JP2002098999A

JP2002098999A - 液晶表示装置

Info

Publication number: JP2002098999A
Application number: JP2000292168A
Authority: JP
Inventors: Masanobu Nonaka; 正信野中; Kazuhiro Takahashi; 一博高橋; Yoshihiro Asai; 義裕浅井
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2000-09-26
Filing date: 2000-09-26
Publication date: 2002-04-05

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な検査装置で検査を行うことができる液
晶表示装置を提供するものである。【解決手段】信号線１８の信号線パッド２２から検査
信号を入力し、制御パッド４０から制御信号を入力し、
これによって検査用ＴＦＴ２８をＯＮ状態にして、信号
線１８の状態を検査するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マトリクス配線を
含む液晶表示装置に関し、特に信号線と走査線の検査を
行える液晶表示装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置は、薄型、軽量に加え低消
費電力であることから、各種分野で利用されるようにな
ってきた。特に、各表示画素毎にスイッチ素子が設けら
れたアクティブマトリクス型液晶表示装置は、隣接画素
間でクロストークを最小に抑えることができるため、特
に高精細な表示画像が要求される分野で使用されてい
る。

【０００３】例えば、このアクティブマトリクス型液晶
表示装置は、アレイ基板と対向基板の間に、配向膜を介
してツイスト・ネマチック（ＴＮ）型液晶が保持されて
成る。

【０００４】アレイ基板は、複数本の信号線と複数本の
走査線とが互いに絶縁膜を介してマトリクス状に配線さ
れ、各交点近傍にスイッチ素子として薄膜トランジスタ
（ＴＦＴ）等の能動素子を介して画素電極が配置されて
成る。また、対向基板は、画素電極に対向する対向電極
を含む。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、アク
ティブマトリクス型液晶表示装置の高精細化に伴い、液
晶表示装置の検査工程に用いられる検査装置の駆動信号
入力機構は益々高精度が要求されるようになってきてい
る。

【０００６】一般的に、液晶表示装置の検査工程として
は、アレイ基板を製造した後に検査を行うアレイ基板検
査工程と、液晶セルが完成した後に行う液晶セル検査工
程がある。

【０００７】前者のアレイ基板検査工程は、図７に示す
ように、アレイ基板１００の上に信号線１８、走査線２
０、ＴＦＴ１２１、画素電極１３１等のアレイパターン
を形成した後に、ドライバＩＣの入力部であるパッド２
２，２４の全てに高精度のプローブピンを接触させ検査
信号を入力して電気的検査を行っている。

【０００８】しかしながら、例えばＸＧＡモードの液晶
表示装置においては、信号線が3,072本、走査線が768本
になり、高精度のプローブピンを少なくとも合計3,840
本も必要となってきている。このため、検査に必要な部
品として高額な費用がかかる。

【０００９】また、高精細化に伴い接続パッドも微細ピ
ッチになり、現在では５０μｍピッチの時代へと移行し
てきている。しかしながら、例えば前記した3,840ピン
のプローブピンを５０μｍピッチのパッドへ接触させて
検査することは困難であり、高精度の検査装置と高額な
検査プローブが必要となっている。

【００１０】後者の液晶セル検査工程は、ドライバＩＣ
を液晶セルに実装する前に行うが、アレイ基板検査工程
と同様にドライバＩＣの接続パッド全てに駆動信号を入
力する方法を採用し、高精度のプローブピンを接触させ
て検査を行っている。

【００１１】ところが、この液晶セル表示工程において
もＸＧＡモードの液晶表示装置においては、信号線が3,
072本、走査線が768本になり、高精度のプローブピンが
少なくとも合計3,840も必要となってきている。

【００１２】したがって、アレイ基板検査工程と同様の
問題がある。

【００１３】そこで本発明は上記問題点に鑑み、簡単な
検査装置で検査を行うことができる液晶表示装置を提供
するものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、複数
の走査線と信号線とが交差するように配され、前記走査
線と前記信号線との交差部毎にスイッチング素子が配さ
れ、前記スイッチング素子に画素電極が接続されたアレ
イ基板と、前記アレイ基板と液晶を挟んで配された対向
基板と、を備えた液晶セルを有する液晶表示装置におい
て、前記各信号線の一端部に信号線パッドが配され、前
記各信号線の他端部に検査用スイッチング素子の第１電
極が接続され、検査パッドが検査線を介して前記検査用
スイッチング素子の第２電極に接続され、前記スイッチ
ング素子をＯＮ／ＯＦＦするための制御信号を入力する
ための制御パッドが制御線を介して前記検査用スイッチ
ング素子の第３電極に接続され、前記液晶セルを検査す
る場合に、前記対向基板に対向電圧をかけ、前記走査線
に走査信号を入力し、前記検査パッドから検査信号を入
力し、前記制御信号によって前記検査用スイッチング素
子をＯＮして、前記液晶セルの表示状態を検査できるこ
とを特徴とする液晶表示装置である。

【００１５】請求項２の発明は、前記複数の信号線を複
数のグループに分け、前記各グループに属する複数の信
号線に接続された各検査用スイッチング素子の第２電極
を１本の共通検査線で接続し、この共通検査線の端部に
検査パッドが配されたことを特徴とする請求項１記載の
液晶表示装置である。

