TWI498570B - 基板檢查裝置 - Google Patents

Description

基板檢查裝置

本發明係關於一種基板檢查裝置，更詳而言之，係關於一種以更簡易之構造而具有使用性良好的基板檢查裝置。

另外，本發明不限定於印刷配線基板，例如亦可適用於形成於可撓性基板、多層配線基板、液晶顯示器或電漿顯示器用之電極板、及半導體封裝用之封裝基板或薄膜載體(film carrier)等各種基板或半導體晶圓等之電配線之檢查，而在本說明書中，係將該等各種檢查基板總稱為「基板」。

以往，實施基板檢查之基板檢查裝置，需在短時間內且高效率地檢查處理大量製造之基板，而提出一種如專利文獻1所揭示之大型基板檢查裝置。

在此種大型基板檢查裝置中，係藉由將檢查對象之基板予以連續地進行檢查處理來檢查處理大量的基板。

此種大型基板檢查裝置在僅檢查少量的基板時或檢查試作基板時，效率反而較差，而且由於費用極為昂貴，因此即使在大規模工廠中有導入，然而在小規模工廠中，通常不予導入。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]

日本專利特開2005-227056號公報

根據此種實情，乃希望提出一種在檢查對象之基板非大量時或無法導入高價的裝置時，換言之，檢查對象之基板為少量時、或檢查試作之基板時、或新興國家中多數作業員可從事於檢查作業時，均可效率良好地實施檢查，而且以簡易之構造謀求成本降低之基板檢查裝置。

本發明係有鑑於此種實情而研創者，其係提供一種具有簡易之構造，並且可效率良好地實施檢查之基板檢查裝置。

申請專利範圍第1項之發明係一種基板檢查裝置，其係實施形成有做為檢查對象之配線之基板的導通及/或短路檢查，其特徵為具有載置台，其係具有用以載置前述基板之載置面；且具有：電源手段，產生用以實施成為前述檢查對象之配線之檢查的檢查信號；判定手段，根據從成為前述檢查對象之配線所檢出之檢出信號來實施該配線之檢查；及連接手段，將來自前述電源手段之檢查信號傳遞至前述配線，並且將來自前述配線之檢出信號傳遞至前述判定手段，且配置於前述載置面之表面；前述連接手段係具有：第一連接部，將前述電源手段與前述配線之一端予以電連接；及第二連接部，將前述配線之另一端與前述判定手段予以電連接。

申請專利範圍第2項之發明係如申請專利範圍第1項之基板檢查裝置，其中前述第一連接部係具有：電源連接部，與前述電源手段接觸連接；一端連接部，與前述配線之一端接觸連接；及第一配線部，將前述電源連接部與前 述一端連接部予以連接；前述第二連接部係具有：另一端連接部，與前述配線之另一端非接觸連接；判定連接部，與前述判定手段接觸連接；及第二配線部，將前述另一端連接部與前述判定連接部予以連接。

申請專利範圍第3項之發明係如申請專利範圍第2項之基板檢查裝置，其中前述一端連接部係由自前述連接手段之表面突出之導電性彈性體所形成。

申請專利範圍第4項之發明係如申請專利範圍第1至3項中任一項之基板檢查裝置，其中具有用以將前述基板予以吸附固定於前述連接手段之吸引手段；前述連接手段係由形成有複數個的厚度方向貫通孔的板狀構件所形成，該貫通孔係成為前述吸引手段之通氣路徑。

申請專利範圍第5項之發明係如申請專利範圍第1項之基板檢查裝置，其中前述載置台係於其上面載置有前述連接手段。

申請專利範圍第6項之發明係如申請專利範圍第2項之基板檢查裝置，其中具有使前述一端連接部與前述配線之一端壓接之推壓手段。

申請專利範圍第7項之發明係如申請專利範圍第2項之基板檢查裝置，其中前述電源連接部係與前述電源手段或前述判定手段切換連接。

依據申請專利範圍第1項之發明，係可提供一種基板檢查裝置，其係以將做為檢查對象之基板與基板檢查裝置予以連接之連接手段配置於基板檢查裝置之載置面之表面，且該連接手段具有將電源手段與配線之一 端予以電連接之第一連接部及將配線之另一端與判定手段予以電連接之第二連接部之方式形成，藉此即可效率良好地實施檢查，而且可以簡易之構造而謀求成本降低。

