핀을 센터에 맞추고 측정 할 디바이스 측으로 프로브 헤드를 매개로 이동하여 컨텍시킨 후 별도의 계측기(Tester)를 이용하여 디바이스가 정상적으로 출력되는지 측정하여 컨텍 유무를 확인하는 첫 번째 방법과, 글라스에 그을림을 생성한 후 컨텍을 행하여 프로브 핀의 접촉 시 그을림이 없어지는지를 판단하여 컨텍 유무를 판단하는 두 번째 방법 및, 사이드 측에 별도의 카메라를 설치하여 이를 매개로 컨텍 유무를 확인하는 세 번째 방법 등이 있다.

그러나, 첫 번째 방법은 측정 시간이 과도하게 소요되어 효율이 떨어짐과 아울러 별도의 계측기를 이용하게 되므로 이에 따른 숙련도 및 엔지니어의 동의, 지원 등이 요구되는 문제점이 발생하게 되었으며, 특히 장비마다 사용하는 프로브 핀의 개수(대략 3개 내지 25개)가 상이함에 따라 다수의 핀이 적용되는 경우, 케이블의 결속에 따른 많은 시간 및 노력이 요구되는 문제점이 발생하게 되었다.

또한, 두 번째 방법은 프로브 핀을 컨텍시킨 후 분리하여 육안으로 검사하게 되므로, 정확성이 떨어짐과 아울러 그을림으로 인해 프로브 핀에 이물질 흡착될 수 있는 문제점이 발생하게 되는 한편, 세 번째 방법은 별도의 카메라를 설치함에 따른 비용증대의 문제점이 발생하게 되었다.

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 프로브 검사장치의 스테이지 상면에 고정된 엘시디 글라스의 회로 패턴에 전기적 신호를 인가하여 회로 상태를 측정하기 위한 프로브 핀의 컨텍 유무를 간편한 방법으로 신속 정확하게 확인할 수 있도록 한 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템을 제공하고자 하는 것이다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템은, 프로브 검사장치의 스테이지 상면에 구비되며, 특정 저항 값을 갖는 도체성 금속재질로 이루어져 체크를 위한 프로브 핀이 선택적으로 접촉되되 금속판 또는 글라스 표면에 에칭을 통해 이루어진 금속막이 형성된 패드 및; 상기 패드에 접촉되는 프로브 핀과 케이블을 매개로 연결되어, 각 프로브 핀의 접촉 여부를 확인하도록 이루어지되, 상기 프로브 핀의 접촉 여부 확인을 위한 소정 전원을 장치에 공급하는 전원부와, 각 프로브 핀과 연결된 각각의 케이블이 장착되는 다수 개의 케이블 연결단자와, 각 프로브 핀과 연계된 상기 케이블 연결단자 측에 상기 전원부로부터의 전압을 선택적으로 인가할 수 있도록 상기 다수 개의 케이블 연결단자와 대응되게 구비되는 다수 개의 스위치부와, 상기 스위치부의 조작에 따른 해당 케이블 연결단자 측으로의 전압 인가 시 전류 흐름을 시각적으로 확인할 수 있도록 각각의 스위치부와 대응되게 형성되는 다수 개의 LED 램프를 포함하는 컨텍 확인장치로 구성된 것;을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 컨텍 확인장치에는 각 케이블 연결단자 측으로의 전압 인가 시, 해당 케이블 연결단자 측에 흐르는 전류 값을 측정하기 위한 디지털 전압계(DVM)가 더 구비되어 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 컨텍 확인장치의 각 스위치부는 한 쌍씩의 케이블 연결단자와 대응되게 설계되어 구성됨이 바람직하다.

상기에서 설명한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 프로브 검사장치에서의 프로브 핀 교체 후, 프로브 핀의 컨텍 이상 유무를 확인할 시에 종래의 시간 및 비용이 많이 소요되는 문제점을 해소할 수 있는 효과가 있게 된다.

즉, 프로브 검사장치에서의 프로브 핀 교체 시 프로브 핀의 컨텍 이상 유무를 매우 신속하고 용이하게 확인할 수 있는 효과가 있게 되며, 이를 통해 장비의 효율적인 운용이 가능한 효과가 있게 되는 것이다.

도 1은 일반적인 엘시디 글라스의 구성을 나타내는 도면,
도 2는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 시스템이 적용되는 프로브 검사장치의 개략적인 구성을 나타내는 도면,
도 3은 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템에서 프로브 핀이 컨텍되는 패드의 구성을 나타내는 도면,
도 4는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템에 구비되는 컨텍 확인장치의 외부구성을 나타내는 도면,
도 5는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템에 구비되는 컨텍 확인장치의 내부구성을 나타내는 도면이다.

이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 시스템이 적용되는 프로브 검사장치의 개략적인 구성을 나타내는 도면, 도 3은 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템에서 프로브 핀이 컨텍되는 패드의 구성을 나타내는 도면, 도 4는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템에 구비되는 컨텍 확인장치의 외부구성을 나타내는 도면, 도 5는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템에 구비되는 컨텍 확인장치의 내부구성을 나타내는 도면이다.

