JPH09211027A - 液晶パネルの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 端子同士のピッチ、並びに各端子の長さが従
来よりも短く形成された液晶パネルの点灯検査や動作検
査に好適な検査装置、即ち、できるだけ短い検査領域で
検査を実施することができる検査装置を提供する。 【解決手段】 互いに平行な複数のプローブピンＡ
_N （Ｎ＝１，２，…，ｉ，ｉ＋１，…，ｎ）は、液晶パ
ネル１の端子部２ａの各端子Ｔ_N に対して、その接触部
位Ｓ_N が、端子Ｔ_N の長さ方向に互いにずれるようにし
て配設されている。そして、連続する３本のプローブピ
ン（例えば、Ａ₁ ，Ａ₂ ，Ａ₃ ）が、検査時における上
記端子Ｔ_N の長さ方向に対して斜めの位置関係にある直
線上に配設されると共に、該直線上に配設されたプロー
ブピン以外の２本のプローブピン（例えば、Ａ₄ ，
Ａ₅ ）が、プローブピン同士の間隔（距離Ｄ）を0.07mm
以上に確保すべく、直線上に配設されたプローブピンに
対して千鳥形に配設されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルの端子
群に駆動信号や検査信号等の信号を入力することによ
り、該液晶パネルを検査する検査装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、液晶の電気光学効果を応用し
て画像を表示する表示装置としての液晶パネルが知られ
ており、該液晶パネルは、例えばテレビジョン受像機等
に供されている。液晶パネルは、行列状に配設された多
数の絵素電極と、これら絵素電極に印加された電圧に応
じて光を変調する表示部としての液晶層と、絵素電極に
信号を印加する複数の走査線並びに信号線とを備えてい
る。また、走査線および信号線には、端子が電気的に接
続されている。

【０００３】近年、液晶パネルの高品位化、つまり、表
示品位の向上を図るために、上記の絵素電極にスイッチ
ング素子を電気的に接続し、該スイッチング素子を介し
て絵素電極に信号を入力して画像（映像）を表示する方
法が採用されている。ところが、スイッチング素子の形
成工程は複雑である。このため、液晶パネルの製造工程
において、スイッチング素子の形成不良、或いは、絵素
電極の形成不良や、該絵素電極に信号を印加する走査線
並びに信号線の断線或いは短絡（ショート）が発生する
おそれが比較的高くなっている。そこで、液晶パネルの
品質を維持するために、液晶パネルごとに、スイッチン
グ素子や絵素電極の形成不良の有無を検査すると共に、
不良箇所の解析を行うことが重要となっている。

【０００４】上記液晶パネルの点灯検査や動作検査に供
される検査装置は、プローブピンプレートに設けられた
互いに平行な複数のプローブピンを備えている。プロー
ブピンプレートは、セラミックや合成樹脂等からなり、
所定の強度を備えている。また、上記のプローブピン群
は、被検査体である液晶パネルの端子群の配列に対応し
て配設されている。そして、これらプローブピン群と液
晶パネルの端子群とを接触させて電気的に接続した後、
液晶パネルに駆動信号や検査信号を入力することによ
り、該液晶パネルの各種検査を実施するようになってい
る。

【０００５】図５に示すように、上記複数のプローブピ
ンＡ_N （Ｎ＝１，２，…，ｉ，ｉ＋１，…，ｎ）は、液
晶パネル１の周縁部に突設されている端子部２ａの各端
子Ｔ_N （Ｎ＝１，２，…，ｉ，ｉ＋１，…，ｎ）に対し
て、その接触部位Ｓ_N （Ｎ＝１，２，…，ｉ，ｉ＋１，
…，ｎ）が、端子Ｔ_N の長さ方向に互いにずれるように
して配設されている。このように、端子Ｔ_N の長さ方向
に対して斜めの位置関係になるように配設することによ
り、隣接するプローブピンＡ_i ・Ａ_i+1 同士の間隔、つ
まり、距離Ｄが0.07mm以上となるように調節している。

【０００６】尚、同図においては、連続する５本のプロ
ーブピンが直線上に配設され、５本ごとに同一のパター
ンが繰り返される場合を例示している。また、プローブ
ピンＡ_N をプローブピンプレートに取り付けるために該
プローブピンプレートに形成する孔等の加工技術、つま
り、孔開け時にプローブピンプレートを割らないように
加工する技術に限界があるので、上記の距離Ｄは、0.07
mm以上確保することが必要となっている。

