WO2004097435A1 - 液晶パネル用検査装置 - Google Patents

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WO2004097435A1
WO2004097435A1 PCT/JP2004/005897 JP2004005897W WO2004097435A1 WO 2004097435 A1 WO2004097435 A1 WO 2004097435A1 JP 2004005897 W JP2004005897 W JP 2004005897W WO 2004097435 A1 WO2004097435 A1 WO 2004097435A1
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Hiroyasu Sotoma
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Nhk Spring Co., Ltd.
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    • G—PHYSICS
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    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G02F1/136254—Checking; Testing

Definitions

  • the present invention is directed to a liquid crystal for inspecting a short-circuit state, an open state, TFT characteristics, and pixel characteristics of a conductive pattern for a terminal printed on an array glass for a liquid crystal panel.
  • the present invention relates to a crystal panel inspection device.
  • the conventional inspection apparatus for a liquid crystal panel makes the probe 2 of the probe block 1 abut the conductive pattern 4 for the terminal of the array glass 3 for the liquid crystal panel and the conductive pattern for the terminal.
  • the flexible board 5 that connects one end of the signal from probe 4 to probe 2, probe 2 and the other end of flexible board 5.
  • It is configured so as to inspect the short-circuit state, open-state, TFT characteristics, and pixel characteristics of the conductive pattern 4 for terminals by reading with the tester body 7 via the relay board 6 connected to the side. ing.
  • the probe block 1 includes a plurality of probes 2 that are in contact with the terminal conductive patterns 4 of the test glass panel array glass 3, and a plurality of probes 2 are provided corresponding to the number of blocks of the terminal conductive patterns 4. (See Figure 4).
  • Each of the plurality of probe blocks 1 has an odd-numbered flexible board 5a and an even-numbered flexible board that electrically connects one end to the probe 2 that is in contact with the odd-numbered and even-numbered wirings of the terminal conductive pattern 4, respectively.
  • a flexible substrate 5 composed of a substrate 5b is provided.
  • the other end of the flexible board 5 is connected to the odd-numbered flexible board 5 a and the even-numbered flexible board 5 b by the probe board 1 at the other end of the relay board 6 provided with the address conversion function.
  • Correspondence address part 6a and even number correspondence The connection to the relay board 6 is made by connecting to the address section 6b.
  • the tester main body 7 is provided with a plurality of probe pins P (for example, 1200 to 200 pins), and the probe pins P contact the same number of lands L provided on the relay board 6. Thus, electrical connection with the relay board 6 is achieved.
  • reference numeral 21 denotes a support frame for supporting the probe block 1.
  • the TFT array substrate that composes the liquid crystal panel
  • it is used for the pixel signal terminals of the array glass 3 for the liquid crystal panel in the process before joining the TAB and the PCB (mounting printed circuit board) as the LSI for driving the panel lighting.
  • a voltage is applied to each of the conductive patterns 4 to perform a characteristic test.
  • the probe block 1 having a plurality of probes 2 is connected along the side of the liquid crystal panel array glass 3 along which the conductive patterns 4 for terminals are provided. And set them side by side. In the inspection, pixel inspection signals are sent separately for odd-numbered pixel terminals and even-numbered pixel terminals.
  • a probe block 1 shown in FIG. 5 has been proposed (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-222229 (pages 3, 4, and 1)). .
  • the probe block 1 has a plurality of probes 2 for making contact with each of a plurality of terminal conductive patterns 4 disposed on the pixels of the liquid crystal panel array glass 3, and a main body 20 on which a plate-shaped insulator is laminated. Approximately constituted by supporting by At this time, as shown in FIG. 5, the probe 2 is divided into two lines Ll and L2 corresponding to the odd-numbered and even-numbered terminals of the conductive pattern 4 for terminals (see FIG. 6). The lines L l and L 2 are arranged in a staggered manner. In addition, the probe 2 is configured so that the odd-numbered conductive needles 11a of the plurality of conductive needles projecting upward project above the even-numbered conductive needles 11b.
  • the probe 2 connects each of the upper conductive needles 11a and 11b to the lower conductive gold f-shaped body 10 via a conductive coil spring 14 It is constituted by doing. At the time of the inspection, each of the conductive needles 10 comes into contact with one of the plurality of terminal conductive patterns 4 arranged in the pixel of the liquid crystal panel 3.
  • the odd-numbered conductive needle 11a which is the longer one, is connected to the odd-numbered signal transmission angle conductive pattern 8 of the odd-numbered flexible board 5a attached to the lower surface of the upper insulating plate 12.
  • the conductive pattern for even-numbered signal transmission of the even-numbered flexible board 5 b attached to the lower surface of the lower insulating plate 13 with the shorter even-numbered conductive needle 1 b The upper insulating plate 12 is superimposed on the lower insulating plate 13 so as to come into contact with 9.
