CN114424274B - 用于检查显示面板的探针块组件、其控制方法及显示面板检查设备 - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 382
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 111
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 51
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 34
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 28
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 23
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 22
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 14
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 11
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 2
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 1
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
根据本发明的用于检查显示面板的探针块组件可以包括：多个探针块，其与由母面板的移动而移动到检查位置的显示面板上的多个电极片接触，以进行是否有缺陷的检查，其中，上述母面板的一面具有至少一种种类的显示面板，上述显示面板沉积有用于形成有机发光层的有机物层，并且具有沿着侧面形成的多个电极片；以及探针单元，其支撑上述多个探针块；其中，上述多个探针块设置有分别与上述多个电极片接触的探针，为了对上述显示面板进行检查，上述多个探针块分别从承载于探针块承载单元中的探针块选择后搬出，并安装到上述探针单元上的规定位置，上述探针单元位于进行对上述显示面板是否有缺陷的检查的位置。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于检查显示面板的探针块组件、其控制方法及显示面板检查设备。
背景技术
作为平板显示装置使用的有机发光二极管(OLED)具有视野广、对比度优秀的同时响应速度快的优点，因此最近被广泛使用于智能手机、电视等。
对于有机发光二极管(OLED)，其在作为基板的面板上沉积有用于形成有机发光层的有机物层，由此实现通过电信号发出光和颜色的像素。
其中，若在作为基板的面板上通过沉积形成有机物层来实现像素，则应当在封装工艺之前检查像素是否有缺陷。
以往，为了防止在检查途中来自于飞散的颗粒的污染等，进行面朝下(Face down)方式的检查，即在需要检查的显示面板的沉积部所在的一面朝向下部的状态下进行检查。
显示面板根据使用目的可制作成各种尺寸，在制造工艺上会提供于母面板(motherglasspanel)上，母面板可以是存在多个相同尺寸的显示面板的单一类型或者是混合各种尺寸的显示面板而形成的混合类型，以提高倒角效率。
以往，为了检查显示面板是否有缺陷，在母面板上的显示面板的沉积部所在的一面朝向下部的状态下配置在鱼骨(Fishbone)类型的平台模块，而鱼骨(Fishbone)类型的平台模块在上述沉积部朝向下部的状态下夹持沉积部所在的一面中未形成沉积部的外廓部分，然后向用于进行检查的腔室内移动。
之后，由真空面板吸附不存在沉积部的母面板的另一面，并移动到探针单元的探针块所在的位置，然后使显示面板的接触垫接触于探针块，从而进行检查。
然而，以往的检查方法可用于检查尺寸较小的母面板上的显示面板，但是通过面朝下(Face down)方式检查大型母面板上的显示面板是否有缺陷时，会出现严重的问题，因此以往的检查方法处于难以适用的实情。
也就是说，对于大型母面板，若以沉积部所在的一面朝向下部的状态配置在鱼骨(Fishbone)类型的平台模块，则鱼骨(Fishbone)类型的平台模块会支撑沉积部所在的一面中未形成沉积部的外廓部分，此时，大型母面板的中央部因自重而下沉，因此事实上无法进行准确的检查。
另外，以往的检查方法除了上述问题以外还出现以下问题。
探针单元只能安装用于检查一种种类的显示面板是否有缺陷的探针块，因此，当母面板上存在需要检查的各种尺寸的显示面板而作为检查对象的显示面板不同时，必然需要更换与其匹配的新探针单元。
探针单元的更换工作通常是通过工作人员手动执行，据此存在更换工作所需的时间增加而产量降低的问题。
不仅如此，在更换探针单元时经常发生工作人员受伤或者触电的情况。
因此，急需研究开发通过用于防止在检查途中来自飞散的颗粒的污染等的面朝下(Face down)方式针对大型母面板上的各种种类的显示面板是否有缺陷进行迅速且准确的检查的设备。
发明内容
发明所要解决的问题
本发明的目的在于涉及一种用于检查显示面板的探针块组件、其控制方法及显示面板检查设备，其可以通过面朝下(Face down)或面朝上(Face up)方式检查大型或小型母面板内包括的各种尺寸的显示面板是否有缺陷，而无需更换探针单元，以提高产量以及防止操作者的安全事故。
用于解决问题的方案
本发明一实施例的用于检查显示面板的探针块组件可以包括：多个探针块，其与由母面板的移动而移动到检查位置的显示面板上的多个电极片接触，以进行是否有缺陷的检查，其中，上述母面板的一面具有至少一种种类的显示面板，上述显示面板沉积有用于形成有机发光层的有机物层，并且具有沿着侧面形成的多个电极片；以及探针单元，其支撑上述多个探针块；其中，上述多个探针块设置有分别与上述多个电极片接触的探针，为了对上述显示面板进行检查，上述多个探针块分别从承载于探针块承载单元中的探针块选择后搬出，并安装到上述探针单元上的规定位置，上述探针单元位于进行对上述显示面板是否有缺陷的检查的位置。
本发明一实施例的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，可以在上述显示面板的检查完成后，为了检查不同尺寸的其他显示面板而需要去除或更换上述多个探针块中的至少一个时，从上述探针单元选择并搬出上述需要去除或更换的探针块，并承载到上述探针块承载单元中。
本发明一实施例的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，在上述显示面板的检查完成后，为了检查不同尺寸的其他显示面板而需要附加探针块时，在上述探针块承载单元中承载的探针块中选择并搬出上述附加探针块，向上述附加探针块提供用于安装上述附加探针块的安装区域。