【００１６】請求項３の発明は、前記複数の信号線のう
ち赤色用の複数の信号線に接続された各検査用スイッチ
ング素子の第２電極を１本の赤色用共通検査線で接続
し、この赤色用共通検査線の端部に赤色用検査パッドが
配され、前記複数の信号線のうち緑色用の複数の信号線
に接続された各検査用スイッチング素子の第２電極を１
本の緑色用共通検査線で接続し、この緑色用共通検査線
の端部に緑色用検査パッドが配され、前記複数の信号線
のうち青色用の複数の信号線に接続された各検査用スイ
ッチング素子の第２電極を１本の青色用共通検査線で接
続し、この青色用共通検査線の端部に青色用検査パッド
が配されたことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装
置である。

【００１７】請求項４の発明は、前記検査線と前記制御
線とが、有効表示領域の外側であって前記走査線と平行
に配され、前記検査線の内側に前記制御線が配され、前
記制御線の内側に前記検査用スイッチング素子が配され
たことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置であ
る。

【００１８】請求項５の発明は、前記検査線と前記制御
線とが、有効表示領域の外側であって、前記走査線と平
行に配され、前記検査線の内側に前記制御線が配され、
前記検査線と前記制御線との間に前記検査用スイッチン
グ素子が配されたことを特徴とする請求項１記載の液晶
表示装置である。

【００１９】請求項６の発明は、前記検査線と前記制御
線と前記検査用スイッチング素子が、前記アレイ基板と
前記対向基板とを接着する額縁状のシール剤の内側に配
されたことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置で
ある。

【００２０】請求項７の発明は、複数の走査線と信号線
とが交差するように配され、前記走査線と前記信号線と
の交差部毎にスイッチング素子が配され、前記スイッチ
ング素子に画素電極が接続されたアレイ基板と、前記ア
レイ基板と液晶を挟んで配された対向基板と、を備えた
液晶セルを有する液晶表示装置において、前記各走査線
の一端部に走査線パッドが配され、前記各走査線の他端
部に検査用スイッチング素子の第１電極が接続され、検
査パッドが前記検査用スイッチング素子の第２電極に接
続され、前記検査用スイッチング素子をＯＮ／ＯＦＦす
るための制御信号を入力するための制御パッドが前記検
査用スイッチング素子の第３電極に接続され、前記液晶
セルを検査する場合に、前記対向基板に対向電圧をか
け、前記信号線に信号を入力し、前記検査パッドから検
査信号を入力し、前記制御信号によって前記検査用スイ
ッチング素子をＯＮして、前記液晶セルの表示状態を検
査できることを特徴とする液晶表示装置である。

【００２１】請求項８の発明は、前記複数の走査線を複
数のグループに分け、前記各グループに属する複数の走
査線に接続された各検査用スイッチング素子の第２電極
を１本の共通検査線で接続し、この共通検査線の端部に
検査パッドが配されたことを特徴とする請求項７記載の
液晶表示装置である。

【００２２】請求項９の発明は、前記複数の走査線のう
ち偶数番目の走査線に接続された各検査用スイッチング
素子の第２電極を１本の偶数番用共通検査線で接続し、
この偶数番用共通検査線の端部に偶数番用検査パッドが
配され、前記複数の走査線のうち奇数番目の走査線に接
続された各検査用スイッチング素子の第２電極を１本の
奇数番用共通検査線で接続し、この奇数番用共通検査線
の端部に奇数番用検査パッドが配されたことを特徴とす
る請求項７記載の液晶表示装置である。

【００２３】請求項１０の発明は、前記検査線と前記制
御線とが、有効表示領域の外側であって前記信号線と平
行に配され、前記検査線の内側に前記制御線が配され、
前記制御線の内側に前記検査用スイッチング素子が配さ
れたことを特徴とする請求項７記載の液晶表示装置であ
る。

【００２４】請求項１１の発明は、前記検査線と前記制
御線とが、有効表示領域の外側であって前記信号線と平
行に配され、前記検査線の内側に前記制御線が配され、
前記検査線と前記制御線との間に前記検査用スイッチン
グ素子が配されたことを特徴とする請求項７記載の液晶
表示装置である。

【００２５】請求項１２の発明は、前記検査線と前記制
御線と前記検査用スイッチング素子が、前記アレイ基板
と前記対向基板とを接着する額縁状のシール剤の内側に
配されたことを特徴とする請求項７記載の液晶表示装置
である。

【００２６】請求項１３の発明は、複数の走査線と信号
線とが交差するように配され、前記走査線と前記信号線
との交差部毎にスイッチング素子が配され、前記検査用
スイッチング素子に画素電極が接続されたアレイ基板を
備えた液晶表示装置において、前記各信号線の一端部に
信号線パッドが配され、前記各信号線パッドに検査用ス
イッチング素子の第１電極が接続され、検査パッドが検
査線を介して前記検査用スイッチング素子の第２電極に
接続され、前記検査用スイッチング素子をＯＮ／ＯＦＦ
するための制御信号を入力するための制御パッドが制御
線を介して前記検査用スイッチング素子の第３電極に接
続され、前記アレイ基板を検査する場合に、前記検査パ
ッドから検査信号を入力し、前記制御信号によって前記
検査用スイッチング素子をＯＮして、前記信号線の状態
を検査することを特徴とする液晶表示装置である。