  • a detection device for a liquid crystal panel using the probe block 1 configured as described above, in order to provide the same number of probes 2 as the number of the conductive patterns 4 for the device, for example, approximately the same as TAB
  • the probe 2 is divided into two lines L1 and L2 corresponding to the odd-numbered and even-numbered terminal conductive patterns 4, respectively.
  • the staggered arrangement for each of L 1 and L 2 can sufficiently cope with the narrowing of the pitch of the conductive patterns 4 for terminals.However, the odd and even number distribution in the connection between the flexible substrate 5 and the relay substrate 6 can be reduced.
  • the wiring 15 is performed using the wiring 15 on the printed circuit board constituting the relay board 6, the number of blocks of the terminal conductive pattern 4 where the crossing of the wirings 15 appears appears to increase. Alternatively, it is not possible to sufficiently cope with an increase in the number of wires per block of the pattern 4 and the pattern 4.
  • the crossing state of the wirings 15 described above is based on the printed circuit board constituting the relay board 6.
  • the problem can be solved by reducing the number of layers of the board and providing through holes, etc., and arranging the wiring 15 for each layer, but increasing the number of layers of the printed circuit board makes manufacturing difficult. , Cost and weight increase.
  • the relay board 6 is configured by a multilayer printed board having 6 to 8 layers.
  • the present invention can sufficiently increase the number of conductive patterns for terminals or the number of wirings per block of Z and the pattern without increasing the number of stacked multilayer printed circuit boards constituting the relay board.
  • the purpose of the present invention is to provide an inspection apparatus for a liquid crystal panel capable of responding to the following. Disclosure of the invention
  • An object of the present invention is to solve at least the above-mentioned problems.
  • the inspection apparatus for a liquid crystal panel is provided with a probe block force having a plurality of probes abutting on a conductive pattern for a terminal of an array glass for a test liquid crystal panel.
  • Each of the plurality of open blocks has a probe corresponding to an odd-numbered and an even-numbered wiring of the terminal conductive pattern, and an odd-numbered flexible board for electrically connecting one end side to the probe.
  • a flexible board made of an even-numbered flexible board is provided, and the other end of the flexible board is arranged with the other end of the odd-numbered flexible board and the even-numbered flexible board for each probe block.
  • the flexible substrate includes the odd-numbered flexible substrate and the even-numbered flexible substrate for each probe block.
  • the odd pair Each of the connection ends is connected to the relay board by being gradually approached to the odd- and even-numbered address portions, while being distributed to each other according to the installation positions of the address portions and the even-numbered address portions. It is characterized by the following.
  • the flexible board is configured such that the odd-numbered flexible board and the even-numbered flexible board are arranged for each probe block in accordance with the positions of the odd-numbered address section and the even-numbered address section in the relay board.
  • the connection end portions are connected so as to approach the odd-numbered and even-numbered address portions, respectively, so that the number of layers of the relay board is reduced, and each of the odd-numbered and even-numbered flexible boards is reduced.
  • the connection wiring between the connection end portion and the odd-numbered and even-numbered address portion can be set as short as possible.
  • the odd-numbered (even-numbered) flexible board has a length sufficient to connect between the connected probe block and the connected odd-numbered (even-numbered) corresponding address portion. The above-mentioned distribution can be easily performed, and as a result, the target connected odd (even) corresponding address portion can be asymptotically approached.
  • FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an electrical connection state between an array glass for a liquid crystal panel and a relay substrate via a plurality of block blocks in the inspection apparatus for a liquid crystal panel of the present invention.
  • FIG. 2 shows a relay board as one embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 (a) is a plan view thereof, and
  • FIG. 2 (b) is a side view thereof.
  • FIG. 3 is a schematic explanatory view for explaining an entire electrical connection system of the inspection apparatus for a liquid crystal panel.
  • FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an electrical connection state between a liquid crystal panel array glass and a relay substrate via a plurality of probe blocks in a conventional liquid crystal panel inspection apparatus.
  • FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an electrical connection state between an array glass for a liquid crystal panel and a relay substrate via a plurality of block blocks in the inspection apparatus for a liquid crystal panel of the present invention.
  • FIG. 2 shows a relay board as one embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of a main part of a conventional inspection device for a liquid crystal panel.
  • Fig. 6 shows the contact state of the probe with the terminal conductive pattern of the conventional LCD panel inspection device. It is an explanatory view for explaining. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • FIG. 1 shows a connection structure between a flexible board and a relay board as one embodiment of the present invention.
  • the entire connection system of the inspection apparatus for a liquid crystal panel makes the probe 2 of the probe block 1 contact the conductive pattern 4 for the terminals of the array glass 3 for the liquid crystal panel.
  • the signal from the terminal conductive pattern 4 is read by the tester body 7 via the probe 2, the flexible board 5 connected to one end of the probe 2, and the relay board 6 connected to the other end of the flexible board 5. It is configured to detect the short state, open state, TFT characteristics, and pixel characteristics of the conductive pattern 4 for use.
