JP4315643B2 - 電子部品検査装置の配線構造及び電子部品検査装置 - Google Patents

電子部品検査装置の配線構造及び電子部品検査装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品検査装置の配線構造及び電子部品検査装置に関するものであり、特に液晶表示パネルや半導体素子のように多数の端子を備えた電子部品の検査に好適に用いられる検査装置及びその配線構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
コモン電極とセグメント電極を交差させてなるパッシブ型の液晶表示装置が携帯電話等に使用されている。近年の液晶表示装置の高品位化に対応すべく、コモン電極やセグメント電極を微細に形成する必要があるが、これに伴い、各電極の断線又は短絡等の不良が発生する場合がある。従って、これら不良の検査、不良箇所の検出を行う必要がある。
【0003】
上記の検査方法としては、液晶表示パネルを動作状態で検査又は修正すべく、液晶表示パネルの多数の駆動信号入力用の端子列に対応したプローブ端子を装着固定したプローブ基板を用意し、このプローブ基板よりプローブ端子を介して駆動信号を印加して検査又は修正する方法が行われている。
【0004】
一般的に、液晶表示パネルの検査を行う場合、コモン電極の奇数又は偶数端子にのみ検査信号を入力する偶奇点灯表示検査や、カラー液晶表示パネルのカラーフィルタの色相に対応して赤、緑、青の単色を表示させる単色点灯表示検査があるが、画素欠陥や検査時間の制約から、通常は、単色点灯表示検査が行われている。単色点灯表示検査では、点灯絵素がすべて同色であり、電極間又は絵素間の短絡がある場合には周辺とは異なる色の絵素が点灯状態になるため、欠陥検出が早くなる。従って、単色点灯表示検査は視認性がよく、検査時間も短く電極間又は画素間の短絡検出には最適の方法である。
【0005】
液晶表示パネルのセグメント電極は、カラーフィルタに対応して赤、緑、青の順に繰り返し連続配置されているから、単色点灯表示検査のためには、プローブ基板よりこの順番にプローブ端子をグループ化して信号を印加する必要がある。通常、プローブ端子の他端側にはプローブ基板上に形成された配線パターンが接続され、この配線パターンを介して液晶表示パネルを動作状態で検査又は修正を行うための検査信号が印加されるようになっている。
【0006】
図7に、従来の液晶表示パネルの検査に用いられる検査装置を示す。この検査装置は、液晶表示パネル310の端子部310aに接続される多数のプローブ端子を有するプローブ基板303と、プローブ基板303からの配線を駆動用IC基板307の駆動用IC307aに各々接続するための接続配線を備えた配線基板304と、別の配線基板308を介して駆動用IC基板307に駆動電力を供給するLC回路309a等を備えた電源回路基板309と、電源回路基板309にケーブル305を介して接続されるコントローラ306とから構成されている。
【0007】
液晶表示パネル310の端子部310cには、コモン電極及びセグメント電極の端子が形成されており、通常、この端子の数は数十〜数百個にのぼる。プローブ基板303には、この端子の数に対応した多数のプローブ端子が備えられており、各プローブ端子から引き出された多数の配線が、上記の配線基板304、駆動用IC基板307及び電源回路基板309を介してコントローラ306に各々接続されている。従って配線基板304、駆動用IC基板307及び電源回路基板309には、プローブ端子に対応した数の配線が各々設けられている。
【0008】
図7に示す液晶表示パネルの検査装置においては、液晶表示パネル310のセグメント電極の端子にプローブ端子を各々接続し、各セグメント電極に検査信号を流して検査を行うようになっている。尚、検査信号は、コントローラからの駆動信号を受けた制御用IC基板307上の制御用IC307aが発振するようになっている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の液晶表示パネルの検査装置では、プローブ基板303、配線基板304、駆動用IC基板307及び電源回路基板309並びにコントローラ306の各部同士の接続が、上記のプローブ端子の数に対応した多数の配線によりなされているため、検査の準備の過程においては、各配線の接続を配線毎に確認する必要があり、検査の準備に膨大な時間を要するといった問題があった。
