JP2003344503A - 電子部品検査装置の配線構造及び電子部品検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検査の準備時間や労力を軽減することが可能
な電子部品検査装置及びその配線構造を提供する。 【解決手段】 プローブ部２には、各プローブ端子にそ
れぞれ接続されて相互に略平行に延びるプローブ配線１
０１ｒ〜２２８ｂと、プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒ
を連結する第１の引出配線２０５ａと、プローブ配線１
０１ｇ〜２２８ｇを連結する第２の引出配線２０６ａ
と、プローブ配線１０１ｂ〜２２８ｂを連結する第３の
引出配線２０７ａとが備えられてなるることを特徴とす
る電子部品検査装置１を採用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品検査装置
の配線構造及び電子部品検査装置に関するものであり、
特に液晶表示パネルや半導体素子のように多数の端子を
備えた電子部品の検査に好適に用いられる検査装置及び
その配線構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】コモン電極とセグメント電極を交差させ
てなるパッシブ型の液晶表示装置が携帯電話等に使用さ
れている。近年の液晶表示装置の高品位化に対応すべ
く、コモン電極やセグメント電極を微細に形成する必要
があるが、これに伴い、各電極の断線又は短絡等の不良
が発生する場合がある。従って、これら不良の検査、不
良箇所の検出を行う必要がある。

【０００３】上記の検査方法としては、液晶表示パネル
を動作状態で検査又は修正すべく、液晶表示パネルの多
数の駆動信号入力用の端子列に対応したプローブ端子を
装着固定したプローブ基板を用意し、このプローブ基板
よりプローブ端子を介して駆動信号を印加して検査又は
修正する方法が行われている。

【０００４】一般的に、液晶表示パネルの検査を行う場
合、コモン電極の奇数又は偶数端子にのみ検査信号を入
力する偶奇点灯表示検査や、カラー液晶表示パネルのカ
ラーフィルタの色相に対応して赤、緑、青の単色を表示
させる単色点灯表示検査があるが、画素欠陥や検査時間
の制約から、通常は、単色点灯表示検査が行われてい
る。単色点灯表示検査では、点灯絵素がすべて同色であ
り、電極間又は絵素間の短絡がある場合には周辺とは異
なる色の絵素が点灯状態になるため、欠陥検出が早くな
る。従って、単色点灯表示検査は視認性がよく、検査時
間も短く電極間又は画素間の短絡検出には最適の方法で
ある。

【０００５】液晶表示パネルのセグメント電極は、カラ
ーフィルタに対応して赤、緑、青の順に繰り返し連続配
置されているから、単色点灯表示検査のためには、プロ
ーブ基板よりこの順番にプローブ端子をグループ化して
信号を印加する必要がある。通常、プローブ端子の他端
側にはプローブ基板上に形成された配線パターンが接続
され、この配線パターンを介して液晶表示パネルを動作
状態で検査又は修正を行うための検査信号が印加される
ようになっている。

【０００６】図７に、従来の液晶表示パネルの検査に用
いられる検査装置を示す。この検査装置は、液晶表示パ
ネル３１０の端子部３１０ａに接続される多数のプロー
ブ端子を有するプローブ基板３０３と、プローブ基板３
０３からの配線を駆動用ＩＣ基板３０７の駆動用ＩＣ３
０７ａに各々接続するための接続配線を備えた配線基板
３０４と、別の配線基板３０８を介して駆動用ＩＣ基板
３０７に駆動電力を供給するＬＣ回路３０９ａ等を備え
た電源回路基板３０９と、電源回路基板３０９にケーブ
ル３０５を介して接続されるコントローラ３０６とから
構成されている。

【０００７】液晶表示パネル３１０の端子部３１０ｃに
は、コモン電極及びセグメント電極の端子が形成されて
おり、通常、この端子の数は数十〜数百個にのぼる。プ
ローブ基板３０３には、この端子の数に対応した多数の
プローブ端子が備えられており、各プローブ端子から引
き出された多数の配線が、上記の配線基板３０４、駆動
用ＩＣ基板３０７及び電源回路基板３０９を介してコン
トローラ３０６に各々接続されている。従って配線基板
３０４、駆動用ＩＣ基板３０７及び電源回路基板３０９
には、プローブ端子に対応した数の配線が各々設けられ
ている。