  • the probe block 1 has a plurality of probes 2 that abut on the terminal conductive patterns 4 of the array glass 3 for the test liquid crystal panel, and corresponds to the number of blocks of the terminal conductive patterns 4 (for example, 8 blocks). There are a plurality (8 for 8 blocks) (see Fig. 1). The plurality of probe blocks 1 are mounted on a support frame (see support frame 21 in FIG. 3) and incorporated into the inspection apparatus.
  • Each of the plurality of probe blocks 1 has an odd-numbered terminal conductive pattern 4.
  • a flexible board 5 composed of an odd-numbered flexible board 5a and an even-numbered flexible board 5b that electrically connects one end side to the probe 2 that abuts on each of the even-numbered wirings is provided.
  • the other end of the flexible board 5 is connected to the odd-numbered flexible board 5 a and the even-numbered flexible board 5 b for each probe block 1, and to the odd-numbered address section 6 a and even-numbered section in the relay board 6.
  • connection ends 5A and 5B are connected to the relay board 6 by being asymptotically connected to the odd and even corresponding address portions 6a and 6b, respectively. Connected.
  • the odd-numbered and even-numbered flexi-pole substrates 5a and 5b constituting the flexi-pull board 5 are connected to the skin connection probe block 1 and the connected odd-numbered (even-numbered) corresponding address section 6a (6b). It is configured to have a sufficient length to connect between them.
  • the flexible substrate can be distributed by crossing the flexible substrates, as in the present embodiment, the direction can be changed by the bent portion 5c in the middle portion, and the direction change is performed as described above. Sorting can be performed more easily.
  • the bent portion 5 c is determined by the positional relationship between the connected probe block 1 and the connected odd (even) corresponding address portion 6 a (6 b), and is not required when linear connection is possible. However, in other cases, it is easier to sort by forming two or more pieces.
  • connection ends 5 A and 5 B of the odd- and even-numbered flexible boards 5 a and 5 b are respectively connected to the odd-numbered and even-numbered address sections 6 by wiring 15 arranged on the relay board 6. Connected to a and 6b.
  • connectors to which the connection ends 5A and 5B are connected are provided on the relay board 6.
  • the relay board 6 consists of a double-sided printed circuit board.
  • Connectors C l and C 3 are flexible for each probe block 1
  • the odd-numbered connector to which the board 5a is connected, and the connectors C2 and C4 are the even-numbered connectors to which the even-numbered flexible board 5b of each probe block 1 is connected.
  • the solid line indicates the wiring 15 provided on the surface of the relay board 6, and the broken line indicates the wiring 15 provided on the back surface of the relay board 6.
  • the numbers “1” to “24” indicate addresses.
  • the solid line in the thickness direction of the relay board 6 electrically connects the wirings 15 provided on the front and rear surfaces, respectively.
  • reference symbol L denotes a land of each wiring 15 formed on the back surface of the relay board 6.
  • the wiring 15 on the front side of the address "1 3" is connected to the wiring 15 on the back side via the snoring line h
  • the wiring 15 on the front side of the address "7" is It is connected to the wiring 15 on the back side through the through hole h, and the two seem to intersect the broken line and the solid line in plan view, but avoid the actual intersection due to the difference in the wiring surface of the relay board 6 be able to.
  • the odd-numbered even-numbered flexible boards 5 a and 5 ′ b provided in one of the probe blocks 1 are each connected to the connector C 1.
  • C2 and the odd-even flexible boards 5a and 5b provided on the other probe block 1 are connected to connectors C3 and C4, respectively.
  • Wiring 15 of connectors C 1 and C 3 is connected to land L of odd-numbered address section 6a
  • wiring 15 of connectors C 2 and C 4 is connected to land L of even-numbered address section 6b. Connected.
  • a probe pin see a probe pin P in FIG. 3
  • the relay board 6 uses a plurality of multilayer printed boards on which wirings 15 and through holes; h are appropriately arranged, and connectors C 1, C 2,. Address portions 6a and 6b having lands L on the lowermost surface are provided.
  • the flexible substrate 5 (5a, 5b) are to be distributed to each other, so that the intersections of the flexible substrates 5 (5a, 5b) occur, but the inconvenience due to the intersection does not occur, but the force ⁇ A, 5B and the odd-numbered and even-numbered address portions 6a, 6b can be asymptotically set so that the connection wiring 15 can be set as short as possible, and thus the wiring 15 can be simplified.
  • the connecting board 6 can sufficiently cope with an increase in the number of blocks of the terminal conductive pattern 4 or an increase in the number of wirings per block of Z and the pattern 4.
  • the relay board 6 is arranged so that the flexible boards 5 cross each other, it is possible to simplify the arrangement of the layers 15 that has been conventionally performed, thereby reducing the number of layers as much as possible. It can be constituted by a printed board.
  • the conventional apparatus requires lamination of 6 to 8 glass substrates, whereas the present apparatus requires:
  • the relay substrate 6 can be configured by laminating two to four glass substrates.
  • the odd corresponding flexi-nore board and the even corresponding flexi-nore board are changed according to the installation positions of the odd corresponding address section and the even corresponding address section in the relay board.