本发明一实施例的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，上述探针单元设置有用于分别单独安装探针块的多个安装区域，并且根据要检查的显示面板的电极板的数量和形成位置，在上述多个安装区域中选择用于安装探针块的安装区域。
本发明一实施例的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，上述多个安装区域设置有与形成在上述探针块的位置固定部进行相互作用的引导部，以分别引导上述探针块的安装位置。
本发明一实施例的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，还包括，当上述多个探针块安装在上述探针单元上时对每个探针块进行供电的供电部，上述探针块包括，多个探针、支撑上述多个探针的本体、通过与上述供电部的电连接向上述多个探针进行供电的连接端子、以及用于将上述多个探针和上述连接端子电连接的电路图案部。
本发明一实施例的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，上述连接端子的数量少于或者等于由上述供电部进行供电的供电端子的数量，并且当上述多个探针的数量小于上述供电端子的数量时，上述电路图案部将施加到上述供电端子的电力的一部分施加到上述多个探针。
本发明一实施例的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，不更换上述探针单元，而是通过更换在上述规定位置安装的上述多个探针块中的至少一个探针块，对当前进行是否有缺陷的检查的上述显示面板和其他显示面板进行是否有缺陷的检查。
发明效果
根据本发明的用于检查显示面板的探针块组件、其控制方法及显示面板检查设备，可以通过面朝下(Face down)或面朝上(Face up)方式检查大型或小型母面板内包括的各种尺寸的显示面板是否有缺陷，而无需更换探针单元，以提高产量以及防止操作者的安全事故。
附图说明
图1是用于说明通过本发明的显示面板检查设备检查是否有缺陷的显示面板的图。
图2是用于说明显示面板的组合的各种实施例的图；其中，显示面板包括在提供于本发明的显示面板检查设备的平台模块上可安装的母面板中。
图3是用于说明本发明的显示面板检查设备的结构框图。
图4是用于说明本发明的显示面板检查设备的图。
图5及图6是用于说明提供于本发明的显示面板检查设备的检查工艺执行设备内的空气流动的图；其中，图5是沿图4的AA线的概略剖视图，图6是沿图4的BB线的概略剖视图。
图7是用于说明母面板通过提供于本发明的显示面板检查设备的母面板运送装置吸附于真空吸附模块的过程的流程图。
图8是用于说明在提供于本发明的母面板运送装置的平台模块上以正常状态安装母面板的情况的图。
图9及图10是用于说明在图8所示的情况下通过平台模块的旋转将正常状态下的母面板变换为翻转状态的情况的图。
图11是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的运送模块进入平台模块的情况的图。
图12及图13是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的运送模块吸附翻转状态的母面板的情况的图。
图14是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的运送模块移动到第一位置的情况的图。
图15及图16是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的拾取模块发生下降并吸附翻转状态的母面板的情况的图。
图17是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的运送模块返回到原位置的情况的图。
图18是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的拾取模块上升到第二位置的情况的图。
图19是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的拾取模块上升到第三位置的情况的图。
图20是用于说明提供于本发明的显示面板检查设备的显示面板检查设备的图。
图21至图28是用于说明在通过本发明的显示面板的检查装置对设置在母面板的65英寸显示面板和55英寸显示面板进行是否有缺陷检查的情况的图。
图29是用于说明对设置于探针块的探针进行供电的另一种方法的图。
图30及图31是用于说明在探针单元上固定或分离探针块的方法的图。
具体实施方式
本发明一实施例的用于检查显示面板的探针块组件可以包括：多个探针块，其与由母面板的移动而移动到检查位置的显示面板上的多个电极片接触，以进行是否有缺陷的检查，其中，上述母面板的一面具有至少一种种类的显示面板，上述显示面板沉积有用于形成有机发光层的有机物层，并且具有沿着侧面形成的多个电极片；以及探针单元，其支撑上述多个探针块；其中，上述多个探针块设置有分别与上述多个电极片接触的探针，为了对上述显示面板进行检查，上述多个探针块分别从承载于探针块承载单元中的探针块选择后搬出，并安装到上述探针单元上的规定位置，上述探针单元位于进行对上述显示面板是否有缺陷的检查的位置。
最佳实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的具体实施例。然而，本发明的思想不限于所提及的实施例，理解本发明思想的技术人员可以在相同的思想范围内通过对其他结构要素的增加、改变、删除等，容易提出落后的其他发明或者本发明思想范围内的其他实施例，但这也包括在本发明的思想范围内。
并且，对各个实施例的附图中示出的相同思想范围内具有相同功能的结构要素使用相同的附图标记来进行说明。
1.显示面板及母面板
图1是用于说明通过本发明的显示面板检查设备检查是否有缺陷的显示面板的图；图2是用于说明显示面板的组合的各种实施例的图；其中，显示面板包括在提供于本发明的显示面板检查设备的平台模块上可安装的母面板中。
参照图1，显示面板DP是在作为基板的面板上沉积有用于形成有机发光层的有机物层来实现像素，例如可以是LCD或OLED，在封装工艺之前，可通过本发明的显示面板检查设备1000(参照图3及图4)进行是否有缺陷的检查。
为了检查像素是否有缺陷，上述显示面板DP可以具有：第一电极板EP1，其沿着第一侧面形成；第二电极板EP2，其沿着第二侧面形成；第三电极板EP3，其沿着第三侧面形成；及第四电极板EP4，其沿着第四侧面形成。
只是，根据面板特性，上述显示面板DP的电极板的数量及形成位置等有所不同。
在制造工艺上，在尺寸从属地取决于平台模块110(参照图3及图4)的尺寸的母面板MP形成多个上述显示面板DP后，可通过切割等工艺进行制造，上述母面板MP可以是作为显示面板DP生产基础的玻璃基板。
