CN101573708A - 晶片移动控制宏指令 - Google Patents

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CN101573708A CNA2006800044056A CN200680004405A CN101573708A CN 101573708 A CN101573708 A CN 101573708A CN A2006800044056 A CNA2006800044056 A CN A2006800044056A CN 200680004405 A CN200680004405 A CN 200680004405A CN 101573708 A CN101573708 A CN 101573708A
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Abstract

一种用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，用于在具有多个晶片保持位置的等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间移动晶片。该方法包括接收第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示，该方法以图形方式识别分别在等离子粒团工具的屏幕图形表示上的起始晶片保持位置和目的晶片保持位置。该方法进一步包括确定与第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据。该方法进一步包括响应于与路径相关的数据形成该组晶片转移指令。该组晶片转移指令被配置用于为沿着与路径相关的晶片保持位置转移晶片。

Description

晶片移动控制宏指令
背景技术
控制在等离子粒团工具(plasma cluster tool)环境中的晶片的转移可能是复杂和令人厌烦的过程。正如在此讨论的，等离子粒团工具涉及集成多模块组等离子体处理系统。通常，在晶片结束蚀刻周期时，晶片在各种晶片固定位置经过一系列的处理步骤。
正如在此讨论的，晶片固定位置涉及在给定模块中的给定节点。模块的例子包括(但不限于)处理模块、气锁模块、真空转移模块、大气转移模块、以及各种端口。每个模块均可以具有多个节点(即，槽)，从一个到节点的第n个。例如，处理模块通常具有一个节点，而气锁模块通常具有两个节点。因此，晶片固定位置的例子是气锁模块1的节点1。
通常由集中处理模块处理晶片固定位置之间的晶片的转移。用户在集中处理模块创建可以包括菜单、按钮、及图标的组合的晶片移动指令(即，宏指令或序列)。进一步地，将晶片从起始晶片固定位置(即，具有源节点的源模块)移动到目的晶片固定位置可能涉及多个中间晶片转移指令。因此，成功的晶片移动可能依赖于用户的技巧和可靠性。但是，即使用户在晶片转移指令的创建过程中很熟练，用户必须提供用于完成晶片移动的参数的全部数目增加了发生错误的可能性。
为了便于讨论并阐明创建和执行晶片转移指令的可能存在的复杂性，图1示出了菜单驱动界面，该菜单界面连接至等离子粒团工具的当前状态的图形动画视图(graphical animated overview)。部分100示出了等离子粒团工具101的当前状态的动画图形视图。部分119示出了用户用于创建在等离子粒团工具101内移动晶片的晶片转移指令的菜单驱动界面。等离子粒团工具101通常由各种晶片固定位置组成，其中，晶片固定位置使得晶片在从通过大气转移模块(ATM)到真空转移模块(VTM)移动到一个或多个处理模块的端口并最终回到一个端口时被处理。
晶片放在端口(110、112、114)中的一个中。在ATM 125，ATM 125可以是机器人手臂，将晶片移动到校准器107。校准器107在晶片被蚀刻前使晶片适当地居中。一旦居中，由ATM 125将晶片移动到气锁模块(121和123)中的一个。由于气锁模块具有在大气转移模块和真空转移模块之间的环境进行匹配的能力，所以能够在不损坏晶片的情况下使晶片在两个压力环境之间移动。
通过真空转移模块(VTM)108中的机器人操纵装置(109和111)中的一个，将晶片从气锁模块移动到处理模块(102、103、104、及105)中的一个。为了在处理模块之间移动，使用VTM 108中的机器人操纵装置中的一个。例如，为了从处理模块(PM)102移动到PM 104，将晶片从PM 102移动到VTM 108。晶片从VTM 108移动到PM 104。
一旦处理完晶片，就通过VTM 108中的机器人操纵装置(109和111)中的一个将晶片从处理模块(102和104)移动到气锁模块(121和123)中的一个。在气锁模块(即，123)，可以经由ATM 125将晶片移动到端口(110、112、114)中的一个或多个移动到校准器107。