また、検査を行う過程で液晶表示パネル310に表示欠陥が発見された場合でも、この表示欠陥が液晶表示パネル310自体の不良によるものか、検査装置の各部分における配線接続不良によるものかを直ちに判別できず、表示欠陥の確認に長時間を要するといった問題があった。
【0010】
上記の問題を解決には、プローブ基板からコントローラまでの配線数を減らす必要がある。しかし、先に述べたように、セグメント電極は、カラーフィルタに対応して赤、緑、青の順に繰り返し連続配置されているため、各色毎に配線を纏めるためには、別の配線と絶縁を保ちながら交差させる必要がある。
このため、プローブ基板に接続される配線基板を多層化したり、配線基板の両面に配線パターンを形成して各配線パターンをスルーホールで接続するといったことが行われているが、この場合は配線基板のコスト高になるといった問題があった。
【0011】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、配線基板等のコストを増やすことなく配線数を減らすことにより、検査の準備時間や労力を軽減することが可能な電子部品検査装置及びその配線構造を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の電子部品検査装置の配線構造は、電子部品の複数の端子にプローブ部のプローブ端子をそれぞれ接触させるとともに該プローブ端子を介して前記電子部品に検査信号を印加する電子部品検査装置の配線構造であり、前記プローブ部には、各プローブ端子にそれぞれ接続されて相互に略平行に延びる複数のプローブ配線と、前記複数のプローブ配線を2本おきに連結して該プローブ部から引き出す第1の引出配線と、前記第1の引出配線とは別個に前記複数のプローブ配線を2本おきに連結して該プローブ部から引き出す第2の引出配線と、前記第1及び前記第2の引出配線とは別個に前記プローブ配線を2本おきに連結して該プローブ部から引き出す第3の引出配線とが備えられ、前記プローブ部は一対の基板が重ね合わされて構成されるとともに、一方の基板には、前記複数のプローブ配線と前記第1の引出配線と、前記複数のプローブ配線及び前記第1の引出配線を覆う一方の絶縁層とが形成されるとともに、該一方の絶縁層に一方の開口部が設けられ、他方の基板には、前記第2及び第3の引出配線と、前記第2及び第3の引出配線を覆う他方の絶縁層とが形成されるとともに、該他方の絶縁層に他方の開口部が設けられ、前記一対の基板を重ねる際に前記一方及び前記他方の開口部が相互に重ね合わされて、前記各開口部を介して前記複数のプローブ配線と前記第2及び第3引出配線とがそれぞれ接続されており、前記第2の引出配線は、前記プローブ配線の形成位置に対応するとともにその一部が前記他方の開口部内に位置する複数の接続配線と、前記接続配線を前記他方の基板の一端側で相互に連結する渡り配線とからなり、前記第3の引出配線は、前記プローブ配線の形成位置に対応するとともにその一部が前記他方の開口部内に位置する複数の接続配線と、前記接続配線を前記他方の基板の他端側で相互に連結する渡り配線とからなり、前記第2、第3の引出配線の各接続配線が相互に平行に配置されることによって前記第2、第3の引出配線が相互にかみ合う形で配置されることを特徴とする。
【0013】
係る配線構造によれば、複数のプローブ配線を3つの引出配線に纏めることができるので、配線数を減らすことができる。
また、一方の基板に第1の引出配線が配置され、他方の基板に第2,第3の引出配線が配置されるので、平行に並んだ複数のプローブ配線を3つのグループにまとめ、しかも各グループの配線を相互に接触させることなくプローブ部の外部に引き出すことができる。
さらに、一対の基板を重ねる際に各開口部が相互に重ね合わせることで、複数のプローブ配線と第2及び第3の引出配線とを各々接続するため、スルーホール等を設ける必要がなく、配線構造を簡素化することができる。
更にまた、前記第2、第3の引出配線が相互にかみ合う形で配置されるので、各引出配線を相互に接触させることなくプローブ部の外部に引き出すことができる。
【0018】
また、本発明の電子部品検査装置の配線構造は、先に記載の電子部品検査装置の配線構造であり、前記の接続配線が前記一方及び前記他方の開口部を介して前記複数のプローブ配線に接続されることを特徴とする。
係る電子部品検査装置の配線構造によれば、各開口部を介して接続配線をプローブ配線に接続するので、スルーホール等を設ける必要がなく、配線構造を簡素化することができる。
【0019】
次に本発明の電子部品検査装置は、先に記載の配線構造を具備してなることを特徴とする。