【０００８】図７に示す液晶表示パネルの検査装置にお
いては、液晶表示パネル３１０のセグメント電極の端子
にプローブ端子を各々接続し、各セグメント電極に検査
信号を流して検査を行うようになっている。尚、検査信
号は、コントローラからの駆動信号を受けた制御用ＩＣ
基板３０７上の制御用ＩＣ３０７ａが発振するようにな
っている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の液晶表
示パネルの検査装置では、プローブ基板３０３、配線基
板３０４、駆動用ＩＣ基板３０７及び電源回路基板３０
９並びにコントローラ３０６の各部同士の接続が、上記
のプローブ端子の数に対応した多数の配線によりなされ
ているため、検査の準備の過程においては、各配線の接
続を配線毎に確認する必要があり、検査の準備に膨大な
時間を要するといった問題があった。また、検査を行う
過程で液晶表示パネル３１０に表示欠陥が発見された場
合でも、この表示欠陥が液晶表示パネル３１０自体の不
良によるものか、検査装置の各部分における配線接続不
良によるものかを直ちに判別できず、表示欠陥の確認に
長時間を要するといった問題があった。

【００１０】上記の問題を解決には、プローブ基板から
コントローラまでの配線数を減らす必要がある。しか
し、先に述べたように、セグメント電極は、カラーフィ
ルタに対応して赤、緑、青の順に繰り返し連続配置され
ているため、各色毎に配線を纏めるためには、別の配線
と絶縁を保ちながら交差させる必要がある。このため、
プローブ基板に接続される配線基板を多層化したり、配
線基板の両面に配線パターンを形成して各配線パターン
をスルーホールで接続するといったことが行われている
が、この場合は配線基板のコスト高になるといった問題
があった。

【００１１】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であって、配線基板等のコストを増やすことなく配線数
を減らすことにより、検査の準備時間や労力を軽減する
ことが可能な電子部品検査装置及びその配線構造を提供
することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は以下の構成を採用した。本発明の電子部
品検査装置の配線構造は、電子部品の複数の端子にプロ
ーブ部のプローブ端子をそれぞれ接触させるとともに該
プローブ端子を介して前記電子部品に検査信号を印加す
る電子部品検査装置の配線構造であり、前記プローブ部
には、各プローブ端子にそれぞれ接続されて相互に略平
行に延びる複数のプローブ配線と、前記複数のプローブ
配線を２本おきに連結して該プローブ部から引き出す第
１の引出配線と、前記第１の引出配線とは別個に前記複
数のプローブ配線を２本おきに連結して該プローブ部か
ら引き出す第２の引出配線と、前記第１及び前記第２の
引出配線とは別個に前記プローブ配線を２本おきに連結
して該プローブ部から引き出す第３の引出配線とが備え
られ、前記プローブ部は一対の基板が重ね合わされて構
成されるとともに、一方の基板に前記複数のプローブ配
線と前記第１の引出配線が形成されるとともに、他方の
基板に前記第２及び第３の引出配線がそれぞれ形成さ
れ、各基板を重ね合わせた際に前記複数のプローブ配線
と前記第２及び第３引出配線とがそれぞれ接続されるこ
とを特徴とする。

【００１３】係る配線構造によれば、複数のプローブ配
線を３つの引出配線に纏めることができるので、配線数
を減らすことができる。また、一方の基板に第１の引出
配線が配置され、他方の基板に第２，第３の引出配線が
配置されるので、平行に並んだ複数のプローブ配線を３
つのグループにまとめ、しかも各グループの配線を相互
に接触させることなくプローブ部の外部に引き出すこと
ができる。

【００１４】また、本発明の電子部品検査装置の配線構
造は、先に記載の電子部品検査装置の配線構造であり、
前記一方の基板には、前記複数のプローブ配線及び前記
第１の引出配線を覆う一方の絶縁層が形成されるととも
に、該一方の絶縁層に一方の開口部が設けられ、前記他
方の基板には、前記第１、第２の引出配線を覆う他方の
絶縁層が形成されるとともに、該他方の絶縁層に他方の
開口部が設けられ、前記一対の基板を重ねる際に前記一
方及び前記他方の開口部が相互に重ね合わされて、前記
各開口部を介して前記複数のプローブ配線と前記第２及
び第３の引出配線とが各々接続されることを特徴とす
る。

【００１５】係る配線構造によれば、一対の基板を重ね
る際に各開口部が相互に重ね合わせることで、複数のプ
ローブ配線と第２及び第３の引出配線とを各々接続する
ため、スルーホール等を設ける必要がなく、配線構造を
簡素化することができる。

