KR100296551B1 - 액정표시장치의불량검사방법 - Google Patents

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    • G02F1/1309—Repairing; Testing

Abstract

홀수번째 및 짝수번째 게이트선에, 게이트를 열기 위한 펄스를 반 주기의 시간차를 가지고 인가하고, 연속한 세 데이터선 중 두 데이터선에 동일한 극성을 가지는 신호를 각각 인가하며, 나머지 한 데이터선에는 두 데이터선에 인가된 신호와 동일한 주기로 반전하며 극성은 반대인 신호를 인가한다. 이때, 데이터선에 인가되는 신호는 게이트 펄스 폭의 두 배에 해당하는 주기로 극성이 반전되며, 게이트 펄스는 각각의 데이터선에 인가되는 신호가 반전되는 시점보다 나중에 동기되도록 함으로써, 펄스가 뜨는 순간 각 화소 내로 검사 신호가 큰 초기치를 가지고 충전되도록 한다.

Description

액정 표시 장치의 불량 검사 방법
본 발명은 액정 표시 장치의 불량 검사 방법에 관한 것으로서, 특히 액정 표시 장치의 쇼팅 바 구조를 이용한 화소 불량 검사 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치에서 쇼팅 바는 액정 표시 장치의 공정 과정에서 발생하는 정전기를 방전시키는 역할을 하며, 공정이 완료된 이후에는 박막 트랜지스터 어레이(array) 검사를 하기 위해 이용되기도 한다.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 종래의 기술에 따른 액정 표시 장치에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 종래의 기술에 따른 쇼팅 바를 갖는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 나타낸 개략도이고, 도 2는 도 1의 A 부분의 확대도이며, 도 3은 도 2의 III-III'선에 대한 단면도이다.
도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 기판(1) 위에 가로 방향으로 게이트선(G1, G2, G3,....)이 형성되어 있고 각각의 게이트선(G1, G2, G3,....)의 끝에는 게이트 패드(10)가 형성되어 있으며, 게이트 패드(10)의 바깥으로는 게이트 쇼팅 바(20)가 게이트선(G1, G2, G3,....)을 하나로 묶고 있다. 또한, 게이트 쇼팅 바(20)의 양단에는 검사용 패드(2)가 형성되어 있다.
게이트선(G1, G2, G3,....), 게이트 패드(10) 및 게이트 쇼팅바(20) 등의 게이트 배선(5)은 게이트 절연막(15)으로 덮여 있다. 그 위에는 세로 방향으로 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)이 형성되어 있고, 각각의 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)의 끝에는 데이터 패드(30)가 형성되어 있다. 데이터 패드(30)의 바깥으로는 데이터 쇼팅 바(40)가 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)을 하나로 묶고 있으며, 데이터 쇼팅 바(40)의 양단에는 검사용 패드(3)가 형성되어 있다. 여기에서, 게이트 쇼팅 바(20)와 데이터 쇼팅 바(40)는 게이트 절연막(15)에 형성되어 있는 접촉구를 통해 서로 연결되어 있을 수 있다.
데이터선(D1, D2, D3, D4,....), 데이터 패드(30) 및 데이터 쇼팅 바(40) 등의 데이터 배선은 절연막(25)으로 덮여 있는데, 데이터 패드(30) 및 게이트 패드(10) 부근의 절연막(15, 25) 들은 제거되어 있다.
액정 표시 장치의 화면 표시 영역 내에는 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)과 게이트선(G1, G2, G3,....)으로 둘러 싸인 화소 영역(PX)이 형성되며, 각각의 화소 영역(PX)에는 박막 트랜지스터(TFT)가 하나씩 형성되어 있어 게이트선(G1, G2, G3,....)으로부터의 주사 신호를 받아 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)으로부터의 화상 신호를 스위칭(switching)하는 역할을 한다.
이러한 구조의 액정 표시 장치에서는 제조 공정 중에 기판 내에 생기는 정전기는 게이트 쇼팅 바(20) 및 데이터 쇼팅 바(40)를 통해 방전 또는 분산된다.
한편, 이러한 액정 표시 장치의 제조 공정이 완료된 이후에 기판 내의 결함을 검출하기 위한 어레이(array) 검사를 실시한 다음, 게이트 쇼팅 바(20) 및 데이터 쇼팅 바(40)를 절단선(L)을 기준으로 절단하여 제거한다.
그러면, 도 1 및 도 4를 참고로 하여 종래의 기술에 따른 어레이 검사의 원리를 설명한다.
도 4는 각 화소에 인가된 어레이 검사 신호의 극성을 나타낸 도면이다.
도 1에 도시한 바와 같이 쇼팅 바(20, 40)의 검사용 패드(2, 3)에 어레이 검사를 위한 전압을 인가한다. 이때, 게이트선(G1, G2, G3,....) 및 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)은 각각 하나의 쇼팅 바(20, 40)에 연결되어 있기 때문에 화소 영역(PX) 내의 박막 트랜지스터(TFT)가 동시에 각각 온(on) 상태가 되면서, 도 4에 도시한 바와 같이 동일한 크기 및 동일한 극성의 데이터 전압이 각 R, G, B 화소에 인가된다. 이에 따라, 현재 주로 사용되고 있는 노멀리 화이트(normally white) 방식에서는 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)으로 인가된 전압에 의해 화소 영역(PX)이 어둡게 나타난다.
한편, 게이트선(G1, G2, G3,....) 또는 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)에 단선 불량이 있거나 화소 내의 박막 트랜지스터에 불량이 있는 화소 영역(PX)은 밝게 나타나므로 화소 영역(PX)의 불량을 검출해 낼 수 있다. 그러나, 도 1에서처럼, 두 개 이상의 게이트선 또는 두 개 이상의 데이터선(D2, D3)이 서로 단락(S1)될 경우에는 이를 검출할 수 없는데, 이는 두 데이터선(D2, D3)에 동일한 극성 및 크기의 전압이 인가되기 때문이다.
이러한 단점을 보완하기 위해 쇼팅 바(40)를 두 개 이상으로 나누면 검출력은 증가하지만, 공정 진행 중에 정전기로 인한 기판의 손상을 가져올 수 있다.