为了将空白空间最小化而提高缺陷检查的效率性，即提高倒角效率，上述母面板MP可以是存在多个相同尺寸的显示面板DP的单一类型或者混合各种尺寸的显示面板DP而形成的混合类型。
例如，上述母面板MP可以是如图2的(a)所示的2个98英寸显示面板的混合类型、如图2的(b)所示的3个65英寸显示面板和6个32英寸显示面板的混合类型、如图2的(c)所示的18个31.5英寸显示面板的单一类型、如图2的(d)所示的2个49英寸显示面板和2个75英寸显示面板的混合类型及如图2的(e)所示的3个65英寸显示面板和2个55英寸显示面板的混合类型，但是不一定限定于此，上述母面板MP可以是适用各种尺寸的显示面板的混合类型的面板。
本发明的显示面板检查设备1000可以针对上述各种组合的混合类型的母面板MP中包括的所有显示面板分别进行是否有缺陷的检查；以下，将上述母面板是形成有3个65英寸显示面板和2个55英寸显示面板的混合类型的情况作为典型示例进行说明。
2.显示面板检查设备
图3是用于说明本发明的显示面板检查设备的结构框图；图4是用于说明本发明的显示面板检查设备的图。
参照图3及图4，本发明的显示面板检查设备1000可以是如下的检查设备：其可以通过背面吸附方式(即，面朝下(Face down)方式)检查母面板MP内包括的各种尺寸的显示面板DP是否有缺陷，而无需更换探针单元PU1、PU2(参照图20)，从而使是否有缺陷的检查的准确度及迅速性等最大化，上述显示面板检查设备1000可以包括检查工艺准备设备1100和检查工艺执行设备1200。
检查工艺准备设备1100可以是如下的设备：若在一面配置有至少一种种类的显示面板DP的母面板MP的上述一面朝向上部的正常状态下，上述母面板MP的另一面吸附于平台模块110，则上述平台模块110旋转使上述母面板MP从上述正常状态成为上述一面朝向下部的状态的翻转状态，然后运送模块120接收上述翻转状态的上述母面板MP，在保持上述翻转状态下将上述母面板MP移动到用于后续工艺的设备，其中上述显示面板DP沉积有用于形成有机发光层的有机物层。
检查工艺执行设备1200可以是如下的设备：若拾取模块130吸附通过上述运送模块120进入的上述母面板MP的另一面，然后真空吸附模块140通过上述拾取模块130的位置移动来吸附上述翻转状态的上述母面板MP，则通过上述真空吸附模块140的位置移动使上述显示面板DP的电极板与显示面板检查设备200的探针块PB(参照图22)的探针3002(参照图22)接触，以针对上述显示面板DP是否有缺陷进行检查。
另一方面，在本发明的显示面板检查设备1000中，可以将从母面板MP安装于平台模块110到上述母面板MP通过运送模块120借助拾取模块130吸附于真空吸附模块140的结构要素定义为母面板运送装置100；参照图20至图28具体说明通过上述母面板运送装置100吸附于上述真空吸附模块140的显示面板DP通过包含探针块组件2000和探针块承载单元3000的显示面板检查设备200检查是否有缺陷的过程。
图5及图6是用于说明提供于本发明的显示面板检查设备的检查工艺执行设备内的空气流动的图；其中，图5是沿图4的AA线的概略剖视图，图6是沿图4的BB线的概略剖视图。
与图3及图4一同参照图5及图6，检查工艺执行设备1200可以包括：第一空间部300，其用于使显示面板DP的电极板和探针块PB(参照图22)的探针3002(参照图22)接触以针对上述显示面板DP是否有缺陷进行检查；及第二空间部400，其设置有可进行位置移动的视觉模块410，上述视觉模块410用于拍摄作为是否有缺陷的上述检查的对象的显示面板DP，以确认上述显示面板DP上是否存在污渍或划痕等；上述第二空间部400可以位于上述第一空间部300的下部。
其中，例如，上述视觉模块410可以包括4个摄像单元，上述摄像单元的工作距离(Working Distance，WD)根据作为拍摄对象的显示面板DP的尺寸而不同，因此能够向上部或者下部进行位置移动。
另外，4个摄像单元需要对应于作为拍摄对象的显示面板DP的尺寸来拍摄上述显示面板DP的全部区域，因此需要分别位于作为拍摄对象的显示面板DP的1/4区域的中央部，为此，可向前方或后方、左侧或右侧进行位置移动。另外，根据需要，还可以正转或者反转，以对应于作为拍摄对象的显示面板DP的旋转。
另一方面，在检查工艺准备设备1100及检查工艺执行设备1200内的针对显示面板DP是否有缺陷的检查可以在氮气气氛下进行。
尤其，对于检查工艺执行设备1200，上述氮气需要在第一空间部300及第二空间部400内实现稳定循环，且无停留。
为此，上述检查工艺执行设备1200可以包括：强制循环模块310，其位于上述第一空间部300内的上部；第一循环管道模块320，其为了上述第一空间部300内的上述氮气的循环而连接上部和下部；及第二循环管道模块420，其连接上述第一空间部300和上述第二空间部400。
上述第二循环管道模块420可以使从上述第一空间部300流入上述第二空间部400的上述氮气重新流入上述第一空间部300而进行循环，在上述第二循环管道模块420上可以设置强制吸入模块430。
其中，上述强制循环模块310及上述强制吸入模块420作为一种吸风扇，上述强制吸入模块420可以位于上述第二循环管道模块410上，并吸入从上述第一空间部300流入上述第二空间部400的上述氮气后，排出到上述第一空间部300。
因此，上述检查工艺执行设备1200在均匀的氮气气氛下进行对显示面板的检查工艺。
另一方面，在维护检查工艺准备设备1100及检查工艺执行设备1200时，需要工作人员进入内部，因此可以转换为清洁干燥空气(Clean Dry Air，CDA)气氛。
3.母面板运送装置
图7是用于说明母面板通过提供于本发明的显示面板检查设备的母面板运送装置吸附于真空吸附模块的过程的流程图。
首先，参照图3及图4，母面板运送装置100可以包括平台模块110、运送模块120、拾取模块130及真空吸附模块140等。
上述平台模块110是以母面板MP的一面朝向上部的正常状态吸附并固定上述母面板MP的另一面的结构要素，上述母面板MP的一面可以具有至少一种种类的显示面板DP，上述显示面板DP沉积有用于形成有机发光层的有机物层。
其中，上述母面板MP的上述另一面整体可以是非沉积部。
上述平台模块110可以旋转以便通过面朝下(Face down)方式检查上述显示面板，由此以上述正常状态配置且吸附于上述平台模块110的上述母面板MP可以成为上述一面朝向下部的状态的翻转状态。
上述运送模块120可以是如下的结构要素：其吸附位于上述平台模块110上且从上述正常状态变换为上述翻转状态的上述母面板MP的上述另一面，然后将上述母面板MP在保持上述翻转状态下移动到用于检查是否有缺陷的第一位置。