【００１６】また、本発明の電子部品検査装置の配線構
造は、先に記載の電子部品検査装置の配線構造であり、
前記第２の引出配線は、前記プローブ配線の形成位置に
対応するとともにその一部が前記他方の開口部内に位置
する複数の接続配線と、前記接続配線を前記他方の基板
の一端側で相互に連結する渡り配線とからなり、前記第
３の引出配線は、前記プローブ配線の形成位置に対応す
るとともにその一部が前記他方の開口部内に位置する複
数の接続配線と、前記接続配線を前記他方の基板の他端
側で相互に連結する渡り配線とからなり、前記第２、第
３の引出配線の各接続配線が相互に平行に配置されるこ
とによって前記第２、第３の引出配線が相互にかみ合う
形で配置されることを特徴とする。

【００１７】係る電子部品検査装置の配線構造によれ
ば、前記第２、第３の引出配線が相互にかみ合う形で配
置されるので、各引出配線を相互に接触させることなく
プローブ部の外部に引き出すことができる。

【００１８】また、本発明の電子部品検査装置の配線構
造は、先に記載の電子部品検査装置の配線構造であり、
前記の接続配線が前記一方及び前記他方の開口部を介し
て前記複数のプローブ配線に接続されることを特徴とす
る。係る電子部品検査装置の配線構造によれば、各開口
部を介して接続配線をプローブ配線に接続するので、ス
ルーホール等を設ける必要がなく、配線構造を簡素化す
ることができる。

【００１９】次に本発明の電子部品検査装置は、先に記
載の配線構造を具備してなることを特徴とする。係る電
子部品検査装置によれば、上記の配線構造を備えている
ので、複数のプローブ配線を３つの引出配線に纏めるこ
とができ、配線数を減して検査装置の配線構造を簡素化
し、検査の準備時間を短縮するとともに、検査の精度を
高めることができる。

【００２０】また本発明の電子部品検査装置において
は、前記電子部品が液晶表示パネルであることが好まし
い。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の電子
部品検査装置及びその配線構造を図面を参照して説明す
る。尚、本実施形態においては、電子部品検査装置とし
て液晶表示パネルの検査装置を例にして説明する。図１
に、本発明の液晶表示パネルの検査装置の構成を説明す
るための斜視図を示し、図２に、本発明の実施形態であ
る液晶表示パネルの検査装置の配線構造を説明するため
模式図を示す。

【００２２】図１に示すように、本実施形態の液晶表示
パネルの検査装置１は、液晶表示パネル１０の端子部１
０ａに接続される多数のプローブ端子を有するプローブ
部２と、プローブ部２にケーブル５を介して接続される
コントローラ６から構成されている。プローブ部２は、
多数のプローブ端子が備えられたプローブ基板（一方の
基板）３と、プローブ基板３の一面３ａの一部に重ね合
わされた配線基板（他方の基板）４とから構成されてい
る。配線基板４にはコネクタ４ａが備えられており、こ
のコネクタ４ａにケーブル５が接続されている。

【００２３】コントローラ６は、検査信号を発振するも
ので、液晶駆動波形形成回路と、液晶駆動波形形成回路
の出力側に設けられ、液晶駆動波形形成回路から出力さ
れた駆動波形をコモン信号及びセグメント信号に分けて
検査信号として出力する信号切換回路と、信号切換回路
に切換信号を送るショート検出回路と、ショート検出回
路並びに液晶駆動波形形成回路を制御するＣＰＵとを具
備して構成されている。ＣＰＵの指令によって液晶駆動
波形形成回路から駆動波形が出力し、この駆動波形を信
号切換回路によりコモン信号及びセグメント信号に分け
て検査信号として発振する。このような構成により、従
来のコントローラに制御用ＩＣの構成を加えたものとす
ることができる。

【００２４】液晶表示パネル１０は、第１基板１０ａに
第２基板１０ｂが重ね合わされて構成され、各基板１０
ａ、１０ｂの間には図示略の液晶層が封入されている。
第１基板１０ａの液晶層側には図示略の複数のセグメン
ト電極が形成され、また第２基板１０ｂの液晶層側には
図示略の複数のコモン電極が形成されており、これらセ
グメント電極とコモン電極とが液晶層を挟んで相互に直
交するように配置されている。また、セグメント電極
は、カラーフィルタに対応して赤、緑、青の順に繰り返
し連続配置されている。

【００２５】また、第１基板１０ａには端子部１０ｃ、
１０ｃが形成されている。この端子部１０ｃ、１０ｃに
は、セグメント電極及びコモン電極の端子が引出されて
配列されている。