依據申請專利範圍第2項之發明，由於第一連接部具有與電源手段接觸連接之電源連接部、與配線之一端接觸連接之一端連接部、及將電源連接部與一端連接部予以連接之第一配線部，而第二連接部具有與配線之另一端非接觸連接之另一端連接部、與判定手段接觸連接之判定連接部、及將另一端連接部與判定連接部予以連接之第二配線部，因此可以簡單的構造來形成連接手段。

依據申請專利範圍第3項之發明，由於一端連接部係由自連接手段之表面突出之導電性彈性體所形成，因此可使配線之一端與該一端連接部穩定地導通連接。

依據申請專利範圍第4項之發明，由於係由具有用以將基板予以吸附固定於連接手段之吸引手段而成，此外，因為連接手段係由形成有複數個厚度方向之貫通孔的板狀構件所形成，該貫通孔係成為該吸引手段之通氣路徑，可在連接手段之上面載置基板，而可將基板檢查裝置設計成更簡易的構造。

依據申請專利範圍第5項之發明，由於載置台係於上面載置有前述連接手段，因此可以簡易的構造來形成基板檢查裝置。

依據申請專利範圍第6項之發明，由於具有使一 端連接部與配線之一端壓接之推壓手段，因此實施檢查時，使用此推壓手段，可將配線之一端與一端連接部予以更穩定地導通連接。

依據申請專利範圍第7項之發明，由於電源連接部係與電源手段或判定手段切換連接，因此可實施配線之短路檢查。

茲說明用以實施本發明之最佳形態。

本發明之基板檢查裝置1係具有下列所構造：載置台2、電源手段3、判定手段4、連接手段5、吸引手段6、推壓手段7、輸出手段8、輸入手段9。

基板檢查裝置1係可檢查形成有複數個做為檢查對象之配線之基板之良/不良，所謂此基板之良/不良，係為形成於基板之配線之導通檢查或短路檢查結果。

本基板檢查裝置1係使用用以與做為檢查對象之基板W進行電連接之連接手段5，藉此即可適宜實施檢查。

本基板檢查裝置1作為檢查對象之基板，雖未特別予以限定，惟亦可使用僅在基板之一面側形成配線，且配線之兩端(一端與另一端)部形成於同一面上之基板。

在圖3所示之基板W中係形成有複數條配線T，該配線T係具有：沿著基板W之裡側之一邊所形成之配線之一端T1、在基板W之大致中央具有預定寬度所形成之形成為三角形狀之另一端T2、及將該一端T1與另一端T2連接並且沿著基板W之周緣所形成之配線部T3。在圖3之基板W中，形成於中央之另一端T2係交互配置，而各個配線部T3係分開為左右而形成。另外，複數條配線T之一端T1係排列於基板W之一邊的大致中央而形成。

因此，所謂此等配線T之檢查，係可檢查各個一端T1經由配線部T3至另一端T2是否為導通狀態、及檢查對象之配線T是否有與鄰接之配線T產生短路(是否有短路不良)。

本基板檢查裝置1係具備具有用以載置基板W之載置面的載置台2。此載置台2係如圖1(a)或(b)所示，形成為大致長方體的筐體，而該長方體之上面21係可發揮作為載置面功能。

此載置台2所具有之載置面，如上所述係配置有基板W，因此形成為具有較做為檢查對象之基板W更大之面積。

在此載置台2之內部，係收納有基板檢查裝置1之動作所需之功能或零件，藉由將此等收納於內部，而謀求基板檢查裝置之緊密化或小型化。另外，詳細內容雖將於後陳述，惟在此載置台2之正面22，亦可形成有一部分斜面23，在此斜面23係形成有用以操作基板檢查裝置1之操作按鍵等之操作部24。