上述拾取模块130可以是如下的结构要素：其吸附通过上述运送模块120移动到上述第一位置的上述母面板MP的上述另一面，然后在保持上述翻转状态下移动到第二位置，上述第二位置是以上述第一位置为基准上升的位置，上述拾取模块130可以使后述的板状的真空吸附模块140吸附上述翻转状态的上述母面板MP。
上述真空吸附模块140可以是如下的结构要素：若上述翻转状态的母面板MP通过上述运送模块120移动到上述第二位置，则能够以上述翻转状态保持平滑度的同时吸附上述母面板MP，然后通过与显示面板检查设备200的探针块PB的探针3002的相互作用来检查上述显示面板DP是否有缺陷。
若通过上述真空吸附模块140以上述翻转状态吸附母面板MP，则上述真空吸附模块140在将上述母面板MP保持上述翻转状态的状态下通过位置移动使上述显示面板DP的电极板和上述探针块PB的探针3002接触，从而能够以上述翻转状态针对上述显示面板DP是否有缺陷进行检查。
其中，上述母面板最终需要在保持上述翻转状态下吸附于真空吸附模块140的原因是，为了准确控制用于检查显示面板DP是否有缺陷的显示面板DP的位置及保持显示面板DP的平滑度，并且，如果以通过其他结构要素而非真空吸附模块140吸附母面板MP的状态移动显示面板检查设备200，则在平滑度等出现问题而无法保障准确检查是否有缺陷。
以下，对母面板MP通过本发明的母面板运送装置100吸附于真空吸附模块140的过程进行说明。
参照图7，母面板通过本发明的母面板运送装置100吸附于真空吸附模块的步骤可以包括：第一步骤S10，母面板MP以正常状态配置于平台模块110上；第二步骤S20，上述平台模块110进行旋转；第三步骤S30，运送模块120进入并吸附上述母面板MP；第四步骤S40，上述运送模块120移动到第一位置；第五步骤S50，拾取模块130下降并吸附上述母面板MP；第六步骤S60，上述运送模块120返回；第七步骤S70，上述拾取模块130上升到第二位置；第八步骤S80，由真空吸附模块140吸附上述显示面板DP；以及第九步骤S90，上述拾取模块130上升移动到第三位置。
以下，参照图8至图19具体说明上述的各个步骤。
图8是用于说明在提供于本发明的母面板运送装置的平台模块上以正常状态安装母面板的情况的图。
参照图8，母面板MP能够在以正常状态配置于平台模块110上(S10)后被吸附。
其中，为了便于说明，用阴影表示上述母面板MP的具有至少一个显示面板DP的一面。
另一方面，对于将上述母面板MP配置于上述平台模块110上的方法不作特别限定，其可以是各种方法，诸如在氮气气氛下借助机器人装置等的自动方法或者借助工作人员的手动方法等。
上述平台模块110可以包括多个平台单元112，其以上述正常状态吸附上述母面板MP的上述另一面SF2；上述平台单元112分别可以相互间隔配置，以在彼此之间形成第一空间S1。
例如，如图8所示，可形成9个上述平台单元112，但是不一定限定于此，只要能稳定支撑需要支撑的上述母面板MP使其中央部不会因自重而下沉，则即使改变数量也无妨。
上述平台单元112可以分别具有用于吸附上述母面板MP的吸附垫等的吸附单元114，其中，上述吸附单元114的数量不受限制。
图9及图10是用于说明在图8所示的情况下通过平台模块的旋转将正常状态下的母面板变换为翻转状态的情况的图。
参照图9及图10，上述平台模块110可以在以正常状态吸附上述母面板MP的状态下进行旋转R(S20)，其中，旋转方向不受限制。
对旋转上述平台模块110的驱动方法不作特别限定，例如，可利用公知的马达等进行旋转。
若上述平台模块110旋转，则以正常状态吸附的母面板MP的状态变换为沉积部所在的一面SF1朝向下部的状态的翻转状态。
上述母面板MP在进行是否有缺陷的检查期间持续保持翻转状态，由此，显示面板DP可以通过面朝下(Face down)方式针对是否有缺陷进行检查。
图11是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的运送模块进入平台模块的情况的图，图12及图13是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的运送模块吸附翻转状态的母面板的情况的图。
参照图11至图13，若母面板MP通过上述平台模块110的旋转而成为翻转状态，则运送模块120进入上述平台模块110后，吸附上述母面板MP(S30)。
上述运送模块120可以包括多个运送单元122，其插入于由上述平台单元112提供的第一空间S1，并吸附以翻转状态配置的上述母面板MP的另一面SF2。
与上述平台单元112相同，上述运送单元122分别可以间隔配置。
例如，如图所示，可以形成8个上述运送单元122，但是不一定限定于此。
上述运送单元122可以进入由上述母面板MP和上述平台单元112提供的第一空间S1后，吸附上述母面板MP的另一面SF2，并且为了吸附上述母面板MP，根据需求进行上下方向上的位置移动也无妨。
上述运送单元122分别可以具有用于吸附上述母面板MP的吸附垫等的吸附单元124，其中，上述吸附单元124的数量不受限制。
如上所述，若通过上述运送单元122吸附上述母面板MP，则解除上述平台单元112对上述母面板MP的吸附，由此上述母面板MP与上述运送单元122的移动联动。
图14是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的运送模块移动到第一位置的情况的图。
参照图14，运送模块120能够以吸附翻转状态的母面板MP的状态，在保持上述翻转状态下移动到用于检查是否有缺陷的第一位置(S40)。
其中，上述第一位置可以意味着以配置有真空吸附模块140及拾取模块130的位置为基准的下部的位置，在后续的步骤中，上述拾取模块130可以将上述翻转状态的上述母面板MP保持上述翻转状态下稳定地吸附上述母面板MP。
图15及图16是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的拾取模块发生下降并吸附翻转状态的母面板的情况的图；图17是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的运送模块返回到原位置的情况的图。
参照图15及图16，拾取模块130可以从位于第三位置的状态通过下降穿过真空吸附模块140后移动到第一位置，并且可以吸附通过运送模块120移动到上述第一位置的翻转状态的母面板MP(S50)。
上述拾取模块130可以包括多个拾取单元132，其相互间隔配置以均匀地吸附上述母面板MP的另一面SF2而防止上述母面板MP下沉。
若通过上述拾取模块130吸附上述母面板MP，则如图17所示，上述运送模块120可以解除吸附并从上述母面板MP分离，并向原位置进行位置移动(S60)。
位置移动到原位置的上述运送模块120可以为了检查配置在其他母面板的其他显示面板而进行动作。
图18是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的拾取模块上升到第二位置的情况的图。