【００２６】図２には、液晶表示パネル１０に、６つの
プローブ部２を接続した状態の配線模式図を示す。液晶
表示パネル１０の両側（端子部１０ｃ、１０ｃ）には、
ＣＯＭ１〜ＣＯＭ８８及びＣＯＭ’１〜ＣＯＭ’８８で
表される合計１７６個のコモン端子（端子）と、ＳＥＧ
-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８及びＳＥＧ-Ｒ’１〜ＳＥＧ-
Ｂ’１２８で表される合計７６８個のセグメント端子
（端子）とが設けられている。尚、コモン端子は、液晶
表示パネル１０のコモン電極に各々接続され、セグメン
ト端子（端子）はセグメント電極に各々接続されてい
る。また、ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｒ１２８はカラーフィ
ルタの赤色に対応するセグメント電極の端子であり、Ｓ
ＥＧ-Ｇ１〜ＳＥＧ-Ｒ１２８は緑色に対応するセグメン
ト電極の端子であり、ＳＥＧ-Ｂ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８は
青色に対応するセグメント電極の端子である。そして図
２に示すようにこれらセグメント端子は、ＳＥＧ-Ｒ
１、ＳＥＧ-Ｇ１、〜ＳＥＧ-Ｂ１２…の順に連続配列さ
れている。

【００２７】ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４４にはプローブ部２ａ
が取り付けられ、ＣＯＭ４５〜ＣＯＭ９０にはプローブ
部２ｂが取り付けられ、ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８
にはプローブ部２ｃが取り付けられている。また、ＣＯ
Ｍ’１〜ＣＯＭ’４４にはプローブ部２ｄが取り付けら
れ、ＣＯＭ’４５〜ＣＯＭ’９０にはプローブ部２ｅが
取り付けられ、ＳＥＧ-Ｒ’１〜ＳＥＧ-Ｂ’１２８には
プローブ部２ｆが取り付けられている。

【００２８】プローブ部２ａには、コモン端子ＣＯＭ１
〜ＣＯＭ４４に各々接続する図示略の多数のプローブ端
子が備えられるとともに、各プローブ端子を介してコモ
ン端子ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４４に接続されるプローブ配線
１０１ｃ〜１４４ｃが設けられている。そして、奇数番
目のプローブ配線１０１ｃ、１０３ｃ…、１４３ｃが１
本の引出配線２０１ａに纏められ、偶数番目のプローブ
配線１０２ｃ、１０４ｃ…、１４４ｃが別の引出配線２
０２ａに纏められている。

【００２９】同様に、プローブ部２ｂには、コモン端子
ＣＯＭ４５〜ＣＯＭ８８に各々接続する図示略の多数の
プローブ端子が備えられるとともに、各プローブ端子を
介してコモン端子ＣＯＭ４５〜ＣＯＭ８８に接続される
プローブ配線１４５ｃ〜１８８ｃが設けられている。そ
して、奇数番目のプローブ配線１４５ｃ、１４７ｃ…、
１８７ｃが１本の引出配線２０３ａに纏められ、偶数番
目のプローブ配線１４６ｃ、１４８ｃ…、１８８ｃが別
の引出配線２０４ａに纏められている。

【００３０】更に、プローブ部２ｃには、セグメント端
子ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８に各々接続する図示略
の多数のプローブ端子が備えられるとともに、各プロー
ブ端子を介してセグメント端子ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ
１２８に接続されるプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂが
設けられている。そして、赤色に対応するプローブ配線
１０１ｒ〜２２８ｒが１本の引出配線２０５ａに纏めら
れ、緑色に対応するプローブ配線１０１ｇ〜２２８ｇが
１本の引出配線２０６ａに纏められ、青色に対応するプ
ローブ配線１０１ｂ〜２２８ｂが１本の引出配線２０７
ａに纏められている。

【００３１】このように、コモン電極ＣＯＭ１〜ＣＯＭ
８８は、プローブ部２ａ、２ｂ内で最終的に４本の引出
配線２０１ａ〜２０４ａに纏められ、セグメント電極Ｓ
ＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８は、プローブ部２ｃ内で最
終的に３本の引出配線２０５ａ〜２０７ａに纏められら
れる。従って、プローブ部２からコントローラまでの配
線数は、コモン電極用のプローブ部２ａ、２ｂの場合に
プローブ部１つ当たり２本、セグメント電極用のプロー
ブ部２ｃの場合にプローブ部１つ当たり３本となる。以
上、液晶表示パネル１０の片側に位置するプローブ部２
ａ〜２ｃの配線構造を模式的について説明したが、液晶
表示パネル１０のもう片方に位置するプローブ部２ｄ〜
２ｆの配線構造についても上記とほぼ同じ構成である。