利用部分100中的图形动画视图，用户能够使用部分119来创建晶片转移指令。部分119分为2个主要部分：VTM命令171和ATM命令173。假设晶片在PM 102中，用户想要将晶片移动到端口110。为了创建晶片移动指令以执行上述例子的晶片移动，用户必须创建两个不同的晶片转移指令的设置。在VTM命令171中定义的第一晶片转移指令的设置将晶片从PM 102移动到气锁模块中的一个。在ATM命令173中定义的第二晶片转移指令的设置将晶片从气锁模块中的一个移动到端口110。
为了创建第一晶片转移指令的设置，用户定义起始晶片固定位置、中间目的晶片固定位置、及机器人操纵装置，机器人操纵装置将晶片从起始晶片固定位置移动到中间目的晶片固定位置。首先，在字段120和122处用户必须识别分别用于起始晶片保持位置(即，PM 102的节点1)的模块和节点。
然后，用户必须定义中间目的晶片保持位置。中间目的晶片保持位置可以是另一个PM(PM 104、PM 103、或PM 105)或者可以是气锁模块(121或123)中的一个。例如，用于字段124和126的参数可以是气锁模块123的节点1。最后，为了完成VTM命令171，用户必须在字段136处识别使用VTM 108中的哪个机器人操纵装置(即，109)。
为了将晶片移动到端口110处的最终目的晶片保持位置，用户在ATM命令173识别中间起始晶片保持位置和目的晶片保持位置。首先，在字段152和154处，用户识别分别用于中间起始晶片保持位置(即，气锁模块123的节点1)模块和节点。在ATM命令173中定义的中间起始晶片保持位置可以与在VTM命令171中识别的中间目的晶片保持位置相同。然后，用户确定用于字段156和158(即，端口110的节点1)的目的晶片保持位置参数。为了执行命令，用户按下按钮174。
上述的例子描述了晶片从模块到端口的转移。但是，晶片移动是双向的。例如，需要将端口110处的晶片移动到PM 102来处理。在这种情况下，用户必须首先创建通过ATM将晶片从端口移动的ATM命令173中的晶片转移指令。然后，用户创建将晶片移动到目的处理模块的VTM命令171中的晶片转移指令。
在另一个例子中，用户可能只想要将晶片移动到中间晶片保持位置。例如，用户想要将PM 102处的晶片移动到VTM 108。为了完成这个转移，用户可以使用“挑选(Pick)”选项，“挑选”选项要求用户识别字段132和134(分别是模块和节点)中的起始晶片保持位置并识别字段136中的机器人操纵装置。
类似的，如果用户想要将晶片从VTM 108移动到PM 102，然后用户可以使用“放置(Place)”选项，“位置”选项要求用户识别字段128和130(分别是模块和节点)中的目的晶片保持位置并确定字段136中的机器人操纵装置。在ATM命令173中存在类似的“挑选”(字段172和168)和“位置”(字段170和166)选项。
图2A和图2B均提供了用户为了将晶片移动到希望的晶片保持位置所采用的步骤的流程图。参考图1描述图2A和2B，假设用户想要将晶片从PM 102移动到端口110。图2A描述了用户在VTM命令171中所采用的步骤，图2B描述了用户在ATM命令173中所采用的步骤。
在步骤204中，用户选择VTM命令171。在步骤206，用户选择源模块(即，输入PM 102作为用于字段120的参数)。然后在步骤208中，用户选择源节点(即，在字段112中输入1)。在步骤210中，用户选择中间目的模块(即，在字段124中输入气锁模块123)。步骤212要求用户选择中间目的节点(即，在字段126中输入2)。在步骤214中，用户选择机器人操纵装置(即，在字段136中选择机器人手臂A)。在步骤216中，用户执行并等候要完成的晶片转移指令。在步骤218中，如果晶片不在中间目的晶片保持位置，然后如果用户想要创建另一个晶片转移指令在步骤206中重新开始处理。
但是，如果在步骤218中，晶片在中间目的模块，然后用户进入步骤250。在步骤250中，用户选择ATM命令173。在步骤252中，用户选择中间源模块(即，在字段152中输入气锁模块123)。然后，用户选择中间源节点(即，在字段154中输入2)。用于步骤252和254的参数可以分别与步骤210和212中的参数相同。在步骤256中，用户选择目的模块(即，在字段156中的输入端口110)。然后，在步骤258中，用户选择目的节点(即，在字段158中输入1)。在步骤260中，用户通过按下按钮174来执行。
在步骤260中，如果完成了晶片移动(步骤262)，然后用户进入步骤264并且完成了整个处理。但是，如果没有完成晶片移动，然后用户返回步骤250并再次进行各个步骤直到晶片位于它的最后目的晶片保持位置。