参照图18，拾取模块130吸附翻转状态的母面板MP后，可以通过上升移动到第二位置(S70)，由此真空吸附模块140可以吸附上述母面板MP(S80)。
其中，上述第二位置可以是以上述第一位置为基准通过上述拾取模块130上升至上述真空吸附模块140的位置，上述真空吸附模块140可以通过上述拾取模块130以翻转状态稳定地吸附上述母面板MP。
上述真空吸附模块140可以具有用于吸附上述母面板MP的吸附垫等的多个吸附单元。
图19是用于说明提供于本发明的母面板运送装置的拾取模块上升到第三位置的情况的图。
参照图19，若移动到第二位置的上述母面板MP的上述另一面SF2由上述真空吸附模块140吸附，则拾取模块130可以解除吸附并从上述母面板MP分离，然后上升返回到上述第三位置(S90)。
然后，可以通过与上述真空吸附模块140及显示面板检查设备200的相互作用进行是否有缺陷的检查。
其中，上述相互作用可以意味着真空吸附模块140进行位置移动来实现与配置在母面板MP的显示面板DP的电极板和探针块PB的探针3002接触，以针对显示面板DP是否有缺陷进行检查。
以下，具体说明通过显示面板检查设备200检查显示面板DP是否有缺陷的过程。
4.显示面板检查设备
图20是用于说明提供于本发明的显示面板检查设备的显示面板检查设备的图。
参照图20，显示面板检查设备200作为能够检查LCD或OLED等的装置，可以适用于利用探针单元PU1、PU2和探针块PB检查显示面板的所有设备。
也就是说，上述显示面板检查设备200不仅可以适用于参照图1至图19进行说明的以面朝下(Face down)方式检查的设备中，还可以适用于以面朝上(Face up)方式检查的设备中。
以下，将上述显示面板检查设备200适用于参照图1至图19进行说明的以面朝下(Face down)方式检查的设备中的情况作为示例进行说明。
上述显示面板检查设备200可以包括探针块组件2000及探针块承载单元3000。
上述探针块组件2000构成为，通过移动在母面板MP的一面朝下的翻转状态下吸附上述母面板MP的另一面的真空吸附模块140的位置，从而使移动到检查位置的上述显示面板DP能够以翻转状态进行是否有缺陷的检查，上述探针块组件2000可以包括与上述显示面板DP的电极板接触的探针块PB以及支撑上述探针块PB的探针单元PU1、PU2。
其中，上述探针块组件2000还可以构成为，通过移动以面朝上(Face up)方式吸附母面板MP的真空吸附模块的位置，从而使移动到检查位置的显示面板DP能够进行是否有缺陷的检查。
上述探针块承载单元3000构成为，承载和存储多种类型的探针块PB，可以将承载的探针块PB搬出和搬入。
为了进行对显示面板DP的检测，上述探针块PB可以在承载到上述探针块承载单元3000的状态下被选择后搬出，并安装到上述探针单元PU1、PU2上的规定位置。
上述探针单元PU1、PU2可以包括用于检查显示面板DP的第1探针单元PU1、以及用于在上述显示面板DP的检查完成后检查其他不同尺寸的显示面板的第2探针单元PU2。
上述第1探针单元PU1可以包括：沿着横向D1配置的第1-1探针单元PU1-1、沿着纵向D2配置的第1-2探针单元PU1-2、沿着上述纵向D2配置的第1-3探针单元PU1-3、以及沿着上述横向D1配置的第1-4探针单元PU1-4。
上述第2探针单元PU2可以包括：沿着横向D1配置的第2-1探针单元PU2-1、沿着纵向D2配置的第2-2探针单元PU2-2、沿着上述纵向D2配置的第2-3探针单元PU2-3、以及沿着上述横向D1配置的第2-4探针单元PU2-4。
其中，上述第1-1探针单元PU1-1及上述第2-1探针单元PU2-1可以形成为如图所示的单个单元。
承载在上述探针块承载单元3000上的探针块PB可以基于待检查的显示面板DP搬出并安装在探针单元PU1、PU2上，并且探针块PB的搬出和安装可以通过图中未示出的搬出安装装置来执行。
搬出安装装置可以是如机械臂等各种已知的装置，例如包括皮带或导轨等，没有特别限制。
以下，对于通过图20所示的显示面板的检查装置200对设置在母面板的65英寸显示面板和55英寸显示面板进行是否有缺陷检查的过程进行说明。
图21至图28是用于说明在通过本发明的显示面板的检查装置对设置在母面板的65英寸显示面板和55英寸显示面板进行是否有缺陷检查的情况的图。
首先，假设一个母面板MP包含3个65英寸显示面板和2个55英寸显示面板，且每个显示面板的电极板设置在各个侧面，并且优先检查65英寸显示面板，并在所有65英寸显示面板的检查结束后，检查55英寸显示面板的情况作为示例进行说明。
本发明的显示面板检查设备200通过未示出的检测单元检测到母面板MP包含3个65英寸显示面板和2个55英寸显示面板。
上述检测单元可以包括利用摄像头等的拍摄单元及/或各种检测单元等，在上述母面板MP置于平台模块110后，在上述母面板MP吸附于上述真空吸附模块140的状态下，在向配置有上述探针单元PU1、PU2的位置移动前或者移动期间检测构成上述母面板MP的显示面板DP的尺寸、显示面板DP的电极板的数量及形成位置等。
当然，通过上述检测单元来对上述显示面板DP的电极板的数量及形成位置等进行的检测不受时间限制，只要是在进行显示面板检查设备200的检查之前即可。
若通过上述检测单元检测到构成上述母面板MP的显示面板DP的尺寸及/或种类，则通过控制单元确定首先检查的显示面板，以下，如上所述，以相对于55英寸显示面板，65英寸显示面板被确定为优先检查对象的情况为例进行说明。
通过上述控制单元检测形成于母面板MP的显示面板的尺寸及/或种类，当在检测到的显示面板中优先检测65英寸显示面板时，上述控制面板基于通过上述检测单元检测到的65英寸显示面板的电极板的数量及形成位置等，在承载于探针块承载单元3000的探针块PB中选择检查中所需要的探针块PB，并且在探针单元PU1、PU2上的安装区域SR中，选择并确定要安装所选择的探针块的安装区域SR。
其中，上述安装区域SR是用于单独安装每个探针块PB的区域，并且上述探针单元PU1、PU2可以包括多个安装区域SR，根据要检查的显示器的类型、电极板的形成位置和数量等，在特定安装区域SR中可以不安装探针块。
另一方面，当如上所述的过程完成时，上述控制单元控制第1探针单元PU1。
也就是说，上述控制单元在上述第1-1探针单元PU1-1固定的状态下，对上述第1-2探针单元PU1-2、上述第1-3探针单元PU1-3及上述第1-4探针单元PU1-4中的至少一个进行位置移动，使得第1探针单元PU1配置在与上述65英寸显示面板中包含的电极板相对应的位置。
例如，如图21所示，上述控制单元在上述第1-1探针单元PU1-1固定在支撑单元210的状态下，可以在上述支撑单元210上进行上述第1-2探针单元PU1-2、上述第1-3探针单元PU1-3及上述第1-4探针单元PU1-4的位置移动，并且位置移动可以是直线移动。