【００２７】請求項１４の発明は、前記検査用スイッチ
ング素子をｎ個毎に複数のグループに分け、前記一つの
グループに属する検査用スイッチング素子が前記検査線
によって並列に接続され、前記並列に接続された一つの
グループの検査用スイッチング素子に一つの検査パッド
が接続され、前記各グループのｎ個の検査用スイッチン
グ素子の中の第ｍ番目（１＝＜ｍ＝＜ｎ）の検査用スイ
ッチング素子を１本の第ｍ制御線によって並列に接続
し、前記第ｍ制御線に第ｍ制御パッドが配されたことを
特徴とする請求項１３記載の液晶表示装置である。

【００２８】請求項１５の発明は、複数の走査線と信号
線とが交差するように配され、前記走査線と前記信号線
との交差部毎にスイッチング素子が配され、前記検査用
スイッチング素子に画素電極が接続されたアレイ基板を
備えた液晶表示装置において、前記各走査線の一端部に
走査線パッドが配され、前記各走査線パッドに検査用ス
イッチング素子の第１電極が接続され、検査パッドが検
査線を介して前記検査用スイッチング素子の第２電極に
接続され、前記検査用スイッチング素子をＯＮ／ＯＦＦ
するための制御信号を入力するための制御パッドが制御
線を介して前記検査用スイッチング素子の第３電極に接
続され、前記アレイ基板を検査する場合に、前記検査パ
ッドから検査信号を入力し、前記制御信号によって前記
検査用スイッチング素子をＯＮして、前記走査線の状態
を検査することを特徴とする液晶表示装置である。

【００２９】請求項１６の発明は、前記検査用スイッチ
ング素子をｎ個毎に複数のグループに分け、前記一つの
グループに属する検査用スイッチング素子が前記検査線
によって並列に接続され、前記並列に接続された一つの
グループの検査用スイッチング素子に一つの検査パッド
が接続され、前記各グループのｎ個の検査用スイッチン
グ素子の中の第ｍ番目（１＝＜ｍ＝＜ｎ）の検査用スイ
ッチング素子を１本の第ｍ制御線によって並列に接続
し、前記第ｍ制御線に第ｍ制御パッドが配されたことを
特徴とする請求項１５記載の液晶表示装置である。

【００３０】請求項１の発明は、液晶セルの検査工程に
おいて信号線の検査するものであり、対向基板に対向電
圧をかけ、走査線に走査信号を入力し、信号線の信号線
パッドから検査信号を入力し、制御信号によって検査用
スイッチング素子をＯＮして、電流が流れるか否かを検
査して信号線の状態を検査する。

【００３１】請求項７の発明は、液晶セルの検査工程に
おいて走査線の検査するものであり、対向基板に対向電
圧をかけ、また、信号線に信号を入力し、さらに走査線
の走査線の走査線パッドから検査信号を入力し、制御信
号によって検査用スイッチング素子をＯＮして、信号線
の状態を検査するものである。

【００３２】請求項１３の発明は、アレイ基板の信号線
の検査を行うものであり、検査パッドから検査信号を入
力し、制御信号によって検査用スイッチング素子をＯＮ
して、信号線の状態を検査するものである。

【００３３】請求項１５の発明は、アレイ基板上の走査
線の状態を検査するものであり、検査パッドから検査信
号を入力し、前記制御信号によって検査用スイッチング
素子をＯＮして、走査線の状態を検査するものである。

【００３４】

【発明の実施の形態】＜第１の実施例＞以下、本発明の
第１の実施例の液晶表示装置１０について、図１から図
４に基づいて説明する。

【００３５】なお、本実施例は液晶セル検査工程におい
て、液晶セル１４の信号線１８及び走査線２０の状態を
容易に検査することができる液晶表示装置１０について
説明する。

【００３６】（全体の構成）この液晶表示装置１０は、
図２に示す如く、ＸＧＡの対角１５インチの有効表示領
域３を持つ光透過型のアクティブマトリクス型であっ
て、バックライト１２からの光源光を用いて表示する光
透過型の液晶セル１４を含む。この液晶セル１４は、信
号線１８に映像信号Ｖsig を、走査線２０に走査信号Ｖ
ｇを、対向電極及びショートリングに対向電極電圧Ｖco
m をそれぞれ供給する駆動回路部１６に接続される。な
お、図面はＸＧＡの構造をそのまま記載するのでなく、
説明をわかりやすくするために簡略化して記載してあ
る。

【００３７】この液晶セル１４は、図２に示す如く、ア
レイ基板１００、対向基板２００、アレイ基板１００及
び対向基板２００との間に配向膜４０１，４１１を介し
て配置される約５ミクロンの厚さのＴＮ型液晶３００を
含む。

【００３８】次に、図２及び図３を参照して詳細に説明
する。

【００３９】アレイ基板１００は、ガラス基板１０１上
に配置される７６８本のモリブデン・タングステン合金
からなる走査線２０と、後述するＴＦＴ１２１のゲート
絶縁膜１１３を兼ねる窒化シリコン膜（ＳｉＮｘ）を介
して直交する１，０２４×３（Ｒ，Ｇ，Ｂ）本のアルミ
ニウムから成る信号線１８とを含む。走査線２０の材料
としては、これ以外にＭｏＴａ、Ｔａ、Ａｌでもよい。
また、信号線１８の材料としては、これ以外にＭｏ、Ｔ
ａでもよい。なお、以下の説明では、信号線をまとめて
呼ぶときは信号線１８といい、赤色の信号線を呼ぶとき
は信号線１８Ｒ、緑色の信号線を呼ぶときは信号線１８
Ｇ、青色の信号線を呼ぶときは信号線１８Ｂという。他
の部材も同様である。