【０００７】一方、最近、いわゆるノートタイプのパー
ソナルコンピュータが普及するに伴い、液晶パネルの大
型化が切望されている。そして、パーソナルコンピュー
タの小型化を図りながら液晶パネルを大型化するため
に、液晶パネルのモジュールのサイズを縮小すること、
つまり、液晶パネルにおける表示部以外の部分（表示部
の額縁部分に相当する部分）の削減、即ち、いわゆる外
周占有率の削減が要望されている。従って、液晶パネル
は、いわゆる２辺信号入力方式が主流となっており、い
わゆる１辺信号入力方式も提案されている。また、液晶
パネルの大型化に伴って画像の高精細化、即ち、表示部
の高精細化も要望されている。従って、液晶パネルの表
示規格は、主流となっているＶＧＡ(video graphics ar
ray)から、Ｓ−ＶＧＡ(super-video graphics array)や
ＸＧＡ(extended graphics array)への移行が検討され
ている。

【０００８】そこで、上記外周占有率の削減、並びに表
示部の高精細化を達成するために、上記液晶パネルの端
子部は、端子同士のピッチが 0.055mm〜 0.075mmとなる
ように、つまり、従来よりも短く形成（設計）されてい
る。また、上記の目的を達成するために、各端子の長さ
（以下、端子長と称する）は、従来の端子長（ 3.8mm）
よりも短い 2.6mmに形成（設計）されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】端子同士のピッチが従
来よりも短く形成された液晶パネル（以下、単に液晶パ
ネルと記す）の各種検査を実施するには、上記のピッチ
に対応して、検査装置が備えるプローブピンの直径をよ
り一層細くすると共に、隣接するプローブピン同士のピ
ッチをより一層短くする必要がある。

【００１０】ところが、プローブピンをプローブピンプ
レートに取り付けるために該プローブピンプレートに形
成する孔等の加工技術に限界があるので、プローブピン
同士のピッチは、端子同士のピッチと同程度にまで短く
形成することができない。従って、上記従来の検査装置
で液晶パネルの各種検査を実施するためには、各プロー
ブピンを、端子の長さ方向により一層ずらして配設しな
ければならない。例えば、図５に示すように、プローブ
ピンを５本ずつ直線上に配設する場合において、例えば
端子Ｔ_i ・Ｔ_i+1 同士のピッチＰが 0.073mmであり、上
記の距離Ｄが0.07mmであり、上記孔の直径が0.15mmであ
る場合、つまり、プローブピンＡ_N の直径が0.15mmであ
る場合には、端子Ｔ_N の長さ方向におけるプローブピン
群の配設長さＲは、下記計算式 〔 (0.15×４＋0.07×４)²−(0.073×４)²〕^1/2 ＋ 0.1
5 ≒ 0.980(mm) から、少なくとも 0.980mm以上必要となる。

【００１１】しかしながら、一般に、端子Ｔ_N は、その
先端部から約２mm内側までの部分がＴＡＢ(tape automa
ted bonding)等の方法によって実装に供される実装領域
となっており、上記実装領域以外の部分が主として検査
領域に割り当てられる。従って、端子長を短く形成する
と、これに伴い実装領域以外の部分が短くなるので、検
査装置においては、実装領域を損傷することのないよう
に、できるだけ短い検査領域で検査を実施することが可
能であることが望ましい。それゆえ、プローブピンが５
本ずつ直線上に配設されてなる上記従来の検査装置で
は、液晶パネルの各種検査を実施する際に比較的長い検
査領域を要するので、端子長が例えば 2.6mmに形成され
た液晶パネルの検査に供するのに不都合である。

【００１２】また、検査領域の長さ、つまり、プローブ
ピン群の配設長さを短くするために、例えば、図６に示
すように、プローブピンを３本ずつ直線上に単に配設す
ることも考えられる。この場合には、プローブピンの配
設長さＲは凡そ 0.565mmとなる。しかしながら、上記の
ようにプローブピン群を配設すると、３本ごとに同一の
パターンが繰り返されるので、プローブピンＡ₁ ・Ａ₄
間の距離は、下記計算式 0.073×３− 0.15 ≒ 0.069(mm) から、 0.069mmとなり、上記の距離Ｄ（0.07mm）よりも
短くなってしまう。つまり、上記加工技術の限界値であ
る0.07mmよりも短くなってしまうので、プローブピンを
３本ずつ直線上に単に配設することができない。それゆ
え、端子同士のピッチが従来よりも短く形成された液晶
パネルに対応することができない。