其中，上述位置移动可以利用直线运动导向、马达、滚珠螺杆及滚珠螺母等各种公知的结构要素实现，但是这仅是一示例，也可以适用各种公知的移动方式来实现。
上述第1-2探针单元PU1-2和上述第1-3探针单元PU1-3可以相互靠近规定距离，第1-4探针单元PU1-4可以朝向第1-1探针单元PU1-1靠近规定距离。
其中，当上述第1-4探针单元PU1-4进行直线移动时，可以在上述第1-2探针单元PU1-2和上述第1-3探针单元PU1-3的下部实现位置移动，以便防止与上述第1-2探针单元PU1-2和上述第1-3探针单元PU1-3发生干扰。
如上所述，当为了检查65英寸显示面板而完成第1探针单元PU1的位置移动时，控制单元控制上述搬送安装装置，使所选择的探针块PB通过上述搬送安装装置安装到第1-1探针单元PU1-1中规定的区域SR、第1-2探针单元PU1-2中规定的区域SR、第1-3探针单元PU1-3中规定的区域、第1-4探针单元PU1-4中规定的区域。
如图22及图23所示，通过位置固定部3001、3003和引导部3005、3007的相互作用稳定实现探针块PB的安装，上述位置固定部3001、3003可以包括从上述探针块PB的底面凹入形成的第1位置固定部3001、以及从上述底面突出形成的第2位置固定部3003。
上述引导部3005、3007可以包括从上述探针单元PU1、PU2的上表面突出形成的第1引导部3005、以及从上述上表面凹入形成的第2引导部3007。
上述探针块PB中，上述第1位置固定部3001与上述第1引导部3005配合，第2位置固定部3003与上述第2引导部3007配合，从而可以稳定地安装在上述探针单元PU1、PU2上的上述安装区域SR。
上述探针单元PU1、PU2上的安装区域SR可以包括与形成在上述探针块PB的位置固定部3001、3003进行相互作用的引导部3005、3007，以便引导安装探针块PB的位置，并且，将上述探针块PB稳定地安装在上述探针单元PU1、PU2的方式还可以是上述方式以外的其他公知的方式。
另一方面，当上述探针块PB从上述探针块承载单元3000搬出并安装在上述探针单元PU1、PU2上的安装区域SR时，如图22及图23所示，可以通过连接端子3006和供电部3009的电连接来对上述探针块PB的探针3002进行供电。
上述供电部3009可以是一种形成有供电端子图案的电路板，当上述探针块PB安装在上述探针单元PU1、PU2时上述供电部3009对上述探针块PB进行供电。
上述探针块PB可以包括与显示面板接触的探针3002、支撑上述探针3002的本体3004、通过与上述供电部3009的电连接而向上述探针3002进行供电的连接端子3006、以及用于将上述探针3002和上述连接端子电连接的电路图案部3008，其中，上述电路图案部3008可以是印刷电路板。
其中，上述连接端子3006可以形成为与由供电部3009进行供电的供电端子的数量相同或小于其数量，并且当上述探针3002的数量小于上述供电端子的数量时，上述电路图案部3008可以是能够只将施加到上述供电端子的电力的一部分施加到上述探针3002的印刷电路板。
另一方面，在通过搬出安装装置从探针块承载单元3000搬出的探针块中，安装在上述第1-4探针单元PU1-4的探针块PB在高度方向上D3形成为相比于从上述探针块承载单元3000搬出并安装在上述第1-2探针单元PU1-2或上述第1-3探针单元PU1-3的探针块PB更长，从而可以补偿以上述第1-2探针单元PU1-2和上述第1-3探针单元PU1-3为基准的上述第1-4探针单元PU1-4在上述高度方向D3上的位置。
也就是说，由于要检查的显示面板DP保持水平状态，因此在该状态下为了使探针块PB的探针3002接触到所有电极片，需要位于相同的高度。
因此，在相比上述第1-2探针单元PU1-2和上述第1-3探针单元PU1-3位于较低位置的第1-4探针单元PU1-4上安装的探针块PB在高度方向D3上的长度，要比安装在上述第1-2探针单元PU1-2和上述第1-3探针单元PU1-3的探针块PB更长。
由此，在第1-4探针单元PU1-4安装探针块PB时，控制单元选择用于高度方向D3上的位置补偿的探针块PB。
当然，要安装在上述第1-4探针单元PU1-4上的探针块PB还可以通过与单独的组件(例如垫片)组合，实现其在高度方向(D3)上的长度相比于安装在第1-2探针单元PU1-2和第1-3探针单元PU1-3的探针块PB更长。
以上说明的是第1探针单元PU1通过控制单元布置在与上述65英寸显示面板中的电极片对应的位置后，将探针块PB安装在上述第1探针单元PU1的情况，但并不限定于此，也可以是将上述探针块PB安装在上述第1探针单元PU1后，将安装有上述探针块PB的上述第1探针单元PU1布置在与上述65英寸显示面板中包含的电极片对应的位置。
如图24所示，当用于检查上述65英寸显示面板的探针块PB在上述第1探针单元PU1的安装完成后，如图25所示，上述第1探针单元PU1由支撑单元210的旋转R而进行180°旋转。
当上述第1探针单元PU1由上述支撑单元210的旋转而进行旋转后，65英寸显示面板中包含的电极板由真空吸附模块140的位置移动而与安装在第1探针单元PU1的探针块PB的探针3002接触，并通过供电部3009的供电来检查是否有缺陷。
另一方面，如图26所示，在通过第1探针单元PU1对65英寸显示面板进行是否有缺陷的检查的过程中，第2探针单元PU2通过控制单元进行针对55英寸显示面板的是否有缺陷的检查的准备。
控制单元在第2-1探针单元PU2-1固定的状态下，对第2-2探针单元PU2-2、第2-3探针单元PU2-3及第2-4探针单元PU2-4中的至少一个进行位置移动，使得第2探针单元PU2布置在与上述55英寸显示面板中包含的电极板相对应的位置。
例如，如图26所示，上述控制单元在上述第2-1探针单元PU2-1固定在支撑单元210的状态下，可以在上述支撑单元210上进行上述第2-2探针单元PU2-2、上述第2-3探针单元PU2-3及上述第2-4探针单元PU2-4的位置移动，并且位置移动可以是直线移动。
其中，上述位置移动可以利用直线运动导向、马达、滚珠螺杆及滚珠螺母等各种公知的结构要素实现，但是这仅是一示例，也可以适用各种公知的移动方式来实现。
上述第2-2探针单元PU2-2和上述第2-3探针单元PU2-3可以相互靠近规定距离，第2-4探针单元PU2-4可以朝向第2-1探针单元PU2-1靠近规定距离。
其中，当上述第2-4探针单元PU1-4进行直线移动时，可以在上述第2-2探针单元PU2-2和上述第2-3探针单元PU2-3的下部实现位置移动，以便防止与上述第2-2探针单元PU2-2和上述第2-3探针单元PU2-3发生干扰。