【００４０】そして、走査線２０と信号線１８との交差
部近傍には、走査線２０自体をゲート電極、信号線１８
をドレイン電極１２５とし、活性層として非晶質シリコ
ン（ａ−Ｓｉ）膜１２３が、またａ−Ｓｉ膜１２３を保
護するチャネル保護膜１２９、ドレイン電極１２５とａ
−Ｓｉ膜１２３との間、ソース電極１２７とａ−Ｓｉ膜
１２３との間にそれぞれ配置される低抵抗半導体層１２
６，１２８を備えて成る逆スタガ構造のＴＦＴ１２１が
配置されている。このＴＦＴ１２１のソース電極１２７
は透明電極（ＩＴＯ）から成る画素電極１３１に電気的
に接続されている。そして、この実施例では画素電極１
３１は、前段の走査線２０とゲート絶縁膜１１３、１１
４，１１５を介して積層配置され、画素電極１３１と前
段の走査線２０との間で補助容量Ｃｓが構成される。

【００４１】対向基板２００も、ガラス基板２０１上に
透明電極から成る対向電極２３１を含み、ガラス基板２
０１と対向基板２３１との間には、遮光膜２１１、カラ
ーフィルタ２２１等が配置される。

【００４２】信号線１８及び走査線２０は、それぞれ外
部の駆動回路と電気的に接続するためにガラス基板１０
１の端に引き出され、それぞれ信号線パッド２２，走査
線パッド２４に導かれる。

【００４３】さらに、アレイ基板１００のガラス基板１
０１上には、信号線１８及び走査線２０を検査するため
の検査回路部２６が設けられている。この検査回路部２
６は、信号線パッド２２が並んだ辺とは相対向する位置
に設けられている。また、対向電極２３１に対向電極電
圧Ｖcomをかけるためのコモン電極パッド９４が設けら
れている。

【００４４】（検査回路部２６の構成）（１）信号線１８を検査する構造まず、この検査回路部２６の信号線１８を検査する構造
について図１に基づいて具体的に説明する。

【００４５】赤色用信号線１８Ｒの一端部は信号線パッ
ド２２に接続され、他端部は赤色用検査用ＴＦＴ２８Ｒ
のドレイン電極に接続されている。

【００４６】また、この検査用ＴＦＴ２８Ｒのソース電
極から引き出し用検査線３０Ｒが延びている。

【００４７】この引き出し用検査線３０Ｒは、アレイ基
板１００の周辺部であって、有効表示領域３外に設けら
れた赤色用共通検査線３２Ｒに接続されている。

【００４８】他の画素の赤色用信号線１８Ｒも同様に検
査用ＴＦＴ２８Ｒと引き出し用検査線３０Ｒを介して赤
色用共通検査線３２Ｒに接続されている。

【００４９】緑用信号線１８Ｇもそれぞれ検査用ＴＦＴ
２８Ｇを介して引き出し用検査線３０Ｇが延び、緑用共
通検査線３２Ｇと接続されている。

【００５０】青用信号線１８Ｂも同様に検査用ＴＦＴ２
８Ｂ、引き出し用検査線３０Ｂを介して青色用共通検査
線３２Ｂに接続されている。

【００５１】赤色用共通検査線３２Ｒ、緑用共通検査線
３２Ｇ、青色用共通検査線３２Ｂは平行に延び、アレイ
基板１００の走査線パッド２４の設けられた辺側に延
び、それぞれ赤色用検査パッド３４Ｒ、緑用検査パッド
３４Ｇ、青色用検査パッド３４Ｂが設けられている。

【００５２】検査用ＴＦＴ２８Ｒ，Ｇ，Ｂのゲート電極
から引き出し用制御線３６Ｒ，Ｇ，Ｂが延び、それぞれ
共通制御線３８に接続されている。この共通制御線３８
は、共通検査線３２と平行に走査線パッド２４側に引き
出され、その端部には制御パッド４０が設けられてい
る。

【００５３】（２）走査線２０を検査する構造次に、走査線２０を検査する回路について説明する。

【００５４】走査線２０の一端部は走査線パッド２４に
接続され、他端部は検査用ＴＦＴ４２のドレイン電極に
接続されている。

【００５５】この検査用ＴＦＴ４２のソース電極から引
き出し用検査線４４が延びている。このうち、偶数番目
の走査線２０の引き出し用検査線４４は偶数番用共通検
査線４６に接続され、奇数番目の走査線２０の引き出し
用共通検査線４４は奇数番用共通検査線４８に接続され
ている。

【００５６】偶数番用共通検査線４６は走査線パッド２
４の相対向する辺に沿って延びた後、前記した共通検査
線３２が延びている辺に回り込み、走査線パッド２４が
設けられている辺まで延びている。その端部には偶数番
用検査パッド５０が設けられている。奇数番用共通検査
線４８も同様にして延び、その端部には奇数番用検査パ
ッド５２が設けられている。