【００１３】つまり、上記従来の検査装置では、端子同
士のピッチが従来よりも短く（例えば 0.055mm〜 0.075
mm）形成され、かつ、端子長が例えば 2.6mmに形成され
た液晶パネルの検査に供するのに不都合を生じるという
問題点を有している。従って、上記液晶パネルの各種検
査を実施することができる検査装置、即ち、できるだけ
短い検査領域で検査を実施することができる検査装置が
切望されている。

【００１４】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たものであり、その目的は、端子同士のピッチ、並びに
端子長が従来よりも短く形成された液晶パネルの点灯検
査や動作検査に好適な検査装置、即ち、できるだけ短い
検査領域で検査を実施することができる検査装置を提供
することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明の液
晶パネルの検査装置は、上記の課題を解決するために、
互いに平行な複数のプローブピンを備え、該プローブピ
ン群を液晶パネルの端子群に接触させて該端子群に信号
を入力することにより上記液晶パネルを検査する検査装
置において、上記プローブピン群のうち、隣合う少なく
とも２つ以上のプローブピンが、検査時における上記端
子の長さ方向に対して斜めの位置関係にある直線上に配
設されると共に、該直線上に配設されたプローブピン以
外のプローブピンのうちの少なくとも１つが、プローブ
ピン同士の間隔を所定の距離以上に確保すべく、直線上
に配設されたプローブピンに対して千鳥形に配設されて
いることを特徴としている。

【００１６】請求項１記載の構成によれば、直線上に配
設されたプローブピンに対して該プローブピン以外のプ
ローブピンが千鳥形に配設されている。このため、液晶
パネルの端子同士のピッチが従来のピッチよりも短く形
成されている場合においても、液晶パネルの端子の長さ
方向におけるプローブピン群の配設長さ、つまり、上記
端子において検査に供される検査領域の長さを、従来の
検査装置が必要とした検査領域の長さよりも短くするこ
とができる。

【００１７】これにより、ＶＧＡ、Ｓ−ＶＧＡ、ＸＧＡ
等の表示規格に従って形成された液晶パネル、つまり、
端子同士のピッチが従来よりも短く（例えば 0.055mm〜
0.075mm）形成され、かつ、各端子の長さが従来の長さ
よりも短い例えば 2.6mmに形成された液晶パネルの点灯
検査や動作検査を行うことができる。即ち、例えば液晶
パネルの生産工程において、該検査装置を用いて、液晶
パネルのスイッチング素子や絵素電極の形成不良の有無
の検査等の点灯検査や動作検査を実施することができ
る。また、各端子の長さがさらに一層短く形成された液
晶パネルにも対応することができる。そして、各種検査
によって液晶パネルの欠陥を発見し、不良箇所等の解析
を行うことができるので、必要に応じて、該液晶パネル
の欠陥を修正することができる。

【００１８】請求項２記載の発明の液晶パネルの検査装
置は、上記の課題を解決するために、請求項１記載の液
晶パネルの検査装置において、奇数番目のプローブピン
が電気的に接続されている回路と、偶数番目のプローブ
ピンが電気的に接続されている回路とを備えていること
を特徴としている。

【００１９】請求項２記載の構成によれば、液晶パネル
の端子群に、奇数番目のプローブピンと偶数番目のプロ
ーブピンとで異なった信号を印加することができる。そ
れゆえ、隣合う端子同士、即ち、例えば隣合う走査線同
士若しくは信号線同士の短絡の有無を検査することがで
きる。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態について図
１ないし図４に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。尚、説明の便宜上、前記従来の技術を説明する際に
用いた図面（図５）に示した構成と同一の機能を有する
構成には、同一の符号を付記する。