먼저, 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템은, 프로브 검사장치의 스테이지 상면에 고정된 엘시디 글라스(1)의 회로 패턴에 전기적 신호를 인가하여 회로 상태를 측정하기 위한 프로브 핀(310)의 교체 작업 후, 프로브 핀(310)의 컨텍 유무를 신속하면서도 용이하게 확인 가능하도록 구현된다.

주지된 바와 같이, 평판디스플레이용 프로브 검사장치는 수평 및 수직라인의 교차부에 트랜지스터가 형성되어 구성되는 FPD 글라스의 검사를 수행하기 위한 것으로서, 소정 지지부재(도시안됨)를 매개로 일정 높이를 갖는 지점에 고정 설치되는 플레이트 상에 글라스(1)의 안치를 위한 스테이지(100)가 형성되고, 그 상측에는 글라스(1)에 형성된 전극 및 패드 등에 선택적으로 접촉하면서 트랜지스터의 특성을 측정하는 프로브핀(310)이 구비된 프로브 헤드(300)가 다수 개 설치되며, 상기 각각의 프로브 헤드(300)는 리니어 모터(200)를 매개로 X축 및 Y축으로 이송 가능하게 구성된다.

여기에서, 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템은, 상기 프로브 검사장치의 스테이지(100) 상면에 구비되는 금속판 또는 글라스 표면에 에칭을 통해 이루어진 금속막이 형성된 패드(10) 및, 각 프로브 핀(310)의 컨텍 유무를 확인할 수 있도록 상기 패드(10)에 접촉된 프로브 핀(310)과 케이블(40)을 매개로 연결되는 컨텍 확인장치(20)를 포함하여 구성된다.

상기 패드(10)는 표준 저항성분인 특정 저항 값(예컨데, 10k[Ω])을 갖는 도체성 금속재질로 이루어져, 컨텍 유무의 확인을 위한 다수 개의 프로브 핀(310)이 직접 접촉되도록 이루어진다.

상기 패드(10)는 프로브 검사장치의 스테이지(100) 상면 일측에 고정 설치되어 구성되거나, 또는 휴대가 가능한 별도의 부재로 구성될 수도 있다.

그리고, 상기 패드(10)와 연계되는 컨텍 확인장치(20)는 전원부(22)와, 케이블 연결단자(24)와, 스위치부(26)와, LED 램프(28) 및, 디지털 전압계(DVM)(50) 등을 포함하여 구성되며, 휴대가 가능한 별도의 부재로 구성되거나, 프로브 검사장치의 프로브 헤드(300) 등의 일정 지점에 장착되어 구성될 수도 있다.

상기 전원부(22)는 상기 컨텍 확인장치(20)를 통해 프로브 핀(310)의 접촉 여부 확인할 수 있도록 장치에 소정 전원을 공급하게 되는데, 본 발명의 실시예에서 상기 전원부는 DC 12[V]의 전원을 장치에 공급하도록 이루어지며, 메인스위치(23)의 조작을 통해 전원공급이 온.오프 되도록 구성된다.

상기 케이블 연결단자(24)는 프로브 검사장치의 프로브 헤드(300)에 장착된 해당 프로브 카드의 각 프로브 핀(310)에 연결된 각각의 케이블(40)이 연결되어 각 프로브 핀(310)의 컨텍 유무를 확인할 수 있도록 다수 개의 단자로 이루어져 구성되며, 상기 스위치부(26)는 상기 각각의 프로브 핀(310)과 연계된 상기 케이블 연결단자(24) 측에 상기 전원부(22)로부터의 전원을 선택적으로 인가할 수 있도록 상기 다수 개의 케이블 연결단자(24)와 대응되게 다수 개의 스위치가 배열되어 구성된다.

이때, 상기 스위치부(26)는 토글 스위치 또는 푸쉬버튼 스위치 등으로 구성할 수가 있으며, 각 스위치부(26)는 한 쌍씩의 케이블 연결단자(24)와 대응되게 설계되어 구성됨이 바람직하다.

그리고, 상기 LED 램프(28)는 상기 각각의 스위치부(26) 조작을 통해 해당 케이블 연결단자(24) 측으로 전압이 인가된 상태에서, 해당 프로브 핀(310)의 전류 흐름을 시각적으로 확인할 수 있도록 각각의 스위치부(26)와 대응되게 형성되어 구성된다.

또한, 상기 컨텍 확인장치(20)에는 디지털 전압계(DVM)(30)가 추가로 구성되어, 상기 스위치부(26)의 조작에 따른 각 케이블 연결단자(24) 측으로의 전압 인가 시, 해당 케이블 연결단자(24) 측에 흐르는 전류 값을 정확히 산출할 수 있도록 구성된다.