  • the connection wiring between each connection end of the odd-numbered and even-numbered flexible substrate and the odd-numbered / even-numbered addressable part can be set as short as possible, and the occurrence of the crossing state of the connection wiring can be avoided. Therefore, it is possible to reduce the number of stacked multilayer printed circuit boards constituting the relay board, thereby achieving easy manufacturing, lighter weight of the apparatus, and cost reduction.
  • the number of laminated multilayer printed circuit boards constituting the relay board is small, the number of blocks of the conductive pattern for the terminal is increased, or the number of wirings per block of Z and the pattern is sufficiently increased. There is an advantage that it can be done.
  • the flexible substrate is configured such that the odd-numbered flexible substrate and the even-numbered flexible substrate are provided for each probe block, and the odd-numbered address in the relay substrate. And even-numbered address sections are allocated to each other according to the installation position, and their connection ends are connected to the odd-numbered and even-numbered addressless sections, respectively.
  • the number of layers of the relay board can be reduced, and the connection wiring between each connection end of the odd-numbered and even-numbered flexible boards and the odd-numbered and even-numbered address portions can be set as short as possible.
  • Arrays-For testing LCD panels that detect the short-circuit state, open state, TFT characteristics, and pixel characteristics of conductive patterns for terminals printed on glass Te is preferred.

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Abstract

複数個のプローブブロック（１）を液晶パネル（３）の端子用導電パターン（４）に当接させて検査を行う液晶パネル用検査装置において、プローブブロック（１）の各々に設けられる各フレキシブル基板（５）毎に、奇数および偶数対応フレキシブル基板（５ａ）および（５ｂ）を、中継基板（６）内の奇数および偶数対応アドレス部（６ａ）および（６ｂ）の設置位置に応じて相互に振り分けて、その各接続端部（５Ａ）、（５Ｂ）をそれぞれ奇数および偶数対応アドレス部（６ａ）および（６ｂ）に漸近させて接続する。これによりフレキシブル基板（５）の各接続端部（５Ａ）、（５Ｂ）と奇数および偶数対応アドレス部（６ａ）および（６ｂ）との接続配線（１５）を極力短く設定することができると共に接続配線（１５）の交差状態の出現を避けて簡素化を図ることができる。

Description

液晶パネル用検查装置
技術分野
本発明は、 液晶パネル用アレイガラスにプリントされた端子用導電パターンの ショート状態、 オープン状態、 T F Tの特性、 および画素の特性の検査を行う液 明
晶パネル用検査装置に関する。
田 背景技術
従来の液晶パネル用検査装置は、 第 3図および第 4図に示すように、 プロ一 ブブロック 1のプローブ 2を液晶パネル用ァレイガラス 3の端子用導電パターン 4に当接させると共に、 端子用導電パターン 4からの信号をプローブ 2、 プロ一 ブ 2に一端側を接続するフレキシプル基板 5、 およびフレキシブル基板 5の他端