【００２１】本実施の形態にかかる検査装置は、図２に
示すように、駆動信号や検査信号等の信号を発生する信
号発生回路３と、フレキシブル基板４ａ・４ｂとを備え
ている。信号発生回路３は、液晶パネル１の検査に必要
な上記信号を発生させ、該信号を、信号入力ピン６並び
にフレキシブル基板４ａ・４ｂを介してプローブピン群
５ａ・５ｂに印加するようになっている。尚、信号発生
回路３は、図示しない制御手段によって、その動作が制
御されるようになっている。

【００２２】プローブピン群５ａは、互いに平行な複数
のプローブピンＡ_N （Ｎ＝１，２，…，ｉ，ｉ＋１，
…，ｎ）からなっている。また、プローブピン群５ｂ
は、互いに平行な複数のプローブピンＡ' _M （Ｍ＝１，
２，…，ｍ）からなっている。尚、信号入力ピン６は、
各プローブピンＡ_N ・Ａ' _M に対して異なる信号を印加
することができるように構成されている。

【００２３】上記の検査装置にて検査されるべき液晶パ
ネル（被検査体）１は、いわゆる２辺信号入力方式を採
用してなっており、ＶＧＡ(video graphics array)、Ｓ
−ＶＧＡ(super-video graphics array)、ＸＧＡ(exten
ded graphics array) 等の表示規格に従って形成された
ＴＦＴ(Thin Film Transistor)型の液晶表示パネルであ
る。液晶パネル１は、行列状に配設された多数の絵素電
極（図示せず）と、これら絵素電極に印加された電圧に
応じて光を変調する表示部としての液晶層１ａと、絵素
電極に信号を印加する複数の走査線並びに信号線（図示
せず）と、駆動信号入力端子である端子部２ａ・２ｂと
を備えている。

【００２４】端子部２ａ・２ｂは、液晶パネル１におけ
る隣合う２辺（周縁部）に突設されており、端子部２ａ
には、例えば走査線と電気的に接続されている端子群Ｔ
が並設される一方、端子部２ｂには、例えば信号線と電
気的に接続されている端子群Ｔ' が並設されている。端
子群Ｔの端子Ｔ_N （Ｎ＝１，２，…，ｉ，ｉ＋１，…，
ｎ）は、互いに等間隔に短冊状に形成されており、ま
た、端子群Ｔ' の端子Ｔ' _M （Ｍ＝１，２，…，ｍ）
は、互いに等間隔に短冊状に形成されている。

【００２５】上記のプローブピンＡ_N は、端子部２ａの
端子群Ｔの端子Ｔ_N と１対１で対応するように設けられ
ている。つまり、プローブピンＡ_N の本数は、端子Ｔ_N
の個数と同一である。図３に示すように、プローブピン
Ａ_N は、端子Ｔ_N と電気的に接触し、該端子Ｔ_N に所定
の電圧を印加することにより、信号を液晶パネル１に入
力するようになっている。

【００２６】また、プローブピンＡ' _M は、端子部２ｂ
の端子群Ｔ' の端子Ｔ' _M と１対１で対応するように設
けられている。つまり、プローブピンＡ' _M の本数は、
端子Ｔ' _M の個数と同一である。プローブピンＡ'
_M は、端子Ｔ' _M と電気的に接触し、該端子Ｔ' _M に所
定の電圧を印加することにより、信号を液晶パネル１に
入力するようになっている。尚、プローブピンＡ' _M と
端子Ｔ' _M との位置関係等は、プローブピンＡ_N と端子
Ｔ_N との位置関係等と同一であるので、以下の説明にお
いては、プローブピンＡ' _M と端子Ｔ' _M との位置関係
等については、その説明を省略することとする。

【００２７】図４に示すように、フレキシブル基板４ａ
は、フレキシビリティーを備えた材料からなる基板８上
に、２つの回路７ａ・７ｂが形成されてなっている。各
回路７ａ・７ｂは、例えば検査時における上記端子Ｔ_N
の長さ方向に対して斜めの位置関係となるように、その
パターンが形成されている。そして、回路７ａ・７ｂ
は、信号入力ピン６と電気的に接続される一方、互いに
絶縁されている。回路７ａには、プローブピンＡ_N のう
ち、奇数番目のプローブピンが電気的に接続されてお
り、一方、回路７ｂには、偶数番目のプローブピンが電
気的に接続されている。尚、フレキシブル基板４ｂも、
上記フレキシブル基板４ａと同様に構成されている。