본 발명의 과제는 인접한 데이터선 또는 게이트선 사이의 단락 및 화소 결함 등을 용이하게 검출하는 검사 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 과제는 고정세화된 기판 내의 불량을 용이하게 검출하는 검사 방법을 제공하는 것이다.
도 1은 종래의 기술에 따른 쇼팅 바(shorting bar) 구조를 갖는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 나타낸 도면이고,
도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 평면도이고,
도 3은 도 2의 III-III' 선에 대한 단면도이고,
도 4는 어레이 검사 신호가 매트릭스 형태의 화소에 인가된 상태를 나타낸 도면이고,
도 5는 본 발명에 따른 쇼팅 바를 갖는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 나타낸 도면이고,
도 6은 도 5의 B 부분을 확대하여 나타낸 평면도이고,
도 7은 도 5의 B 부분을 확대하여 나타낸 또 다른 평면도이고,
도 8은 도 7의 VIII-VIII' 선에 대한 단면도이고,
도 9은 도 5의 C 부분을 확대하여 나타낸 평면도이고,
도 10는 도 9의 X-X' 선에 대한 단면도이고,
도 11a 내지 도 11f는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 게이트 쇼팅 바를 중심으로 그 공정 순서에 따라 도시한 단면도이고,
도 12a 내지 도 12f는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 데이터 쇼팅 바를 중심으로 그 공정 순서에 따라 도시한 단면도이고,
도 13은 게이트선 및 데이터선 및 각각의 보조선의 연결 형태를 나타낸 개략도이고,
도 14는 게이트 및 데이터선에 인가되는 제1 실시예에 따른 어레이 검사 신호의 파형도이고,
도 15a 내지 도 15c는 제1 실시예에 따라 인가된 신호의 극성을 R, G, B 화소 별로 나타낸 도면이고,
도 16은 게이트 및 데이터선에 인가되는 제2 실시예에 따른 어레이 검사 신호의 파형도이고,
도 17a 내지 도 17b는 제2 실시예에 따라 인가된 신호의 극성을 R, G, B 화소 별로 나타낸 도면이고,
도 18은 게이트 및 데이터선에 인가되는 제3 실시예에 따른 어레이 검사 신호를 나타낸 파형도이고,
도 19는 게이트 및 데이터선에 인가되는 제4 실시예에 따른 어레이 검사 신호를 나타낸 파형도이다.
이러한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 액정 표시 기판은 서로 평행하게 다수의 게이트선이 형성되어 있고, 게이트선을 교대로 연결하고 있는 두 개의 테스트용 쇼팅 바가 형성되어 있다. 또한, 쇼팅 바의 바깥으로는 모든 게이트선을 하나로 연결하고 있는 주 쇼팅 바가 형성되어 있다.
이때, 게이트선과 테스트용 쇼팅 바는 각각 도전 연결 패턴에 의해 연결되어 있을 수 있다.
게이트선과 수직으로 다수의 데이터선이 형성되어 있고, 3개의 테스트용 쇼팅 바가 연속적인 세 개의 데이터선에 대해 번갈아 연결되어 있을 수 있는데, 이 데이터선과 쇼팅 바 역시 도전 연결 패턴에 의해 연결되어 있을 수 있다.
또한, 쇼팅 바의 바깥쪽에서 데이트선이 주 쇼팅 바와 연결되어 있어 게이트선과 하나로 연결되는 것이 바람직하다.
이러한 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 도전 연결 패턴은 투명 화소 전극을 형성하는 단계에서 형성한다.
투명 도전 연결 패턴이 형성된 이후에 주 쇼팅 바 안쪽의 게이트선 및 데이터선의 일부가 제거될 수 있다.
이러한 액정 표시 기판 및 그 제조 방법에서는 게이트 보조 쇼팅 바 또는 데이터 보조 쇼팅 바를 각각 두 개 이상으로 형성하고 공정이 완료된 이후 게이트 쇼팅 바 및 데이터 쇼팅 바로부터 분리함으로써, 정전기에 취약하지 않을 뿐 아니라 기판 내 쇼트 불량 검출 또한 용이하다.
본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 표시 검사 방법에서는 두 개의 테스트용 보조선과 세 개의 테스트용 보조선을 이용하여 인접한 두 게이트선에 각각 펄스 신호를 인가하며, 인접한 세 데이터선 중 두 데이터선에는 동일한 극성의 신호를 인가하고 나머지 한 데이터선에는 두 데이터선에 인가된 신호의 극성과 반대 극성의 신호를 인가한다. 다음, 앞서와는 다른 조합으로 택해진 두 데이터선 동일한 극성의 신호를 인가하고, 나머지 한 데이터선에는 이 신호와는 반대 극성의 신호를 인가한다.
검사의 신뢰성을 향상시키기 위해 각 데이터선에 인가된 신호가 인접한 데이터서네 전이되는 형태로 신호의 극성 및 극성 반전 시기를 전환시키는 형태로 검사 모드를 달리할 수도 있다.
이러한 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 검사 방법에서는 인접한 화소 또는 인접한 배선 사이의 단락을 검출할 수 있으며, 표시 결함의 검출력 및 신뢰성이 향상된다.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명에 따른 액정 표시 기판 및 그 제조 방법을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세하게 설명한다.
먼저, 도 5를 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 기판 및 그 제조 방법을 개괄적으로 설명한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 쇼팅 바를 갖는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 내의 배선을 나타낸 개략도로서, 정전기 방지 배선 및 기판 불량 검사를 위한 배선이 제거되지 않은 상태의 액정 표시 장치의 배선을 도시하고 있다.
가로 방향으로 게이트선(G1, G2, G3, G4,...)이 알루미늄(Al)과 같은 물질로 형성되어 있고, 게이트선(G1, G2, G3, G4,...)의 끝에는 각각 게이트 패드(110, 120, 130, 140,...)가 형성되어 있다. 또한, 게이트선(G1, G2, G3, G4,....)과 절연막(도시하지 않음)을 사이에 둔 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)이 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo)과 같은 물질로 세로 방향으로 형성되어 있고, 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)의 한 쪽 끝에는 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...)가 형성되어 있다.
게이트 패드(110, 120, 130, 140,...)와 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...) 안쪽의 화면 표시 영역(A) 내에는 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)과 게이트선(G1, G2, G3, G4,....)이 교차하여 이루는 화소 영역(PX)이 형성되어 있으며, 각각의 화소 영역(PX)에는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있어 게이트선(G1, G2, G3, G4,....)으로부터 주사 신호를 받아 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)으로부터의 화상 신호를 스위칭하는 역할을 한다.