0
側に接続する中継基板 6を介してテスタ一本体 7で読み取ることによつて端子用 導電パターン 4のショート状態、 オープン状態、 T F Tの特性、 および画素の特 性の検査を行うように大略構成されている。
このときプローブブロック 1は、 供試液晶パネル用アレイガラス 3の端子用導 電パターン 4に当接する複数のプローブ 2を備えており、 端子用導電パターン 4 のブロック数に対応させて複数個設けられる （第 4図参照） 。 複数個のプローブ ブロック 1の各々には、 端子用導電パターン 4の奇数番目および偶数番目の配線 にそれぞれ当接するプローブ 2と一端側を電気的に接続する奇数対応フレキシプ ル基板 5 aおよび偶数対応フレキシブル基板 5 bからなるフレキシブル基板 5が 設けられている。
そして、 フレキシブル基板 5の他端側は、 プローブプロック 1毎に、 奇数対応 フレキシプル基板 5 aおよび偶数対応フレキシブル基板 5 bの各他端側をァドレ ス変換機能が備えられた中継基板 6内の奇数対応ァドレス部 6 aおよび偶数対応 アドレス部 6 bにそれぞれ接続させることによって中継基板 6に接続してレ、る。 テスタ一本体 7は、 複数のプローブピン Pが設けられており （例えば、 1 2 0 0〜2 0 0 0本） 、 このプローブピン Pが中継基板 6に設けられた同数のランド Lに当接して、 中継基板 6との電気的接続が図られている。 なお、 第 3図中、 符 号 2 1は、 プローブプロック 1を支持する支持枠である。
液晶パネルを構成する T F Tアレイ基板の特性検査の場合には、 パネル点灯駆 動用 L S Iとしての TA Bおよび P C B (実装プリント基板） を結合する前工程 で、 液晶パネル用アレイガラス 3の画素信号端子用導電パターン 4の一本ずつに 電圧を印加して特性検査を行っている。
この検査は、画素信号端子用導電パターン数と同数のプローブ 2を用いるため、 複数のプローブ 2を有するプローブブロック 1を、 液晶パネル用アレイガラス 3 の端子用導電パターン 4が設けられた辺に沿って複数個並べてセットする。 そし て検査では、 奇数番目画素端子と偶数番目画素端子とに分けて画素検査信号を送 るようにしている。
このようなプローブブロックとして、 第 5図に示すプローブブロック 1が提案 されている （例えば、 特開平 8— 2 2 2 2 9 9号公報 （第 3頁、 第 4頁、 第 1図 ) 参照） 。
このプローブプロック 1は、 液晶パネル用ァレイガラス 3の画素に配設された 複数の端子用導電パターン 4の 1本ずつに接触させるための複数のプローブ 2を 板状の絶縁体を積層した本体 2 0により支持することにより大略構成されている。 このときプローブ 2は、 第 5図に示すように、 端子用導電パターン 4の奇数番 目と偶数番目とにそれぞれ対応する 2ライン L l、 L 2に分けられ （第 6図参照 ) 、 さらに各ライン L l、 L 2毎に千鳥状に配設されている。 その上、 プローブ 2は、 上側に突出する複数の導電性針状体の奇数番目の導電性針状体 1 1 aを、 偶数番目の導電性針状体 1 1 bよりも上側に突出するように長くしており、 両者 間で突出方向に段違いになっている。プローブ 2は、上側の導電性針状体 1 1 a、 1 1 bの各々と下側の導電性金 f状体 1 0とを導電性コイルばね 1 4を介して連結 することにより構成されている。 検査の際は、 導電性針状体 1 0の各々が、 液晶 パネル 3の画素に配設された複数の端子用導電パターン 4の 1本ずつに接触する ことになる。
そして、 長い方である奇数番目の導電性針状体 1 1 aが、 上側絶縁板 1 2の下 面に貼着された奇数対応フレキシブル基板 5 aの奇数番目用信号伝送角導電バタ ーン 8に接触し、 短い方である偶数番目の導電性針状体 1ュ bが、 下側絶縁板 1 3の下面に貼着された偶数対応フレキシブル基板 5 bの偶数番目用信号伝送用導 電パターン 9に接触するように、 下側絶縁板 1 3の上に上側絶縁板 1 2が重ね合 わされる。
このようにして構成されたプローブブロック 1を使用して液晶パネル用検查装 置を構成するには、 プローブ 2を 子用導電パターン 4と同数になるように設け るべく、 例えば TABと略同一幅の大きさ （1プロック） に小ユエット化された プローププロック 1を、 支持枠 2 1 (第 3図参照） に並列に必要数並べてセット し、かつ各プローブプロック 1に連結されたフレキシブル基板 5 aおよび 5 bを、 奇数番目と偶数番目とに振り分けるべく中継基板 6の奇数おょぴ偶数対応ァドレ ス部 6 aおよび 6 bにそれぞれ接続すると共に、 この中継基板 6を介してテスタ 一本体 7に接続することにより全体構成される。
このように構成された従来の液晶パネル用検查装置においては、プローブ 2を、 端子用導電パターン 4の奇数番目と偶数番目とにそれぞれ対応する 2ライン L 1、 L 2に分け、 さらに各ライン L 1、 L 2毎に千鳥状に配設したので、 端子用導電 パターン 4の狭ピッチ化に充分対応することができるが、 フレキシブル基板 5と 中継基板 6との接続における奇数と偶数の振り分けが、 第 4図に示すように、 中 継基板 6を構成するプリント基板上の配線 1 5により行うものであるから、 配線 1 5同士の交差状態が出現する端子用導電パターン 4のプロック数の増加、 ある いはノぉよび前記パターン 4の 1プロック当たりの配線本数の増加に充分に対応 することができない、 という課題を有している。