如上所述，将晶片从模块移动到端口包括多个晶片转移指令，这些指令要求用户进行多次输入。不仅要求用户定义起始晶片保持位置和目的晶片保持位置，用户可能还必须选择完成转移所采用的机制。因此，为了确保晶片转移指令的创建保证成功的晶片移动，用户必须有丰富的知识。
当前用于晶片移动的方法有几个问题。第一，创建晶片转移指令要求用户输入特定参数。因此，用户不仅需要知道起始晶片保持位置和目的晶片保持位置，用户可能还必须定义转移机制和中间目的晶片保持位置。由于用户必须输入多个参数以创建晶片转移指令，因此增加了出错的可能性。
第二，可以给用户提供等离子粒团工具的现有状态的图形视图限制了用户。假设晶片当前占据了等离子粒团工具中的晶片保持位置中的一个(即，用户看见气锁模块121被晶片占据)。但是，图形视图可能只使用户看见模块被占据，但不能识别哪个节点被占据(即，用户不能识别晶片在节点1处还是节点2处)。为了防止一个晶片移动到被占据的节点时两个晶片坏掉的风险，熟练的用户可能也必须消除使用占据的气锁模块(即，121)作为下一个晶片保持位置的可能性并改为选择另一个气锁模块。但是，如果用户选择将晶片放入所占据的节点，则两个晶片将会坏掉并且将必须关掉等离子粒团工具以从晶片保持位置清理坏掉的碎片。
当紧急情况发生并且要以及时的方式移走多个晶片时，发生存在的第三个问题。例如，发生断电并且通知用户他有五分钟从等离子粒团工具移走所有的晶片。用户可以选择从等离子粒团工具手动的移走晶片或创建从等离子粒团工具移走每个晶片的晶片转移指令。在这两种情况下，在用户尽量在短时间内从等离子粒团工具移走晶片时，用户冒着犯错和使机器损坏的风险。
发明内容
在实施例中，本发明涉及用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，被配置为在等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，其中，等离子粒团工具具有多个晶片保持位置。该方法包括接收第一用户提供位置指示(indicator)，该位置指示以图形方式(graphically)识别在等离子粒团工具的屏幕图像表示上的起始晶片保持位置。该方法还包括接收第二用户提供位置指示，该位置指示以图形方式识别在等离子粒团工具的屏幕图像表示上的目的晶片保持位置。该方法进一步包括确定与在第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据。该方法还进一步包括响应于与路径相关的数据形成该组晶片转移指令。这组晶片转移指令被配置为沿着一组与路径相关的晶片保持位置转移晶片。
在另一个实施例中，本发明涉及用于创建一组晶片转移指令计算机实现方法，被配置为在等离子粒团工具中的起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，其中，等离子粒团工具具有多个晶片保持位置。该方法包括接收第一用户提供位置指示，该位置指示识别在等离子粒团工具的屏幕图形表示上确定起始晶片保持位置。该方法还包括接收第二用户提供位置指示，该位置指示在等离子粒团工具的屏幕图形表示上的目的晶片保持位置。该方法进一步包括确定与在第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据。路径横穿除了起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之外的至少一个其他晶片保持位置。另外，路径包括起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间的晶片保持位置本身(identities)。该方法还进一步包括响应于与路径相关的数据形成晶片转移指令。该组晶片转移指令被配置为沿着与路径相关的晶片保持位置转移晶片。
在另一个实施例中，本发明涉及用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，被配置为在等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，等离子粒团工具具有多个晶片保持位置。该方法包括确定起始晶片保持位置。该方法还包括确定目的晶片保持位置。该方法进一步包括自动确定与在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间的路径相关的数据。路径横穿除了起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之外的至少一个其他晶片保持位置。该路径还包括在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间的晶片保持位置本身。该方法还进一步包括响应于与路径相关的数据形成该组晶片转移指令。该组晶片转移指令被配置为沿着与路径相关的晶片保持位置转移晶片。