【００３２】次に図３〜図６により、プローブ部２の詳
細な構造を説明する。尚、ここではプローブ部２の一例
として、セグメント端子に接続されるプローブ部２ｃを
例にして説明する。図３には液晶表示パネルの検査装置
の配線構造の要部であるプローブ部の拡大断面図を示
し、図４には液晶表示パネルの検査装置の配線構造の要
部であるプローブ部の分解斜視図を示し、図５にはプロ
ーブ部を構成するプローブ基板の要部であって配線基板
との接続部分の拡大平面図を示し、図６にはプローブ部
を構成する配線基板の要部であってプローブ基板との接
続部分をフレキシブル基板４１側から見た拡大平面図を
示す。

【００３３】図１及び図３に示すように、セグメント電
極に接続されるプローブ部２ｃは、プローブ基板（一方
の基板）２ａと配線基板（他方の基板）２ｃとから構成
されている。プローブ基板３は、フレキシブル基板３１
と、このフレキシブル基板３１上に形成されたプローブ
配線１０１ｒ〜２２８ｂと、第１の引出配線２０５ａ
と、フレキシブル基板３１及びプローブ配線１０１ｒ〜
２２８ｂを覆う絶縁層３２とから構成されている。絶縁
層３２には開口部３２ａが設けられており、この開口部
３２ａによって、プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂの一
部が絶縁層３２により被覆されない状態になっている。

【００３４】次に配線基板４は、フレキシブル基板４１
と、このフレキシブル基板４１上に形成された引出配線
２０５ａ〜２０７ａと、第２，第３の引出配線２０６
ａ、２０７ａと、フレキシブル基板４１及びプローブ配
線２０５ａ〜２０７ａを覆う絶縁層４２とから構成され
ている。絶縁層４２には開口部４２ａが設けられてお
り、この開口部４２ａによって、各引出配線２０６ａ、
２０７ａの一部が絶縁層４２により被覆されない状態に
なっている。

【００３５】そして、プローブ基板３の絶縁層３２側に
対して、配線基板４が絶縁層４２をプローブ基板３側に
向けて重ね合わされている。この時、プローブ基板３の
絶縁層３２の開口部３２ａと、配線基板４の絶縁層４２
の開口部４２ａとが重ね合わされる。そして、開口部３
２ａ及び開口部４２ａには異方性導電樹脂２１が充填さ
れており、この異方性導電樹脂２１を介してプローブ配
線１０１ｒ〜２２８ｂと第２，第３の引出配線２０６ａ
〜２０７ａとが電気的に接続される。また、異方性導電
樹脂２１を設けず、プローブ基板３の開口部３１ａに配
線基板４の開口部４１ａを押し当てても良く、この場合
はプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂと第２，第３の引出
配線２０５ａ〜２０７ａとが直接的に接触して電気的に
接続される。

【００３６】次に、プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂと
第１〜第３の引出配線２０５ａ〜２０７ａの詳細な構造
を図４〜図６により説明する。プローブ基板３において
は、図４及び図５に示すように、フレキシブル基板３１
上にプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂが相互に平行にな
って櫛歯状に連続的に配列されている。また、プローブ
配線１０１ｒ〜２２８ｂ上には絶縁層３２が形成されて
いる。ここで、プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒは、プ
ローブ端子を介して赤色のセグメント電極に接続される
配線であり、プローブ配線１０１ｇ〜２２８ｇは、プロ
ーブ端子を介して緑色のセグメント電極に接続される配
線であり、プローブ配線１０１ｂ〜２２８ｂは、プロー
ブ端子を介して青色のセグメント電極に接続される配線
である。そして、各プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂ
が、赤、緑、青の順に配列されている。即ち、各色のプ
ローブ配線が２つおきに配置されている。

【００３７】赤色用のプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒ
は、フレキシブル基板３１の端面３１ａ側まで延長して
形成されており、このため他の色のプローブ配線よりも
長く形成されている。そして、フレキシブル基板３１上
には、各プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒを連結する渡
り配線２０５ｂ（第１の引出配線２０５ａ）が端面３１
ａに沿って形成されている。また、この渡り配線２０５
ｂの端部２０５ｃが絶縁層３１の開口部３２ａから露出
するようになっている。このように、赤色用のプローブ
配線１０１ｒ〜２２８ｒを他の色のプローブ配線１０１
ｇ〜２２８ｂよりも長く形成し、更に渡り配線２０５ｂ
を端面３１ａに沿って形成するので、渡り配線２０５ｂ
が他のプローブ配線１０１ｇ〜２２８ｂと接触すること
がない。