また、 前記した配線 1 5同士の交差状態は、 中継基板 6を構成するプリント基 板の層数を增カ卩し、 かつスルーホールを設ける等して、 各層毎に配線 1 5を整理 することにより解消することができるが、 プリント基板の層数の增加は、 製造の 困難化、 コスト高、 および重量増を招く、 という課題を有している。
因みに、 従来の装置では、 6〜8層の多層プリント基板により中継基板 6を構 成している。
そこで、 本発明は、 中継基板を構成する多層プリント基板の積層枚数の増加を 伴うことなく、 端子用導電パターンのブロック数の増加、 あるいは Zおよび前記 パターンの 1ブロック当たりの配線本数の増加に充分に対応すること'ができる液 晶パネル用検査装置を提供することを目的としている。 発明の開示
本発明の目的は、 少なくとも上述の課題を解決するものである。
本発明の液晶パネル用検査装置は、 供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導 電パターンに当接する複数のプローブを備えたプローブプロック力 前記端子用 導電パターンのプロック数に対応させて複数個設けられており、 前記複数個のプ 口一ブブロックの各々には、 前記端子用導電パターンの奇数番目および偶数番目 の配線にそれぞれ当接するプロープと一端側を電気的に接続する奇数対応フレキ シブル基板およぴ偶数対応フレキシプル基板からなるフレキシプル基板が設けら れており、 前記フレキシブル基板の他端側が、 前記プローブプロック毎に、 前記 奇数対応フレキシブル基板およぴ偶数対応フレキシブル基板の各他端側をァドレ ス変換機能が備えられた中継基板内の奇数対応ァドレス部おょぴ偶数対応ァドレ ス部にそれぞれ接続させることによって前記中継基板に接続しており、 前記端子 用導電パターンからの信号を前記プローブ、 フレキシブル基板、 および中継基板 を介してテスタ一本体で読み取ることによつて前記端子用導電パターンのショー ト状態、 オープン状態、 T F Tの特性、 および画素の特性の検査を行う液晶パネ ル用検查装置において、 前記フレキシブル基板は、 前記プローブブロック毎に、 前記奇数対応フレキシプル基板および偶数対応フレキシブル基板を、 前記奇数対 応ァドレス部および偶数対応ァドレス部の設置位置に応じて相互に振り分けると 共に、 その各接続端部^それぞれ前記奇数および偶数対応ァドレス部に漸近させ て接続することによって前記中継基板に接続していることを特徴とする。
.このため、 本発明では、 フレキシブル基板は、 各プローブブロック毎に、 奇数 対応フレキシブル基板おょぴ偶数対応フレキシブル基板を、 中継基板内の奇数対 応ァドレス部および偶数対応ァドレス部の設置位置に応じて相互に振り分けて、 その各接続端部をそれぞれ奇数および偶数対応ァドレス部に漸近させて接続する ようにしたので、 前記中継基板の層数を低減すると共に、 奇数および偶数対応フ レキシプル基板の各接続端部と前記奇数およぴ偶数対応ァドレス部との接続配線 を極力短く設定することができる。また、奇数（偶数）対応フレキシプル基板は、 被接続プローブブロックと被接続奇数 （偶数） 対応アドレス部との間を接続する に足りる充分な長さを有しており、 その中間部の折曲により前記振り分けを容易 に行うことができ、 これにより目的とする被接続奇数 （偶数） 対応アドレス部へ 漸近することができる。
以上述べたことと、 本発明のその他の目的、 特徴、 利点を、 以下の発明の詳細 な説明から明らカゝにする。 図面の簡単な説明
第 1図は、 本発明の液晶パネル用検査装置における、 複数のプロ一プブロック を介しての液晶パネル用ァレイガラスと中継基板との電気的接続状態を説明する 模式図である。 第 2図は、 本発明の一実施形態としての中継基板を示しており、 第 2図 （a ) はその平面図、 第 2図 （b ) はその側面図である。 第 3図は、 液晶 パネル用検査装置の全体の電気接続系統を説明するための概略説明図である。 第 4図は、 従来の液晶パネル用検査装置における、 複数のプローブブロックを介し ての液晶パネル用アレイガラスと中継基板との電気的接続状態を説明する模式図 である。第 5図は、従来の液晶パネル用検查装置の要部断面図である。第 6図は、 従来の液晶パネル用検査装置の端子用導電パターンへのプローブの当接状態を 説明するための説明図である。 発明を実施するための最良の形態
以下に、.本発明の実施の形態を詳細に説明する。 なお、 この実施の形態により 本発明が限定されるものではない。
本発明の液晶パネル用検査装置を添付する図面とともに示す以下の実施形態に 基づき説明する。
以下、 この発明の実施の形態を図面に基づき説明する。 なお、 前述した第 3 図〜第 6図に示すものと同一部材および同一機能を奏する部材は、 同一符号を付 してある。
本発明に係る液晶パネル用検查装置は、 フレキシブル基板と中継基板との接続 構造を異にするだけで、 全体の接続系銃は従来装置と同一に構成されている。 第 1図は、 本発明の一実施形態としての、 フレキシプル基板と中継基板との接 続構造を示す。