在另一个实施例中，本发明涉及用于创建一组晶片转移指令的装置，被配置为在等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片。该装置包括用于接收第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示的装置。第一用户提供位置指示以图形方式识别等离子粒团工具的屏幕图形表示上的起始晶片保持位置。第二用户提供位置指示以图形方式识别等离子粒团工具的屏幕图形表示上的目的晶片保持位置。该装置还包括用于确定与第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示的路径相关的数据的装置。该装置进一步包括用于响应于与路径相关的数据形成晶片转移指令的装置。该组晶片转移指令被配置为沿着一组与路径相关的晶片保持位置转移晶片。
附图说明
在附图中以实例的方式但不限于该方式来说明本发明，附图中的相同参考标号指代相同的元件，并且在附图中：
图1示出菜单驱动界面，该菜单驱动界面与等离子粒团工具的图形动画视图连接。
图2A示出了用户为了将晶片移动到真空转移模块中的希望的晶片保持位置所采用的步骤的流程图。
图2B示出了用户为了将晶片移动到大气转移模块中的希望的晶片保持位置所采用的步骤的流程图。
图3示出了本发明的实施例中的等离子粒团工具的屏幕图形表示。
图4示出了本发明的实施例中的如何使用拖放方法来移动晶片以完成晶片移动。
图5A示出了本发明的实施例中的具有多个模块的等离子粒团工具。
图5B示出了本发明的实施例中的图5A示出的等离子粒团工具的节点视图。
图6示出了本发明的实施例中的可以用于创建应用于图5A和5B的晶片转移指令的宽度-第一遍历算法的流程图。
图7示出了本发明的实施例中的应用于图5A和5B的图6中的流程图的图表。
具体实施方式
将参考附图中阐述的本发明的几个实施例来详细描述本发明。在以下的描述中，为了提供本发明的透彻理解，给出了许多特定的细节。但是对于本领域的技术人员来说，可以不使用一些或所有的这些特定细节来实施本发明。在其它情况下，为了不避免不必要地模糊本发明，没有详细描述公知的处理步骤和/或结构。
下文将描述多个实施例，包括方法和技术。应该想到本发明还可能适用于包括其上存储有用于执行本发明技术的实施例的计算机可读指令的计算机可读介质的制造的文章。计算机可读介质可以包括(例如)用于存储计算机可读编码的半导体、磁性、光磁、光学、或其它形式的计算机可读介质。进一步，本发明还可以包括用于实施本发明的实施例的设备。这种设备可以包括用于执行与本发明的实施例相关的任务的专用和/或可编程电路。这种设备的实例包括在适当地进行编程时的通用计算机和/或专用计算装置，并且可以包括适用于与本发明的实施例相关的各种任务的计算机/计算装置和专用/可编程电路的结合。
根据本发明的实施例，提出了用于创建一组晶片转移指令(即，宏指令)的计算机实现方法，以在位于等离子粒团工具中的起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，而只需要用户很少的输入。正如在此讨论的，等离子粒团工具可以具有多个晶片保持位置。
在实施例中，用户识别在等离子粒团工具的屏幕图形表示上的起始晶片保持位置和目的晶片保持位置，并且系统自动生成一组使晶片成功移动的晶片转移指令。一种用于完成该晶片移动的方法采用拖放方法。例如，用户通过移动起始晶片保持位置处的晶片上的鼠标指针来提供第一用户提供位置指示。通过将晶片拖到目的晶片保持位置并在屏幕上放下晶片来识别第二用户提供位置指示。在另一个实施例中，用户通过分别在屏幕上的两个字段键入起始晶片保持位置和目的晶片保持位置来提供第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示。
不管可以用于使晶片移动的方法，本发明的实施例可以要求用户提供两个输入，起始晶片保持位置和目的晶片保持位置，以创建一组包括所有的中间晶片转移指令的晶片转移指令。用户不再必须提供用于创建完整的一组晶片转移指令的另外的数据(即，晶片转移的机制或在晶片到达目的晶片保持位置之前晶片必须经过的中间目的晶片保持位置)。相反，该系统能够确认与第一用户提供位置和第二用户提供位置之间的路径相关的数据，并且创建响应于该数据并且能够沿着路径将晶片移动到目的晶片保持位置的一组晶片转移指令。
参考附图和以下描述可以更好地理解本发明的特征和优点。图3示出了等离子粒团工具的在屏幕图形表示。和现有技术不同，部分300既是机器状态的视图又是创建晶片转移指令的界面。部分301的主要功能是提供关于各个模块和节点的主要状态数据。