【００３８】次に緑色用のプローブ配線１０１ｇ〜２２
８ｇは、赤色用のプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒの隣
に位置してほぼ平行に形成されており、各プローブ配線
の端部１０１ｇ₁〜２２８ｇ₁が開口部３２ａから露出す
るようになっている。また、青色用のプローブ配線１０
１ｂ〜２２８ｂは、赤色及び緑色用のプローブ配線１０
１ｒ〜２２８ｂの間に位置してこれらのプローブ配線に
対してほぼ平行に形成されており、各プローブ配線の端
部１０１ｂ₁〜２２８ｂ₁が開口部３２ａから露出するよ
うになっている。

【００３９】次に、配線基板４においては、図４及び図
６に示すように、フレキシブル基板４１上に第２、第３
の引出配線２０６ａ、２０７ａが形成されている。ま
た、フレキシブル基板４１上には第１の引出配線２０５
ａの一部が形成されている。更に、各引出配線２０５
ａ、２０６ａ、２０７ａ上には絶縁層４２が形成されて
いる。

【００４０】配線基板４側の第１の引出配線２０５ａ
は、その一端部２０５ａ₁が絶縁層４２の開口部４２ａ
から露出するとともに、他端部２０５ａ₂がフレキシブ
ル基板４１を貫通する図示略のスルーホールを介してコ
ネクタ４ａに接続されている。また、この引出配線２０
５ａの一端部２０５ａ₁は、プローブ基板３と配線基板
４とを重ね合わされた際にプローブ配線側の渡り配線２
０５ｂ（第１の引出配線２０５ａ）の端部２０５ｃと重
なるように、渡り配線１０５ｂの端部２０５ｃに対応す
る位置に形成されている。

【００４１】次に、第２，第３の引出配線２０６ａ及び
２０７ａは、それぞれ、櫛歯状に配置された複数の接続
配線と各接続配線を連結する渡り配線とから構成され、
各引出配線２０６ａ、２０７ａが絶縁層４２の開口部４
２ａを基準にして相互にかみ合うように形成されてい
る。

【００４２】即ち、第２の引出配線２０６ａは、複数の
接続配線２０６ａ₁〜２０６ａ₂₂₈と、各接続配線２０６
ａ₁〜２０６ａ₂₂₈をフレキシブル基板４１の一端面４１
ｂ側（一端側）で相互に連結する渡り配線２０６ｂとか
ら構成されている。接続配線２０６ａ１〜２０６ａ₂₂₈
は絶縁層４２の開口部４２ａから露出するとともに、フ
レキシブル基板４１の一端面４１ｂ側に向けて延びてお
り、各接続配線２０６ａ₁〜２０６ａ₂₂₈が相互に間隔を
空けて平行に配置されている。また、渡り配線２０６ｂ
は一端面４１ｂに沿って形成されるとともに、その一端
２０６ｂ₁がフレキシブル基板４１を貫通する図示略の
スルーホールを介してコネクタ４ａに接続されている。
更に接続配線２０６ａ₁〜２０６ａ₂₂₈は、プローブ基板
３と配線基板４とを重ね合わされた際に緑色用のプロー
ブ配線の端部１０１ｇ₁〜２２８ｇ₁と重なるように、プ
ローブ配線の端部１０１ｇ₁〜２２８ｇ_1に対応する位置
に形成されている。

【００４３】また、第３の引出配線２０７ａは、複数の
接続配線２０７ａ₁〜２０７ａ₂₂₈と、各接続配線２０７
ａ₁〜２０７ａ₂₂₈をフレキシブル基板４１の他端面４１
ｃ側（他端側）で相互に連結する渡り配線２０７ｂとか
ら構成されている。接続配線２０７ａ１〜２０７ａ₂₂₈
は絶縁層４２の開口部４２ａから露出するとともに、フ
レキシブル基板４１の他端面４１ｃ側に向けて延びてお
り、各接続配線２０７ａ₁〜２０７ａ₂₂₈が相互に間隔を
空けて平行に配置されている。また、渡り配線２０７ｂ
は他端面４１ｃに沿って形成されるとともに、その一端
２０７ｂ₁がフレキシブル基板４１を貫通する図示略の
スルーホールを介してコネクタ４ａに接続されている。
更に接続配線２０７ａ₁〜２０７ａ₂₂₈は、プローブ基板
３と配線基板４とを重ね合わされた際に青色用のプロー
ブ配線の端部１０１ｂ₁〜２２８ｂ₁と重なるように、プ
ローブ配線の端部１０１ｂ₁〜２２８ｂ₁に対応する位置
に形成されている。