本発明に係る液晶パネル用検査装置の全体の接続系統は、第 3図に示すように、 プロ一ブブロック 1のプローブ 2を液晶パネル用アレイガラス 3の端子用導電パ ターン 4に当接させると共に、 端子用導電パターン 4からの信号をプローブ 2、 プロープ 2に一端側を接続するフレキシブル基板 5、 およびフレキシプル基板 5 の他端側に接続する中継基板 6を介してテスター本体 7で読み取ることによって 端子用導電パターン 4のショート状態、 オープン状態、 T F Tの特性、 およぴ画 素の特性の検查を行うように構成されている。
このときプローブプロック 1は、 供試液晶パネル用アレイガラス 3の端子用導 電パターン 4に当接する複数のプロープ 2を備えており、 端子用導電パターン 4 のブロック数 （例えば、 8プロック） に対応させて複数個 （8ブロックのときは 8個） 設けられる （第 1図参照） 。 複数個のプローブプロック 1は、 支持枠 （第 3図中の支持枠 2 1参照） に取り付けられて検査装置内に組み込まれる。
複数個のプローブブロック 1の各々には、 端子用導電パターン 4の奇数番目お よび偶数番目の配線にそれぞれ当接するプロープ 2と一端側を電気的に接続する 奇数対応フレキシブル基板 5 aおよび偶数対応フレキシプル基板 5 bからなるフ レキシブル基板 5が設けられている。
そして、 フレキシブル基板 5の他端側は、 プローブプロック 1毎に、 奇数対応 フレキシブル基板 5 aぉょぴ偶数対応フレキシブル基板 5 bを、 中継基板 6内の 奇数対応ァドレス部 6 aおよぴ偶数対応ァドレス部 6 bの設置位置に応じて相互 に振り分けると共に、 その各接続端部 5 A、 5 Bをそれぞれ奇数および偶数対応 ァドレス部 6 aおよび 6 bに漸近させて接続することによって中継基板 6に接続 している。
このとき、 フレキシプル基板 5を構成する奇数おょぴ偶数対応フレキシプノレ基 板 5 aおよび 5 bは、 ネ皮接続プローブプロック 1と被接続奇数 （偶数） 対応ァド レス部 6 a ( 6 b ) との間を接続するに足りる充分な長さを有して構成される。 前記フレキシプル基板の振り分けは、 フレキシブル基板を交差させることにより 可能となるが、 本実施形態のように、 その中間部の折曲部 5 cにより方向を転換 することができ、 この方向転換により前記した振り分けをさらに容易.に行うこと ができる。 なお、 折曲部 5 cは、 被接続プローブブロック 1と被接続奇数 （偶数 ) 対応ァドレス部 6 a ( 6 b ) との位置関係で決められるもので、 直線接続が可 能の場合には不要であるが、 他の場合には 2個以上形成することにより振り分け を容易とする。
また、奇数おょぴ偶数対応フレキシプル基板 5 aおよび 5 bの各接続端部 5 A、 5 Bは、 中継基板 6上に配設された配線 1 5によりそれぞれ奇数およぴ偶数対応 ァドレス部 6 aおよび 6 bに接続している。
具体的には、 第 2図に示すように、 接続端部 5 A、 5 Bがそれぞれ接続される コネクタが中継基板 6上に設けられている。第 2図では、説明を簡単にするため、 2個のプローブプロック 1にそれぞれ対応する 4個のコネクタ C 1、C 2、C 3、 C 4が設けられていると共に、 中継基板 6は 1枚の両面プリント基板で構成され ている。 コネクタ C l、 C 3は、 各プローププロック 1の奇数対応フレキシブル 基板 5 aが接続する奇数対応コネクタであり、 コネクタ C 2、 C 4は、 各プロ一 ブプロック 1の偶数対応ブレキシブル基板 5 bが接続する偶数対応コネクタであ る。
なお、 第 2図 （ a ) 中、 実線は中継基板 6の表面に配設された配線 1 5を示し ており、 破線は中継基板 6の裏面に配設された配線 1 5を示しており、 数字 「1 」 〜 「2 4」 はアドレスを示しており、 第 2図 （b ) 中、 中継基板 6の厚み方向 の実線は表、 裏面にそれぞれ配設された配線 1 5同士を電気的に接続するスルー ホール; hであり、 第 2図 （a ) 、 （b ) 中、 符号 Lは、 中継基板 6の裏面に形成 される各配線 1 5のランドである。 例えば、 アドレス 「1 3」 の表面側の配線 1 5は、 スノレーホ一ノレ hを介して裏面側の配,線 1 5に接続しており、 アドレス 「7 」 の表面側の配線 1 5は、 スルーホール hを介して裏面側の配線 1 5に接続して おり、 両者は平面的には破線と実線が交姜するように見えるが中継基板 6の配線 の面の違いにより実際の交差を避けることができる。
このように構成された中継基板 6においては、 2個のプローブプロック 1の内、 一方のプロ一ブブロック 1に設けられた奇数おょぴ偶数対応フレキシブル基板 5 aおよび 5' bはそれぞれコネクタ C 1および C 2に接続されるようになっており、 他方のプローブプロック 1に設けられた奇数おょぴ偶数対応フレキシブル基板 5 aおよび 5 bはそれぞれコネクタ C 3および C 4に接続されるようになっている。 コネクタ C 1および C 3の配線 1 5は、 奇数対応アドレス部 6 aのランド Lに接 続しており、 コネクタ C 2および C 4の配線 1 5は、 偶数対応アドレス部 6 bの ランド Lに接続している。 そしてこのランド Lがテスタ一本体 7に備えられたプ ロープピン （第 3図中のプローブピン P参照） に当接することにより、 中継基板 6とテスター本体 7とが電気的に接続している。