【００２８】上記のフレキシブル基板４ａ・４ｂは、プ
ローブピンプレート（図示せず）にそれぞれ固定されて
いる。プローブピンプレートは、セラミックや合成樹脂
等からなり、所定の強度を備えている。また、フレキシ
ブル基板４ａ・４ｂ、つまり、プローブピンプレートの
所定位置には、プローブピンＡ_N ・Ａ' _M を取り付ける
ための複数の孔が形成されている。従って、プローブピ
ンＡ_N ・Ａ' _M は、フレキシブル基板４ａ・４ｂを介し
てプローブピンプレートに固定されている。

【００２９】次に、フレキシブル基板４ａにおけるプロ
ーブピン群５ａの配設位置について説明する。図１に示
すように、上記複数のプローブピンＡ_N は、液晶パネル
１の端子部２ａの各端子Ｔ_N （Ｎ＝１，２，…，ｉ，ｉ
＋１，…，ｎ）に対して、その接触部位Ｓ_N （Ｎ＝１，
２，…，ｉ，ｉ＋１，…，ｎ）が、端子の長さ方向に互
いにずれるようにして配設されている。このように、端
子Ｔ_N の長さ方向に対して斜めの位置関係にある直線上
に配設することにより、隣接するプローブピンＡ_N 同士
の間隔、つまり、距離Ｄが0.07mm以上となるように調節
されている。

【００３０】また、同図においては、連続する３本のプ
ローブピン（例えば、Ａ₁ ，Ａ₂ ，Ａ₃ ）が、検査時に
おける上記端子Ｔ_N の長さ方向に対して斜めの位置関係
にある直線上に配設されると共に、該直線上に配設され
たプローブピン以外の２本のプローブピン（例えば、Ａ
₄ ，Ａ₅ ）が、プローブピンＡ_N 同士の間隔（距離Ｄ）
を0.07mm以上に確保すべく、直線上に配設されたプロー
ブピンに対して千鳥形に配設されている。そして、上記
５本のプローブピンを１つの単位として、同一のパター
ンが繰り返されている。

【００３１】ここで、例えば端子Ｔ_i ・Ｔ_i+1 同士のピ
ッチＰが 0.073mmであり、上記の距離Ｄが0.07mmであ
り、プローブピンＡ_N の直径が0.15mmであるとすると、
プローブピンＡ₆ 、即ち、プローブピンＡ₁ に対して端
子Ｔ_N の尖端部方向にずらすべきプローブピンＡ₄ の距
離ｈは、プローブピンＡ₁ の配設位置を基準として、下
記計算式 ｈ＝〔 (0.07＋0.15)²−(0.073×２)²〕^1/2 ≒ 0.165(mm) から、凡そ 0.165mmとなる。プローブピンＡ₄ およびプ
ローブピンＡ₂ の位置関係、プローブピンＡ₇ およびプ
ローブピンＡ₅ の位置関係、並びに、プローブピンＡ₅
およびプローブピンＡ₃ の位置関係も、プローブピンＡ
₆ およびプローブピンＡ₄ と同様の位置関係にある。

【００３２】従って、端子Ｔ_N の長さ方向におけるプロ
ーブピン群５ａの配設長さＲは、下記計算式 Ｒ＝４ｈ＋0.15 ≒ 0.808(mm) から、凡そ 0.808mmとなる。

【００３３】つまり、液晶パネル１の各種検査を実施す
る際に要する検査領域の長さを、前記従来の構成（図５
に示した構成）の検査装置が必要とした検査領域の長さ
と比較して、凡そ 0.172mm（ 0.980− 0.808＝ 0.172）
も短くすることができる。従って、上記構成の検査装置
は、各端子Ｔ_N の長さ（以下、端子長と称する）が例え
ば 2.6mmに形成された液晶パネルの検査に供するのに好
適である。

【００３４】尚、プローブピンＡ₁ ・Ａ₂ の距離Ｄ’
は、 Ｄ’＝〔ｈ² ＋(0.073)²〕^1/2 −0.15 ≒ 0.187(mm) である。プローブピンＡ₂ ・Ａ₃ の距離Ｄ’も同様に、
0.187mmである。従って、例えば、上記３本のプローブ
ピンＡ₂ ・Ａ₄ ・Ａ₆ は、一直線上に配設されており、
５本のプローブピンＡ₃ ・Ａ₅ ・Ａ₇ ・Ａ₉ ・Ａ₁₁も一
直線上に配設されている。