係る電子部品検査装置によれば、上記の配線構造を備えているので、複数のプローブ配線を3つの引出配線に纏めることができ、配線数を減して検査装置の配線構造を簡素化し、検査の準備時間を短縮するとともに、検査の精度を高めることができる。
【0020】
また本発明の電子部品検査装置においては、前記電子部品が液晶表示パネルであることが好ましい。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の電子部品検査装置及びその配線構造を図面を参照して説明する。尚、本実施形態においては、電子部品検査装置として液晶表示パネルの検査装置を例にして説明する。
図1に、本発明の液晶表示パネルの検査装置の構成を説明するための斜視図を示し、図2に、本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の配線構造を説明するため模式図を示す。
【0022】
図1に示すように、本実施形態の液晶表示パネルの検査装置1は、液晶表示パネル10の端子部10cに接続される多数のプローブ端子を有するプローブ部2と、プローブ部2にケーブル5を介して接続されるコントローラ6から構成されている。
プローブ部2は、多数のプローブ端子が備えられたプローブ基板(一方の基板)3と、プローブ基板3の一面3aの一部に重ね合わされた配線基板(他方の基板)4とから構成されている。配線基板4にはコネクタ4aが備えられており、このコネクタ4aにケーブル5が接続されている。
【0023】
コントローラ6は、検査信号を発振するもので、液晶駆動波形形成回路と、液晶駆動波形形成回路の出力側に設けられ、液晶駆動波形形成回路から出力された駆動波形をコモン信号及びセグメント信号に分けて検査信号として出力する信号切換回路と、信号切換回路に切換信号を送るショート検出回路と、ショート検出回路並びに液晶駆動波形形成回路を制御するCPUとを具備して構成されている。
CPUの指令によって液晶駆動波形形成回路から駆動波形が出力し、この駆動波形を信号切換回路によりコモン信号及びセグメント信号に分けて検査信号として発振する。このような構成により、従来のコントローラに制御用ICの構成を加えたものとすることができる。
【0024】
液晶表示パネル10は、第1基板10aに第2基板10bが重ね合わされて構成され、各基板10a、10bの間には図示略の液晶層が封入されている。第1基板10aの液晶層側には図示略の複数のセグメント電極が形成され、また第2基板10bの液晶層側には図示略の複数のコモン電極が形成されており、これらセグメント電極とコモン電極とが液晶層を挟んで相互に直交するように配置されている。また、セグメント電極は、カラーフィルタに対応して赤、緑、青の順に繰り返し連続配置されている。
【0025】
また、第1基板10aには端子部10c、10cが形成されている。この端子部10c、10cには、セグメント電極及びコモン電極の端子が引出されて配列されている。
【0026】
図2には、液晶表示パネル10に、6つのプローブ部2を接続した状態の配線模式図を示す。液晶表示パネル10の両側(端子部10c、10c)には、COM1〜COM88及びCOM’1〜COM’88で表される合計176個のコモン端子(端子)と、SEG-R1〜SEG-B128及びSEG-R’1〜SEG-B’128で表される合計768個のセグメント端子(端子)とが設けられている。尚、コモン端子は、液晶表示パネル10のコモン電極に各々接続され、セグメント端子(端子)はセグメント電極に各々接続されている。
また、SEG-R1〜SEG-R128はカラーフィルタの赤色に対応するセグメント電極の端子であり、SEG-G1〜SEG-R128は緑色に対応するセグメント電極の端子であり、SEG-B1〜SEG-B128は青色に対応するセグメント電極の端子である。そして図2に示すようにこれらセグメント端子は、SEG-R1、SEG-G1、〜SEG-B12…の順に連続配列されている。
【0027】
COM1〜COM44にはプローブ部2aが取り付けられ、COM45〜COM90にはプローブ部2bが取り付けられ、SEG-R1〜SEG-B128にはプローブ部2cが取り付けられている。
また、COM’1〜COM’44にはプローブ部2dが取り付けられ、COM’45〜COM’90にはプローブ部2eが取り付けられ、SEG-R’1〜SEG-B’128にはプローブ部2fが取り付けられている。
【0028】