在实施例中，部分300是等离子粒团工具的动画图形视图。在这个图表中，等离子粒团工具具有四个处理模块(302、304、306、和308)。等离子粒团工具还包括带有两个机器人操纵装置(312和314)的真空转移模块310。另外示出了每个模块(320、322、324、和326)中带有的两个节点的两个气锁模块(316和318)、大气转移模块328、校准器330、和三个端口(332、334、和336)。
例如，用户想要将晶片从处理模块(PM)302移动到端口332。用户只必须识别起始晶片保持位置和目的晶片保持位置，其中，起始晶片保持位置为PM 302，目的晶片保持位置为端口332。利用起始晶片保持位置和目的晶片保持位置，系统能够生成完成晶片移动的晶片转移指令。在实施例中，通过部分301上的系统提供关于一组晶片转移指令的创建的数据。
在实施例中，图4示出了本发明的实施例中的如何使用拖放方法来移动晶片以完成晶片移动。在这个图表中，PM 402等价于图3中的PM 302，端口404等价于图3中的端口332。用户通过把鼠标指针放在起始晶片保持位置(即，PM 402)上来设置第一用户提供位置指示，通过将晶片拖到目的晶片保持位置(即，端口404)并在目的晶片保持位置放下晶片来识别第二晶片保持位置。拖路径可以和图4中所示的路径不同；只要提供了起始晶片保持位置和目的晶片保持位置，如果需要，系统就能够填充中间的位置。
在另一个实施例中，用户可以在屏幕动画视图上的两个字段中输入指示起始晶片保持位置(即，PM 402)的第一用户提供位置指示和指示目的晶片保持位置(即，PM 404)的第二用户提供位置指示。不管所用的方法，该系统只需要创建一组晶片转移指令的起始晶片保持位置和目的晶片保持位置以完成晶片移动。
为了生成一组晶片转移指令，系统对每个候选节点进行评估以确定它的可用性和可接受性，以创建将晶片从其起始晶片保持位置移动到目的晶片保持位置的最短路径。正如本文中讨论的，如果节点目前没有被占用，则节点可用。可接受性涉及节点是否具有接受要转移的晶片的问题。如果候选节点不可用或不可接受，系统将候选节点标记为可排除的，并且该候选节点不包括在系统用于创建晶片移动的路径的节点的列表中。
有多个可以用于创建一组晶片转移指令的算法。在本发明的实施例中，使用宽度-第一遍历算法。使用的宽度-第一遍历算法满足两个条件。第一，宽度-第一算法必须返回最佳状态(即，宽度-第一遍历算法必须返回最佳路径)。第二，宽度-第一遍历算法必须是完整的(即，宽度-第一遍历算法必须做彻底的搜索)。
使用宽度-第一遍历算法，如果有三条等长的路径，则宽度-第一遍历算法返回它遇到的第一条路径。同样的，如果有三条不同的路径，则宽度-第一遍历算法返回最短路径。
接下来的几个图示出了可以如何使用宽度-第一遍历算法来创建一组晶片指令。图5A示出了具有处理模块(PM1、PM2、PM3、和PM4)的等离子粒团工具、具有两个机器人操纵装置(VTM1和VTM2)的真空转移模块、可以各包括2个节点(AL1-1、AL1-2、AL2-1、和AL2-2)的两个气锁模块(AL-1和AL-2)、大气转移模块(ATM 1)、校准器(A1)、和多个端口(端口1、端口2、和端口3)。
图5B示出了同样的等离子粒团工具的节点视图。正如本文所述的，模块可以具有多于一个的节点。由于对于每个处理模块只有一个节点，所以示出每个处理模块具有一个节点(PM1、PM2、PM3、和PM4)。同样的，由于有两个机器人操纵装置，示出真空转移模块具有两个节点(VTM1和VTM2)。示出两个气锁模块每个具有两个节点(AL1-1、AL1-2、AL2-1、以及AL2-2)。示出大气转移模块具有一个节点(ATM1)，以及示出校准器(A1)和端口(端口1、端口2、端口3、和端口4)各具有一个节点。
除了图5A和图5B之外，图6和图7进一步示出了如何使用宽度-第一遍历算法来创建晶片转移指令。图6提供了宽度-第一遍历算法采用的流程图，图7示出了该流程图的图表的实例。
假设用户想要将晶片从PM 1移动到端口1。当用户在端口1放下晶片时，系统在步骤602开始宽度-第一遍历算法。在步骤604中，创建空队列。正如本文所述的，队列是可以检查每个候选节点以确定候选节点是否为目的晶片保持位置所使用的顺序方法。该队列是第一-进-第一-出类型的队列(即，在队列的后面添加条目，在队列的前面取出条目)。
在步骤605中，创建节点访问词典(dictionary)。当系统对每个候选节点进行评估时，NVD是保存遇到的节点的变量。节点之间的关系也存储在NVD中。
在步骤606中，添加起始晶片保持位置(即，PM1)至NVD。在步骤608中，添加起始晶片保持位置至队列。正如本文所描述的，将队列前面的任何节点均看作父节点。
在步骤610中，如果队列为空，则在步骤612结束处理。因为没有找到目的晶片保持位置并且没有创建一组晶片转移指令，所以在步骤612结束处理。