【００３５】このように、本実施の形態にかかる検査装
置は、直線上に配設されたプローブピン（例えば、
Ａ₁ ，Ａ₂ ，Ａ₃ ）に対して、該プローブピン以外のプ
ローブピン（例えば、Ａ₄ ，Ａ₅ ）が千鳥形に配設され
ている。このため、本実施の形態にかかる検査装置は、
液晶パネル１の端子Ｔ_N 同士のピッチが従来のピッチよ
りも短く形成されている場合においても、液晶パネル１
の端子Ｔ_N の長さ方向におけるプローブピン群５ａの配
設長さ、つまり、上記端子Ｔ_N において検査に供される
検査領域の長さを、従来の検査装置が必要とした検査領
域の長さよりも短くすることができる。

【００３６】そして、本実施の形態にかかる検査装置
は、プローブピンＡ_N のうち、奇数番目のプローブピン
が回路７ａに電気的に接続されており、一方、偶数番目
のプローブピンが回路７ｂに電気的に接続されている。
このため、本実施の形態にかかる検査装置は、液晶パネ
ル１の端子群Ｔに、奇数番目のプローブピンと偶数番目
のプローブピンとで異なる信号を印加することができ
る。それゆえ、隣合う端子Ｔ_i ・Ｔ_i+1 同士、即ち、例
えば隣合う走査線同士若しくは信号線同士の短絡の有無
を検査することができる。つまり、信号発生回路３から
信号入力ピン６を介して回路７ａ・７ｂに互いに異なる
信号を印加することにより、液晶パネル１の点灯検査や
動作検査を実施することができる。また、信号発生回路
３から信号入力ピン６並びにフレキシブル基板４ａ・４
ｂを介して、プローブピンＡ_N とプローブピンＡ' _M と
で異なる信号を印加することによっても、液晶パネル１
の点灯検査や動作検査を実施することができる。それゆ
え、これら検査によって液晶パネル１の欠陥を発見し、
不良箇所等の解析を行うことができる。

【００３７】そして、３本のプローブピンＡ₁ ・Ａ₂ ・
Ａ₃ および２本のプローブピンＡ₄・Ａ₅ はそれぞれ一
直線上に配設されており、かつ、３本のプローブピンＡ
₂ ・Ａ₄ ・Ａ₆ および５本のプローブピンＡ₃ ・Ａ₅ ・
Ａ₇ ・Ａ₉ ・Ａ₁₁はそれぞれ一直線上に配設されてい
る。このため、図４に示すように、２つの回路７ａ・７
ｂのパターンは、例えば検査時における上記端子Ｔ_N の
長さ方向に対して斜めの位置関係となるように形成する
だけでよい。従って、該パターンを、単純化することが
できる。

【００３８】尚、本実施の形態の説明においては、連続
する３本のプローブピンが直線上に配設されると共に、
該直線上に配設されたプローブピン以外の２本のプロー
ブピンが直線上に配設されたプローブピンに対して千鳥
形に配設され、かつ、上記５本のプローブピンを１つの
単位として、同一のパターンが繰り返されている場合を
例に挙げたが、プローブピン群は、隣合う少なくとも２
つ以上のプローブピンが直線上に配設されると共に、該
直線上に配設されたプローブピン以外のプローブピンの
うちの少なくとも１つが、プローブピン同士の間隔を所
定の距離以上に確保すべく、直線上に配設されたプロー
ブピンに対して千鳥形に配設されていればよい。従っ
て、プローブピン群の配設パターンは、上記例示の配設
パターンにのみ限定されるものではない。また、プロー
ブピン群５ａの配設長さＲを算出するために用いた端子
Ｔ_i ・Ｔ_i+1 同士のピッチＰ等の長さは、上記の数値に
のみ限定されるものではない。

【００３９】さらに、本実施の形態の説明においては、
被検査体として、２辺信号入力方式の液晶パネルを例に
挙げたが、被検査体は、一つの端子部にソース信号並び
にゲート信号が入力される、いわゆる１辺信号入力方式
の液晶パネルであってもよい。この場合においても、本
発明にかかる検査装置は、該液晶パネルを検査すること
ができる。