プローブ部2aには、コモン端子COM1〜COM44に各々接続する図示略の多数のプローブ端子が備えられるとともに、各プローブ端子を介してコモン端子COM1〜COM44に接続されるプローブ配線101c〜144cが設けられている。そして、奇数番目のプローブ配線101c、103c…、143cが1本の引出配線201aに纏められ、偶数番目のプローブ配線102c、104c…、144cが別の引出配線202aに纏められている。
【0029】
同様に、プローブ部2bには、コモン端子COM45〜COM88に各々接続する図示略の多数のプローブ端子が備えられるとともに、各プローブ端子を介してコモン端子COM45〜COM88に接続されるプローブ配線145c〜188cが設けられている。そして、奇数番目のプローブ配線145c、147c…、187cが1本の引出配線203aに纏められ、偶数番目のプローブ配線146c、148c…、188cが別の引出配線204aに纏められている。
【0030】
更に、プローブ部2cには、セグメント端子SEG-R1〜SEG-B128に各々接続する図示略の多数のプローブ端子が備えられるとともに、各プローブ端子を介してセグメント端子SEG-R1〜SEG-B128に接続されるプローブ配線101r〜228bが設けられている。そして、赤色に対応するプローブ配線101r〜228rが1本の引出配線205aに纏められ、緑色に対応するプローブ配線101g〜228gが1本の引出配線206aに纏められ、青色に対応するプローブ配線101b〜228bが1本の引出配線207aに纏められている。
【0031】
このように、コモン電極COM1〜COM88は、プローブ部2a、2b内で最終的に4本の引出配線201a〜204aに纏められ、セグメント電極SEG-R1〜SEG-B128は、プローブ部2c内で最終的に3本の引出配線205a〜207aに纏められられる。
従って、プローブ部2からコントローラまでの配線数は、コモン電極用のプローブ部2a、2bの場合にプローブ部1つ当たり2本、セグメント電極用のプローブ部2cの場合にプローブ部1つ当たり3本となる。
以上、液晶表示パネル10の片側に位置するプローブ部2a〜2cの配線構造を模式的について説明したが、液晶表示パネル10のもう片方に位置するプローブ部2d〜2fの配線構造についても上記とほぼ同じ構成である。
【0032】
次に図3〜図6により、プローブ部2の詳細な構造を説明する。尚、ここではプローブ部2の一例として、セグメント端子に接続されるプローブ部2cを例にして説明する。
図3には液晶表示パネルの検査装置の配線構造の要部であるプローブ部の拡大断面図を示し、図4には液晶表示パネルの検査装置の配線構造の要部であるプローブ部の分解斜視図を示し、図5にはプローブ部を構成するプローブ基板の要部であって配線基板との接続部分の拡大平面図を示し、図6にはプローブ部を構成する配線基板の要部であってプローブ基板との接続部分をフレキシブル基板41側から見た拡大平面図を示す。
【0033】
図1及び図3に示すように、セグメント電極に接続されるプローブ部2cは、プローブ基板(一方の基板)2aと配線基板(他方の基板)2cとから構成されている。
プローブ基板3は、フレキシブル基板31と、このフレキシブル基板31上に形成されたプローブ配線101r〜228bと、第1の引出配線205aと、フレキシブル基板31及びプローブ配線101r〜228bを覆う絶縁層32とから構成されている。絶縁層32には開口部32aが設けられており、この開口部32aによって、プローブ配線101r〜228bの一部が絶縁層32により被覆されない状態になっている。
【0034】
次に配線基板4は、フレキシブル基板41と、このフレキシブル基板41上に形成された引出配線205a〜207aと、第2,第3の引出配線206a、207aと、フレキシブル基板41及びプローブ配線205a〜207aを覆う絶縁層42とから構成されている。絶縁層42には開口部42aが設けられており、この開口部42aによって、各引出配線206a、207aの一部が絶縁層42により被覆されない状態になっている。
【0035】
そして、プローブ基板3の絶縁層32側に対して、配線基板4が絶縁層42をプローブ基板3側に向けて重ね合わされている。この時、プローブ基板3の絶縁層32の開口部32aと、配線基板4の絶縁層42の開口部42aとが重ね合わされる。
そして、開口部32a及び開口部42aには異方性導電樹脂21が充填されており、この異方性導電樹脂21を介してプローブ配線101r〜228bと第2,第3の引出配線206a〜207aとが電気的に接続される。