【００４４】このように、第２，第３の引出配線２０６
ａ、２０７ａを構成する渡り配線２０６ｂ、２０７ｂ
が、開口部４２ａを基準として基板４１の一端面４１ｂ
及び他端面４１ｃに沿って配置されているので、引出配
線２０６ａ、２０７ａ同士が相互に接触することがな
い。

【００４５】また、プローブ基板３と配線基板４とを重
ね合わされた際に、配線基板４側の第１の引出配線２０
５ａが、プローブ基板３側の赤色用の渡り配線２０５ｂ
（第１の引出配線２０５ａ）に接続されるので、全ての
赤色用のプローブ配線１０１ｒ〜２２８ｒがこの第１の
引出配線２０５ａによって一つに纏められる。同様に、
プローブ基板３と配線基板４とを重ね合わされた際に、
接続配線２０６ａ₁〜２０６ａ₂₂₈が、プローブ基板３側
のプローブ配線１０１ｇ〜２２８ｇに接続されるので、
緑色用のプローブ配線１０１ｇ〜２２８ｇがこの第２の
引出配線２０６ａによって一つに纏められる。更に同様
に、プローブ基板３と配線基板４とを重ね合わされた際
に、接続配線２０７ａ₁〜２０７ａ₂₂₈が、プローブ基板
３側のプローブ配線１０１ｂ〜２２８ｂに接続されるの
で、青色用のプローブ配線１０１ｂ〜２２８ｂがこの第
３の引出配線２０７ａによって一つに纏められる。

【００４６】また、プローブ基板３側の赤色、緑色、青
色用の各プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂは、絶縁層３
２、４２によって引出配線２０６ａから絶縁されるの
で、各プローブ配線１０１ｒ〜２２８ｂと引出配線２０
６ａとが短絡するおそれがない。同様に、プローブ基板
３側の赤色用の渡り配線２０５ｂは、絶縁層３２、４２
によって引出配線２０７ａから絶縁されるので、渡り配
線２０５ｂが引出配線２０７ａと短絡するおそれがな
い。

【００４７】以上説明したように、上記の配線構造によ
れば、プローブ基板及び配線基板上に形成した配線パタ
ーンを重ね合わせるだけで、３つのグループの複数本の
プローブ配線をそれぞれ１本に纏めることができる。ま
た、上記の液晶表示パネルの検査装置によれば、プロー
ブ部とコントローラとの間の配線数を大幅に減らすこと
ができるので、検査の準備に手間取ったり、検査結果の
確認が遅れるおそれがない。

【００４８】なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態
に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない
範囲において種々の変更を加えることが可能である。例
えば本実施形態では電子部品として液晶表示パネルを例
にして説明したが、本発明の適用範囲はこれに留まら
ず、例えば半導体素子を樹脂で封止してなるＩＣチップ
の検査にも好適に用いることができる。

【００４９】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
電子部品検査装置の配線構造によれば、複数のプローブ
配線を３つの引出配線に纏めることができるので、配線
数を減らすことができる。また、一方の基板に第１の引
出配線が配置され、他方の基板に第２，第３の引出配線
が配置されるので、平行に並んだ複数のプローブ配線を
３つのグループにまとめ、しかも各グループの配線を相
互に接触させることなくプローブ部の外部に引き出すこ
とができる。

【００５０】また、本発明の電子部品検査装置の配線構
造によれば、一対の基板を重ねる際に各開口部が相互に
重ね合わせることで、複数のプローブ配線と第２及び第
３の引出配線とを各々接続するため、スルーホール等を
設ける必要がなく、配線構造を簡素化することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの検
査装置の構成を説明するための斜視図。

【図２】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの
検査装置の配線構造を説明するため模式図。

【図３】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの
検査装置の配線構造の要部の断面図。

【図４】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの検
査装置の配線構造の要部の分解斜視図。

【図５】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの
検査装置のプローブ基板の要部を示す拡大平面図。