이어, 상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 작용에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 소정 엘시디 글라스(1)에 대한 테스트 공정을 진행하기 위해서는, 해당 엘시디 글라스와 대응되는 소정 개수의 프로브 핀(310)이 구비된 프로브 카드를 프로브 헤드(300)에 장착함과 아울러, 상기 프로브 헤드(300)를 상기 패드(10)가 위치한 스테이지(100) 상측으로 이동시킨 후 상기 프로브 카드의 프로브 핀(310)들이 특정 저항성분을 갖도록 이루어진 상기 패드(10)에 컨텍 되도록 한다.(도 3의 "A" 참조)

이때, 상기 다수의 프로브 핀(310)의 컨텍 유무를 확인하기 위해, 상기 각각의 프로브 핀(310)에 그 일단이 연결된 케이블(40)의 타단을 상기 컨텍 확인장치(20)의 케이블 연결단자(24)에 연결시킨다.

각각의 프로브 핀(310)과 연결된 다수의 케이블(40)은 상기 케이블 연결단자(24)의 왼쪽 상단부터 연결시킴이 바람직하다.

그리고, 상기 케이블 연결단자(24)에 각 프로브 핀(310)과 연결된 케이블(40)의 타단을 모두 연결시킨 후에는 상기 전원부(22)의 메인스위치(23)를 온(ON) 시켜 장치에 소정 전원이 공급되도록 한 상태에서, 한 쌍의 케이블 연결단자(24)와 연결된 각 스위치부(26)를 순차적으로 조작한다.

즉, 소정 스위치부(26)를 온(ON) 시킴에 따라, 그와 연결된 한 쌍의 케이블(40)을 통해 전압이 흐르게 되며, 그 상태가 대응되는 LED 램프(28)에 표시됨에 따라, 작업자는 해당 프로브 핀(310)의 컨텍 유무를 육안으로 용이하게 확인할 수가 있게 된다.

이때, 상기 디지털 전압계(30)를 통해서는 해당 프로브 핀(310)에 흐르는 전류 값을 산출할 수가 있는데, 즉 전류의 세기는 두 점 사이의 전위차에 비례하고 전기저항에 반비례 한다는 옴의 법칙을 통해, "전류 = 전압 / 저항" 으로 이루어진 공식을 통해 전류 값을 산출할 수가 있게 된다.

예컨데, 10k[Ω]의 전기저항을 갖는 패드(10)에 상기 프로브 핀(310)이 접촉한 상태에서 상기 디지털 전압계(30)에 10[V]가 표시되는 경우, 이를 상술한 공식에 대입하면 전압 10[v] / 저항 10k[Ω] = 전류 1[A]를 통해 전류 값 1[A]가 나옴을 확인할 수가 있다.

따라서, 본 발명을 통해서는 프로브 검사장치에서의 프로브 핀(310) 교체 후, 프로브 핀(310)과 연결된 케이블(40)을 컨텍 확인장치(20)에 연결시키고, 스위치부(26)를 조작하여 프로브 핀(310)의 컨텍 이상 유무를 간편하게 확인할 수가 있게 되는 것이다.

한편, 본 발명에서 기재된 내용과 다른 변형된 실시예들이 돌출 된다고 하더라도 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명에 첨부된 청구범위 내에 속하게 됨은 물론이다.

1: 글라스, 10: 패드(PAD),
20: 컨텍 확인장치, 22: 전원부,
24: 케이블 연결단자, 23: 메인스위치,
26: 스위치부, 28: 엘이디(LED) 램프,
30: 디지털 전압계(DVM), 40: 케이블,
100: 스테이지, 200: 리니어 모터,
300: 프로브 헤드, 310: 프로브 핀.

Claims (3)

1. 프로브 검사장치의 스테이지 상면에 구비되며, 표준 저항성분인 특정 저항 값을 갖는 도체성 금속재질로 이루어져 체크를 위한 프로브 핀이 선택적으로 접촉되되 금속판 또는 글라스 표면에 에칭을 통해 이루어진 금속막이 형성된 패드 및;
   상기 패드에 접촉되는 프로브 핀과 케이블을 매개로 연결되어, 각 프로브 핀의 접촉 여부를 확인하도록 이루어지되, 상기 프로브 핀의 접촉 여부 확인을 위한 일정 전압의 전원을 장치에 공급하는 전원부와, 각 프로브 핀과 연결된 각각의 케이블이 장착되는 다수 개의 케이블 연결단자와, 각 프로브 핀과 연계된 상기 케이블 연결단자 측에 상기 전원부로부터의 전압을 선택적으로 인가할 수 있도록 상기 다수 개의 케이블 연결단자와 대응되게 구비되는 다수 개의 스위치부와, 상기 스위치부의 조작에 따른 해당 케이블 연결단자 측으로의 전압 인가 시 전류 흐름을 시각적으로 확인할 수 있도록 각각의 스위치부와 대응되게 형성되는 다수 개의 LED 램프를 포함하는 컨텍 확인장치로 구성된 것;을 특징으로 하는 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 컨텍 확인장치에는 각 케이블 연결단자 측으로의 전압 인가 시, 해당 케이블 연결단자 측에 흐르는 전류 값을 측정하기 위한 디지털 전압계(DVM)가 더 구비되어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템.
3. 제 1항에 있어서,
   상기 컨텍 확인장치의 각 스위치부는 한 쌍씩의 케이블 연결단자와 대응되게 설계되어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치의 프로브 핀 컨텍 체크 시스템.

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