また、異方性導電樹脂21を設けず、プローブ基板3の開口部31aに配線基板4の開口部41aを押し当てても良く、この場合はプローブ配線101r〜228bと第2,第3の引出配線205a〜207aとが直接的に接触して電気的に接続される。
【0036】
次に、プローブ配線101r〜228bと第1〜第3の引出配線205a〜207aの詳細な構造を図4〜図6により説明する。
プローブ基板3においては、図4及び図5に示すように、フレキシブル基板31上にプローブ配線101r〜228bが相互に平行になって櫛歯状に連続的に配列されている。また、プローブ配線101r〜228b上には絶縁層32が形成されている。
ここで、プローブ配線101r〜228rは、プローブ端子を介して赤色のセグメント電極に接続される配線であり、プローブ配線101g〜228gは、プローブ端子を介して緑色のセグメント電極に接続される配線であり、プローブ配線101b〜228bは、プローブ端子を介して青色のセグメント電極に接続される配線である。そして、各プローブ配線101r〜228bが、赤、緑、青の順に配列されている。即ち、各色のプローブ配線が2つおきに配置されている。
【0037】
赤色用のプローブ配線101r〜228rは、フレキシブル基板31の端面31a側まで延長して形成されており、このため他の色のプローブ配線よりも長く形成されている。そして、フレキシブル基板31上には、各プローブ配線101r〜228rを連結する渡り配線205b(第1の引出配線205a)が端面31aに沿って形成されている。また、この渡り配線205bの端部205cが絶縁層31の開口部32aから露出するようになっている。
このように、赤色用のプローブ配線101r〜228rを他の色のプローブ配線101g〜228bよりも長く形成し、更に渡り配線205bを端面31aに沿って形成するので、渡り配線205bが他のプローブ配線101g〜228bと接触することがない。
【0038】
次に緑色用のプローブ配線101g〜228gは、赤色用のプローブ配線101r〜228rの隣に位置してほぼ平行に形成されており、各プローブ配線の端部101g1〜228g1が開口部32aから露出するようになっている。
また、青色用のプローブ配線101b〜228bは、赤色及び緑色用のプローブ配線101r〜228bの間に位置してこれらのプローブ配線に対してほぼ平行に形成されており、各プローブ配線の端部101b1〜228b1が開口部32aから露出するようになっている。
【0039】
次に、配線基板4においては、図4及び図6に示すように、フレキシブル基板41上に第2、第3の引出配線206a、207aが形成されている。また、フレキシブル基板41上には第1の引出配線205aの一部が形成されている。更に、各引出配線205a、206a、207a上には絶縁層42が形成されている。
【0040】
配線基板4側の第1の引出配線205aは、その一端部205a1が絶縁層42の開口部42aから露出するとともに、他端部205a2がフレキシブル基板41を貫通する図示略のスルーホールを介してコネクタ4aに接続されている。また、この引出配線205aの一端部205a1は、プローブ基板3と配線基板4とを重ね合わされた際にプローブ配線側の渡り配線205b(第1の引出配線205a)の端部205cと重なるように、渡り配線105bの端部205cに対応する位置に形成されている。
【0041】
次に、第2,第3の引出配線206a及び207aは、それぞれ、櫛歯状に配置された複数の接続配線と各接続配線を連結する渡り配線とから構成され、各引出配線206a、207aが絶縁層42の開口部42aを基準にして相互にかみ合うように形成されている。
【0042】
即ち、第2の引出配線206aは、複数の接続配線206a1〜206a228と、各接続配線206a1〜206a228をフレキシブル基板41の一端面41b側(一端側)で相互に連結する渡り配線206bとから構成されている。
接続配線206a1〜206a228は絶縁層42の開口部42aから露出するとともに、フレキシブル基板41の一端面41b側に向けて延びており、各接続配線206a1〜206a228が相互に間隔を空けて平行に配置されている。また、渡り配線206bは一端面41bに沿って形成されるとともに、その一端206b1がフレキシブル基板41を貫通する図示略のスルーホールを介してコネクタ4aに接続されている。
更に接続配線206a1〜206a228は、プローブ基板3と配線基板4とを重ね合わされた際に緑色用のプローブ配線の端部101g1〜228g1と重なるように、プローブ配線の端部101g1〜228g1 対応する位置に形成されている。