如上所述，当为了检查55英寸显示面板而完成第2探针单元PU2的位置移动时，控制单元控制搬送安装装置，使所选择的探针块PB通过上述搬送安装装置安装到第2-1探针单元PU2-1中规定的区域SR、第2-2探针单元PU2-2中规定的区域SR、第2-3探针单元PU2-3中规定的区域、第2-4探针单元PU2-4中规定的区域。
其结果，如图27所示，当用于检查上述55英寸显示面板的探针块PB在第2探针单元PU2的安装完成，且通过第1探针单元PU1完成对所有65英寸显示面板的检查后，如图28所示，上述第2探针单元PU2由支撑单元210的旋转R而进行180°旋转。
当上述第2探针单元PU2由上述支撑单元210的旋转而进行旋转后，55英寸显示面板中包含的电极板由真空吸附模块140的位置移动而与安装在第2探针单元PU2的探针块PB的探针3002接触，并通过供电部3009的供电来检查是否有缺陷。
其中，安装在上述第1探针单元PU1的探针块PB进行用于检查其他尺寸的显示面板的准备(如通过搬出安装装置移动至探针块承载单元3000等)，并反复执行上述过程。
另外，以上举例说明了待检查的显示面板DP的电极板在四个侧面都形成的情形，然而，待检查的显示面板DP的电极板也可以形成于四个侧面中的部分侧面，此时，检查中所需要的探针单元也必然只能使用一部分探针单元。
对上述内容进行如下整理。
根据本发明的显示面板检查设备200是，在探针单元PU1、PU2上选择性地安装所需要的探针块PB以进行对显示面板DP检查，并在要对其他显示面板DP进行检查时通过更换探针块PB来方便地进行检查操作，而无需更换探针单元PU1、PU2，从而可以提高产量的设备。
为此，显示面板检查设备200可以包括探针块组件2000及探针块承载单元3000，上述探针块组件2000可以包括与上述显示面板DP的侧面的多个电极板接触的多个探针块PB以及支撑上述多个探针块PB的探针单元PU1、PU2。
其中，为了进行对显示面板DP的检测，上述多个探针块PB在承载到上述探针块承载单元3000的状态下被选择后搬出，并安装到位于用于检测上述显示面板DP是否有缺陷的上述探针单元PU1、PU2上的规定位置。
上述探针单元PU1、PU2可以包括用于单独安装每个探针块PB的多个安装区域SR，根据要检查的显示面板DP的电极板的数量和形成位置在上述多个安装区域SR中选择用于安装探针块PB的安装区域SR。
另外，上述探针单元PU1、PU2可以包括第1探针单元PU1、以及第2探针单元PU2。通过上述第1探针单元PU1及安装在上述第1探针单元PU1上的探针块PB完成对特定显示面板的检查后，为了检查不同尺寸的其他显示面板，通过旋转彼此交换上述第1探针单元PU1和上述第2探针单元PU2的位置，以便通过上述第2探针单元PU及安装在上述第2探针单元PU2上的探针块进行对上述其他显示面板的检查。
也就是说，上述探针单元PU1、PU2无需更换外部的其他探针块单元，就可以进行对上述特定显示面板及上述其他显示面板的检查。
当然，上述第1探针单元PU1和上述第2探针单元PU2可以在不交换彼此的位置的情况下，仅通过更换当前安装的探针块PB就可以对当前进行是否有缺陷的检查的显示面板和其他尺寸的显示面板进行是否有缺陷的检查。
以上提及到的探针块组件2000是通过将显示面板DP的检查所需的多个探针块PB根据需要安装在探针单元上而能够进行上述显示面板DP的检查的组件，可以适用于以面朝下(Face down)或面朝上(Face up)的方式检查显示面板DP的所有设备。
此时，上述探针块组件2000的控制方法可以包括：第一步骤，检测母面板MP中包含的至少一种显示面板中需要进行是否有缺陷的检查的第1显示面板的多个电极板的数量及形成位置(上述显示面板中具有沿着侧面形成的多个电极片)；第二步骤，根据上述第一步骤的上述检测结果，从探针块承载单元承载的探针块中选择检查所需的探针块；第三步骤，根据上述第一步骤的检测结果，从探针单元上的安装区域中选择要安装探针块的安装区域；以及第四步骤，从上述探针块承载单元搬出选择的上述探针块，并安装到选择的上述安装区域。
这里，上述第四步骤可以包括，在上述第1显示面板的检查完成后，为了检查不同尺寸的第2显示面板而需要去除或更换在上述安装区域上安装的探针块中的至少一个时，选择上述需要去除或更换的探针块，然后将其搬出并承载到上述探针块承载单元中的步骤。
并且，上述第四步骤可以包括，在上述第1显示面板的检查完成后，为了检查不同尺寸的第2显示面板而需要附加探针块时，在上述探针块承载单元中承载的探针块中选择上述附加探针块，并选择要安装上述附加探针块的安装区域，然后将选择的上述附加探针块安装到选择的上述安装区域的步骤。
因此，上述探针块组件可以通过更换探针块来进行多种类型的显示面板中是否有缺陷的检查。
图29是用于说明对设置于探针块的探针进行供电的另一种方法的图。
参照图29，探针块PB'的连接端子3106与供电部3109之间的连接可以通过插座等方法来实现。
这里，当搬出安装装置将探针块PB'从探针块承载单元3000中搬出时，抓住主体3104和连接端子3106后将上述主体3104安装在探针单元上的安装区域的同时将上述连接端子3106插入供电单元3109，从而实现上述连接端子3106与上述供电单元3109的电连接。
图30及图31是用于说明在探针单元上固定或分离探针块的方法的图。
参照图30，探针单元的安装区域可以通过分隔壁W彼此分隔，并且可以通过第1固定装置3200和第2固定装置3300实现探针块PB的位置固定及分离。
上述第1固定装置3200可以在高度方向D3上移动，当移动到高度方向D3上的下侧时，第2固定装置3300以铰链为基准进行旋转，从而可以分离探针块PB。
参照图31，通过第3固定装置3400可以实现探针块PB的位置固定及分离，按压探针块PB的按压装置3500由上述第3固定装置3400的滑动而进行旋转，从而可以分离探针块PB。
以上，以本发明的实施例为基准说明了本发明的结构和特征，但是本发明不限于此，并且本发明所属技术领域的技术人员明确知道，在本发明的思想范围内，可进行各种改变或者变形，因此这种改变或者变形属于权利要求书的范围内。
Claims (6)
1.一种用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，包括：
多个探针块，其与由母面板的移动而移动到检查位置的显示面板上的多个电极片接触，以进行是否有缺陷的检查，其中，所述母面板的一面具有至少一种种类的显示面板，所述显示面板沉积有用于形成有机发光层的有机物层，并且具有沿着侧面形成的多个电极片；
探针单元，其支撑所述多个探针块；以及
供电部，其当所述多个探针块安装在所述探针单元上时对每个探针块进行供电，
其中，所述多个探针块设置有分别与所述多个电极片接触的探针，
为了对所述显示面板进行检查，所述多个探针块分别从承载于探针块承载单元中的探针块选择后搬出，并安装到所述探针单元上的规定位置，所述探针单元位于进行对所述显示面板是否有缺陷的检查的位置，
