JP2012251811A - 電気的接続装置及びこれを用いる試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気的接続装置は、電極が設けられた平面を有する被検査体の電気検査に用いられ、前記被検査体の前記平面に間隔をおいて該平面に対向して配置される対向面領域を備える支持体と、前記電極に接触されるべき針先部を有し、該針先部が前記電極に接触可能に前記対向面領域から突出する複数のプローブと、前記対向面領域に張り巡らされた少なくとも1つの配線であって互いに近接して並行に延び前記対向面領域から露出する複数の近接部分を有する配線と、前記近接部分での短絡又は前記配線の断線を検知可能な電気計測装置に前記配線を電気的に接続するための、各配線に電気的に接続された検知用電極とを含む。
【選択図】 図3
Description
12、412 被検査体
12a、412a 被検査体の電極
24、224、324、424 支持体
24A、224A、334A、424A 対向面領域
26、126、226、326、426 プローブ
26a、126a、226a、326a、426a 基部
26b、126b、226b、326b、426b 針先部
28 配線
34 検出用電極
Claims (8)
- 電極が設けられた平面を有する被検査体の電気検査に用いられる電気的接続装置であって、
前記被検査体の前記平面に間隔をおいて該平面に対向して配置される対向面領域を備える支持体と、
前記電極に接触されるべき針先部を有し、該針先部が前記電極に接触可能に前記対向面領域から突出する複数のプローブと、
前記対向面領域に張り巡らされた少なくとも1つの配線であって互いに近接して並行に延び前記対向面領域から露出する複数の近接部分を有する配線と、
前記近接部分での短絡又は前記配線の断線を検知可能な電気計測装置に前記配線を電気的に接続するための、各配線に電気的に接続された検知用電極とを含む、電気的接続装置。 - 前記対向面領域は、複数の区域であってそれぞれに1つ又は複数の前記配線が独立的に設けられた複数の区域に分けられる、請求項1に記載の電気的接続装置。
- さらに、前記被検査体に間隔をおいて前記平面に平行に配置可能であり、前記支持体を前記被検査体に向き合う面に保持した配線基板を含み、
該配線基板は、前記検知用電極と、前記プローブに電気的に接続されたテスタ電極と、前記検知用電極及び前記テスタ電極にそれぞれ接続された第1及び第2の配線路とを備え、
前記支持体は、前記配線と前記第1の配線路との間に介在して前記配線と前記検知用電極とを電気的に接続する第3の配線路と、前記プローブと前記第2の配線路との間に介在して前記プローブと前記テスタ電極とを電気的に接続する第4の配線路とを有する、請求項1又は2に記載の電気的接続装置。 - さらに、前記配線基板と前記支持体との間に介在して前記配線基板及び前記支持体に取り付けられた保持ブロックを含み、
前記支持体は、一方の面が前記保持ブロックに取り付けられた第1のシート状部材と、一方の面が前記第1のシート状部材の他方の面に貼り付けられ、他方の面が前記対向面領域を備える第2のシート状部材とを有し、
前記第3及び第4の配線路は、前記第1及び第2のシート状部材の間を両シート状部材に沿って延びる、請求項3に記載の電気的接続装置。 - 前記プローブは、前記第2のシート状部材をその厚さ方向に貫通する基部であって前記第4の配線路に接続され、該第4の配線路から前記被検査体に向けて延びる基部と、該基部の延長端から前記第2のシート状部材の前記対向面領域に間隔をおいて該対向面領域に平行に延びるアーム部とを有し、
前記針先部は、前記アーム部の延長端から前記被検査体に向けて延びる、請求項4に記載の電気的接続装置。 - さらに、前記被検査体に間隔をおいて平行に配置可能であり、前記支持体を保持した配線基板を含み、
該配線基板は、前記被検査体に向き合う一方の面に、前記複数のプローブが当接された複数のプローブランドを備え、
前記支持体は、相互に間隔をおいて向き合う第1及び第2の板状部材と、該第1及び第2の板状部材と共同して中空部を有する箱を形成するように該第1及び第2の板状部材の間に配置された枠状部材とを備え、
前記第1の板状部材は、前記配線基板の前記プローブランドが設けられた部分に前記配線基板と平行に保持され、
前記第2の板状部材は、前記第1の板状部材に向き合う面と反対の面に前記対向面領域を有し、
前記プローブは、その一端を前記プローブランドに当接させ、前記プローブランドから前記被検査体に向けて直線状に延び、前記第1の板状部材、前記中空部及び前記第2の板状部材を通って前記箱を貫通し、前記対向面領域から突出する、請求項1又は2に記載の電気的接続装置。 - さらに、前記被検査体の外方に配置され、前記支持体を取り付けられたプローブ装置の本体を含み、
前記支持体は、前記本体から前記被検査体に向けて延びるシート状に形成され、その一方の面に前記対向面領域を有し、その延長端に前記プローブが設けられている、請求項1又は2に記載の電気的接続装置。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の電気的接続装置と、前記検知用電極に電気的に接続された前記電気計測装置とを含む、試験装置。
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