【0043】
また、第3の引出配線207aは、複数の接続配線207a1〜207a228と、各接続配線207a1〜207a228をフレキシブル基板41の他端面41c側(他端側)で相互に連結する渡り配線207bとから構成されている。
接続配線207a1〜207a228は絶縁層42の開口部42aから露出するとともに、フレキシブル基板41の他端面41c側に向けて延びており、各接続配線207a1〜207a228が相互に間隔を空けて平行に配置されている。また、渡り配線207bは他端面41cに沿って形成されるとともに、その一端207b1がフレキシブル基板41を貫通する図示略のスルーホールを介してコネクタ4aに接続されている。
更に接続配線207a1〜207a228は、プローブ基板3と配線基板4とを重ね合わされた際に青色用のプローブ配線の端部101b1〜228b1と重なるように、プローブ配線の端部101b1〜228b1に対応する位置に形成されている。
【0044】
このように、第2,第3の引出配線206a、207aを構成する渡り配線206b、207bが、開口部42aを基準として基板41の一端面41b及び他端面41cに沿って配置されているので、引出配線206a、207a同士が相互に接触することがない。
【0045】
また、プローブ基板3と配線基板4とを重ね合わされた際に、配線基板4側の第1の引出配線205aが、プローブ基板3側の赤色用の渡り配線205b(第1の引出配線205a)に接続されるので、全ての赤色用のプローブ配線101r〜228rがこの第1の引出配線205aによって一つに纏められる。
同様に、プローブ基板3と配線基板4とを重ね合わされた際に、接続配線206a1〜206a228が、プローブ基板3側のプローブ配線101g〜228gに接続されるので、緑色用のプローブ配線101g〜228gがこの第2の引出配線206aによって一つに纏められる。
更に同様に、プローブ基板3と配線基板4とを重ね合わされた際に、接続配線207a1〜207a228が、プローブ基板3側のプローブ配線101b〜228bに接続されるので、青色用のプローブ配線101b〜228bがこの第3の引出配線207aによって一つに纏められる。
【0046】
また、プローブ基板3側の赤色、緑色、青色用の各プローブ配線101r〜228bは、絶縁層32、42によって引出配線206aから絶縁されるので、各プローブ配線101r〜228bと引出配線206aとが短絡するおそれがない。
同様に、プローブ基板3側の赤色用の渡り配線205bは、絶縁層32、42によって引出配線207aから絶縁されるので、渡り配線205bが引出配線207aと短絡するおそれがない。
【0047】
以上説明したように、上記の配線構造によれば、プローブ基板及び配線基板上に形成した配線パターンを重ね合わせるだけで、3つのグループの複数本のプローブ配線をそれぞれ1本に纏めることができる。
また、上記の液晶表示パネルの検査装置によれば、プローブ部とコントローラとの間の配線数を大幅に減らすことができるので、検査の準備に手間取ったり、検査結果の確認が遅れるおそれがない。
【0048】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば本実施形態では電子部品として液晶表示パネルを例にして説明したが、本発明の適用範囲はこれに留まらず、例えば半導体素子を樹脂で封止してなるICチップの検査にも好適に用いることができる。
【0049】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明の電子部品検査装置の配線構造によれば、複数のプローブ配線を3つの引出配線に纏めることができるので、配線数を減らすことができる。
また、一方の基板に第1の引出配線が配置され、他方の基板に第2,第3の引出配線が配置されるので、平行に並んだ複数のプローブ配線を3つのグループにまとめ、しかも各グループの配線を相互に接触させることなくプローブ部の外部に引き出すことができる。
【0050】
また、本発明の電子部品検査装置の配線構造によれば、一対の基板を重ねる際に各開口部が相互に重ね合わせることで、複数のプローブ配線と第2及び第3の引出配線とを各々接続するため、スルーホール等を設ける必要がなく、配線構造を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の構成を説明するための斜視図。