所述探针块包括，多个探针、支撑所述多个探针的本体、通过与所述供电部的电连接，向所述多个探针进行供电的连接端子、以及用于将所述多个探针和所述连接端子电连接的电路图案部，
所述连接端子的数量少于或者等于由所述供电部进行供电的供电端子的数量，
并且当所述多个探针的数量小于所述供电端子的数量时，所述电路图案部将施加到所述供电端子的电力的一部分施加到所述多个探针。
2.根据权利要求1所述的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，
在所述显示面板的检查完成后，为了检查不同尺寸的其他显示面板而需要去除或更换所述多个探针块中的至少一个时，从所述探针单元选择并搬出需要去除或更换的探针块，并承载到所述探针块承载单元中。
3.根据权利要求1所述的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，
在所述显示面板的检查完成后，为了检查不同尺寸的其他显示面板而需要附加探针块时，在所述探针块承载单元中承载的探针块中选择并搬出所述附加探针块，向所述附加探针块提供用于安装所述附加探针块的安装区域。
4.根据权利要求1所述的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，
所述探针单元设置有用于分别单独安装探针块的多个安装区域，并且根据要检查的显示面板的电极板的数量和形成位置，在所述多个安装区域中选择用于安装探针块的安装区域。
5.根据权利要求4所述的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，
所述多个安装区域设置有与形成在所述探针块的位置固定部进行相互作用的引导部，以分别引导所述探针块的安装位置。
6.根据权利要求1所述的用于检查显示面板的探针块组件，其特征在于，
不更换所述探针单元，而是通过更换在所述规定位置安装的所述多个探针块中的至少一个探针块，对当前进行是否有缺陷的检查的所述显示面板和其他显示面板进行是否有缺陷的检查。
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2019-0078764 | 2019-07-01 | ||
| KR1020190078763A KR102097455B1 (ko) | 2019-07-01 | 2019-07-01 | 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치 |
| KR10-2019-0078763 | 2019-07-01 | ||
| KR1020190078764A KR102097456B1 (ko) | 2019-07-01 | 2019-07-01 | 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치 |
| PCT/KR2020/004967 WO2021002572A1 (ko) | 2019-07-01 | 2020-04-13 | 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114424274A CN114424274A (zh) | 2022-04-29 |
| CN114424274B true CN114424274B (zh) | 2024-07-09 |
Family
ID=73919960
Family Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202080045103.3A Active CN114424274B (zh) | 2019-07-01 | 2020-04-13 | 用于检查显示面板的探针块组件、其控制方法及显示面板检查设备 |
| CN202021263934.1U Active CN213068965U (zh) | 2019-07-01 | 2020-07-01 | 用于检查显示面板的探针块组件 |
| CN202010625516.0A Pending CN112180132A (zh) | 2019-07-01 | 2020-07-01 | 检查显示面板的探针块组件 |
Family Applications After (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021263934.1U Active CN213068965U (zh) | 2019-07-01 | 2020-07-01 | 用于检查显示面板的探针块组件 |
| CN202010625516.0A Pending CN112180132A (zh) | 2019-07-01 | 2020-07-01 | 检查显示面板的探针块组件 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7250182B2 (zh) |
| CN (3) | CN114424274B (zh) |
| WO (1) | WO2021002572A1 (zh) |
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-
2020
- 2020-04-13 CN CN202080045103.3A patent/CN114424274B/zh active Active
- 2020-04-13 JP JP2021576972A patent/JP7250182B2/ja active Active
- 2020-04-13 WO PCT/KR2020/004967 patent/WO2021002572A1/ko active Application Filing
- 2020-07-01 CN CN202021263934.1U patent/CN213068965U/zh active Active
- 2020-07-01 CN CN202010625516.0A patent/CN112180132A/zh active Pending
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP7250182B2 (ja) | 2023-03-31 |
| JP2022539083A (ja) | 2022-09-07 |
| CN112180132A (zh) | 2021-01-05 |
| WO2021002572A1 (ko) | 2021-01-07 |
| CN114424274A (zh) | 2022-04-29 |
| CN213068965U (zh) | 2021-04-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |