JP5463879B2 - 基板検査装置 - Google Patents
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Description
尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や半導体ウェハなどに形成される電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の検査基板を総称して「基板」という。
このような大掛かりな基板検査装置では、検査対象の基板を連続的に検査処理することにより、多量の基板を検査処理している。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、簡便な構成を有するとともに効率良く検査を実施することができる基板検査装置を提供する。
請求項2記載の発明は、前記第一接続部は、前記電源手段と接触接続する電源接続部と、前記配線の一端と接触接続する一端接続部と、前記電源接続部と前記一端接続部を接続する第一配線部とを有し、前記第二接続部は、前記配線の他端と非接触接続する他端接続部と、前記判定手段と接触接続する判定接続部と、前記他端接続部と前記判定接続部を接続する第二配線部とを有していることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置を提供する。
請求項3記載の発明は、前記一端接続部は、前記接続手段の表面から突出する導電性の弾性体から形成されていることを特徴とする請求項2記載の基板検査装置を提供する。
請求項4記載の発明は、前記基板を前記接続手段に吸着固定するための吸引手段を有し、前記接続手段は、前記吸引手段の通気路となる厚み方向の貫通孔が複数形成される板状部材により形成されていることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の基板検査装置を提供する。
請求項5記載の発明は、前記載置台は、上面に前記接続手段が載置されていることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置を提供する。
請求項6記載の発明は、前記配線の一端と前記一端接続部を圧接させる押圧手段を有することを特徴とする請求項2記載の基板検査装置を提供する。
請求項7記載の発明は、前記電源接続部が、前記電源手段又は前記判定手段と切替接続されることを特徴とする請求項2記載の基板検査装置を提供する。
請求項2記載の発明によれば、第一接続部が、電源手段と接触接続する電源接続部と配線の一端と接触接続する一端接続部と電源接触部と一端接続部を接続する第一配線部を有し、第二接続部が、配線の他端と非接触接続する他端接続部と判定手段と接触接続する判定接続部と、他端接続部と判定接続部を接続する第二配線部を有しているので、接続手段を簡単な構成で形成することができる。
請求項3記載の発明によれば、一端接続部が接続手段の表面から突出する導電性の弾性体から形成されているので、配線の一端とこの一端接続部が安定して導通接続させることになる。
請求項4記載の発明によれば、基板を接続手段に吸着固定するための吸引手段を有してなり、また、接続手段が、この吸引手段の通気路となる厚み方向の貫通孔が複数形成される板状部材により形成されているので、接続手段の上面に基板を載置することができ、基板検査装置を更に簡便な構成とすることができる。
請求項5記載の発明によれば、載置台が、上面に前記接続手段が載置されているので、基板検査装置を簡便な構成で形成することができる。
請求項6記載の発明によれば、配線の一端と一端接続部を圧接させる押圧手段を有するので、検査を実施する場合に、この押圧手段を用いて、配線の一端と一端接続部をより安定的に導通接続することができる。
請求項7記載の発明によれば、電源接続部が、電源手段又は判定手段と切替接続されることができるので、配線の短絡検査を実施することができるようになる。
本発明にかかる基板検査装置1は、載置台2、電源手段3、判定手段4、接続手段5、吸引手段6、押圧手段7、出力手段8、入力手段9を有してなる。
基板検査装置1は、検査対象となる配線が複数形成された基板の良/不良を検査することができ、この基板の良/不良とは、基板に形成される配線の導通検査や短絡検査結果である。
本基板検査装置1は、検査対象となる基板Wと電気的接続を行うための接続手段5を用いることにより、好適に検査を実施することができるようになる。
図3で示される基板Wには、基板Wの奥手側の一辺に沿って形成される配線の一端T1と、基板Wの略中央に所定幅を有して形成される三角形状に形成される他端T2と、この一端T1と他端T2を接続するとともに基板Wの周縁に沿って形成される配線部T3を有する配線Tが複数形成されている。図3の基板Wでは、中央に形成される他端T2が交互に配置され、夫々の配線部T3が左右に分かれて形成されている。尚、複数の配線Tの一端T1は、基板Wの一辺の略中央に並んで形成されている。
このため、これらの配線Tの検査とは、夫々の一端T1が配線部T3を介して他端T2まで導通状態であるか、検査対象の配線Tが隣接する配線Tと短絡を起こしていないか(短絡不良がないか)どうかを検査することになる。
この載置台2が有する載置面は、上記の如く、基板Wが配置されることになるので、検査対象となる基板Wよりも大きい面積を有するように形成されている。
図1(a)で示される載置台2には、基板検査を実施するためのスタートボタン24aと、後述する吸引手段6の動作を制御するON/OFFスイッチ24bと、検査をリセットするためのリセットボタン24cが設けられている。
尚、この電源手段3の出力は、検査対象の配線Tの抵抗値などに応じて適宜使用者により調整される。
この第一接続部51は、電源手段3から供給される検査信号を配線Tの一端T1に伝達する。
電源接続部511は、図4(b)で示される裏面の左端に複数形成されている。この電源接続部511は、電源手段3から配線されて載置台2の上面21から突出する端子(図示せず)と導通接触するように形成されている。このため、電源接続部511は、例えば、円形状の導電性のパッドとして形成することができる。図4(b)では、接続手段5の裏面に電源接続部511が複数形成されているが、検査対象となる基板Wの配線Tの数に応じて、利用されることになる。
尚、この電源手段3からの端子は、針状又は棒状の接触子を用いることができ、この端子が電源接続部511と圧接され、電気的に接続されることになる。
この一端接続部512は、接続手段5の表面から突出して形成されることが好ましい。これは、検査対象の基板Wがこの接続手段5に載置された場合に、配線Tの一端T1と一端接続部512が確実に接触することができるからである。更に、この一端接続部512は、導電性ゴムなどの導電性の弾性体で形成されることが好ましい。
この第一配線部513は、通常基板Wに形成される電気回路用に形成される導電性の配線が採用される。
この切替手段が、第一接続部51の接続を電源手段3と判定手段4とで切り替えることができように設定されることにより、検査対象の配線Tの導通/短絡のいずれかの検査を実施するかできるように設定されることになる。
他端接続部52の製造方法は、配線Tの他端T2と非接触接続することができれば特に限定されないが、例えば、導電性の電極板を基板表面に貼り付けて、その上から絶縁膜を被覆することにより形成することができる。
尚、導通検査の対象となる配線Tは、一端接続部512、配線Tの一端T1、配線Tの他端T2と他端接続部521を経由する閉回路を形成するように設定されることになる。
尚、この判定手段4からの端子は、針状又は棒状の接触子を用いることができ、この端子が判定接続部522と圧接され、電気的に接続されることになる。
この第二配線部523は、通常基板に形成される電気回路用に形成される導電性の配線が採用される。
図4で示される実施形態では、この貫通孔53が格子状に複数形成されており、接続手段5の表面に均一に吸引力が働くように設けられていることが好ましい。この貫通孔53の大きさや数は、特に限定されないが、吸引手段6の能力に応じて使用者により適宜調整される。尚、接続手段5が板状部材で形成される場合には、この板状部材の厚み方向に貫通するように貫通孔53が形成されることになる。
このように押圧手段7を設けることにより、より安定的に接触接続させることができるようになる。
この押圧手段7は、載置台2の上面21の上方に配置され、接続手段5に載置された基板Wを押圧することができるように、手動又は自動で、上昇/下降することができる。
表示手段81は、例えば、モニタやディスプレイを利用することができ、判定手段4の判定結果や検査中の状況を表示することができる。印刷手段82は、例えば、プリンタなどの印刷機を利用することができ、判定手段4の判定結果や検査中の状況や、表示手段81に映し出される画面情報を印刷する。図1(a)で示される一実施形態では、3つの表示灯83が設けられており、合格の場合、導通不良の場合と短絡不良の場合に応じて、いずれかの表示灯83が点灯するように形成されている。
尚、これらの出力手段8は、使用者により適宜に調整されて利用されることになる。
この入力手段9は、例えば、キーボード91やマウス92などの入力機器を用いることができる。
以上が、本発明にかかる基板検査装置1の構成の説明である。
図5は、本基板検査装置1に検査対象となる基板Wが載置され、検査が実施される様子を示す概略平面図である。
本基板検査装置1を用いて基板Wの検査が実施される場合には、まず、検査対象となる基板Wに応じた接続手段5が形成される。このとき、この接続手段5は、基板Wの配線Tの形状に応じて形成される。図3に示される基板Wを検査する場合では、検査対象となる基板Wの配線Tが14本形成されていることになる。
尚、この図4で示される一端接続部512は7つ形成されており、電源手段3からの検査信号が所定の端子から供給されることにより、検査対象の配線を選択することができるようになっている。一端接続部512は、検査対象の配線Tと同数形成することもできるが、複数の配線Tの一端T1を共通して導通接続されるように形成することもできる。