在该实例中，队列不为空，所以在步骤614中，系统抓取前面队列的节点。使用前面队列的节点，系统能够识别所有可用的子节点(VTM1和VTM2)。如果子节点是不可用的(即，子节点被另一个晶片占用)或不可接受的(即，子节点具有报警条件)，则子节点被排除作为可用的候选节点；因此，不添加子节点至NVD或至队列。结果，在创建一组晶片转移指令时不考虑那个节点。
在步骤618中，系统检查以观察子节点的数目是否大于或等于1。如果没有子节点，则系统进入步骤636以从队列的前面移除父节点。在步骤610中，队列为空，所以系统在步骤612结束处理并且不创建一组晶片转移指令。
但是，在该实例中，子节点的数目大于1。系统进入步骤620以获得第一子节点。在步骤622中，在NVD中在此检查子节点以确定节点是否已经在词典中。由于子节点还没有在NVD中，系统进入步骤624以添加子节点至NVD。在子节点已经在NVD中的情况下，不再添加子节点至NVD。
在步骤626中，系统检查以确定子节点是否等于目的晶片保持位置(端口1)。由于VTM1不是目的晶片保持位置，系统进入步骤630以添加子节点至队列。
在步骤632中，系统检查以观察是否有另外的子节点。如果有另外的子节点，则系统进入步骤634以获取下一个子节点并返回步骤622以再次开始处理直到当前父节点的所有子节点都已添加至NVD。如果在步骤622中，子节点已经在NVD中，则系统进入步骤632以检查另外的子节点。当识别出所有的子节点时，系统进入步骤636以移除队列前面的父节点。系统从步骤636返回至步骤610以再次开始处理，直到到达目的晶片保持位置。
图7示出了应用于图5A和5B的实例的等离子粒团工具的宽度-第一遍历算法的流程图的图表。部分798示出了队列，以及部分799示出了NVD。NVD 799示出了块701中的起始晶片保持位置PM1。在队列700中，示出了PM1作为队列中仅有的节点。
NVD中的块701下方，存储父-子的关系。在块703中，示出了PM1作为有2个子节点(VTM1和VTM2)的父节点。在队列702中，由于不是目的晶片保持位置，所以添加了VTM1和VTM2至队列的后面，并放下PM1。VTM1现在是新的父节点。
在NVD的块705中，示出了VTM1作为父节点，气锁节点(AL1-1、AL1-2、AL2-1、和AL2-2)和其它的处理模块(PM2、PM3、和PM4)是子节点。因此，队列704示出了由于不是目的晶片保持位置，将VTM1的子节点(AL1-1、AL1-2、AL2-1、和AL2-2、PM2、PM3、和PM4)添加至队列的后面并放下VTM1。
VTM2现在移动至队列的前面，并将VTM2看作新的父节点。由于VTM2具有与VTM1一样的子节点，所以不添加新的节点至NVD。因此，在VTM2从队列的前方放下时，不添加另外的节点至队列706，AL1-1移动至队列的前面并变为新的父节点。
在NVD的部分707中，示出AL1-1作为父节点。由于其它的子节点(即，VTM2)已经存在于NVD中，这里只示出ATM1作为子节点。因此，由于AL1-1不是目的晶片保持位置，添加ATM1至队列708的后面，并从队列放下AL1-1。
AL1-2现在已经移到了队列的前面，并被看作新的父节点。由于AL1-2具有与AL1-1同样的子节点，所以不添加新的节点至NVD。因此，没有添加另外的节点。由于AL1-2不是目的晶片保持位置，所以从队列放下AL1-2。
在队列710中，AL2-1是新的父节点。但是，由于AL2-1具有与AL1-1同样的子节点，不添加新的子节点至NVD或队列的结尾。由于AL2-1不是目的晶片保持位置，所以从队列放下AL2-1。
在队列712中，AL2-2是新的父节点。但是，由于AL2-1具有与AL1-1同样的子节点，不添加新的子节点至NVD或至队列的结尾。由于AL2-2不是目的晶片保持位置，所以从队列放下AL2-2，并且PM2在队列714中是新的父节点。由于PM2没有添加任何新的子节点至NVD，所以不添加另外的子节点至队列的后面。由于PM2不是目的晶片保持位置，所以从队列放下PM2。
在队列716中，PM3是新的父节点。PM3也不添加任何新的节点，因此没有添加另外的节点至NVD或至队列。在队列718中，从队列放下PM3，PM4变为新的父节点。再次，不存在新的子节点，因此没有添加另外的节点至NVD或队列。在队列720中，从队列放下PM4，ATM1变为新的父节点。
在部分709中，示出ATM1作为父节点，并示出端口1、端口2、端口3、和A1作为子节点。因此，在队列722中，由于ATM1不是目的晶片保持位置，添加了端口1、端口2、端口3、和A1至队列，并从队列放下ATM1。端口1现在是新的父节点。由于端口1是目的晶片保持位置，完成宽度-第一遍历算法，并且能够确定晶片移动路径以创建一组晶片转移指令。