実際には、 中継基板6は、 配線 1 5、 及びスルーホール; hを適宜配設した複数 枚の多層プリント基板を使用すると共に、 最上面にコネクタ C l、 C 2、 …を設 け、 かつ最下面にランド Lを有するアドレス部 6 a、 6 bを設けて構成される。 このように構成された液晶パネル用検査装置においては、 フレキシプル基板 5 ( 5 a、 5 b ) 同士を振り分けるものであるから、 フレキシブル基板 5 ( 5 a、 5 b ) 同士の交差が生じるが、 該交差に起因する不都合は生じないばかり力 \ そ の接続端部 5 A、 5 Bと奇数および偶数対応ァドレス部 6 a、 6 bとを漸近させ てその接続配線 1 5を極力短く設定することができ、 ひいては配線 1 5の簡素化 を図ることができる。
このため中,継基板 6は、 端子用導電パターン 4のブロック数の増加、 あるいは Zおよび前記パターン 4の 1プロック当たりの配線本数の増加に充分に対応する ことができる。
その上、中継基板 6は、フレキシプル基板 5同士を交差させるようにしたので、 従来行われていた各層の配綠 1 5の整理を簡素化することが可能となり、 これに より極力少ない層数のプリント基板により構成することができる。 例えば、 液晶 パネル用アレイガラス 3の端子用導電パターン 4のブロック数が 8プロックの場 合、 従来の装置では 6〜 8枚のガラス基板の積層を要したのに対して、 本装置で は、 2〜 4枚のガラス基板の積層により中継基板 6を構成することができる。 以上説明してきたように、 本発明によれば、 各プローブブロック毎に、 奇数対 応フレキシプノレ基板および偶数対応フレキシブノレ基板を、 中継基板内の奇数対応 ァドレス部および偶数対応ァドレス部の設置位置に応じて相互に振り分けること によって、 奇数および偶数対応フレキシブル基板の各接続端部と奇数およぴ偶数 対応ァドレス部との接続配線を極力短く設定することができると共に、 前記接続 配線の交差状態の出現を避けて簡素化を図ることができ、 これにより中継基板を 構成する多層プリント基板の積層枚数を減ずることができ、 ひいては製造の容易 ィ匕、 装置の軽量化、 およびコストダウンを図ることができる。
その上、 中継基板を構成する多層プリント基板の積層枚数が少ない分、 端子用 導電パターンのプロック数の増加、 あるいは Zおよび前記パターンの 1ブロック 当たりの配锒本数の増加にも充分に対応することができる、 というメリットがあ る。
さらに、 前記各フレキシブル基板を折り曲げて振り分けることにより、 振り分 けを容易に行うことができる。 産業上の利用可能性
以上のように、本発明にかかる液晶パネル用検查装置は、フレキシブル基板が、 各々のプロ一ブブロック毎に、 奇数対応フレキシブル基板おょぴ偶数対応フレキ シプル基板を、 中継基板内の奇数対応ァドレス部およぴ偶数対応ァドレス部の設 置位置に応じて相互に振り分けて、 その各接続端部をそれぞれ奇数おょぴ偶数対 応ァド.レス部に漸近させて接続するようにしたので、 前記中継基板の層数を低減 すると共に、 奇数およぴ偶数対応フレキシブル基板の各接続端部と前記奇数およ び偶数対応ァドレス部との接続配線を極力短く設定することができ、 例えば液晶 パネル用アレイ-ガラスにプリントされた端子用導電パターンのショート状態、 ープン状態、 T F Tの特性、 および画素の特性の検查を行う液晶パネルを検査す るものに用いて好適である。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 供試液晶パネル用アレイガラスの端子用導電パターンに当接する複数のプ ローブを備えたプローブプロック力 前記端子用導電パターンのプロック数に対 応させて複数個設けられており、 前記複数個のプローブブロックの各々には、 前 記端子用導電パターンの奇数番目および偶数番目の配線にそれぞれ当接するプロ ープと一端側を電気的に接続する奇数対応フレキシブル基板および偶数対応フレ キシブル基板からなるフレキシブル基板が設けられており、 前記フレキシブル基 板の他端側が、 前記プローブブロック毎に、 前記奇数対応フレキシブル基板およ ぴ偶数対応フレキシブル基板の各他端側をァドレス変換機能が備えられた中継基 板内の奇数対応ァドレス部および偶数対応ァドレス部にそれぞれ接続させること によつて前記中継基板に接続しており、 前記端子用導電パターンからの信号を前 記プローブ、 フレキシブル基板、 および中継基板を介してテスター本体で読み取 ることによって前記端子用導電パターンのショート状態、 オープン状態、 T F T の特性、 および画素の特性の検査を行う液晶パネル用検査装置において、 前記フレキシブル基板は、 前記プローブブロック毎に、 前記奇数対応フレキシ ブル基板および偶数対応フレキシブル基板を、 前記奇数対応ァドレス部および偶 数対応ァドレス部の設置位置に応じて相互に振り分けると共に、 その各接続端部 をそれぞれ前記奇数および偶数対応ァドレス部に漸近させて接続することによつ て前記中継基板に接続していることを特徴とする液晶パネル用検査装置。
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