이와 같은 배선 형성 과정에서 발생하는 정전기는 화소 영역(PX) 내의 박막 트랜지스터(TFT) 또는 배선(G1, G2,...;D1, D2,...)에 불량을 가져오는데, 이를 막기 위한 게이트 및 데이터 쇼팅바(200, 400) 패턴이 다음과 같이 형성되어 있다.
게이트 패드(110, 120, 130, 140,...)의 바깥에 게이트선과 동일한 금속으로 형성되어 있는 세로 방향의 게이트 쇼팅 바(200)는 게이트 패드(110, 120, 130, 140,...)로부터 가로 방향으로 연장된 게이트 연장부(101, 102, 103, 104,...)와 연결되어 있다. 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...)의 바깥으로는 데이터선과 동일한 금속으로 데이터 쇼팅 바(400)가 가로 방향으로 형성되어 있는데, 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...)로부터 세로 방향으로 연장된 데이터 연장부(501, 502, 503, 504,...)와 연결되어 있다. 이 게이트 쇼팅 바(200)와 데이터 쇼팅 바(400)는 둘 사이의 절연막에 뚫린 접촉 구멍을 통하여 서로 연결되어 있다.
이와 같은 구조의 쇼팅 바(200, 400)에 의해 기판 내에 발생하는 정전기가 분산, 방전되며, 기판의 모든 배선 공정을 마친 후에는 절단선(L1)을 따라 기판을 절단함으로써 게이트 및 데이터 쇼팅 바(200, 400)를 제거한다.
그 후, 기판의 화상 표시 영역 내의 어레이(Array) 검사를 실시한다.
이때, 게이트 및 데이터 쇼팅 바(200), 400)의 안쪽에 형성되어 있는 보조선(410, 420; 210, 220, 230)을 이용하여 검사하는데, 그 보조선(410, 420; 210, 220, 230)의 구조는 다음과 같다.
제1 및 제2 보조선(410, 420)이 게이트 쇼팅 바(200)와 게이트 패드(110, 120, 130, 140,...)의 사이에 데이터선과 동일한 금속으로 게이트 쇼팅 바(200)와 평행하게 형성되어 있고, 데이터 쇼팅 바(400)와 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...) 사이에는 제3 내지 제5 보조선(210, 220, 230)이 게이트선과 동일한 금속으로 데이터 쇼팅 바(400)에 평행하게 형성되어 있다. 이때, 제1 및 제2 보조선(410, 420)에는 각각 홀수번째 게이트선(G1, G3,...) 및 짝수번째 게이트선(G2, G4,....)이 연결되어 있고, 제3 내지 제5 보조선(210, 220, 230)에는 각각 (3n-2)번째 데이터선(D1, D4,...), (3n-1)번째 데이터선(D2,...) 및 3n번째 데이터선(D3,...)이 연결되어 있다.
따라서, 홀수번째 게이트선(G1, G3,...)이 연결되어 있는 제1 보조선(410)과 짝수번째 게이트선(G2, G4)이 연결되어 있는 제2 보조선(410, 420)에 각각 다른 신호를 인가하고, 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)에 대해서는 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230)를 이용하여 세 개의 그룹으로 나누어 각각 R, G, B 신호를 인가하여 기판 내 불량을 검사할 수 있다.
그러면, 도 6 내지 도 10을 참고로 하여 게이트 쇼팅 바(200)와 제1 및 제2 보조선(410, 420), 데이터 쇼팅 바(400)와 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230)의 구체적인 구조에 대하여 더 자세히 설명한다.
도 6 및 도 7은 도 5의 B 부분 즉, 게이트 쇼팅 바 부분의 제1 및 제2 실시예에 따른 확대도이고, 도 8은 도 7의 VIII-VIII' 선에 대한 단면도로서, 특히 게이트 쇼팅 바와 보조선 사이의 연결 구조를 나타낸 도면이다.
기판(1) 위에 형성되어 있는 게이트 패드(110, 120, 130,...)로부터 기판(1) 위에 세로 방향으로 형성되어 있는 게이트 쇼팅 바(200)까지 게이트 연장부(101, 102, 103,...)가 연장되어 있다. 그 위에는 게이트 절연막(150)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(150) 위에는 제1 및 제2 보조선(410, 420)이 게이트 쇼팅 바(200)와 평행하게 게이트 패드(100, 110, 120,...)와 게이트 쇼팅 바(200) 사이에 형성되어 있으며, 그 위에는 보호막(250)이 형성되어 있다.
게이트 연장부(101, 103,...)가 제1 보조선(210) 또는 제2 보조선(220)과 겹치는 부분의 상부에는 화소 전극(도시하지 않음)과 같은 물질로 형성된 연결 패턴(310, 320)이 형성되어 있다. 이 연결 패턴(310, 320)은 제1 보조선(410) 상부의 보호막(250)에 뚫린 개구부(a)와 게이트 연장부(101) 상부의 게이트 절연막(150) 및 보호막(250)에 뚫린 개구부(b)를 통해 각각 제1 보조선(410)과 게이트 연장부(101)에 접촉하고 있으며, 제2 보조선(420) 상부의 보호막(250)에 뚫린 개구부(c)와 게이트 연장부(102) 상부의 게이트 절연막(150) 및 보호막(250)에 뚫린 개구부(d)를 통해 각각 제2 보조선(420)과 게이트 연장부(102)에 접촉하고 있다. 즉, 각각의 게이트 연장부(101, 102)를 제1 및 제2 보조선(410, 420)과 각각 전기적으로 연결시키고 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 어레이 검사를 실시하기 이전에 절단선(L1)을 따라 기판(1)을 잘라냄으로써 게이트 쇼팅 바(200)를 보조선(410, 420)으로부터 전기적으로 분리하며, 검사가 끝난 후에는 게이트 패드(110, 120, 130) 바깥쪽에 위치한 절단선(L2)을 따라 기판(1)을 잘라냄으로써 보조선(410, 420)을 제거하여 기판의 제조를 마무리한다.
도 7에 도시한 제2 실시예는 어레이 검사 이전에 별도로 게이트 쇼팅 바(200)를 제거하기 위하여 기판을 절단할 필요가 없는 구조이다.
제2 실시예의 경우, 제1 및 제2 보조선(410, 420)과 게이트 연결부(101, 102, 103,...)와의 연결 형태는 제1 실시예와 마찬가지지만, 게이트 쇼팅 바(200)와 제1 보조선(410) 사이의 일부 게이트 연장부(101, 102, 103,...) 및 게이트 절연막(150) 및 보호막(250)이 제거됨으로써, 각각의 게이트 연장부(101, 102, 103,...)가 게이트 쇼팅 바(200)와 서로 분리되어 있다. 이때, 게이트 연장부(101, 102, 103,...)와 게이트 쇼팅 바(200)는 기판의 제조 공정 중 맨 마지막에 분리되는데, 이에 대해서는 뒤에서 상세히 설명한다.
이처럼, 제2 실시예에서는 게이트 쇼팅 바(200)와 보조선(410, 420)이 서로 분리되어 있으므로 어레이 검사 이전에 기판(1)을 절단해 내는 과정이 필요하지 않다.
대신, 검사가 끝나면, 앞선 실시예와 마찬가지로 절단선(L2)을 따라 기판(1)을 절단함으로써 쇼팅 바(200) 및 보조선(410, 420)을 한꺼번에 제거해 낸다.
도 9는 도 5의 C 부분 즉, 데이터 쇼팅 바 부분의 확대도이고, 도 10는 도 9의 X-X' 선에 대한 단면도로서, 데이터 쇼팅 바와 제3, 제4, 제5 보조선과의 연결 형태를 나타낸 도면이다.
도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이, 기판(1) 위에 가로 방향으로 게이트 배선과 동일한 금속으로 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230)이 형성되어 있고, 그 위에 게이트 절연막(150)이 적층되어 있다. 게이트 절연막(150) 위에 데이터선(D1, D2, D3, D4,...), 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...), 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...)로부터 연장된 부분인 데이터 연장부(501, 502, 503, 504,...) 및 이와 연결되어 있는 데이터 쇼팅 바(400) 등의 데이터 배선(55)이 형성되어 있다. 그 위에는 보호막(250)이 형성되어 있다.
데이터 연장부(501, 502, 503,....) 상부의 보호막(250)에 개구부(f, h, j)가 각각 형성되어 있고, 데이터 연장부(501, 502, 503,...)의 바깥으로 나와 있는 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230,...) 상부의 게이트 절연막(150) 및 보호 절연막(250)에 개구부(g, i, k)가 각각 형성되어 있다. 보호막(250) 위에 형성되어 있는 연결 패턴(301, 302, 303)은 이들 개구부(f, h, j;g, i, k)를 통해 각각 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230) 및 데이터 연장부(501, 502, 503,...)와 연결되어 있다.
또한, 게이트 쇼팅 바(200)의 경우와 마찬가지로 데이터 쇼팅 바(400)의 안쪽으로 데이터 연장부(501, 502, 503,...) 및 보호막(250) 일부가 뚫린 개구부(l)가 형성되어 있어서, 데이터 연장부(501, 502, 503, 504,...)가 데이터 쇼팅 바(400)와 분리되어 있을 수 있는데, 이 경우 어레이 검사를 위해 데이터 쇼팅 바(400)를 분리하는 기판 절단 공정이 필요 없다.
이와같이, 세 개의 보조선(210, 220, 230)에 데이터선(D1, D2, D3,...)과 연결되는 데이터 연장부(501, 502, 503,...)가 각각 번갈아 연결되어 있으므로, 박막 트랜지스터 기판의 화소 결함 및 단락 불량을 검사하기 위해 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230)에 각기 다른 신호를 인가할 수 있다.
두 개 이상의 데이터선, 예를 들면, 도 5에서처럼 두 데이터선(D3, D4)이 단락(S3)된 경우, 각 데이터선(D3, D4)에 각기 다른 전압을 인가하면, 두 데이터선(D3, D4)에 연결된 화소들은 다른 화소와 밝기가 달라지므로 단락을 쉽게 찾아낼 수 있다.
이 실시예에서는 세 개의 분리된 보조선(210, 220, 230)를 갖고 있으나, 두 개로 형성하거나 세 개 이상의 보조 쇼팅 바를 형성하는 것도 가능하다.
그러면, 도 11a 내지 도 11f, 도 12a 내지 도 12f를 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 쇼팅 바 구조를 갖는 액정 표시 장치의 제조 방법에 대하여 설명한다.
도 11a 내지 도 11f는 도 7의 VIII-VIII' 선에 대한 단면도로서 공정 순서에 따라 도시한 것이고, 도 12a 내지 도 12f는 도 9의 X-X' 선에 대한 단면도로서 공정 순서에 따라 도시한 것이다.
도 11a 및 도 12a에 도시한 바와 같이, 투명한 절연 기판(1) 위에 게이트 배선을 위한 금속층(50)을 형성하고 게이트선(G1, G2, G3, G4,...), 게이트 패드(100, 110, 120,...), 게이트 쇼팅 바(200), 게이트 연장부(101, 102, 103,...), 그리고 보조선(210, 220, 230) 등을 포함하는 게이트 배선(50)을 패터닝한 후, 게이트 절연막(150)과 비정질 실리콘막(도시하지 않음) 및 n+비정질 실리콘막(도시하지 않음)을 연속하여 적층하고 위의 두 층을 사진 식각하여 화소(PX) 내에 패턴을 형성한다.
다음, 도 11b 및 도 12b에 도시한 바와 같이, 데이터 배선을 위한 금속층(55)을 형성하고 데이터선(D1, D2, D3, D4,...) 및 소스-드레인 전극(도시하지 않음), 데이터 패드(500, 510, 520, 530,...), 데이터 쇼팅 바(400), 데이터 연장부(501, 502, 503, 504,...), 그리고 보조선(410, 420)을 포함하는 데이터 배선(55)을 패터닝한다. 이어 데이터 배선(55)을 마스크로 하여 n+비정질 실리콘막을 식각한다.
도 11c 및 도 11d, 도 12c 및 도 12d에서와 같이, 그 위에 보호막(250)을 적층한 후, 게이트 절연막(150)과 함께 식각하여 게이트 패드(110, 120,...), 데이터 패드(510, 520, 530,...)를 드러내는 접촉구(e;l) 및 각 보조선(410, 410; 210, 220,230), 게이트 및 데이터 연장부(101, 102,...;501, 502, 503,...)를 드러내는 접촉구(a, b, c, d, e, f, g, h,i, j, k)를 형성한다.
그 후, 도 11e 및 도 12e에서와 같이, ITO 물질을 적층하고 식각하여 화소 영역(PX) 내에 화소 전극(도시하지 않음)을 형성한다. 이 과정에서, ITO 연결 패턴(310, 320, 301, 302, 303)도 형성한다. ITO 연결 패턴(310, 320)은 접촉구(a, b, c, d)에 의해 보조선(410, 420) 및 게이트 연장부(101, 102,...)와 각각 연결되며 또 다른 연결 패턴(301, 302, 303)은 접촉구(f, g, h, i, j, k)를 통하여 나머지 보조선(210, 220, 230) 및 세 개의 데이터 연장부(501, 504, 502,...)와 번갈아 가며 연결되도록 한다.
마지막으로, 도 11f 및 도 12f에 도시한 바와 같이, 게이트 쇼팅 바(200)와 게이트 연장부(101, 102, 103,...)를 보조선(410)과 게이트 쇼팅 바(200) 사이에서 분리하고, 데이터 쇼팅 바(400)와 데이터 연장부(501, 502, 503,...)를 보조선(210)과 데이터 쇼팅 바(400) 사이에서 분리한다.
이러한 분리 과정은 다음과 같이 이루어진다. 보호막(250) 식각 단계에서 보조선(410)과 게이트 쇼팅 바(200) 사이에 위치한 게이트 연장부(101, 102, 103,...) 및 보조선(210)과 데이터 쇼팅 바(400) 사이에 위치한 데이터 연장부(501, 502, 503,...)를 노출시킨다. 이어, 연결 패턴(301, 302, 303; 310, 320)을 형성하는 단계 이후에 노출되어 있는 게이트 연장부(101, 102, 103,...)와 데이터 연장부(101, 102, 103,...)를 식각하여 제거함으로써 이루어진다. 물론 연결 패턴(301, 302, 303; 310, 320)을 형성한 후, 기판의 어레이 검사가 이루어지기 이전에 절단선(L1)을 따라 게이트 쇼팅 바(200) 및 데이터 쇼팅 바(400)를 절단하여 분리하는 것도 가능하다.
이상에서 설명한 바와 같이 인접한 게이트선이 각각 다른 두 개의 보조선에 나뉘어 연결되어 있고 인접한 연속적인 세 개의 데이터선이 각각 다른 세 개의 보조선에 나뉘어 연결되어 있는 2G3D 구조를 이용하여 액정 표시 기판의 표시 품질을 검사할 수 있다.
그러면, 도 13을 참고로 하여 검사를 실시하기 위한 각각의 보조선과 데이터선 및 게이트선의 연결 구조에 대해 다시 설명한다.
도 13에 도시한 바와 같이, 다수의 게이트선(G1, G2, G3, G4, G5, G6,...)과 다수의 데이터선(D1, D2, D3, D4, D5, D6,...)이 각각 교차하여 행 방향 및 열 방향으로 배열되는 다수의 화소(PX)를 이룬다.
홀수번째 게이트선(G1, G3, G5,...)과 짝수번째 게이트선(G2, G4, G6,...)이 각각 별개의 제1 및 제2 보조선(410, 420)에 연결되어 있어서 짝수번째 및 홀수번째 화소 행에 각각 다른 신호를 인가하는 것이 가능하다.
연속적으로 인접한 세 개의 데이터선, 즉 (3n-2)번째 데이터선(D1, D4,...), (3n-1)번째 데이터선(D2, D5,...), 3n번째 데이터선(D3, D6,...)은 각각 연속적으로 배열되어 있는 세 개의 R, G, B 화소열에 각각 연결되어 있다. 또한, 제3 내지 제5 보조선(210, 220, 230)에 각각 묶여 있어서, 이 보조선(210, 220, 230)을 통해 인접한 세 개의 화소열에 각각 다른 신호를 인가할 수 있다.
각각의 보조선(410, 420; 210, 220, 230)의 끝에는 검사 신호를 인가하기 위한 검사 패드(4, 5; 6, 7, 8)가 형성되어 있다.
그러면, 도 13 및 도 14 및 도 15a 내지 도 15c를 참고로 하여 제1 실시예에 따른 표시 검사 방법에 대하여 설명한다.
도 14는 각각의 보조선을 통해 게이트선과 데이터선에 인가되는 신호의 파형도이고, 도 15a 내지 도 15c는 다른 신호가 인가된 각각의 모드(mode 1, mode 2, mode 3)에서의 R, G, B 화소의 신호 극성을 나타낸 도면이다.
도 13 및 도 14에서와 같이, 제1 내지 제5 보조선(410, 420; 210, 220, 230)을 통해 홀수번째 게이트선과 짝수번째 게이트선 및 (3n-2)번째, (3n-1)번째 및 3n번째 데이터선에 각각 Godd, Geven, DR, DG, DB신호 전압을 인가한다.
그러면, 각 신호 전압에 대하여 좀 더 상세히 설명한다.
제1 및 제2 보조선(410, 420)을 통해 홀수번째 게이트선 및 짝수번째 게이트선에 도 14에서와 같은 신호 전압(Godd, Geven)을 각각 인가하는데, 각각의 신호 전압(Godd, Geven)은 홀수 행 및 짝수 행의 화소의 박막 트랜지스터를 열기 위한 펄스를 각각 포함하고 있다. 펄스가 한 번 인가된 이후 다음 펄스가 인가될 때까지를 한 주기라 할 때, 짝수번째 게이트선에 인가되는 신호 전압(Geven)은 홀수번째 게이트선에 인가되는 신호 전압(Godd)과 반 주기 정도의 시간차를 가진다. 이에 따라, 짝수번째 화소 행의 화소의 박막 트랜지스터는 홀수번째 화소 행과는 반 주기의 시간차를 가지고 열린다.
한편, R, G, B 화소열에 인가되는 신호 전압(DR, DG, DB)은 한 주기마다 한 번씩 극성이 반전하며, 반전 시기는 홀수번째 또는 짝수번째 게이트선에 펄스가 인가되기 시작하는 시점이다. 좀 더 상세히 설명하면, R, G, B 화소열 중 두 화소열에 인가되는 신호 전압은 반전 시기가 동일하며, 극성은 서로 반대이다. 예를 들면, 도 14에는 두 화소열에 인가되는 신호 전압은 짝수번째 게이트선에 펄스가 인가되는 시점에서 신호의 극성이 반전하며, 그 극성은 서로 반대이다. 또한, 나머지 한 화소열에 인가되는 검사 신호는 홀수번째 게이트선에 펄스가 인가되는 시점에서 신호의 극성이 반전한다.
도 14에는 이러한 조건을 만족하는 세가지 모드의 신호가 각각 도시되어 있다.
먼저 제1 모드(mode 1)에서는, R 화소열에 인가되는 검사 신호(DR) 및 G 화소열에 인가되는 검사 신호(DG)가 서로 반대 극성을 가지고 있고, 짝수번째 게이트선에 펄스가 인가될 때 반전하며, B 화소열에 인가되는 검사 신호(DB)는 홀수번쩨 게이트선에 펄스가 인가될 때 반전한다. 제1 주기(1F)를 시작할 때의 검사 신호(DR, DG, DB)의 극성은 각각 (+), (-), (-) 이다.
다음, 제2 모드(mode 2)에서 R, G, B 화소열에 인가되는 검사 신호(DR, DG, DB)는 각각 제1 모드(mode 1)에서의 B, R, G 화소에 인가되는 검사 신호(DR, DG, DB)와 동일하다.
또한, 제3 모드(mode 3)에서 R, G, B 화소에 인가되는 검사 신호(DR, DG, DB)는 각각 제1 모드(mode 1)에서 G, B, R 화소에 인가되는 검사 신호 및 제2 모드(mode 1)에서 B, R, G 화소에 인가되는 검사 신호와 동일하다.
그러면, 이러한 신호가 각 화소에 인가될 때, 각 화소의 극성을 다음에서 설명한다.
먼저, 홀수번째 게이트선에 펄스가 인가되면, 홀수번째 화소 행의 박막 트랜지스터가 온(on)됨과 동시에 각 데이터선을 따라 흐르는 검사 신호가 박막 트랜지스터를 통하여 홀수번째 화소 홀수 행의 화소에 인가된다. 다음, 홀수번째 화소형의 박막 트랜지스터가 오프(off)되고, 짝수번째 게이트선에 펄스가 인가되면, 마찬가지의 과정을 거쳐 이때의 검사 신호가 짝수번째 화소 행의 화소에 인가된다.
따라서, 제1 내지 제3 모드에서의 첫 번째 주기(1F) 동안의 각 화소의 극성은 도 15a 내지 도 15c에 도시한 바와 같이 나타나며, 두 번째 주기(2F)동안은 극성이 이와 반대로 된다.
먼저, 도 15a에 도시한 바와 같이, 제1 모드(mode 1)에서, R 및 G 화소열의 화소는 각각 (+), (-) 극성의 신호가 열을 따라 교대로 나타나지만, B 화소열의 모든 화소는 (-) 극성을 띈다. 또한, 행을 따라 볼 때, 홀수번째 행의 G 및 B 화소는 동일한 극성을 띄며 R 화소는 이와 극성이 반대이지만, 짝수번째 행에서는 B와 R 화소가 동일한 극성이며 G 화소는 이와 극성이 반대이다.
다음, 도 15b에 도시한 바와 같이, 제2 모드(mode 2)에서는, G 및 B 화소열의 화소는 각각 (+), (-) 극성의 신호가 열을 따라 교대로 나타나지만, R 화소열의 모든 화소는 (-) 극성을 띈다. 또한, 행을 따라 볼 때, 홀수번째 행의 B 및 R 화소는 동일한 극성을 띄며 G 화소는 이와 극성이 반대이지만, 짝수번째 행에서는 R과 G 화소가 동일한 극성이며 B 화소는 이와 극성이 반대이다.
또한, 도 15c에 도시한 제3 모드(mode 3)에서는, R 및 B 화소열의 화소는 각각 (+), (-) 극성의 신호가 열을 따라 교대로 나타나지만, G 화소열의 모든 화소는 (-) 극성을 띈다. 또한, 행을 따라 볼 때, 홀수번째 행의 R 및 G 화소는 동일한 극성을 띄며 B 화소는 이와 극성이 반대이지만, 짝수번째 행에서는 G와 B 화소가 동일한 극성이며 R 화소는 이와 극성이 반대이다.
먼저, 세 모드 중 하나만 적용해도 인접한 두 게이트선 또는 데이터선의 단락을 검출하는 것이 가능하다. 서로 다른 극성의 신호가 인가되는 인접한 화소 사이에 단락이 발생할 경우, 두 화소에 인가되는 전압이 각각 전이되어 두 전압의 평균값에 해당하는 동일한 전압이 두 화소에 인가된다. 따라서, 단락이 발생한 인접 화소에서 동일 계조의 표시가 이루어지기 때문에, 단락 결함을 판별할 수 있다. 또한, 인접한 배선 사이의 단락이 발생할 경우, 배선이 연결된 행 또는 열의 모든 화소에 동일한 신호가 인가되므로 배선 간 단락이 발생하였음을 알아낼 수 있다.
그러나, 동일한 검사 신호가 인가되는 인접 화소 사이에서의 단락은 검출할 수 없으며, 정확한 단락 위치를 알아내는 것이 어렵다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 세 모드 중 어느 두 모드를 적용하여 검사하면, 행 방향 또는 열 방향으로 인접한 화소 사이에 적어도 한 번은 다른 극성의 신호가 인가되므로, 인접한 화소 사이의 단락과 같은 화소 결함을 용이하게 검출할 수 있으며, 결함이 발생한 위치를 보다 용이하게 검출할 수 있다.
또한, 이러한 제1 실시예에 따른 불량 검사를 위한 신호의 인가 방법에서는 각각의 보조선(210, 220, 230)에 인가되는 신호(DR, DG, DB)의 극성이 한 주기 동안에 유지되므로, 비교적 화소의 떨림이 적어 화면 균일성 검사에 효과적이다.
다음은 제2 실시예에 따른 표시 검사 방법에 대하여 도 16 및 도 17a 및 도 17b를 참고로 하여 설명한다.
도 16는 게이트 및 데이터선에 인가되는 검사 신호의 파형도이고, 도 17a 및 도 17b는 데이터선에 적용된 각각의 신호 모드에 따른 R, G, B 화소의 극성을 나타낸 도면이다.
제1 및 제2 보조선(410, 420)과 제3 내지 제5 보조선(210, 220, 230)을 통해 홀수번째 및 짝수번째 게이트선 및 (3n-2), (3n-1) 및 3n번째 데이터선에 도 16과 같은 신호 전압(Godd, Geven, DR, DG, DB)을 각각 인가한다.
앞선 제1 실시예에서와 마찬가지로, 펄스가 한 번 인가되고 난 후 다음 펄스가 인가될 때까지를 한 주기로 정의할 때, 짝수번째 게이트선에 인가되는 전압(Geven)은 홀수번째 게이트선에 인가하는 신호 전압(Godd)과 반 주기 정도의 시간차를 가지며, 홀수번째 화소행의 화소의 박막 트랜지스터가 짝수번째 화소행의 화소의 박막 트랜지스터와 반 주기 정도의 시간차를 가지고 열린다.
한편, R, G, B 화소열에 인가되는 각각의 검사 신호 전압(DR, DG, DB)은 한 주기 내에서 펄스 폭과 동일한 주기로 극성이 다수회 반전되는데, 홀수번째 게이트선에 펄스가 인가되는 시점 및 짝수번째 게이트선에 펄스가 인가되는 시점에서 검사 신호도 각각 일회 반전하며, 홀수번째 게이트선에 펄스가 인가되는 시점에서의 검사 신호의 극성은 짝수번째 게이트선에 펄스가 인가되는 시점에서의 검사 신호에서의 극성과 반대이다. R, G, B 화소열 중 두 화소열에는 동일한 신호가 인가되고, 나머지 한 화소열에는 두 화소열에 인가되는 신호와는 극성이 반대인 신호가 인가된다.
이러한 조건을 만족하는 두 가지 모드의 신호가 도 16에 도시되어 있다.
먼저, 제4 모드(mode 4)에서는 R 화소열과 B 화소열에는 동일한 극성 및 동일한 반전 주기를 가지는 동일한 검사 신호(DR, DB)를 인가하고, 나머지 G 화소열에는 동일한 반전 주기를 가지며 극성은 반대인 검사 신호(DG)를 인가한다.
다음, 제5 모드(mode 5)에서는 R 화소열과 G 화소열에 동일한 검사 신호를 인가하고, 나머지 B 화소열에는 극성이 반대인 검사 신호를 인가한다.
이러한 제4 및 제5 모드의 신호가 화소에 인가될 때 각 화소의 극성이 도 17a 및 도 17b에 나타나 있다.
도 17a에 도시한 제4 모드에서는, 열 방향으로 볼 때, 인접한 화소들은 서로 다른 극성을 띈다. 행 방향으로 볼 때에는, 인접한 B 화소와 R 화소를 제외한 모든 인접한 화소들은 다른 극성을 띈다.
도 17b에 도시한 제5 모드에서는, 열 방향으로는 인접한 화소들은 서로 다른 극성을 띄고, 행 방향으로는 인접한 R 화소와 G 화소를 제외한 나머지 화소들은 서로 다른 극성을 띈다.
앞서 설명한 제1 실시예에서와 마찬가지로, 제2 실시예의 두 모드 중 하나의 모드만으로도 단락 결함을 검출할 수 있지만, 제4 모드 및 제5 모드를 모두 적용할 경우 검출력이 높아져, 동일한 극성을 띠는 인접 화소 사이의 단락과 같은 화소 결함을 발견할 수 있다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 결함 검출 방법은 게이트 펄스 폭과 동일한 주기로 R, G, B에 인가되는 검사 신호의 극성이 반전하므로, 짧은 시간 내에 R, G, B 신호가 바뀌어 화소 내로 신호가 충분히 충전되지 못하고 플리커가 나타날 수 있다. 또한, 짝수번째 및 홀수번째 게이트선에 대한 분리 현상이 뚜렷하게 나타나기 때문에, 주로 눈으로 확인하게 되는 화면의 균일성 검사에 부적절할 수 있다. 또한, 하이(high)나 오프(off) 상태의 화소 결함을 검출하기가 어렵다.
이를 개선하기 위한 제3 실시예에 따른 검사 파형이 도 18에 도시되어 있다.
도 18에서는 홀수번째 및 짝수번째 게이트선에 인가되는 신호(Godd, Geven) 및 R, G, B 화소열에 인가되는 신호(DR, DG, DB)는 앞선 제2 실시예에서와 거의 동일하다. 다만, R,G, B 화소열에 인가되는 신호가 게이트 펄스 폭의 2배에 해당하는 주기로 반전한다.
따라서, 화소 내에 R, G, B 신호가 충전되는 데에 어려움이 없고, 게이트 펄스와 데이터 신호 간의 동기가 용이하며, 플리커도 줄어드는 등 전반적으로 안정적으로 구동된다. 결국, 균일성 검사에 적당하며 하이 및 오프 상태의 결함도 제2 실시예에서보다는 용이하게 검출되는 등 검출력이 향상된다.
도 19는 본 발명의 제4 실시예에 따른 검사 신호 파형도로서, 앞선 실시예와 마찬가지로 홀수번째 및 짝수번째 게이트선에 각각 반 주기의 차를 가지고 펄스가 동기되도록 신호를 인가하고, 데이터선에는 게이트 펄스 폭의 두 배에 해당하는 시간을 주기로 극성이 반전하는 검사 신호를 인가한다.
다만, 게이트의 펄스를 각각의 R, G, B 화소열에 인가되는 신호(DR, DG, DB)가 반전하는 시점(t1, t2)보다 나중에 인가하여 게이트가 열리는 순간 R, G, B 화소 내로 검사 신호가 큰 초기치를 가지고 충전되도록 한다. 따라서, 충전되는데 걸리는 시간이 줄어들어 같은 게이트 펄스가 인가된 동안에 충분히 충전될 수 있다. 따라서, 고정세화된 기판의 경우도 용이하게 검사할 수 있다.