基于NVD，端口1是ATM1的子，其中，ATM1是AL1-1的子，AL1-1是VTM1的子，VTM1是PM1的子。因此，在该实例中的最佳的和完整的路径是PM1至VTM1至AL1-1至ATM1至端口1。该路径为一组系统在该实例中将晶片从PM1移动到端口1可以使用的晶片转移指令。
从上述的描述能够理解到，本发明的实施例使所创建的晶片转移指令只使用识别的起始晶片保持位置和目的晶片保持位置。假定用户不必须设置另外的参数，则由于用户不再提供另外的必须的参数来创建中间晶片转移指令，会从本质上消除用户在创建晶片转移指令时犯错的机会。相反，对系统进行编程以对每个候选节点进行评估以确定移动晶片的最佳路径。
进一步，由于系统可以被配置为确定每个候选节点的可接受性和可利用性，降低了坏晶片的数量。例如，如果节点当前被另一个晶片占用或节点具有报警条件，则系统能够对节点状态进行评估并消除节点作为可行的候选。
在本发明的一个实施例中，系统设置了晶片清除。在过去，如果(例如)发生中断并只给用户较短的时间从等离子粒团工具清除晶片，用户必须创建用于在有限的时间内清除每个晶片的晶片转移指令。在本发明的实施例中，用户只必须提供目的晶片保持位置(即，端口1)并执行晶片清除指令(即，图3的338)。系统具有确定每个晶片的当前位置从而确定每个晶片的起始晶片保持位置的传感器。因此，系统能够自生成多组将晶片移动至目的晶片保持位置的晶片转移指令。由于端口通常具有多个节点，系统能够将晶片运到端口中的每个未被占用的节点，而避免偶尔将晶片放置到被占用的节点。
参考几个实施例描述了本发明的同时，存在的落入本发明的范围之内的变化、置换、和等价物。还应该注意存在许多应用本发明的方法和设备的不同方式。因此下面附加的权利要求可以解释为包括落入本发明的真正精神和范围之内的所有的变化、置换、和等价物。

Claims (23)

1.一种用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，用于在等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，所述等离子粒团工具具有多个晶片保持位置，所述计算机实现方法包括：
接收第一用户提供位置指示，所述第一用户提供位置指示以图形方式识别在所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上的所述起始晶片保持位置；
接收第二用户提供位置指示，所述第二用户提供位置指示以图形方式识别在所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上的所述目的晶片保持位置；
确定与所述第一用户提供位置指示和所述第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据；以及
响应于与所述路径相关的数据形成该组晶片转移指令，该组晶片转移指令被配置为沿着与所述路径相关的晶片保持位置转移所述晶片。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，通过用户在所述等离子粒团工具的所述图形表示上使用拖放操作来指示所述第一用户提供位置指示和所述第二用户提供位置指示。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述确定与所述路径相关的所述数据采用“宽度-第一”遍历算法。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，该组晶片转移指令代表一组宏指令。
5.根据权利要求1所述的方法，其中，至少所述等离子粒团工具的第一晶片保持位置被标记为可排除的，所述确定与所述路径相关的数据进一步包括从所述路径部分排除所述第一晶片保持位置。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述第一晶片保持位置代表由与所述第一晶片保持位置相关的传感器报告的作为不适于接受晶片的晶片保持位置。
7.根据权利要求5所述的方法，其中，所述第一晶片保持位置代表所述等离子粒团工具中的给定模块的给定节点。
8.一种用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，被配置为在等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，所述等离子粒团工具具有多个晶片保持位置，所述计算机实现方法包括：
接收第一用户提供位置指示，所述第一用户提供位置指示以图形方式识别所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上的所述起始晶片保持位置；