【００５７】走査線２０の検査用ＴＦＴ４２のゲート電
極からは引き出し用制御線５４が延び、全ての引き出し
用制御線５４は、共通制御線５６に接続されている。こ
の共通制御線５６は、偶数番用共通検査線４６と同様に
走査線パッド２４がある位置まで延び、その先端には制
御パッド５８が設けられている。

【００５８】（検査回路部２６の断面構造）図４は、図
１におけるＡ−Ａ線断面図であり、青色用の引き出し用
検査線３０Ｂ、各色の共通検査線３２、信号線用の共通
制御線３８、偶数番用共通検査線４６、奇数番用共通検
査線４８、走査線用の共通制御線５６の関係を示したも
のである。

【００５９】信号線用の共通制御線３８と走査線用の共
通制御線５６とは、ガラス基板１０１上に設けられた走
査線２０と同じ工程、同じ材料で形成されている。

【００６０】各色の共通検査線３２と偶数番用共通検査
線４６とは、奇数番用共通検査線４８、信号線１８と同
じ工程、同じ材料で形成されている。これは、低抵抗を
実現するためである。

【００６１】青色用の引き出し用検査線３０Ｂは、信号
線用の共通制御線３８を越えるまでの第１部分３０Ｂ−
１と、他の色の共通検査線３２Ｒ、Ｇを越える部分の第
２部分３０Ｂ−２とよりなる。

【００６２】第１部分３０Ｂ−１は、信号線１８と同じ
材料、同じ工程で形成された構造であり、第２部分３０
Ｂ−２は、走査線２０と同じ材料、同じ工程で形成され
た構造となっている。そして、第１部分３０Ｂ−１と第
２部分３０Ｂ−２とは、コンタクトホールを設けて画素
電極１３１と同じ材質、工程で形成された接続部９０で
接続されている。第２部分３０Ｂ−２と共通検査線３２
Ｂは、コンタクトホールを設けて画素電極１３１と同じ
材質、工程で形成された接続部９２で接続されている。

【００６３】なお、図示はしていないが、信号線の検査
用ＴＦＴ２８は、ＴＦＴ１２１と同じ工程で製造され、
走査線の検査用ＴＦＴ４２も、ＴＦＴ１２１と同じ工程
で製造されている。

【００６４】また、図４に示すように、検査回路部２６
は、アレイ基板１００と対向基板２００とを貼り合わせ
るためのシール材６０の内側に存在している。これによ
って、シール材６０の押圧力によって、検査用ＴＦＴ２
８や検査用ＴＦＴ４２が破壊されることがない。

【００６５】さらに、図１，４に示すように、検査用Ｔ
ＦＴ２８は、共通制御線３８の内側に存在している。

【００６６】そのため、引き出し用共通検査線３０と共
通制御線３８とり交差部分でピンホール等により穴が開
き短絡した場合には、その検査用ＴＦＴ２８については
動作を行わず検査を行うことができないが、その位置に
ある信号線１８については検査用ＴＦＴ２８が短絡した
状態となるため、表示については行うことができ、不良
を発生させることがない。

【００６７】（液晶セル１４の検査工程）上記構成の液
晶セル１４の信号線１８及び走査線２０の状態を検査す
る工程について以下説明する。なお、この工程は液晶セ
ル１４に駆動回路部１６を実装する前に行う。

【００６８】（１）信号線１８の検査まず、信号線１８の検査工程について説明する。

【００６９】従来では、全ての信号線を同時に検査した
が、本実施例では各色毎の信号線１８毎に検査する。

【００７０】赤色用の信号線１８Ｒの検査工程について
説明する。

【００７１】赤色用の検査パッド３４Ｒにもプローブピ
ンを接触させる。また、対向基板２００にも対向電極電
圧Ｖcomをコモン電極パッド９４からかける。

【００７２】そして、赤色を表示することができる検査
信号を検査パッド３４Ｒから入力し、また、制御パッド
４０から検査用ＴＦＴ２８をＯＮ状態にする制御信号を
入力させる。

【００７３】これによって、検査信号は検査パッド３４
から信号線１８Ｒに流れ、各赤色用の画素が点灯する。
そして、この状態で検査を行い、赤色が点灯していない
信号線１８Ｒについては断線等の不良があったと判断す
る。

【００７４】緑色用の信号線１８Ｇと青色用の信号線１
８Ｂも同様にそれぞれの色毎に検査し、信号線１８の不
良状態を検査する。

【００７５】このような検査を行うことにより、信号線
パッド２２が５０μｍピッチ毎に並んでいても、プロー
ブピンは制御パッド４０と検査パッド３４に接触させる
だけであるために、容易に検査できる。

【００７６】したがって、プローブピンの数も少なくな
り検査装置が高額になることもない。

【００７７】（２）走査線２０の検査次に、走査線２０を検査する場合について説明する。

【００７８】走査線２０を検査する場合には、偶数番目
の走査線２０と奇数番目の走査線２０とに分けて検査す
る。

【００７９】まず、最初に偶数番用検査パッド５０にプ
ローブピンを接触させる。そして、制御パッド５８にも
プローブピンを接触させる。また、対向基板２００にも
対向電極電圧Ｖcomをコモン電極パッド９４からかけ
る。

【００８０】以上のようにした後、各信号線１８に信号
を入力し、偶数番目の走査線２０に検査用の信号を入力
し、検査用ＴＦＴ４２をＯＮ状態にする制御信号を入力
する。