이상에서와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 불량 검사 방법에서는 두 개의 게이트 보조선 및 데이터 보조선에 각기 별도의 검사 신호를 인가할 수 있기 때문에 기판 내 불량 검출력이 향상된다. 이에 따라, 불량이 발생한 기판이 다음 단계로 진행되지 않고 검사 단계에서 폐기됨으로써, 제조 원가를 낮출 수 있다. 또한, 게이트선에 인가되는 펄스가 온(on)이 되는 시점보다 데이터선 신호가 미리 인가되도록 하여 데이터 신호가 충분히 인가되도록 함으로써, 고정세화된 기판을 용이하게 검사할 수 있다.

Claims (12)

  1. 다수의 R, G, B 화소, 각각 짝수번째 및 홀수번째로 나뉘어 연결되어 있는 제1 및 제2 게이트선 및 상기 R, G, B 화소에 각각 나뉘어 연결되어 있는 다수의 제1, 제2 및 제3 데이터선를 가지는 액정 표시 기판에서,
    상기 제1 게이트선에 제1 펄스를 인가하는 단계,
    상기 제2 게이트선에 상기 제1 펄스와 다른 시점에서 제2 펄스를 인가하는 단계,
    상기 제1 펄스를 인가하는 단계에서, 연속적으로 배열된 세 개의 상기 데이터선 중 서로 인접한 제1 및 제2 데이터선에 동일한 극성의 제1 및 제2 신호를 인가하고 상기 세 개의 데이터선 중 상기 제1 및 제2 데이터선을 제외한 나머지 제3 데이터선에 상기 제1 및 제2 신호와는 극성이 다른 제3 신호를 인가하는 제1 단계,
    상기 제2 펄스가 인가하는 단계에서, 상기 제2 및 제3 데이터선에 상기 제1 및 제2 신호를 인가하고 상기 제1 데이터선에는 상기 제3 신호를 인가하는 제2 단계
    를 포함하는 액정 표시 장치의 검사 방법.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 펄스와 상기 제2 펄스는 주기적으로 인가되며 반 주기의 시간차를 가지고 인가되는 액정 표시 장치의 검사 방법.
  3. 제1항에서,
    상기 제1 게이트선에 제3 펄스를 인가하는 단계,
    상기 제2 게이트선에 상기 제3 펄스와 다른 시점에서 제4 펄스를 인가하는 단계,
    상기 제3 펄스를 인가하는 단계에서, 상기 제2 및 제3 데이터선에 상기 제1 및 제2 신호를 인가하고 상기 제1 데이터선에는 상기 제3 신호를 인가하는 제3 단계,
    상기 제4 펄스를 인가하는 단계에서, 상기 제1 및 제 3 데이터선에 상기 제1 및 제2 신호를 인가하고 상기 제2 데이터선에는 상기 제3 신호를 인가하는 제4 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치의 검사 방법.
  4. 제3항에서,
    상기 제3 펄스와 상기 제4 펄스는 주기적으로 인가되며 반 주기의 시간차를 가지고 인가되는 액정 표시 장치의 검사 방법.
  5. 다수의 R, G, B 화소, 각각 짝수번째 및 홀수번째로 나뉘어 연결되어 있는 다수의 제1 및 제2 게이트선 및 상기 R, G, B 화소에 각각 나뉘어 연결되어 있는 다수의 제1, 제2 및 제3 데이터선를 가지는 액정 표시 기판에서,
    상기 제1 게이트선에 제1 펄스를 인가하는 단계,
    상기 제2 게이트선에 상기 제1 펄스와는 다른 시점에서 제2 펄스를 인가하는 단계,
    상기 제1 펄스를 인가하는 단계에서, 연속적으로 배열된 세 개의 상기 데이터선 중 서로 인접한 제1 및 제2 데이터선에 제1 극성을 가지며 제1 반전 주기로 반전하는 제1 신호를 인가하고, 상기 세 개의 데이터선 중 상기 제1 및 제2 데이터선을 제외한 나머지 제3 데이터선에 상기 제1 반전 주기로 반전하며 상기 제1 신호와는 극성이 반대인 제2 신호를 인가하는 제1 단계,
    상기 제2 펄스를 인가하는 단계에서, 상기 제1 및 제2 데이터선에 상기 제2 신호를 인가하고, 상기 제3 데이터선에 상기 제1 신호를 인가하는 제2 단계
    를 포함하는 액정 표시 장치의 검사 방법.
  6. 제5항에서,
    상기 제1 게이트선에 제3 펄스를 인가하는 단계,
    상기 제2 게이트선에 상기 제3 펄스와는 다른 시점에서 제4 펄스를 인가하는 단계,
    상기 제3 펄스를 인가하는 단계에서, 상기 제1 및 제3 데이터선에 상기 제1 신호를 인가하고, 상기 제2 데이터선에 상기 제2 신호를 인가하는 단계,
    상기 제4 펄스를 인가하는 단계에서, 상기 제2 데이터선에 상기 제1 신호를 인가하고 상기 제1 및 제3 데이터선에 상기 제2 신호를 인가하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치의 검사 방법.
  7. 제6항에서,
    상기 제1 펄스와 상기 제2 펄스 또는 상기 제3 펄스와 상기 제4 펄스는 서로 반 주기의 시간차를 가지고 인가되는 액정 표시 장치의 검사 방법.
  8. 제6항에서,
    상기 제1 내지 제4 펄스가 인가되는 시점은 상기 제1 및 제2 신호가 반전하는 시점인 액정 표시 장치의 검사 방법.
  9. 제8항에서,
    상기 제1 반전 주기는 상기 제1 내지 제4 펄스의 폭과 동일한 액정 표시 장치의 검사 방법.
  10. 제8항에서,
    상기 제1 반전 주기는 상기 제1 내지 제4 펄스의 폭의 두 배인 액정 표시 장치의 검사 방법.
  11. 제6항에서,
    상기 제1 및 제2 신호의 반전 시점보다 상기 제1 내지 제4 펄스가 나중에 인가되는 액정 표시 장치의 검사 방법.
  12. 제11항에서,
    상기 제1 반전 주기는 상기 제1 내지 제4 펄스의 폭보다 큰 액정 표시 장치의 검사 방법.
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