【００４０】

【発明の効果】本発明の請求項１記載の液晶パネルの検
査装置は、以上のように、プローブピン群のうち、隣合
う少なくとも２つ以上のプローブピンが、検査時におけ
る端子の長さ方向に対して斜めの位置関係にある直線上
に配設されると共に、該直線上に配設されたプローブピ
ン以外のプローブピンのうちの少なくとも１つが、プロ
ーブピン同士の間隔を所定の距離以上に確保すべく、直
線上に配設されたプローブピンに対して千鳥形に配設さ
れている構成である。

【００４１】それゆえ、液晶パネルの端子同士のピッチ
が従来のピッチよりも短く形成されている場合において
も、液晶パネルの端子の長さ方向におけるプローブピン
群の配設長さ、つまり、上記端子において検査に供され
る検査領域の長さを、従来の検査装置が必要とした検査
領域の長さよりも短くすることができる。

【００４２】これにより、ＶＧＡ、Ｓ−ＶＧＡ、ＸＧＡ
等の表示規格に従って形成された液晶パネル、つまり、
端子同士のピッチが従来よりも短く（例えば 0.055mm〜
0.075mm）形成され、かつ、各端子の長さが従来の長さ
よりも短い例えば 2.6mmに形成された液晶パネルの点灯
検査や動作検査を行うことができるという効果を奏す
る。即ち、例えば液晶パネルの生産工程において、該検
査装置を用いて、液晶パネルのスイッチング素子や絵素
電極の形成不良の有無の検査等の点灯検査や動作検査を
実施することができる。また、各端子の長さがさらに一
層短く形成された液晶パネルにも対応することができ
る。そして、各種検査によって液晶パネルの欠陥を発見
し、不良箇所等の解析を行うことができるので、必要に
応じて、該液晶パネルの欠陥を修正することができる。

【００４３】また、本発明の請求項２記載の液晶パネル
の検査装置は、以上のように、奇数番目のプローブピン
が電気的に接続されている回路と、偶数番目のプローブ
ピンが電気的に接続されている回路とを備えている構成
である。

【００４４】これにより、隣合う端子同士、即ち、例え
ば隣合う走査線同士若しくは信号線同士の短絡の有無を
検査することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態における検査装置のプロ
ーブピン群と、液晶パネルの端子群との位置関係を説明
する概略の平面図である。

【図２】上記検査装置の構成を示す概略の斜視図であ
る。

【図３】上記プローブピン群と端子群との要部の位置関
係を説明する側面図である。

【図４】上記検査装置の要部の構成を示す平面図であ
る。

【図５】従来の検査装置のプローブピン群と、液晶パネ
ルの端子群との位置関係を説明する概略の平面図であ
る。

【図６】従来の検査装置のプローブピン群の配設位置を
変更した場合を示すものであり、該プローブピン群と、
液晶パネルの端子群との位置関係を説明する概略の平面
図である。

【符号の説明】

１ 液晶パネル ２ａ・２ｂ 端子部 ３ 信号発生回路 ４ａ・４ｂ フレキシブル基板 ５ａ・５ｂ プローブピン群 ７ａ・７ｂ 回路 Ａ_N プローブピン ｈ 距離 Ｄ・Ｄ’ 距離 Ｐ ピッチ Ｒ 配設長さ Ｓ_N 接触部位 Ｔ 端子群 Ｔ_N 端子

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】互いに平行な複数のプローブピンを備え、
   該プローブピン群を液晶パネルの端子群に接触させて該
   端子群に信号を入力することにより上記液晶パネルを検
   査する検査装置において、 上記プローブピン群のうち、隣合う少なくとも２つ以上
   のプローブピンが、検査時における上記端子の長さ方向
   に対して斜めの位置関係にある直線上に配設されると共
   に、該直線上に配設されたプローブピン以外のプローブ
   ピンのうちの少なくとも１つが、プローブピン同士の間
   隔を所定の距離以上に確保すべく、直線上に配設された
   プローブピンに対して千鳥形に配設されていることを特
   徴とする液晶パネルの検査装置。
2. 【請求項２】奇数番目のプローブピンが電気的に接続さ
   れている回路と、偶数番目のプローブピンが電気的に接
   続されている回路とを備えていることを特徴とする請求
   項１記載の液晶パネルの検査装置。