【００８１】これによって、偶数番目の走査線２０に接
続された画素の状態を視認することができ、点灯しない
走査線２０については断線があると判断できる。

【００８２】この場合に、前記で行った信号線１８の検
査工程における点灯しない信号線との関係を位置付け、
特定の画素について点灯するかどうかも検査することが
できる。

【００８３】奇数番目の走査線２０についても同様に検
査を行うことができる。

【００８４】以上によって、走査線２０を検査する場合
には、プローブピンは制御パッド５８と偶数番用検査パ
ッド５０に接触させるプローブピンだけで済むことがで
き、その検査も容易となり、また、検査装置も高額にな
らない。

【００８５】（変更例）上記実施例では、信号線用の共
通制御線３８と走査線用の共通制御線５６とを別に形成
したが、同じ線で形成してもよい。

【００８６】＜第２の実施例＞第２の実施例について、
図５に基づいて説明する。

【００８７】本実施例と第１の実施例の異なる点は、検
査用ＴＦＴ２８の設ける位置にある。すなわち、第１の
実施例では共通制御線３８の内側に検査用ＴＦＴ２８を
設けたが、本実施例では検査用ＴＦＴ２８を共通制御線
３８と共通検査線３２との間に設けたものである。

【００８８】本実施例であっても、第１の実施例と同様
に信号線１８の検査を行うことができる。

【００８９】＜第３の実施例＞第３の実施例について図
６に基づいて説明する。

【００９０】第１の実施例及び第２の実施例では、アレ
イ基板１００と対向基板２００とを組み合わせて液晶セ
ル１４を完成したあとの検査工程に用いる液晶表示装置
１０について説明したが、本実施例では対向基板２００
を組み合わせる前のアレイ基板１００における信号線１
８と走査線２０の検査工程について説明する。

【００９１】なお、本実施例におけるアレイ基板１００
の内方のアレイパターンと検査回路部２６の構造につい
ては、第１の実施例と同様である。

【００９２】（アレイ基板１００の外方の構造）本実施
例のアレイ基板１００は、製品段階の液晶セル１４に用
いるガラス基板１０１よりも大型の構造のガラス基板で
あり、この検査工程の後、不要な部分を切り落として、
ガラス基板１０１の大きさに合わせる。

【００９３】アレイ基板１００の外方に位置する外基板
１５０の１辺には、信号線１８を検査するための信号線
１８の検査回路部６４が設けられている。また、隣接す
る辺には走査線２０の検査回路部６６が設けられてい
る。

【００９４】（信号線の検査回路部６４の構造）まず、
信号線１８を検査するための検査回路部６４について説
明する。

【００９５】信号線１８の端部に設けられている信号線
パッド２２からさらにガラス基板６２の外方にある外基
板１５０に向かって引き出し線６８が延び、検査用ＴＦ
Ｔ７０のドレイン電極に接続されている。この検査用Ｔ
ＦＴ７０のソース電極から測定線７２が延び、その先端
には測定パッド７４が設けられている。この検査用ＴＦ
Ｔ７０は、信号線１８のＲＧＢに相当する３本の信号線
１８Ｒ，Ｇ，Ｂは、一組として一のグループが形成され
ている。そして、このグループの３本の測定線７２は並
列に接続され、１個の測定パッド７４に接続されてい
る。以下の説明を簡単にするため、図６における複数の
測定パッド７４を、左側から第１グループの測定パッド
７４（以下、第１測定パッド７４−１という）、順番に
第６測定パッド７４−６まで存在することとする。

【００９６】さらに、赤色用信号線１８Ｒの検査用ＴＦ
Ｔ７０のゲート電極からは引き出し用制御線７６が延
び、赤色用共通制御線７８Ｒに接続されている。以下同
様に緑用の信号線１８Ｇは緑用の共通制御線７８Ｇに接
続され、青色用信号線１８Ｂは青色用共通制御線７８Ｂ
に接続されている。これによって、各グループの色毎に
それぞれ３本の共通制御線７８に接続されていることと
なる。そして、赤色用共通制御線７８の端部には赤色用
制御パッド８０Ｒが接続され、以下同様に緑色用制御パ
ッド８０Ｇ、青色用制御パッド８０Ｂが設けられてい
る。

【００９７】（走査線２０の検査回路部６６の構造）次
に、走査線２０の検査回路部６６について説明する。

【００９８】この検査回路部６６も信号線用の検査回路
部６４と同様に、走査線２０の端部に検査用ＴＦＴ８２
が設けられ、３本の走査線２０を一つのグループとし
て、複数のグループに分け、各グループ毎に測定パッド
８６が設けられている。そして、３本の走査線１８毎に
制御パッド８４が設けられている。

【００９９】（検査方法）上記構成の検査回路部６４の
検査方法について説明する。

【０１００】第１測定パッド７４−１にプローブピンを
接触させ、検査信号を入力すると共に、走査線２０にも
走査信号を入力する。そして、赤色用制御パッド８０Ｒ
にプローブピンを接触させて検査用ＴＦＴ７０の状態を
ＯＮ状態とする制御信号を入力すると、第１グループの
信号線１８Ｒに検査信号が入力させる。この時にこの検
査信号の電圧値、または、電流値が適正値であれば、そ
の信号線は正常であり、適正値から外れていれば、その
信号線は異常と判断する。例えば、断線が起こっている
と判断することができる。