【図６】 本発明の実施形態である液晶表示パネルの
検査装置の配線基板の要部を示す拡大平面図。

【図７】 従来の液晶表示パネルの検査装置の構成を
説明するための模式図。

【符号の説明】

１ 液晶表示パネルの検査装置（電子部品検査装置） ２、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ、２ｆ プローブ部 ３ プローブ基板（一方の基板） ４ 配線基板（他方の基板） １０ 液晶表示パネル（電子部品） ３２ 一方の絶縁層 ３２ａ 開口部 ４１ｂ 一端面（基板の一端側） ４１ｃ 他端面（基板の他端側） ４２ 他方の絶縁層 ４２ａ 開口部 １０１ｒ〜２２８ｒ プローブ配線 １０１ｇ〜２２８ｇ プローブ配線 １０１ｂ〜２２８ｂ プローブ配線 ２０５ａ 第１の引出配線 ２０６ａ 第２の引出配線 ２０６ａ₁〜２０６ａ₂₂₈ 接続配線 ２０６ｂ 渡り配線 ２０７ａ 第３の引出配線 ２０７ａ₁〜２０７ａ₂₂₈ 接続配線 ２０７ｂ 渡り配線 ＣＯＭ１〜ＣＯＭ８８ コモン端子（端子） ＣＯＭ’１〜ＣＯＭ’８８ コモン端子（端子） ＳＥＧ-Ｒ１〜ＳＥＧ-Ｂ１２８ セグメント端子（端
子） ＳＥＧ-Ｒ’１〜ＳＥＧ-Ｂ’１２８ セグメント端子
（端子）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子部品の複数の端子にプローブ部の
   プローブ端子をそれぞれ接触させるとともに該プローブ
   端子を介して前記電子部品に検査信号を印加する電子部
   品検査装置の配線構造であり、 前記プローブ部には、各プローブ端子にそれぞれ接続さ
   れて相互に略平行に延びる複数のプローブ配線と、前記
   複数のプローブ配線を２本おきに連結して該プローブ部
   から引き出す第１の引出配線と、前記第１の引出配線と
   は別個に前記複数のプローブ配線を２本おきに連結して
   該プローブ部から引き出す第２の引出配線と、前記第１
   及び前記第２の引出配線とは別個に前記プローブ配線を
   ２本おきに連結して該プローブ部から引き出す第３の引
   出配線とが備えられ、 前記プローブ部は一対の基板が重ね合わされて構成され
   るとともに、一方の基板に前記複数のプローブ配線と前
   記第１の引出配線が形成されるとともに、他方の基板に
   前記第２及び第３の引出配線がそれぞれ形成され、各基
   板を重ね合わせた際に前記複数のプローブ配線と前記第
   ２及び第３引出配線とがそれぞれ接続されることを特徴
   とする電子部品検査装置の配線構造。
2. 【請求項２】 前記一方の基板には、前記複数のプロ
   ーブ配線及び前記第１の引出配線を覆う一方の絶縁層が
   形成されるとともに、該一方の絶縁層に一方の開口部が
   設けられ、 前記他方の基板には、前記第１、第２の引出配線を覆う
   他方の絶縁層が形成されるとともに、該他方の絶縁層に
   他方の開口部が設けられ、 前記一対の基板を重ねる際に前記一方及び前記他方の開
   口部が相互に重ね合わされて、前記各開口部を介して前
   記複数のプローブ配線と前記第２及び第３の引出配線と
   が各々接続されることを特徴とする請求項１に記載の電
   子部品検査装置の配線構造。
3. 【請求項３】 前記第２の引出配線は、前記プローブ
   配線の形成位置に対応するとともにその一部が前記他方
   の開口部内に位置する複数の接続配線と、前記接続配線
   を前記他方の基板の一端側で相互に連結する渡り配線と
   からなり、 前記第３の引出配線は、前記プローブ配線の形成位置に
   対応するとともにその一部が前記他方の開口部内に位置
   する複数の接続配線と、前記接続配線を前記他方の基板
   の他端側で相互に連結する渡り配線とからなり、 前記第２、第３の引出配線の各接続配線が相互に平行に
   配置されることによって前記第２、第３の引出配線が相
   互にかみ合う形で配置されることを特徴とする請求項１
   または請求項２に記載の電子部品検査装置の配線構造。
4. 【請求項４】 前記の接続配線が前記一方及び前記他
   方の開口部を介して前記複数のプローブ配線に接続され
   ることを特徴とする請求項３に記載の電子部品検査装置
   の配線構造。
5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のいずれかに
   記載の配線構造を具備してなることを特徴とする電子部
   品検査装置。
6. 【請求項６】 前記電子部品が液晶表示パネルである
   ことを特徴とする請求項５に記載の電子部品検査装置。