接收第二用户提供位置指示，所述第二用户提供位置指示以图形方式识别所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上确定所述目的晶片保持位置；
确定与所述第一用户提供位置指示和所述第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据，所述路径横穿除了所述起始晶片保持位置和所述目的晶片保持位置之外的至少一个其它晶片保持位置，所述路径包括所述起始晶片保持位置和所述目的晶片保持位置之间的晶片保持位置本身；以及
响应于与所述路径相关的所述数据形成该组晶片转移指令，该组晶片转移指令被配置为用于沿着与所述路径相关的晶片保持位置转移所述晶片。
9.根据权利要求8所述的方法，其中，通过用户在所述等离子粒团工具的所述图形表示上使用拖放操作来表示所述第一用户提供位置指示和所述第二用户提供位置指示。
10.根据权利要求8所述的方法，其中，所述确定与所述路径相关的所述数据采用“宽度-第一”遍历算法。
11.根据权利要求8所述的方法，其中，该组晶片转移指令代表一组宏指令。
12.根据权利要求8所述的方法，其中，至少所述等离子粒团工具的第一晶片保持位置被标记为可排除的，所述确定与所述路径相关的数据进一步包括从所述路径部分排除所述第一晶片保持位置。
13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述第一晶片保持位置代表由与所述第一晶片保持位置相关的传感器报告的作为不适于接受晶片的晶片保持位置。
14.根据权利要求12所述的方法，其中，所述第一晶片保持位置代表所述等离子粒团工具中的给定模组的给定节点。
15.一种用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，被配置为用于在等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，所述等离子粒团工具包括多个晶片保持位置，所述计算机实现方法包括：
确定所述起始晶片保持位置；
确定所述目的晶片保持位置；
自动确定与所述起始晶片保持位置和所述目的晶片保持位置之间的路径相关的数据，所述路径横穿除了所述起始晶片保持位置和所述目的晶片保持位置之外的至少一个其它晶片保持位置，所述路径包括所述起始晶片保持位置和所述目的晶片保持位置之间的晶片保持位置本身；以及
响应于与所述路径相关的所述数据自动形成该组晶片转移指令，该组晶片转移指令被配置为沿着与所述路径相关的所述晶片保持位置转移所述晶片。
16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述确定与所述路径相关的所述数据使用“宽度-第一”遍历算法。
17.根据权利要求15所述的方法，其中，该组晶片转移指令代表一组宏指令。
18.根据权利要求15所述的方法，其中，至少所述等离子粒团工具的第一晶片保持位置被标记为可排除的，所述确定与所述路径相关的数据进一步包括从所述路径部分排除所述第一晶片保持位置。
19.根据权利要求18所述的方法，其中，所述第一晶片保持位置代表由与所述第一晶片保持位置相关的传感器报告的作为不适于接受晶片的晶片保持位置。
20.根据权利要求15所述的方法，其中，该组晶片转移指令被配置为从所述等离子粒团工具排空晶片，所述确定所述起始晶片保持位置包括获取识别第一晶片的当前位置的传感器数据，确定所述目的晶片保持位置包括指定与所述等离子粒团工具相关的输出端口。
21.一种用于创建一组晶片转移指令的装置，被配置为在等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，所述等离子粒团工具具有多个晶片保持位置，所述装置包括：
用于接收第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示的装置，所述第一用户提供位置指示以图形方式识别在屏幕图形表示上的所述起始晶片保持位置，所述第二用户提供位置指示以图形方式识别在屏幕图形表示上的所述目的晶片保持位置；
用于确定与所述第一用户提供位置指示和所述第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据的装置；以及
用于响应于与所述路径相关的数据形成该组晶片转移指令的装置，该组晶片转移指令被配置为沿着与所述路径相关的晶片保持位置转移所述晶片。
22.根据权利要求21所述的装置，其中，使用“宽度-第一”遍历算法确定所述与所述路径相关的数据。
23.根据权利要求21所述的装置，其中，该组晶片转移指令代表一组宏指令。
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