在圖1(a)所示之載置台2中，係設有用以實施基板檢查之啟動按鍵24a、用以控制後述之吸引手段6之動作之ON/OFF開關24b、及用以重設檢查之重設按鍵24c。

電源手段3係產生用以對做為檢查對象之配線T實施導通/或短路之檢查的檢查信號。藉由此電源手段3所產生之檢查信號，只要可實施配線T之檢查，並無特別限定，亦可使用直流電源或交流電源等。此外，詳細內容雖將於後陳述，惟實施非接觸式之檢查時，係以使用供給交流電壓源或矩形波之電壓之電壓源作為電源手段3為佳。

另外，此電源手段3之輸出，係依據檢查對象之配線T之電阻值等而由使用者適當調整。

判定手段4係根據從做為檢查對象之配線T所檢出之檢出信號來實施此配線T之檢查。此判定手段4所接收之檢出信號，係為連接手段5從配線T所檢出之電信號。此判定手段4所實施之判定，係預先設定可判定為良品之閥值，且將所接收之檢出信號與此閥值進行比較。此時，判定手段4係若當檢出信號值存在於此閥值之間時則判定為「良」，而若當檢出信號值不存在於此閥值之間時則判定為「不良」。

此判定手段4係具備用以測定從配線所檢出之檢出信號之電壓計或電流計。藉由使用此等電壓計或電流計，即可適當測定檢出信號之電壓值或電流值。判定手段4係使用此等檢出值而如上所述來實施判定。

圖4係為顯示連接手段之一實施形態之概略圖，(a)係顯示表面，(b)係顯示背面。此連接手段5係將來自電源手段3之檢查信號予以傳遞至做為檢查對象之配線T。此外，此連接手段5係從檢查對象之配線T檢出檢出信號，且將此檢出信號予以傳遞至判定手段4。藉由此連接手段5，即可將來自基板檢查裝置1之檢查信號予以供給至配線T，且從配線T將檢出信號予以傳遞至基板檢查裝置1。

連接手段5係以由可將複數條配線形成於表面與背面之基板等之板狀構件所形成為佳。詳細內容雖將於後陳述，此係由於藉由形成於此等基板，即可將用以連接電源手段3與預定之配線T之一端T1、或用以連接配線T之另一端T2與判定手段4之電配線，依據檢查對象之基板而廉價且簡易地來製作之故。

此連接手段5係配置於載置台2之載置面(上面21)之表面。此連接手段5亦可配置於載置台2之上面21，且在其上方配置有檢查對象之基板W。因此，上面21、連接手段5與基板W係可依序積層而配置。

連接手段5係具有：將電源手段3與配線T之一端T1予以電連接之第一連接部51、及將配線T之另一端T2與判定手段4予以電連接之第二連接部52。

此第一連接部51係將自電源手段3所供給之檢查信號予以傳遞至配線T之一端T1。

第一連接部51係具有：與電源手段3接觸連接之電源連接部511、與配線T之一端T1接觸連接之一端連接部512、及將電源連接部511與一端連接部512予以連接之第一配線部513。

電源連接部511係於圖4(b)所示之背面的左端形成有複數個。此電源連接部511係以與從電源手段3配線而從載置台2之上面21突出之端子(未圖示)導通接觸之方式形成。因此，電源連接部511係例如可形成作為圓形狀導電性襯墊(pad)。在圖4(b)中，雖係於連接手段5之背面形成有複數個電源連接部511，惟亦可依據做為檢查對象之基板W之配線T的數量來利用。

另外，從此電源手段3突出之端子，係可使用針狀或棒狀接觸子，而此端子係與電源連接部511壓接而成為電連接。

一端連接部512係於圖4(a)所示之表面之連接手段5之一邊的中央周緣(圖4(a)所示之上方部)形成有複數個。此一端連接部512係與配線T之一端T1導通連接，藉此而可將來自電源手段3之檢查信號予以傳遞至該一端T1。在圖4(a)之實施形態中，雖係並設有7個一端連接部512，惟設有一端連接部512之個數或場所，亦可依據做為檢查對象之配線T之數量而適當變更。

此一端連接部512係以從連接手段5之表面突出形成為佳。此係由於檢查對象之基板W載置於此連接手段5時，可使一端連接部512與配線T之一端T1確實接觸之故。再者，此一端連接部512係以藉由導電性橡膠等之導電性彈性體形成為佳。