この第一電極部521aは、基板Wの配線Tの他端T2が基板Wの左側部(図5参照)に配置される配線Tの検出信号を受信することができ、第二電極部521bは、基板Wの配線Tの他端T2が基板Wの右側部に配置される配線Tの検出信号を受信することができるように配置される。
このようにして、基板Wが接続手段5に載置されて、検査を実施する準備が完了する。
まず、配線TAの導通検査を実施するための基板検査装置1の動作を説明する。この場合、図5で示される如く、検査対象となる配線TAは、一端T1A、他端T2Aと配線部T3Aを有する配線となる。
このため、導通検査を実施するための検査信号が電源手段3から供給される際には、電源接続部511と第一配線部513を介して、配線T1Aと導通接続されることになる一端接続部512を経由して供給される。検査信号が供給されると、配線TAの一端T1Aから配線部T3Aを経由して、他端T2Aまで検査信号が伝達される。他端T2Aまで検査信号が伝達されると、他端接続部521が非接触接続されているので、検査信号の影響を受けて、検出信号を検出することになる。そして、他端接続部521が検出信号を検出すると、第二配線部523と判定接続部522を経由して判定手段4に検出信号が送信されることになる。
この判定手段4の判定結果は、出力手段8となる表示手段81などに表示されることになる。
このとき、判定手段4の電流計が直列接続されており、配線TBと配線TCからの検出信号の電流値を測定することができ、この電流値を基に判定手段4が配線TAの短絡検査を実施することになる。
例えば、配線TAが短絡無しの状態であれば、電流計が検出する検出信号は所定出力以下(配線TAに供給される検査信号の影響を配線TBと配線TCは受けていない)ということになり、一方、配線TAが短絡有りの状態であれば、配線TAの検出信号は所定出力以上(配線TB及び/又は配線TCと配線TAが導通していることになり、いずれか一方又は両方に検査信号の影響あり)ということになる。尚、この所定出力の閾値は、予め設定されることになる。
2・・・・・載置台
3・・・・・電源手段
4・・・・・判定手段
5・・・・・接続手段
51・・・・第一接続部
511・・・電源接続部
512・・・一端接続部
513・・・第一配線部
52・・・・第二接続部
521・・・他端接続部
522・・・判定接続部
523・・・第二配線部
53・・・・貫通孔
6・・・・・吸引手段
7・・・・・押圧手段
Claims (7)
- 検査対象となる配線が形成される基板の導通及び/又は短絡検査を実施する基板検査装置であって、
前記基板を載置するための載置面を有する載置台を有し、
前記検査対象となる配線の検査を実施するための検査信号を発生させる電源手段と、
前記検査対象となる配線から検出される検出信号を基に、該配線の検査を実施する判定手段と、
前記戴置台の戴置面と前記基板と間に介在配置され、前記電源手段からの検査信号を前記配線に伝達するとともに前記配線からの検出信号を前記判定手段に伝達し、前記載置面の表面に配置される接続手段とを備え、
前記接続手段は、前記基板に応じて複数の電気配線を形成した板状部材から形成され、該複数の電気配線は、前記電源手段と前記配線の一端とを電気的に接続する第一接続部と、前記配線の他端と前記判定手段とを電気的に接続する第二接続部とを有し、
前記電源手段と前記判定手段は、前記載置台の内部に収容されていることを特徴とする基板検査装置。 - 前記第一接続部は、
前記電源手段と接触接続する電源接続部と、
前記配線の一端と接触接続する一端接続部と、
前記電源接続部と前記一端接続部を接続する第一配線部とを有し、
前記第二接続部は、
前記配線の他端と非接触接続する他端接続部と、
前記判定手段と接触接続する判定接続部と、
前記他端接続部と前記判定接続部を接続する第二配線部とを有していることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。 - 前記一端接続部は、前記接続手段の表面から突出する導電性の弾性体から形成されていることを特徴とする請求項2記載の基板検査装置。
- 前記基板を前記接続手段に吸着固定するための吸引手段を有し、
前記接続手段は、前記吸引手段の通気路となる厚み方向の貫通孔が複数形成される板状部材により形成されていることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の基板検査装置。 - 前記載置台は、上面に前記接続手段が載置されていることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記配線の一端と前記一端接続部を圧接させる押圧手段を有することを特徴とする請求項2記載の基板検査装置。
- 前記電源接続部が、前記電源手段又は前記判定手段と切替接続されることを特徴とする請求項2記載の基板検査装置。
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