【図2】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の配線構造を説明するため模式図。
【図3】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の配線構造の要部の断面図。
【図4】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の配線構造の要部の分解斜視図。
【図5】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置のプローブ基板の要部を示す拡大平面図。
【図6】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの検査装置の配線基板の要部を示す拡大平面図。
【図7】 従来の液晶表示パネルの検査装置の構成を説明するための模式図。
【符号の説明】
1 液晶表示パネルの検査装置(電子部品検査装置)
2、2a、2b、2c、2d、2e、2f プローブ部
3 プローブ基板(一方の基板)
4 配線基板(他方の基板)
10 液晶表示パネル(電子部品)
32 一方の絶縁層
32a 開口部
41b 一端面(基板の一端側)
41c 他端面(基板の他端側)
42 他方の絶縁層
42a 開口部
101r〜228r プローブ配線
101g〜228g プローブ配線
101b〜228b プローブ配線
205a 第1の引出配線
206a 第2の引出配線
206a1〜206a228 接続配線
206b 渡り配線
207a 第3の引出配線
207a1〜207a228 接続配線
207b 渡り配線
COM1〜COM88 コモン端子(端子)
COM’1〜COM’88 コモン端子(端子)
SEG-R1〜SEG-B128 セグメント端子(端子)
SEG-R’1〜SEG-B’128 セグメント端子(端子)

Claims (4)

  1. 電子部品の複数の端子にプローブ部のプローブ端子をそれぞれ接触させるとともに該プローブ端子を介して前記電子部品に検査信号を印加する電子部品検査装置の配線構造であり、
    前記プローブ部には、各プローブ端子にそれぞれ接続されて相互に略平行に延びる複数のプローブ配線と、前記複数のプローブ配線を2本おきに連結して該プローブ部から引き出す第1の引出配線と、前記第1の引出配線とは別個に前記複数のプローブ配線を2本おきに連結して該プローブ部から引き出す第2の引出配線と、前記第1及び前記第2の引出配線とは別個に前記プローブ配線を2本おきに連結して該プローブ部から引き出す第3の引出配線とが備えられ、
    前記プローブ部は一対の基板が重ね合わされて構成されるとともに、
    一方の基板には、前記複数のプローブ配線と前記第1の引出配線と、前記複数のプローブ配線及び前記第1の引出配線を覆う一方の絶縁層とが形成されるとともに、該一方の絶縁層に一方の開口部が設けられ、
    他方の基板には、前記第2及び第3の引出配線と、前記第2及び第3の引出配線を覆う他方の絶縁層とが形成されるとともに、該他方の絶縁層に他方の開口部が設けられ、
    前記一対の基板を重ねる際に前記一方及び前記他方の開口部が相互に重ね合わされて、前記各開口部を介して前記複数のプローブ配線と前記第2及び第3引出配線とがそれぞれ接続されており、
    前記第2の引出配線は、前記プローブ配線の形成位置に対応するとともにその一部が前記他方の開口部内に位置する複数の接続配線と、前記接続配線を前記他方の基板の一端側で相互に連結する渡り配線とからなり、
    前記第3の引出配線は、前記プローブ配線の形成位置に対応するとともにその一部が前記他方の開口部内に位置する複数の接続配線と、前記接続配線を前記他方の基板の他端側で相互に連結する渡り配線とからなり、
    前記第2、第3の引出配線の各接続配線が相互に平行に配置されることによって前記第2、第3の引出配線が相互にかみ合う形で配置されることを特徴とする電子部品検査装置の配線構造。
  2. 前記の接続配線が前記一方及び前記他方の開口部を介して前記複数のプローブ配線に接続されることを特徴とする請求項に記載の電子部品検査装置の配線構造。
  3. 請求項1または請求項に記載の配線構造を具備してなることを特徴とする電子部品検査装置。
  4. 前記電子部品が液晶表示パネルであることを特徴とする請求項に記載の電子部品検査装置。
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