第一配線部513係為將電源連接部511與一端連接部512予以電連接之導電配線。此第一配線部513在圖4之實施形態中，係從位於背面之電源連接部511延設而配線至配置有一端連接部512之背側，且配線成從配置有一端連接部512之連接手段5之背側朝表面貫通，及設置成與一端連接部512連接。

此第一配線部513係採用通常形成於基板W之形成為電性電路用之導電配線。

如上所述，第一連接部51之電源連接部511雖係連接於電源手段3，惟亦可連接於判定手段4。此係在基板檢查裝置1設有切換手段(未圖示)，以可將第一連接部51之電連接在電源手段3與判定手段4切換。

此切換手段係設定成可將第一連接部51之連接在電源手段3與判定手段4切換，藉此設定成可實施檢查對象之配線T之導通/短路任一項之檢查。

電源連接部511連接於電源手段3時，係實施檢查對象之配線T之導通檢查，而於電源連接部511連接於判定手段4時，係實施檢查對象之配線T之短路檢查。

第二連接部52係具有：與配線T之另一端T2非接觸連接之另一端連接部521、與判定手段4接觸連接之判定連接部522、及將另一端連接部521與判定連接部522予以連接之第二配線部523。

另一端連接部521係由與配線T之另一端T2非接觸連接之電極板所形成，藉由此電極板與另一端T2靜電電容結合，即可接收從配線T所檢出之檢出信號。在圖4(a)所示之實施形態中，係以沿著基板W之兩端(基板之對向之邊)對向之方式配置有一對電極板(參照圖4(a)所示之符號521a與521b)，以使該另一端連接部521可非接觸連接於檢查對象之配線T之端部。

另一端連接部521之製造方法只要可與配線T之另一端T2非接觸連接，則並無特別限定，例如亦可將導電性電極板黏附於基板表面，且藉由從其上方覆蓋絕緣膜來形成。

另外，成為導通檢查之對象之配線T，係以形成經由一端連接部512、配線T之一端T1、配線T之另一端T2與另一端連接部521之閉合電路之方式設定。

判定連接部522係以與從判定手段4配線而從載置台2之上面21突出之端子(未圖示)導通連接之方式形成。因此，判定連接部522係例如可形成作為圓形狀之導電性襯墊。在圖4(b)中，在連接手段5之背面雖係形成有2個與另一端連接部521對應之判定連接部522，惟亦可依據另一端連接部521之數量而形成。

另外，此從判定手段4突出之端子，係可使用針狀或棒狀接觸子，而此端子係與判定連接部522壓接而成為電連接。

第二配線部523係為將另一端連接部521與判定連接部522予以電連接之導電配線。此第二配線部523在圖4之實施形態中，係從位於背面之判定連接部522延設而配線至配置有另一端連接部521之一側端部之背側，且配線成從配置有另一端連接部521之連接手段5之背側朝表面貫通，及設置成與另一端連接部521連接。

此第二配線部523係採用通常形成於基板之電性電路用所形成之導電配線。

在此連接手段5中，係形成有複數個成為後述之吸引手段6之通氣路徑之貫通孔53。

在圖4所示之實施形態中，係以此貫通孔53形成有複數個成格子狀，且以使吸引力均勻地作用於連接手段5之表面之方式設置為佳。此貫通孔53之大小及數量雖無特別限定，惟亦可依據吸引手段6之能力而由使用者來適當調整。另外，連接手段5為由板狀構件所形成時，係以朝此板狀構件之厚度方向貫通之方式形成貫通孔53。

連接手段5係於載置於載置台2之上面21時，形成有成為基準位置之安裝孔54。此安裝孔54係以分別形成於連接手段5之4個角落為佳，以正確配置連接手段5與載置台2。藉由如此形成，即使連接手段5因應做為檢查對象之基板W而變更，亦可藉由將從載置台2之上面21突設之導銷(guide pin)(未圖示)嵌合於此安裝孔54，而節省每次定位的步驟。

連接手段5雖係將做為檢查對象之基板W載置於其表面，惟為了將此基板W載置於預定位置，亦可設置基準孔55。此基準孔55係以將設置成從載置台2之上面21朝上方突出之支柱(未圖示)貫通此基準孔55之方式配置連接手段5。另外，在圖1(a)所示之情形中，係利用L字形之定位構件56作為支柱，且已將基板W推抵於L字之角部之方式來進行定位。

吸引手段6係供給用以將基板W予以吸附固定於連接手段5之吸引力。此吸引手段6係藉由使用上述連接手段5之通氣路徑53，而可將檢查對象之基板W予以適當地固定。另外，此吸引手段6係收容於載置台2之內部。另外，如圖1(a)所示，亦可在載置台2之一部分斜面23，設置控制此吸引手段6之動作之ON/OFF開關24b。

推壓手段7係使一端連接部512與配線T之一端T1壓接。於載置台2載置有連接手段5且於連接手段5載置有基板W時，雖係配線T之一端T1與一端連接部512相對向連接配置，惟為了使此一端T1與一端連接部512更為穩定地接觸連接，此推壓手段7亦可將一端T1與一端連接部512以與載置台2之上面21挾持之方式推壓。

藉由如此設置推壓手段7，即可使之更為穩定地接觸連接。

此推壓手段7係配置於載置台2之上面21之上方，且以可將載置於連接手段5之基板W推壓之方式，藉由手動或自動來上升/下降。

輸出手段8係輸出關於做為檢查對象之基板之資訊或檢查對象之基板之檢查結果資訊。此輸出手段8係例如可使用顯示手段81或印刷手段82或顯示燈83。

顯示手段81係例如可利用監視器或顯示器，可用以顯示判定手段4之判定結果或檢查中之狀況。印刷手段82係可例如利用印表機等之印刷機，用以印刷判定手段4之判定結果或檢查中之狀況、或映出於顯示手段81之畫面資訊。在圖1(a)所示之一實施形態中，係設有3個顯示燈83，合格時，依據導通不良之情形與短路不良之情形，以任一個顯示燈83點燈之方式形成。

另外，此等輸出手段8係可由使用者適當調整加以利用。

輸入手段9係將關於基板W之資訊或關於檢查順序之資訊等與檢查有關之資訊予以輸入於基板檢查裝置1。

此輸入手段9係可例如使用鍵盤91或滑鼠92等之輸入機器。

在此基板檢查裝置1中，亦可設置未圖示之記憶手段。在此記憶手段中，亦可設定成儲存與檢查順序或判定閥值等之檢查相關之資訊，以使上述各手段自動動作而實施檢查。另外，亦可使此記憶手段記憶檢查結果。

以上係為本發明之基板檢查裝置1之構造之說明。

接著說明本基板檢查裝置1之動作。

圖5係為顯示在本基板檢查裝置1載置做為檢查對象之基板W，且實施檢查之情形之概略平面圖。

使用本基板檢查裝置1而實施基板W之檢查時，首先，係形成與做為檢查對象之基板W對應之連接手段5。此時，此連接手段5係因應基板W之配線T之形狀而形成。在檢查圖3所示之基板W時，係可形成14條做為檢查對象之基板W之配線T。

為了檢查此種基板W，連接手段5之第一連接部51之電源連接部511係形成有14個，且從此等電源連接部511分別形成有第一配線部513，而連接於各個一端連接部512。

另外，此圖4所示之一端連接部512係形成有7個，藉由將來自電源手段3之檢查信號從預定的端子供給，而得以選擇檢查對象之配線。一端連接部512雖亦可形成為與檢查對象之配線T相同數量，惟亦可形成為共通而導通連接於複數條之配線T之一端T1。

連接手段5係因應檢查對象之基板W而形成第二連接部52。此第二連接部52之另一端連接部521，係以可與配線T之另一端T2非接觸連接之方式而形成有二個板狀電極部(第一電極部521a與第二電極部521b)。此時之另一端連接部521係以沿著複數條配線T之另一端T2而與此等另一端T2對向之方式配置有第一電極部521a與第二電極部521b，以可與複數條配線T之另一端T2非接觸連接。

此第一電極部521a係配置成可接收基板W之配線T之另一端T2配置於基板W之左側部(參照圖5)之配線T之檢出信號，而第二電極部521b係配置成可接收基板W之配線T之另一端T2配置於基板W之右側部之配線T之檢查信號。

當連接手段5之第一連接部51與第二連接部52因應檢查對象之基板W製造時，係可使用輸入手段9將與用以實施基板W之檢查之檢查順序或判定閥值等之檢查相關之資訊而輸入於基板檢查裝置1。

當連接手段5如上所述因應檢查對象之基板W而形成各部位時，則載置於基板檢查裝置1之載置台2。此時，藉由將連接手段5之安裝孔54嵌合於從載置台2之上面21朝上方突出所配置之導銷，即可簡單地對準基準位置。

當載置連接手段5時，接著，將做為檢查對象之基板W，利用L字形之定位構件56而載置於連接手段5之預定位置。此時，基板檢查裝置1係具有吸引手段6，藉由利用連接手段5之貫通孔53作為通氣路徑而將基板W予以吸附固定。

當基板W吸附固定於連接手段5時，為了將基板W與連接手段5穩定地連接，推壓手段7係將配線T之一端T1與一端連接部512予以壓接。

如此一來，基板W即載置於連接手段5，而完成實施檢查之準備。

說明基板檢查裝置1實施檢查之情形。茲說明檢查圖5所示之基板W之配線TA之檢查方法。

首先說明用以實施配線TA之導通檢查之基板檢查裝置1之動作。此時，如圖5所示，做為檢查對象之配線TA，係成為具有一端T1A、另一端T2A與配線部T3A之配線。

因此，用以實施導通檢查之檢查信號從電源手段3供給時，係透過電源連接部511與第一配線部513，經由成為與一端T1A導通連接之一端連接部512而供給。當供給檢查信號時，即從配線TA之一端T1A經由配線部T3A而傳遞檢查信號至另一端T2A。由於當檢查信號傳遞至另一端T2A時，另一端連接部521即形成非接觸連接，因此會受到檢查信號之影響而檢出檢出信號。再者，當另一端連接部521檢出檢查信號時，即經由第二配線部523與判定連接部522而將檢出信號傳送於判定手段4。

判定手段4係根據此檢出信號與預先設定之判定閥值比較，而判定此配線TA之導通狀態是否良好。例如，若配線TA之導通狀態良好，則由另一端連接部521(第一電極部521a)檢出預定輸出之檢查信號，另一方面，若配線TA之導通狀態不良(斷線)，則由另一端連接部521檢出預定輸出以下之檢查信號。

此判定手段4之判定結果係顯示於成為輸出手段8之顯示手段81等。

接著說明用以實施配線TA之短路檢查之基板檢查裝置1之動作。實施圖5所示之配線TA之短路檢查時，係檢查至少鄰接於配線TA之配線TB與配線TC之短路狀態，因此，與導通檢查之情形同樣以供給配線TA之導通檢查中之檢查信號之方式，藉由電源手段3(較佳為直流電源)供給檢查信號至配線TA。

此外，另一方面，配線TB之一端與配線TC之一端係分別連接於電源連接部511，且經由各第一配線部513與電源連接部511而連接於判定手段4。

此時，判定手段4之電流計係串聯連接，可用以測定來自配線TB與配線TC之檢查信號之電流值，且根據此電流值而由判定手段4實施配線TA之短路檢查。

例如，配線TA若為無短路之狀態，則電流計所檢出之檢查信號即為預定輸出以下(配線TB與配線TC未受到供給至配線TA之檢查信號的影響)，另一方面，若配線TA為有短路之狀態，則配線TA之檢查信號即為預定輸出以上(配線TB及/或配線TC與配線TA為導通，成為在任一者或兩者係有檢查信號之影響)。另外，此預定輸出之閥值係可預先設定。

如上所述當導通/短路檢查對所有配線T實施時，即可判定該基板W係為良品還是不良品。另外，此結果係可藉由輸出手段8來顯示或印刷。

此外，檢查其他做為檢查對象之基板W時，亦可藉由適當製造與此檢查對象之基板W對應之連接手段5來使用本基板檢查裝置1，藉此即可簡單且廉價地來實施檢查。尤其是本基板檢查裝置1並未具有大規模的機構，而為簡單之機構且為簡便的構造，因此可降低作業者之作業負擔，而可以低成本檢查各式各樣的基板。