【０１０１】以上のようにして、順番に他のグループの
測定パッド７４にプローブピンを当て、かつ、制御パッ
ド８０Ｇ、８０Ｂの順番にプローブピンを移動させる
と、その位置の信号線の状態を検査することができる。

【０１０２】また、走査線２０も同様にして検査を行う
ことが可能となる。

【０１０３】（変更例）なお、上記実施例では簡単に説
明するために３本の信号線１８を束にしたものを１つの
グループとしたが、これ以上の信号線（例えば１０本）
を１つの束にして検査を行うことができる。例えば、Ｕ
ＸＧＡ表示の液晶表示装置においては、プローブピンの
数は4,800本必要であったが、１／１０の480本で済むこ
とができる。

【０１０４】

【発明の効果】以上により本発明の液晶表示装置である
と、アレイ基板の検査工程及び液晶セルの検査工程にお
いても信号線及び走査線の状態を容易に測定することが
でき、その検査装置の構造も容易にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例の液晶表示装置の平面図である。

【図２】液晶表示装置の分解斜視図である。

【図３】液晶セルの要部縦断面図である。

【図４】検査回路部の縦断面図である。

【図５】第２の実施例の液晶セルの平面図である。

【図６】第３の実施例のアレイ基板の平面図である。

【図７】従来の液晶表示装置における液晶セルの平面図
である。

【符号の説明】

１０液晶表示装置１４液晶セル１８信号線２０走査線２２信号線パッド２４走査線パッド２６検査回路部２８検査用ＴＦＴ３０引き出し用共通検査線３２共通検査線３４検査パッド３６引き出し用制御線３８共通制御線４０制御パッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者浅井義裕兵庫県姫路市余部区上余部50番地株式会社東芝姫路工場内Ｆターム(参考） 2H088 FA13 HA02 HA08 JA05 MA20 2H089 NA37 QA16 TA02 TA07 TA18 2H092 GA61 JA24 JB77 KA05 KA12 KA19 KB05 MA57 PA02 PA08 PA13 QA07 5F110 AA24 CC07 DD02 EE03 EE04 EE06 EE37 FF03 GG02 GG15 HK07 HK08 HK21 HK22 HM19 NN12 NN72 5G435 AA19 BB12 KK10 LL00