1．．．基板檢查裝置

2．．．載置台

3．．．電源手段

4．．．判定手段

5．．．連接手段

6．．．吸引手段

7．．．推壓手段

8．．．輸出手段

9．．．輸入手段

21．．．上面

22．．．正面

23．．．斜面

24．．．操作部

24a．．．啟動按鍵

24c．．．重設按鍵

24b．．．ON/OFF開關

51．．．第一連接部

511．．．電源連接部

512．．．一端連接部

513．．．第一配線部

52．．．第二連接部

521．．．另一端連接部

521a．．．第一電極部

521b．．．第二電極部

522．．．判定連接部

523．．．第二配線部

53．．．貫通孔

54．．．安裝孔

55．．．基準孔

56．．．定位構件

6．．．吸引手段

7．．．推壓手段

81．．．顯示手段

82．．．印刷手段

83．．．顯示燈

91．．．鍵盤

92．．．滑鼠

T、TA、TB、TC．．．配線

T1、T1A．．．一端

T2、T2A．．．另一端

T3、T3A．．．配線部

W．．．基板

圖1係為顯示本發明之基板檢查裝置之一實施形態之概略圖，(a)係顯示平面圖，(b)係顯示側面圖。

圖2係為本發明之基板檢查裝置之概略構造圖。

圖3係為顯示本基板檢查裝置檢查對象之基板之一實施形態之平面圖。

圖4係為顯示本發明之連接手段之一實施形態之概略圖，(a)係顯示平面圖，(b)係顯示底面圖。

圖5係為顯示本基板檢查裝置實施檢查時之平面圖。另外，基板檢查裝置之載置台係載置有基板。

1．．．基板檢查裝置

2．．．載置台

5．．．連接手段

7．．．推壓手段

8．．．輸出手段

9．．．輸入手段

21．．．上面

22．．．正面

23．．．斜面

24．．．操作部

24c．．．重設按鍵

24b．．．ON/OFF開關

24a．．．啟動按鍵

56．．．定位構件

81．．．顯示手段

82．．．印刷手段

83．．．顯示燈

91．．．鍵盤

92．．．滑鼠

Claims (7)

1. 一種基板檢查裝置，其係用於對形成有做為檢查對象之配線之基板實施導通及/或短路檢查，其特徵為：具有載置台，其係具有用以載置前述基板之載置面；且具有：電源手段，其係產生用以對做為前述檢查對象之配線實施檢查的檢出信號；判定手段，其係根據從成為前述檢查對象之配線所檢出之檢出信號來實施該配線之檢查；及連接手段，其係配置於前述載置面之表面，將來自前述電源手段之檢查信號傳遞至前述配線，並且將來自前述配線之檢出信號傳遞至前述判定手段；前述連接手段係具有：第一連接部，將前述電源手段與前述配線之一端予以電連接；及第二連接部，將前述配線之另一端與前述判定手段予以電連接。
2. 如申請專利範圍第1項之基板檢查裝置，其中前述第一連接部係具有：電源連接部，與前述電源手段接觸連接；一端連接部，與前述配線之一端接觸連接；及第一配線部，將前述電源連接部與前述一端連接部予以連接；前述第二連接部係具有：另一端連接部，與前述配線之另一端非接觸連接；判定連接部，與前述判定手段接觸連接；及 第二配線部，將前述另一端連接部與前述判定連接部予以連接。
3. 如申請專利範圍第2項之基板檢查裝置，其中前述一端連接部係由自前述連接手段之表面突出之導電性彈性體所形成。
4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之基板檢查裝置，其中具有用以將前述基板予以吸附固定於前述連接手段之吸引手段；前述連接手段係由形成有複數個的厚度方向貫通孔的板狀構件所形成，該貫通孔係成為前述吸引手段之通氣路徑。
5. 如申請專利範圍第1項之基板檢查裝置，其中前述載置台係於其上面載置有前述連接手段。
6. 如申請專利範圍第2項之基板檢查裝置，其中具有使前述一端連接部與前述配線之一端壓接之推壓手段。
7. 如申請專利範圍第2項之基板檢查裝置，其中前述電源連接部係與前述電源手段或前述判定手段切換連接。