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の走査線と信号線とが交差するように
配され、前記走査線と前記信号線との交差部毎にスイッ
チング素子が配され、前記スイッチング素子に画素電極
が接続されたアレイ基板と、前記アレイ基板と液晶を挟んで配された対向基板と、を備えた液晶セルを有する液晶表示装置において、前記各信号線の一端部に信号線パッドが配され、前記各信号線の他端部に検査用スイッチング素子の第１
電極が接続され、検査パッドが検査線を介して前記検査用スイッチング素
子の第２電極に接続され、前記スイッチング素子をＯＮ／ＯＦＦするための制御信
号を入力するための制御パッドが制御線を介して前記検
査用スイッチング素子の第３電極に接続され、前記液晶
セルを検査する場合に、前記対向基板に対向電圧をか
け、前記走査線に走査信号を入力し、前記検査パッドか
ら検査信号を入力し、前記制御信号によって前記検査用
スイッチング素子をＯＮして、前記液晶セルの表示状態
を検査できることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】前記複数の信号線を複数のグループに分
け、前記各グループに属する複数の信号線に接続された各検
査用スイッチング素子の第２電極を１本の共通検査線で
接続し、この共通検査線の端部に検査パッドが配された
ことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置。
【請求項３】前記複数の信号線のうち赤色用の複数の信
号線に接続された各検査用スイッチング素子の第２電極
を１本の赤色用共通検査線で接続し、この赤色用共通検
査線の端部に赤色用検査パッドが配され、前記複数の信号線のうち緑色用の複数の信号線に接続さ
れた各検査用スイッチング素子の第２電極を１本の緑色
用共通検査線で接続し、この緑色用共通検査線の端部に
緑色用検査パッドが配され、前記複数の信号線のうち青色用の複数の信号線に接続さ
れた各検査用スイッチング素子の第２電極を１本の青色
用共通検査線で接続し、この青色用共通検査線の端部に
青色用検査パッドが配されたことを特徴とする請求項１
記載の液晶表示装置。
【請求項４】前記検査線と前記制御線とが、有効表示領
域の外側であって前記走査線と平行に配され、前記検査線の内側に前記制御線が配され、前記制御線の内側に前記検査用スイッチング素子が配さ
れたことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置。
【請求項５】前記検査線と前記制御線とが、有効表示領
域の外側であって、前記走査線と平行に配され、前記検査線の内側に前記制御線が配され、前記検査線と前記制御線との間に前記検査用スイッチン
グ素子が配されたことを特徴とする請求項１記載の液晶
表示装置。
【請求項６】前記検査線と前記制御線と前記検査用スイ
ッチング素子が、前記アレイ基板と前記対向基板とを接
着する額縁状のシール剤の内側に配されたことを特徴と
する請求項１記載の液晶表示装置。
【請求項７】複数の走査線と信号線とが交差するように
配され、前記走査線と前記信号線との交差部毎にスイッ
チング素子が配され、前記スイッチング素子に画素電極
が接続されたアレイ基板と、前記アレイ基板と液晶を挟んで配された対向基板と、を備えた液晶セルを有する液晶表示装置において、前記各走査線の一端部に走査線パッドが配され、前記各走査線の他端部に検査用スイッチング素子の第１
電極が接続され、検査パッドが前記検査用スイッチング素子の第２電極に
接続され、前記検査用スイッチング素子をＯＮ／ＯＦＦ
するための制御信号を入力するための制御パッドが前記
検査用スイッチング素子の第３電極に接続され、前記液晶セルを検査する場合に、前記対向基板に対向電
圧をかけ、前記信号線に信号を入力し、前記検査パッド
から検査信号を入力し、前記制御信号によって前記検査
用スイッチング素子をＯＮして、前記液晶セルの表示状
態を検査できることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項８】前記複数の走査線を複数のグループに分
け、前記各グループに属する複数の走査線に接続された各検
査用スイッチング素子の第２電極を１本の共通検査線で
接続し、この共通検査線の端部に検査パッドが配された
ことを特徴とする請求項７記載の液晶表示装置。
【請求項９】前記複数の走査線のうち偶数番目の走査線
に接続された各検査用スイッチング素子の第２電極を１
本の偶数番用共通検査線で接続し、この偶数番用共通検
査線の端部に偶数番用検査パッドが配され、前記複数の走査線のうち奇数番目の走査線に接続された
各検査用スイッチング素子の第２電極を１本の奇数番用
共通検査線で接続し、この奇数番用共通検査線の端部に
奇数番用検査パッドが配されたことを特徴とする請求項
７記載の液晶表示装置。
【請求項１０】前記検査線と前記制御線とが、有効表示
領域の外側であって前記信号線と平行に配され、前記検査線の内側に前記制御線が配され、前記制御線の内側に前記検査用スイッチング素子が配さ
れことを特徴とする請求項７記載の液晶表示装置。
【請求項１１】前記検査線と前記制御線とが、有効表示
領域の外側であって前記信号線と平行に配され、前記検査線の内側に前記制御線が配され、前記検査線と前記制御線との間に前記検査用スイッチン
グ素子が配されたことを特徴とする請求項７記載の液晶
表示装置。
【請求項１２】前記検査線と前記制御線と前記検査用ス
イッチング素子が、前記アレイ基板と前記対向基板とを
接着する額縁状のシール剤の内側に配されたことを特徴
とする請求項７記載の液晶表示装置。
【請求項１３】複数の走査線と信号線とが交差するよう
に配され、前記走査線と前記信号線との交差部毎にスイ
ッチング素子が配され、前記検査用スイッチング素子に
画素電極が接続されたアレイ基板を備えた液晶表示装置
において、前記各信号線の一端部に信号線パッドが配され、前記各信号線パッドに検査用スイッチング素子の第１電
極が接続され、検査パッドが検査線を介して前記検査用スイッチング素
子の第２電極に接続され、前記検査用スイッチング素子をＯＮ／ＯＦＦするための
制御信号を入力するための制御パッドが制御線を介して
前記検査用スイッチング素子の第３電極に接続され、前記アレイ基板を検査する場合に、前記検査パッドから
検査信号を入力し、前記制御信号によって前記検査用ス
イッチング素子をＯＮして、前記信号線の状態を検査で
きることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項１４】前記検査用スイッチング素子をｎ個毎に
複数のグループに分け、前記一つのグループに属する検査用スイッチング素子が
前記検査線によって並列に接続され、前記並列に接続された一つのグループの検査用スイッチ
ング素子に一つの検査パッドが接続され、前記各グループのｎ個の検査用スイッチング素子の中の
第ｍ番目（１＝＜ｍ＝＜ｎ）の検査用スイッチング素子
を１本の第ｍ制御線によって並列に接続し、前記第ｍ制
御線に第ｍ制御パッドが配されたことを特徴とする請求
項１３記載の液晶表示装置。
【請求項１５】複数の走査線と信号線とが交差するよう
に配され、前記走査線と前記信号線との交差部毎にスイ
ッチング素子が配され、前記検査用スイッチング素子に
画素電極が接続されたアレイ基板を備えた液晶表示装置
において、前記各走査線の一端部に走査線パッドが配され、前記各走査線パッドに検査用スイッチング素子の第１電
極が接続され、検査パッドが検査線を介して前記検査用スイッチング素
子の第２電極に接続され、前記検査用スイッチング素子をＯＮ／ＯＦＦするための
制御信号を入力するための制御パッドが制御線を介して
前記検査用スイッチング素子の第３電極に接続され、前記アレイ基板を検査する場合に、前記検査パッドから
検査信号を入力し、前記制御信号によって前記検査用ス
イッチング素子をＯＮして、前記走査線の状態を検査で
きることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項１６】前記検査用スイッチング素子をｎ個毎に
複数のグループに分け、前記一つのグループに属する検査用スイッチング素子が
前記検査線によって並列に接続され、前記並列に接続された一つのグループの検査用スイッチ
ング素子に一つの検査パッドが接続され、前記各グループのｎ個の検査用スイッチング素子の中の
第ｍ番目（１＝＜ｍ＝＜ｎ）の検査用スイッチング素子
を１本の第ｍ制御線によって並列に接続し、前記第ｍ制
御線に第ｍ制御パッドが配されたことを特徴とする請求
項１５記載の液晶表示装置。